JPH08121477A - 磁気軸受の制御装置 - Google Patents
磁気軸受の制御装置Info
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- JPH08121477A JPH08121477A JP6258460A JP25846094A JPH08121477A JP H08121477 A JPH08121477 A JP H08121477A JP 6258460 A JP6258460 A JP 6258460A JP 25846094 A JP25846094 A JP 25846094A JP H08121477 A JPH08121477 A JP H08121477A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 発振現象を防止することができる磁気軸受の
制御装置を提供する。 【構成】 加振器１７から加振信号Ｔが出力されること
で、ロータ１２は振動する。この振動は、位置センサ１
４の検出信号としてＡ／Ｄ変換器１８介し演算器２０に
供給される。演算器２０は、位置センサ１４からの検出
信号を周波数解析することで、振動の周波数スペクトル
を算出し、ロータ１２の固有振動数を求める。そして、
スイッチＳＷによるスイッチングを制御することで、固
有振動数を除去するフィルタ特性を有するＰＩＤ制御回
路を電力増幅器１６に接続させる。これにより、固有振
動数を含まない制御信号に基づいたロータ１２の位置制
御が行われ、発振現象が防止される。
制御装置を提供する。 【構成】 加振器１７から加振信号Ｔが出力されること
で、ロータ１２は振動する。この振動は、位置センサ１
４の検出信号としてＡ／Ｄ変換器１８介し演算器２０に
供給される。演算器２０は、位置センサ１４からの検出
信号を周波数解析することで、振動の周波数スペクトル
を算出し、ロータ１２の固有振動数を求める。そして、
スイッチＳＷによるスイッチングを制御することで、固
有振動数を除去するフィルタ特性を有するＰＩＤ制御回
路を電力増幅器１６に接続させる。これにより、固有振
動数を含まない制御信号に基づいたロータ１２の位置制
御が行われ、発振現象が防止される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気軸受の制御装置に
係り、例えば、ターボ分子ポンプに使用される磁気軸受
の制御装置に関する。
係り、例えば、ターボ分子ポンプに使用される磁気軸受
の制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気軸受は、磁力によってロータを非接
触で支持するもので、制御型の磁気軸受では、ロータの
位置に応じて電磁石の励磁電流をフィードバック制御す
ることでロータの浮上位置を制御するようになってい
る。
触で支持するもので、制御型の磁気軸受では、ロータの
位置に応じて電磁石の励磁電流をフィードバック制御す
ることでロータの浮上位置を制御するようになってい
る。
【０００３】ロータ位置に応じたフィードバック制御で
は、ロータに振動が発生すると、振動に同期した磁力に
よって振動を抑制しようとするため、ロータの回転数が
固有振動数になったときに、発振現象が起こることがあ
る。このため、従来では、電磁石の電流制御を行う制御
回路において、ロータの固有振動数に対応する周波数帯
域の信号をカットするフィルタを設け、発振現象を防止
していた。
は、ロータに振動が発生すると、振動に同期した磁力に
よって振動を抑制しようとするため、ロータの回転数が
固有振動数になったときに、発振現象が起こることがあ
る。このため、従来では、電磁石の電流制御を行う制御
回路において、ロータの固有振動数に対応する周波数帯
域の信号をカットするフィルタを設け、発振現象を防止
していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、固有振動数は
ロータの温度や形状によって変化するため、フィルタの
周波数特性が固定されていた従来の磁気軸受の制御回路
では、回転機械を使用している内に実際の固有振動数と
フィルタがカットする周波数帯域とがずれて、発振現象
を防止することができない場合がある。
ロータの温度や形状によって変化するため、フィルタの
周波数特性が固定されていた従来の磁気軸受の制御回路
では、回転機械を使用している内に実際の固有振動数と
フィルタがカットする周波数帯域とがずれて、発振現象
を防止することができない場合がある。
【０００５】そこで、本発明は、ロータの発振現象を防
止することができる磁気軸受の制御装置を提供すること
を目的とする。
止することができる磁気軸受の制御装置を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、ロータの位置を検出する位置検出センサと、この位
置検出センサの検出信号に応じて前記ロータを磁気浮上
させる電磁石の励磁電流をフィードバック制御する制御
回路と、前記位置検出センサの検出信号を周波数解析し
て前記ロータの固有振動数を算出する固有振動数算出手
段と、前記制御回路のフィードバックループに設けられ
た所定周波数帯域の信号を除去するフィルタと、前記固
有振動数算出手段で算出された固有振動数に応じて前記
フィルタが除去する所定周波数帯域を変更する除去帯域
変更手段とを磁気軸受の制御装置に具備させて前記目的
を達成する。
は、ロータの位置を検出する位置検出センサと、この位
置検出センサの検出信号に応じて前記ロータを磁気浮上
させる電磁石の励磁電流をフィードバック制御する制御
回路と、前記位置検出センサの検出信号を周波数解析し
て前記ロータの固有振動数を算出する固有振動数算出手
段と、前記制御回路のフィードバックループに設けられ
た所定周波数帯域の信号を除去するフィルタと、前記固
有振動数算出手段で算出された固有振動数に応じて前記
フィルタが除去する所定周波数帯域を変更する除去帯域
変更手段とを磁気軸受の制御装置に具備させて前記目的
を達成する。
【０００７】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
磁気軸受の制御回路に、前記フィードバックループに所
定周波数の信号を供給する加振器を具備させて前記目的
を達成する。請求項３記載の発明では、請求項１記載の
磁気軸受の制御装置において、前記フィルタが除去する
周波数帯域が異なる複数の回路を備え、前記除去帯域変
更手段は、前記フィルタにおける複数の回路の内、前記
固有振動数算出手段で算出された固有振動数を除去する
前記回路のみを選択的に前記フィードバックループに接
続することで前記所定周波数帯域の変更を行うことによ
って前記目的を達成する。
磁気軸受の制御回路に、前記フィードバックループに所
定周波数の信号を供給する加振器を具備させて前記目的
を達成する。請求項３記載の発明では、請求項１記載の
磁気軸受の制御装置において、前記フィルタが除去する
周波数帯域が異なる複数の回路を備え、前記除去帯域変
更手段は、前記フィルタにおける複数の回路の内、前記
固有振動数算出手段で算出された固有振動数を除去する
前記回路のみを選択的に前記フィードバックループに接
続することで前記所定周波数帯域の変更を行うことによ
って前記目的を達成する。
【０００８】
【作用】請求項１記載の磁気軸受の制御装置では、制御
回路が、位置検出センサの検出信号に応じて前記ロータ
を磁気浮上させる電磁石の励磁電流をフィードバック制
御する。固有振動数算出手段は、このフィードバック制
御において、前記位置検出センサの検出信号を周波数解
析して前記ロータの固有振動数を算出する。そして、除
去帯域変更手段が、前記固有振動数算出手段で算出され
た固有振動数に応じて前記フィルタが除去する所定周波
数帯域を変更する。
回路が、位置検出センサの検出信号に応じて前記ロータ
を磁気浮上させる電磁石の励磁電流をフィードバック制
御する。固有振動数算出手段は、このフィードバック制
御において、前記位置検出センサの検出信号を周波数解
析して前記ロータの固有振動数を算出する。そして、除
去帯域変更手段が、前記固有振動数算出手段で算出され
た固有振動数に応じて前記フィルタが除去する所定周波
数帯域を変更する。
【０００９】請求項２記載の磁気軸受の制御装置では、
加振器が、前記フィードバックループに所定周波数の信
号を供給する。請求項３記載の磁気軸受の制御装置で
は、前記除去帯域変更手段が、フィルタにおける複数の
回路の内、前記固有振動数算出手段で算出された固有振
動数を除去する前記回路のみを選択的に前記フィードバ
ックループに接続することで前記所定周波数帯域の変更
を行う。
加振器が、前記フィードバックループに所定周波数の信
号を供給する。請求項３記載の磁気軸受の制御装置で
は、前記除去帯域変更手段が、フィルタにおける複数の
回路の内、前記固有振動数算出手段で算出された固有振
動数を除去する前記回路のみを選択的に前記フィードバ
ックループに接続することで前記所定周波数帯域の変更
を行う。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の磁気軸受の制御装置における
一実施例を図１ないし図２を参照して詳細に説明する。
図１は、本実施例による磁気軸受の制御装置１０の概略
構成を表したものである。
一実施例を図１ないし図２を参照して詳細に説明する。
図１は、本実施例による磁気軸受の制御装置１０の概略
構成を表したものである。
【００１１】磁気軸受の制御装置１０は、ロータ１２の
位置を検出する位置センサ１４と、この位置センサ１４
の検出値をフィードバックして、比例動作、積分動作、
微分動作等を行うことで所定の制御信号を生成するｎ個
のＰＩＤ制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎとを備えてい
る。
位置を検出する位置センサ１４と、この位置センサ１４
の検出値をフィードバックして、比例動作、積分動作、
微分動作等を行うことで所定の制御信号を生成するｎ個
のＰＩＤ制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎとを備えてい
る。
【００１２】ＰＩＤ制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎは、
ロータ１２の発振現象を防止するために、生成した制御
信号からロータ１２の固有振動数に対応した周波数成分
を除去する帯域除去フィルタとしての機能を有してい
る。但し、ロータ１２の固有振動数は温度等によって変
化するため、固有振動数が変化しうる周波数帯域を微小
周波数間隔でｎ個に分割し、各周波数をそれぞれＰＩＤ
制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎが除去するようになって
いる。
ロータ１２の発振現象を防止するために、生成した制御
信号からロータ１２の固有振動数に対応した周波数成分
を除去する帯域除去フィルタとしての機能を有してい
る。但し、ロータ１２の固有振動数は温度等によって変
化するため、固有振動数が変化しうる周波数帯域を微小
周波数間隔でｎ個に分割し、各周波数をそれぞれＰＩＤ
制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎが除去するようになって
いる。
【００１３】また、磁気軸受の制御装置１０は、これら
ＰＩＤ制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎのいずれかの制御
信号に応じて電磁石ＭＢの励磁電流を増幅する電力増幅
器１６と、この電力増幅器１６をＰＩＤ制御回路Ａ１、
Ａ２、…、Ａｎのいずれかと接続させるスイッチＳＷと
を備えており、以上の各回路によってロータ１２の浮上
位置を制御するためのフィードバックループを構成して
いる。
ＰＩＤ制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎのいずれかの制御
信号に応じて電磁石ＭＢの励磁電流を増幅する電力増幅
器１６と、この電力増幅器１６をＰＩＤ制御回路Ａ１、
Ａ２、…、Ａｎのいずれかと接続させるスイッチＳＷと
を備えており、以上の各回路によってロータ１２の浮上
位置を制御するためのフィードバックループを構成して
いる。
【００１４】このフィードバックループにおける、位置
センサ１４とＰＩＤ制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎとの
間の接続点Ｋには、所定周波数の加振信号Ｔを出力する
加振器１７が接続されている。この加振器１７は、所定
周波数の加振信号Ｔを接続点Ａに供給することで、電力
増幅器１６で増幅される励磁電流、更には、電磁石ＭＢ
が発生する磁力を変化させて、ロータ１２に物理的振動
を与えるようになっている。
センサ１４とＰＩＤ制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎとの
間の接続点Ｋには、所定周波数の加振信号Ｔを出力する
加振器１７が接続されている。この加振器１７は、所定
周波数の加振信号Ｔを接続点Ａに供給することで、電力
増幅器１６で増幅される励磁電流、更には、電磁石ＭＢ
が発生する磁力を変化させて、ロータ１２に物理的振動
を与えるようになっている。
【００１５】また、本実施例では、位置センサ１４がＡ
／Ｄ変換器１８を介して演算器２０に接続されている。
演算器２０は、所定の演算処理を行うことで、位置セン
サ１４からの出力信号を周波数解析するようになってお
り、解析で得られた周波数スペクトルから、ロータ１２
の固有振動数を求めるようになっている。
／Ｄ変換器１８を介して演算器２０に接続されている。
演算器２０は、所定の演算処理を行うことで、位置セン
サ１４からの出力信号を周波数解析するようになってお
り、解析で得られた周波数スペクトルから、ロータ１２
の固有振動数を求めるようになっている。
【００１６】また、演算器２０は、スイッチＳＷによる
ＰＩＤ制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎと電力増幅器１６
との間のスイッチングを制御するようになっている。こ
のスイッチング制御によって、演算器２０は、ＰＩＤ制
御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎのいずれかを、選択的に電
力増幅器１６側に接続させ、フィードバック系のフィル
タ特性を任意に変更できるようになっている。
ＰＩＤ制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎと電力増幅器１６
との間のスイッチングを制御するようになっている。こ
のスイッチング制御によって、演算器２０は、ＰＩＤ制
御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎのいずれかを、選択的に電
力増幅器１６側に接続させ、フィードバック系のフィル
タ特性を任意に変更できるようになっている。
【００１７】ＰＩＤ制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎの選
択は、演算器２０が位置センサ１４の出力信号から演算
で求めた固有振動数に応じて行われるようになってい
る。すなわち、演算器２０は、図示しないメモリに各Ｐ
ＩＤ制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎのフィルタ特性を記
憶しており、演算で求めた固有振動数と一致する周波数
を除去するＰＩＤ制御回路を、メモリのデータを基に選
択する。そして、スイッチＳＷの切換を制御すること
で、選択したＰＩＤ制御回路を電力増幅器１６側に接続
するようになっている。
択は、演算器２０が位置センサ１４の出力信号から演算
で求めた固有振動数に応じて行われるようになってい
る。すなわち、演算器２０は、図示しないメモリに各Ｐ
ＩＤ制御回路Ａ１、Ａ２、…、Ａｎのフィルタ特性を記
憶しており、演算で求めた固有振動数と一致する周波数
を除去するＰＩＤ制御回路を、メモリのデータを基に選
択する。そして、スイッチＳＷの切換を制御すること
で、選択したＰＩＤ制御回路を電力増幅器１６側に接続
するようになっている。
【００１８】このように構成された実施例の動作につい
て説明する。まず、磁気軸受の制御装置１０が起動され
ることで、演算器２０が、スイッチＳＷによって任意の
ＰＩＤ制御回路を電力増幅器１６側に接続する。この時
接続するＰＩＤ制御回路は、前回の運転停止時に接続さ
れていたＰＩＤ制御回路を選択するようにしてもよい
し、また、起動時には、常に同じＰＩＤ制御回路を電力
増幅器１６に接続するようにしてもよい。
て説明する。まず、磁気軸受の制御装置１０が起動され
ることで、演算器２０が、スイッチＳＷによって任意の
ＰＩＤ制御回路を電力増幅器１６側に接続する。この時
接続するＰＩＤ制御回路は、前回の運転停止時に接続さ
れていたＰＩＤ制御回路を選択するようにしてもよい
し、また、起動時には、常に同じＰＩＤ制御回路を電力
増幅器１６に接続するようにしてもよい。
【００１９】次に、磁気軸受の制御装置１０は、位置セ
ンサ１４の検出信号を基にした電磁石ＭＢにおける励磁
電流のフィードバック制御を行うことで、ロータ１２を
所定位置（磁気軸受の中心軸上）に磁気浮上させる。そ
して、加振器１７が加振信号Ｔを出力することで、ロー
タ１２を振動させる。この振動は、位置センサ１４の検
出信号としてフィードバックされ、接続点Ｋに供給され
ると共に、Ａ／Ｄ変換器１８を介して演算器２０に供給
される。
ンサ１４の検出信号を基にした電磁石ＭＢにおける励磁
電流のフィードバック制御を行うことで、ロータ１２を
所定位置（磁気軸受の中心軸上）に磁気浮上させる。そ
して、加振器１７が加振信号Ｔを出力することで、ロー
タ１２を振動させる。この振動は、位置センサ１４の検
出信号としてフィードバックされ、接続点Ｋに供給され
ると共に、Ａ／Ｄ変換器１８を介して演算器２０に供給
される。
【００２０】演算器２０は、受信した位置センサ１４か
らの検出信号を周波数解析を行うことで周波数スペクト
ルを算出する。そして、最大振幅値を取る周波数を求め
る。すなわち、ロータ１２の固有振動数を求める。固有
振動数を求めたら、演算器２０は、スイッチＳＷのスイ
ッチングを制御することで、求めた固有振動数と一致す
る周波数を除去するＰＩＤ制御回路を電力増幅器１６に
接続させる。
らの検出信号を周波数解析を行うことで周波数スペクト
ルを算出する。そして、最大振幅値を取る周波数を求め
る。すなわち、ロータ１２の固有振動数を求める。固有
振動数を求めたら、演算器２０は、スイッチＳＷのスイ
ッチングを制御することで、求めた固有振動数と一致す
る周波数を除去するＰＩＤ制御回路を電力増幅器１６に
接続させる。
【００２１】ＰＩＤ制御回路が電力増幅器１６に接続さ
れたら、加振器１７は、加振信号Ｔの出力を止め、以
後、接続されたＰＩＤ制御回路で固有振動数がカットさ
れた制御信号に基づいて電磁石ＭＢの電流制御が行われ
る。従って、ロータ１２の発振現象が防止される。
れたら、加振器１７は、加振信号Ｔの出力を止め、以
後、接続されたＰＩＤ制御回路で固有振動数がカットさ
れた制御信号に基づいて電磁石ＭＢの電流制御が行われ
る。従って、ロータ１２の発振現象が防止される。
【００２２】なお、加振器１７は必ずしもなくてもよ
い。例えば、加振器１７を設けずに、磁気浮上させた状
態でロータ１２を回転させ、その時に発生する振動を位
置センサ１４の検出信号を基に演算器２０で解析するこ
とで、固有振動数を求めてもよい。
い。例えば、加振器１７を設けずに、磁気浮上させた状
態でロータ１２を回転させ、その時に発生する振動を位
置センサ１４の検出信号を基に演算器２０で解析するこ
とで、固有振動数を求めてもよい。
【００２３】また、フィルタ特性の変更は、以下のよう
な回路によって行ってもよい。図２は、ロータ１２の位
置制御を行うためのフィードバックループにおいてＰＩ
Ｄ動作を行う回路部分の他の例を表したものである。こ
の図の例では、位置センサ１４の検出信号に対して比例
動作を行うｎ個のＰ回路Ｅ１、Ｅ２、…、Ｅｎと、積分
動作を行うｎ個のＩ回路Ｆ１、Ｆ２、…、Ｆｎと、微分
動作を行うｎ個のＤ回路Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｎとがスイ
ッチＳＷ１、ＳＷ２によって直列に接続されるようにな
っている。
な回路によって行ってもよい。図２は、ロータ１２の位
置制御を行うためのフィードバックループにおいてＰＩ
Ｄ動作を行う回路部分の他の例を表したものである。こ
の図の例では、位置センサ１４の検出信号に対して比例
動作を行うｎ個のＰ回路Ｅ１、Ｅ２、…、Ｅｎと、積分
動作を行うｎ個のＩ回路Ｆ１、Ｆ２、…、Ｆｎと、微分
動作を行うｎ個のＤ回路Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｎとがスイ
ッチＳＷ１、ＳＷ２によって直列に接続されるようにな
っている。
【００２４】位置センサ１４の検出信号は、Ｐ回路Ｅ
１、Ｅ２、…、Ｅｎに供給されるようになっており、ま
た、Ｄ回路Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｎは、スイッチＳＷ３に
よって電力増幅器１６に接続されるようになっている。
各Ｐ回路Ｅ１、Ｅ２、…、Ｅｎのフィルタ特性は互いに
異なっており、同様に、Ｉ回路Ｆ１、Ｆ２、…、Ｆｎや
Ｄ回路Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｎにおける各回路のフィルタ
特性も互いに異なっている。これらは、スイッチＳＷ
１、ＳＷ２、ＳＷ３により所定の組み合わせで接続され
ることで、特定の周波数成分（固有振動数）を除去する
帯域除去フィルタとして機能するようになっている。
１、Ｅ２、…、Ｅｎに供給されるようになっており、ま
た、Ｄ回路Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｎは、スイッチＳＷ３に
よって電力増幅器１６に接続されるようになっている。
各Ｐ回路Ｅ１、Ｅ２、…、Ｅｎのフィルタ特性は互いに
異なっており、同様に、Ｉ回路Ｆ１、Ｆ２、…、Ｆｎや
Ｄ回路Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｎにおける各回路のフィルタ
特性も互いに異なっている。これらは、スイッチＳＷ
１、ＳＷ２、ＳＷ３により所定の組み合わせで接続され
ることで、特定の周波数成分（固有振動数）を除去する
帯域除去フィルタとして機能するようになっている。
【００２５】Ｐ回路Ｅ１、Ｅ２、…、Ｅｎと、Ｉ回路Ｆ
１、Ｆ２、…、Ｆｎと、Ｄ回路Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｎと
の接続の組み合わせは、演算器２０がスイッチＳＷ１、
ＳＷ２、ＳＷ３のスイッチングを制御することで選択さ
れるようになっている。すなわち、演算器２０がスイッ
チＳＷ１、ＳＷ２、ＳＷ３のスイッチング制御を行うこ
とで、演算で求めたロータ１２の固有振動数を除去する
ように、フィードバック系のフィルタ特性を変更するよ
うになっている。なお、この場合は、演算器２０の図示
しないメモリに、各Ｐ回路Ｅ１、Ｅ２、…、Ｅｎと、Ｉ
回路Ｆ１、Ｆ２、…、Ｆｎと、Ｄ回路Ｇ１、Ｇ２、…、
Ｇｎの各回路のフィルタ特性を格納する。
１、Ｆ２、…、Ｆｎと、Ｄ回路Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｎと
の接続の組み合わせは、演算器２０がスイッチＳＷ１、
ＳＷ２、ＳＷ３のスイッチングを制御することで選択さ
れるようになっている。すなわち、演算器２０がスイッ
チＳＷ１、ＳＷ２、ＳＷ３のスイッチング制御を行うこ
とで、演算で求めたロータ１２の固有振動数を除去する
ように、フィードバック系のフィルタ特性を変更するよ
うになっている。なお、この場合は、演算器２０の図示
しないメモリに、各Ｐ回路Ｅ１、Ｅ２、…、Ｅｎと、Ｉ
回路Ｆ１、Ｆ２、…、Ｆｎと、Ｄ回路Ｇ１、Ｇ２、…、
Ｇｎの各回路のフィルタ特性を格納する。
【００２６】以上説明したように、上記実施例では、演
算器２０によってロータ１２の固有振動数を測定し、そ
の測定した固有振動を除去するように、フィードバック
系のフィルタ特性を変更するようにしているので、温度
等でロータ１２の固有振動数が変化しても、電力増幅器
１６に供給される制御信号からは、常に固有振動数成分
が除去される。従って、発振現象を防止することができ
る。
算器２０によってロータ１２の固有振動数を測定し、そ
の測定した固有振動を除去するように、フィードバック
系のフィルタ特性を変更するようにしているので、温度
等でロータ１２の固有振動数が変化しても、電力増幅器
１６に供給される制御信号からは、常に固有振動数成分
が除去される。従って、発振現象を防止することができ
る。
【００２７】
【発明の効果】本発明の磁気軸受の制御装置によれば、
発振現象を防止することができる。
発振現象を防止することができる。
【図１】本発明の一実施例による磁気軸受の制御装置の
一部を示した説明図である。
一部を示した説明図である。
【図２】同装置の回路の一部を示した説明図である。
１０ 磁気軸受の制御装置 １２ ロータ １４ 位置センサ １６ 電力増幅器 １７ 加振器 １８ Ａ／Ｄ変換器 ２０ 演算器 ＭＢ 電磁石 Ｔ 加振信号 Ｋ 接続点 Ａ１、Ａ２、…、Ａｎ ＰＩＤ制御回路 Ｅ１、Ｅ２、…、Ｅｎ Ｐ回路 Ｆ１、Ｆ２、…、Ｆｎ Ｉ回路 Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｎ Ｄ回路
Claims (3)
- 【請求項１】 ロータの位置を検出する位置検出センサ
と、 この位置検出センサの検出信号に応じて前記ロータを磁
気浮上させる電磁石の励磁電流をフィードバック制御す
る制御回路と、 前記位置検出センサの検出信号を周波数解析して前記ロ
ータの固有振動数を算出する固有振動数算出手段と、 前記制御回路のフィードバックループに設けられた、所
定周波数帯域の信号を除去するフィルタと、 前記固有振動数算出手段で算出された固有振動数に応じ
て、前記フィルタが除去する所定周波数帯域を変更する
除去帯域変更手段とを具備することを特徴とする磁気軸
受の制御装置。 - 【請求項２】 前記フィードバックループに所定周波数
の信号を供給する加振器を備えたことを特徴とする請求
項１記載の磁気軸受の制御回路。 - 【請求項３】 前記フィルタは、除去する周波数帯域が
異なる複数の回路を備え、 前記除去帯域変更手段は、前記フィルタにおける複数の
回路の内、前記固有振動数算出手段で算出された固有振
動数を除去する前記回路のみを選択的に前記フィードバ
ックループに接続することで、前記所定周波数帯域の変
更を行うことを特徴とする請求項１記載の磁気軸受の制
御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6258460A JPH08121477A (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | 磁気軸受の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6258460A JPH08121477A (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | 磁気軸受の制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08121477A true JPH08121477A (ja) | 1996-05-14 |
Family
ID=17320538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6258460A Pending JPH08121477A (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | 磁気軸受の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08121477A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007507767A (ja) * | 2003-09-25 | 2007-03-29 | ブリティッシュ・テレコミュニケーションズ・パブリック・リミテッド・カンパニー | ハプティックス伝送システム |
| WO2008081030A1 (de) | 2007-01-05 | 2008-07-10 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Verfahren zur ermittlung von resonanzfrequenzen eines magnetgelagerten rotors |
| WO2023032766A1 (ja) | 2021-08-30 | 2023-03-09 | エドワーズ株式会社 | 磁気軸受装置及び真空ポンプ |
-
1994
- 1994-10-24 JP JP6258460A patent/JPH08121477A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007507767A (ja) * | 2003-09-25 | 2007-03-29 | ブリティッシュ・テレコミュニケーションズ・パブリック・リミテッド・カンパニー | ハプティックス伝送システム |
| JP4800949B2 (ja) * | 2003-09-25 | 2011-10-26 | ブリティッシュ・テレコミュニケーションズ・パブリック・リミテッド・カンパニー | ハプティックス伝送システム |
| WO2008081030A1 (de) | 2007-01-05 | 2008-07-10 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Verfahren zur ermittlung von resonanzfrequenzen eines magnetgelagerten rotors |
| WO2023032766A1 (ja) | 2021-08-30 | 2023-03-09 | エドワーズ株式会社 | 磁気軸受装置及び真空ポンプ |
| JP2023034065A (ja) * | 2021-08-30 | 2023-03-13 | エドワーズ株式会社 | 磁気軸受装置及び真空ポンプ |
| KR20240052743A (ko) | 2021-08-30 | 2024-04-23 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 자기 베어링 장치 및 진공 펌프 |
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