RU2009106215A - Способ получения показания о состоянии турбомолекулярного насоса и турбомолекулярный насос - Google Patents

Способ получения показания о состоянии турбомолекулярного насоса и турбомолекулярный насос Download PDF

Info

Publication number
RU2009106215A
RU2009106215A RU2009106215/06A RU2009106215A RU2009106215A RU 2009106215 A RU2009106215 A RU 2009106215A RU 2009106215/06 A RU2009106215/06 A RU 2009106215/06A RU 2009106215 A RU2009106215 A RU 2009106215A RU 2009106215 A RU2009106215 A RU 2009106215A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
turbomolecular pump
limit value
analyzing device
filter
vibration
Prior art date
Application number
RU2009106215/06A
Other languages
English (en)
Inventor
Томас ГЁТЦЕ (DE)
Томас ГЁТЦЕ
Райнер ХЁЛЬЦЕР (DE)
Райнер ХЁЛЬЦЕР
Кристиан ХАРИГ (DE)
Кристиан ХАРИГ
Original Assignee
Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De)
Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De), Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх filed Critical Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De)
Publication of RU2009106215A publication Critical patent/RU2009106215A/ru

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/001—Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
    • F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/668—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps damping or preventing mechanical vibrations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

1. Способ получения показания о состоянии турбомолекулярного насоса, в котором ! с помощью соединенного с турбомолекулярным насосом вибрационного датчика (10) определяют характеристику колебаний, ! характеристику колебаний передают на анализирующее устройство (12), ! в анализирующем устройстве (12) расположен фильтр (16), прежде всего, интегральная схема частотного фильтра, в котором установлена частота для определения соотнесенной амплитуды колебаний, ! в анализирующем устройстве (12) с использованием микропроцессора (22) турбомолекулярного насоса фактическая амплитуда колебаний сравнивается с по меньшей мере одним предельным значением, и ! при превышении предельного значения передают сигнал в контрольный орган (30). ! 2. Способ по п.1, в котором фильтр (16) выполнен с возможностью последовательной настройки путем установки различных частот. ! 3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что передаваемый при превышении предельного значения сигнал передают через устройство (28) для передачи данных. ! 4. Способ по п.1 или 2, в котором амплитуды колебаний измеряют на нескольких частотах и измеренные амплитуды колебаний объединяют в суммарное значение. ! 5. Способ по п.4, в котором суммарное значение определяют суммированием отдельных измеренных амплитуд колебаний. ! 6. Способ по п.4, в котором измеряют несколько частот в критическом частотном диапазоне, который расположен, прежде всего, в диапазоне от 0,3-кратной до 50-кратной частоты вращения турбомолекулярного насоса. ! 7. Способ по п.1, в котором при выдаче предупредительного сигнала дополнительно учитывают параметры турбомолекулярного насоса и/или условия окружающей среды. ! 8. Сп�

Claims (20)

1. Способ получения показания о состоянии турбомолекулярного насоса, в котором
с помощью соединенного с турбомолекулярным насосом вибрационного датчика (10) определяют характеристику колебаний,
характеристику колебаний передают на анализирующее устройство (12),
в анализирующем устройстве (12) расположен фильтр (16), прежде всего, интегральная схема частотного фильтра, в котором установлена частота для определения соотнесенной амплитуды колебаний,
в анализирующем устройстве (12) с использованием микропроцессора (22) турбомолекулярного насоса фактическая амплитуда колебаний сравнивается с по меньшей мере одним предельным значением, и
при превышении предельного значения передают сигнал в контрольный орган (30).
2. Способ по п.1, в котором фильтр (16) выполнен с возможностью последовательной настройки путем установки различных частот.
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что передаваемый при превышении предельного значения сигнал передают через устройство (28) для передачи данных.
4. Способ по п.1 или 2, в котором амплитуды колебаний измеряют на нескольких частотах и измеренные амплитуды колебаний объединяют в суммарное значение.
5. Способ по п.4, в котором суммарное значение определяют суммированием отдельных измеренных амплитуд колебаний.
6. Способ по п.4, в котором измеряют несколько частот в критическом частотном диапазоне, который расположен, прежде всего, в диапазоне от 0,3-кратной до 50-кратной частоты вращения турбомолекулярного насоса.
7. Способ по п.1, в котором при выдаче предупредительного сигнала дополнительно учитывают параметры турбомолекулярного насоса и/или условия окружающей среды.
8. Способ по п.7, в котором параметры турбомолекулярного насоса и/или условия окружающей среды учитывают при определении предельного значения.
9. Способ по п.7 или 8, в котором определение предельного значения является изменяемым, прежде всего, его автоматически рассчитывают заново.
10. Способ по п.1 или 2, в котором через равномерные промежутки времени в контрольный орган (30) передают контрольный сигнал.
11. Способ по п.1 или 2, в котором при превышении первого предельного значения вырабатывают предупредительный сигнал.
12. Способ по п.11, в котором при превышении второго предельного значения происходит, прежде всего, автоматическое выключение турбомолекулярного насоса.
13. Турбомолекулярный насос для осуществления способа по одному из пп.1-12 с расположенным в корпусе насосным устройством, механически соединенным с подлежащем контролю компонентом турбомолекулярного насоса вибрационным датчиком (10), электрически соединенным с вибрационным датчиком (10) анализирующим устройством (12) для анализа принимаемого вибрационного сигнала в зависимости от сравнительных значений, при этом анализирующее устройство (12) имеет фильтр (16), прежде всего, представляющий собой интегральную схему частотного фильтра, и соединенным с анализирующим устройством (12) устройством (26) вывода для выдачи сигнала при превышении предельного значения.
14. Турбомолекулярный насос по п.13, отличающийся тем, что анализирующее устройство (12) имеет микропроцессор (22) для обработки сигнала, который, предпочтительно, является микропроцессором (22) турбомолекулярного насоса.
15. Турбомолекулярный насос по п.13 или 14, отличающийся тем, что фильтр (16) посредством установки частоты подходит для определения соотнесенной амплитуды колебаний и выполнен, прежде всего, с возможностью последовательной настройки путем установки различных частот.
16. Турбомолекулярный насос по п.13 или 14, отличающийся тем, что анализирующее устройство (12) определяет амплитуду колебаний для по меньшей мере одной частоты.
17. Турбомолекулярный насос по п.13 или 14, отличающийся тем, что анализирующее устройство (12) имеет запоминающий элемент (24) для хранения сравнительных значений.
18. Турбомолекулярный насос по п.13 или 14, отличающийся определяющим устройством для определения параметров турбомолекулярного насоса и/или условий окружающей среды.
19. Турбомолекулярный насос по п.18, отличающийся тем, что анализирующее устройство (12) имеет устройство согласования предельного значения для согласования предельного значения в зависимости от определенных параметров турбомолекулярного насоса и/или определенных условий окружающей среды.
20. Турбомолекулярный насос по п.13 или 14, отличающийся тем, что анализирующее устройство (12) через устройство (28) для дистанционной передачи данных соединено с контрольным органом (30).
RU2009106215/06A 2006-07-26 2007-06-22 Способ получения показания о состоянии турбомолекулярного насоса и турбомолекулярный насос RU2009106215A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006034478A DE102006034478A1 (de) 2006-07-26 2006-07-26 Verfahren zur Ermittlung einer Aussage über einen Zustand einer Turbomolekularpumpe sowie eine Turbomolekularpumpe
DE102006034478.2 2006-07-26

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2009106215A true RU2009106215A (ru) 2010-09-10

Family

ID=38476981

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009106215/06A RU2009106215A (ru) 2006-07-26 2007-06-22 Способ получения показания о состоянии турбомолекулярного насоса и турбомолекулярный насос

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20100054957A1 (ru)
EP (1) EP2044331B1 (ru)
JP (1) JP2009544888A (ru)
CN (1) CN101495760B (ru)
DE (1) DE102006034478A1 (ru)
RU (1) RU2009106215A (ru)
WO (1) WO2008012150A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2673968C2 (ru) * 2013-04-26 2018-12-03 Зульцер Мэнэджмент Аг Способ оценки состояния износа узла гидравлической машины, узел, а также гидравлическая машина
RU2760277C2 (ru) * 2017-03-10 2021-11-23 Ксб Се & Ко. Кгаа Способ эксплуатации циркуляционного насоса с переменной скоростью, а также циркуляционный насос для осуществления этого способа

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2314877B1 (en) * 2008-07-14 2018-08-22 Edwards Japan Limited Vacuum pump
US8676387B2 (en) 2008-10-13 2014-03-18 General Electric Company Methods and systems for determining operating states of pumps
DE102009005154A1 (de) * 2009-01-15 2010-07-22 Wilo Se Vorrichtung zur Verbindung einer elektromotorischen Antriebseinheit mit einer Pumpeneinheit
US8074499B2 (en) * 2009-12-22 2011-12-13 General Electric Company Method and system for detecting a crack on a turbomachine blade
CN102155425A (zh) * 2011-04-14 2011-08-17 中山共享光电科技有限公司 检测高速高真空涡轮分子泵状态的方法
CN102425561B (zh) * 2011-12-05 2014-04-30 北京中科科仪股份有限公司 一种磁悬浮分子泵动平衡方法
CN102425563B (zh) * 2011-12-08 2014-03-12 北京中科科仪股份有限公司 同步抑制磁悬浮分子泵转子次临界振动的方法和系统
GB2551337A (en) * 2016-06-13 2017-12-20 Edwards Ltd Pump assembly, method and computer program
EP3242036B1 (de) * 2016-12-30 2020-10-28 Grundfos Holding A/S Verfahren zum erfassen eines zustandes eines pumpenaggregats
EP3557072B1 (de) * 2019-02-27 2021-02-24 Pfeiffer Vacuum Gmbh Überwachung der lagereinrichtung einer vakuumpumpe
DE102019111076A1 (de) * 2019-04-29 2020-10-29 Ebm-Papst Landshut Gmbh Vorrichtung zur Betriebsüberwachung eines Ventilators
GB2591100A (en) * 2020-01-14 2021-07-21 Edwards Ltd Vacuum pump monitoring method and apparatus
EP3808988B1 (de) * 2020-03-27 2024-01-10 Pfeiffer Vacuum Technology AG Vakuumpumpe und verfahren zum überwachen einer vakuumpumpe

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2561738B1 (fr) * 1984-03-26 1986-08-22 Europ Propulsion Procede et dispositif de reduction des vibrations des machines tournantes equipees d'une suspension magnetique active
US4764760A (en) * 1986-12-19 1988-08-16 General Electric Company Automatic gain control for machine tool monitor
JPH01152335A (ja) * 1987-12-09 1989-06-14 Fuji Electric Co Ltd ころがり軸受異常診断装置
JPH0740038B2 (ja) * 1988-11-08 1995-05-01 日産自動車株式会社 加速度検出装置
JPH02222818A (ja) * 1989-02-23 1990-09-05 Fuji Electric Co Ltd 歯車異常診断装置
JP3311484B2 (ja) * 1994-04-25 2002-08-05 三菱電機株式会社 信号伝送装置及び信号伝送方法
JPH05118289A (ja) * 1991-09-05 1993-05-14 Ebara Corp 真空ポンプの保護装置
JP3457353B2 (ja) * 1993-05-25 2003-10-14 ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社 磁気軸受装置
DE19511430A1 (de) * 1995-03-29 1996-10-02 Leybold Ag Umwälzgebläse, Vakuumpumpe oder dergleichen
JP3211615B2 (ja) * 1995-04-06 2001-09-25 日産自動車株式会社 機械作動音の異常判定方法
IT1289811B1 (it) * 1996-12-27 1998-10-16 Varian Spa Metodo ed apparato di diagnosi per pompa da vuoto.
US6222336B1 (en) * 1998-06-05 2001-04-24 Seagate Technology Llc Rotational vibration detection using spindle motor velocity sense coils
JP2000283056A (ja) * 1999-03-26 2000-10-10 Hitachi Ltd 真空ポンプ異常監視システム
US6688561B2 (en) * 2001-12-27 2004-02-10 General Electric Company Remote monitoring of grade crossing warning equipment
DE20206267U1 (de) * 2002-04-20 2003-08-28 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe
CA2493197C (en) * 2002-08-23 2008-06-03 York International Corporation System and method for detecting rotating stall in a centrifugal compressor
JP4287213B2 (ja) * 2002-09-03 2009-07-01 エドワーズ株式会社 振動抑制機能を有する磁気軸受装置、振動推定機能を有する磁気軸受装置及び該磁気軸受装置を搭載したポンプ装置
EP1533530B1 (en) * 2003-11-18 2006-04-26 VARIAN S.p.A. Vacuum pump provided with vibration damper
US20050186099A1 (en) * 2004-02-19 2005-08-25 Graeme Huntley Active vibration reduction
DE102004048866A1 (de) * 2004-10-07 2006-04-13 Leybold Vacuum Gmbh Schnelldrehende Vakuumpumpe
DE102004054004A1 (de) * 2004-11-09 2006-05-11 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem und Signalerzeugungsverfahren

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2673968C2 (ru) * 2013-04-26 2018-12-03 Зульцер Мэнэджмент Аг Способ оценки состояния износа узла гидравлической машины, узел, а также гидравлическая машина
US10444118B2 (en) 2013-04-26 2019-10-15 Sulzer Management Ag Method for assessing a wear state of a module of a turbomachine, module, and turbomachine
RU2760277C2 (ru) * 2017-03-10 2021-11-23 Ксб Се & Ко. Кгаа Способ эксплуатации циркуляционного насоса с переменной скоростью, а также циркуляционный насос для осуществления этого способа

Also Published As

Publication number Publication date
CN101495760B (zh) 2011-08-10
EP2044331B1 (de) 2011-06-15
DE102006034478A1 (de) 2008-01-31
JP2009544888A (ja) 2009-12-17
EP2044331A1 (de) 2009-04-08
WO2008012150A1 (de) 2008-01-31
US20100054957A1 (en) 2010-03-04
CN101495760A (zh) 2009-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2009106215A (ru) Способ получения показания о состоянии турбомолекулярного насоса и турбомолекулярный насос
US6234021B1 (en) Enhanced detection of vibration
US6711942B2 (en) Apparatus for determining and/or monitoring the viscosity of a medium in a container
US11536694B2 (en) Steady state fluid flow verification for sample takeoff
JP2004511771A (ja) 容器内の媒体の粘度を測定及び／又は監視する装置
US20230176000A1 (en) Rain Detection Device, Garden Appliance Having the Rain Detection Device, and Method for Sensing Rain Drops on a Surface by Means of a Rain Detection Device
JP7268131B2 (ja) ベルトセンサシステム
GB2609847A (en) Method for determining a fluid flow parameter within a vibrating tube
US20200183028A1 (en) Seismic device and safety device employing same
WO2001069182A3 (de) Vibrationssensoreinrichtung zur strömungsmessung
KR20010096540A (ko) 사인파 합성 방법 및 장치
JP2002243536A (ja) 超音波伝播時間測定方法及びガス濃度センサ
JP3234197B2 (ja) 超音波センサ及びこれを用いた対象物検出方法
JP2596081B2 (ja) ギヤノイズ測定装置
Popejoy et al. Comparison of implementations of driving electronics for ultrasonic oscillating sensors
US20120198864A1 (en) System, apparatus, and method for ice detection
RU57467U1 (ru) Акустический газоанализатор
RU2005130019A (ru) Защита от действия конденсатных мостиков
JP4083038B2 (ja) 超音波レベル計及び該レベル計を用いた液面検出方法
RU152833U1 (ru) Устройство контроля работоспособности пьезоэлектрического преобразователя
JPWO2021003346A5 (ru)
US5955855A (en) Method and system for tuning a drive to its coupled motor to minimize motor resonance and sensing device for use therein
RU2126957C1 (ru) Датчик положения уровня
JP2024012907A (ja) 漏れ検出装置
WO2023126829A1 (en) Method for controlling a centrifuge and centrifuge

Legal Events

Date Code Title Description
FA94 Acknowledgement of application withdrawn (non-payment of fees)

Effective date: 20120825