RU2009113263A

RU2009113263A - Способ нанесения керамического покрытия

Info

Publication number: RU2009113263A
Application number: RU2009113263/02A
Authority: RU
Inventors: Сергей Александрович Будиновский (RU); Сергей Александрович Будиновский; Сергей Артемович Мубоджян (RU); Сергей Артемович Мубоджян; Артем Михайлович Гаямов (RU); Артем Михайлович Гаямов
Priority date: 2009-04-09
Filing date: 2009-04-09
Publication date: 2010-10-20
Also published as: RU2409701C2

Abstract

1. Способ нанесения керамического покрытия, включающий размещение изделия в камере распыления, содержащей кислород и инертный газ, нагрев изделия, магнетронное распыление мишени в вакууме и формирование керамического покрытия на изделии, отличающийся тем, что нагрев изделия осуществляют до температур 500-1000°С, а формирование керамического покрытия осуществляют в две стадии, при этом на первой стадии нагрев изделия совмещают с обработкой поверхности изделия пучком ускоренных ионов инертного газа, на второй стадии обработку поверхности изделия пучком ускоренных ионов совмещают с магнетронным распылением мишени, а после формирования керамического покрытия проводят термообработку изделия. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что обработку поверхности изделия осуществляют пучком ускоренных ионов инертного газа с энергией ионов 500-2500 эВ. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что перед формированием керамического покрытия на поверхность изделия наносят слой никелевого сплава, содержащего алюминий, хром и, по крайней мере, один редкоземельный металл. ! 4. Способ по любому из пп. 1, 2 и 3 отличающийся тем, что термообработку изделия проводят при температуре 900-1050°С в течение 4-6 ч.

Claims

1. Способ нанесения керамического покрытия, включающий размещение изделия в камере распыления, содержащей кислород и инертный газ, нагрев изделия, магнетронное распыление мишени в вакууме и формирование керамического покрытия на изделии, отличающийся тем, что нагрев изделия осуществляют до температур 500-1000°С, а формирование керамического покрытия осуществляют в две стадии, при этом на первой стадии нагрев изделия совмещают с обработкой поверхности изделия пучком ускоренных ионов инертного газа, на второй стадии обработку поверхности изделия пучком ускоренных ионов совмещают с магнетронным распылением мишени, а после формирования керамического покрытия проводят термообработку изделия.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что обработку поверхности изделия осуществляют пучком ускоренных ионов инертного газа с энергией ионов 500-2500 эВ.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что перед формированием керамического покрытия на поверхность изделия наносят слой никелевого сплава, содержащего алюминий, хром и, по крайней мере, один редкоземельный металл.

4. Способ по любому из пп. 1, 2 и 3 отличающийся тем, что термообработку изделия проводят при температуре 900-1050°С в течение 4-6 ч.