RU2009118267A

RU2009118267A - Способ томографического исследования микроскопических объектов и сканирующий микроскоп для его осуществления

Info

Publication number: RU2009118267A
Application number: RU2009118267/28A
Authority: RU
Inventors: Михаил Александрович Юдаков (RU); Михаил Александрович Юдаков; Юрий Петрович Волков (RU); Юрий Петрович Волков; Алексей Олегович Мантуров (RU); Алексей Олегович Мантуров
Original assignee: Общество с ограниченной ответственностью "ЦЕНТР ИННОВАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ-ЭС" (RU); Общество с ограниченной ответственностью "Центр Инновационных Технологий-ЭС"
Priority date: 2009-05-15
Filing date: 2009-05-15
Publication date: 2010-11-20
Also published as: US20120133940A1; WO2010131996A1; RU2413204C2; US8384901B2; DE112010002007T5

Abstract

1. Способ томографического исследования объектов, включающий сканирование объекта пучком электромагнитного излучения при дискретном изменении углового положения объекта относительно пучка электромагнитного излучения, регистрацию интенсивности излучения, прошедшего через объект в процессе сканирования, и обработку полученной информации с последующим восстановлением на ее основе структуры объекта, отличающийся тем, что при сканировании формируют пучок электромагнитного излучения с дискретно изменяемыми размерами поперечного сечения пучка, при этом изменение одного из поперечных размеров сечения пучка производят на величину, соответствующую требуемой разрешающей способности, регистрацию интенсивности излучения осуществляют после каждого изменения поперечного размера сечения пучка, а при обработке вычисляют разность величин двух последовательно зарегистрированных интенсивностей с получением множества значений, используемых для восстановления структуры объекта. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что поперечное сечение пучка электромагнитного излучения представляет собой прямоугольник, ширина которого значительно меньше его длины. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что дискретные изменения поперечного размера сечения пучка по ширине осуществляют пошаговым последовательным сдвигом одной границы пучка от минимального до максимального значения или пошаговым последовательным сдвигом одной границы пучка от максимального до минимального значения соответственно. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что дискретные изменения поперечного размера сечения пучка по ширине осуществляют сонаправл

Claims

1. Способ томографического исследования объектов, включающий сканирование объекта пучком электромагнитного излучения при дискретном изменении углового положения объекта относительно пучка электромагнитного излучения, регистрацию интенсивности излучения, прошедшего через объект в процессе сканирования, и обработку полученной информации с последующим восстановлением на ее основе структуры объекта, отличающийся тем, что при сканировании формируют пучок электромагнитного излучения с дискретно изменяемыми размерами поперечного сечения пучка, при этом изменение одного из поперечных размеров сечения пучка производят на величину, соответствующую требуемой разрешающей способности, регистрацию интенсивности излучения осуществляют после каждого изменения поперечного размера сечения пучка, а при обработке вычисляют разность величин двух последовательно зарегистрированных интенсивностей с получением множества значений, используемых для восстановления структуры объекта.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что поперечное сечение пучка электромагнитного излучения представляет собой прямоугольник, ширина которого значительно меньше его длины.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что дискретные изменения поперечного размера сечения пучка по ширине осуществляют пошаговым последовательным сдвигом одной границы пучка от минимального до максимального значения или пошаговым последовательным сдвигом одной границы пучка от максимального до минимального значения соответственно.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что дискретные изменения поперечного размера сечения пучка по ширине осуществляют сонаправленным попеременным сдвигом противоположных границ пучка, обеспечивающих перемещение пучка по объекту.

5. Сканирующий микроскоп, содержащий источник излучения, размещенные по ходу лучей непрозрачный экран с щелью, предметный столик для размещения объекта исследования, снабженный устройством перемещения в плоскости сканирования, детектор излучения, соединенный с блоком обработки информации, отличающийся тем, что непрозрачный экран снабжен, по крайней мере, одной подвижной в плоскости размещения непрозрачного экрана щелевой заслонкой, обеспечивающей возможность изменения поперечных размеров щели.

6. Сканирующий микроскоп по п.5, отличающийся тем, что непрозрачный экран снабжен устройством для его перемещения в плоскости, параллельной плоскости сканирования.

7. Сканирующий микроскоп по п.5, отличающийся тем, что предметный столик выполнен с возможностью поворота в плоскости сканирования.