RU2007131152A - Способ производства распыляемых мишеней из литых дисилицидов тугоплавких металлов и устройство для его реализации - Google Patents
Способ производства распыляемых мишеней из литых дисилицидов тугоплавких металлов и устройство для его реализации Download PDFInfo
- Publication number
- RU2007131152A RU2007131152A RU2007131152/28A RU2007131152A RU2007131152A RU 2007131152 A RU2007131152 A RU 2007131152A RU 2007131152/28 A RU2007131152/28 A RU 2007131152/28A RU 2007131152 A RU2007131152 A RU 2007131152A RU 2007131152 A RU2007131152 A RU 2007131152A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- refractory metal
- disilicide
- ingots
- target
- manufacture
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Claims (4)
1. Способ производства составной мишени из дисилицидов тугоплавких металлов (Ti, Zr, Hf, V, Nb, Та, Cr, Mo, W, Fe, Ni, Co), заключающийся в жидкофазном синтезе компонентов (металла и кремния) методом непосредственного их взаимодействия в расплаве с использованием вакуумно-металлургических процессов, отличающийся тем, что используют измельченные монокристаллы компонентов, прошедших глубокое вакуумное рафинирование многократным переплавом, затем изготовление слитков дисилицидов тугоплавких металлов проводят с помощью плавки во взвешенном состоянии, производя затвердевание расплава в медных изложницах нужной формы.
2. Способ производства составной мишени из дисилицидов тугоплавких металлов по п.1, отличающийся тем, что слитки дисилицида тугоплавкого металла имеют эвтектическое содержание кремния, обеспечивающее получение пленок дисилицида данного металла с оптимальной структурой и составом.
3. Устройство для осуществления способа по пп.1 и 2, включающее магнетронную мишень в виде распыляемой цилиндрической или прямоугольной пластины из дисилицида тугоплавкого металла, закрепленной на медном основании, отличающееся тем, что распыляемая пластина мишени представляет из себя мозаичную конструкцию, собранную из прямоугольных слитков дисилицида тугоплавкого металла, закрепленную на медном основании ультразвуковой пайкой.
4. Устройство для осуществления способа по пп.1 и 2, отличающееся тем, что распыляемая мишень для лазерного или электронного распыления состоит из одного или нескольких слитков дисилицида тугоплавкого металла цилиндрического или прямоугольного сечения.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007131152/28A RU2356964C1 (ru) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | Способ производства распыляемых мишеней из литых дисилицидов тугоплавких металлов и устройство для его реализации |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007131152/28A RU2356964C1 (ru) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | Способ производства распыляемых мишеней из литых дисилицидов тугоплавких металлов и устройство для его реализации |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2007131152A true RU2007131152A (ru) | 2009-02-27 |
| RU2356964C1 RU2356964C1 (ru) | 2009-05-27 |
Family
ID=40529281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007131152/28A RU2356964C1 (ru) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | Способ производства распыляемых мишеней из литых дисилицидов тугоплавких металлов и устройство для его реализации |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2356964C1 (ru) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2454484C2 (ru) * | 2010-05-19 | 2012-06-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН) | Способ производства литой мишени для магнетронного распыления из сплава на основе молибдена |
| CN111041520A (zh) * | 2019-12-17 | 2020-04-21 | 宁波涂冠镀膜科技有限公司 | 一种用于催化析氢的涂层电极及其制备方法 |
-
2007
- 2007-08-16 RU RU2007131152/28A patent/RU2356964C1/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2356964C1 (ru) | 2009-05-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MY156002A (en) | Plasma method and apparatus for recovery of precious metals | |
| JP2004149914A (ja) | タンタルアモルファス合金 | |
| CN106903294B (zh) | 一种低成本非晶合金件的制备方法及低成本非晶合金件 | |
| Kabiri et al. | Comparative study on microstructure and homogeneity of NiTi shape memory alloy produced by copper boat induction melting and conventional vacuum arc melting | |
| JP2015504483A (ja) | Ｚｒ基非晶質合金 | |
| CN105420524B (zh) | 一种使用k417g及dz417g合金返回料制备k424铸造高温合金的方法 | |
| CN101629252B (zh) | 塑性块体金属玻璃内生复合材料及其制备方法 | |
| CN107012380B (zh) | 一种自蔓延燃烧合成熔铸高熵合金的制备方法 | |
| CN103556004A (zh) | 一种采用k438合金返回料制备k438合金的制备方法 | |
| JP2006124836A5 (ru) | ||
| NO20054942L (no) | Finkornet niobark oppnadd ved blokk-metallurgi | |
| CN101418423B (zh) | 一种镁基非晶合金复合材料 | |
| RU2007131152A (ru) | Способ производства распыляемых мишеней из литых дисилицидов тугоплавких металлов и устройство для его реализации | |
| TWI437114B (zh) | Manufacture of cobalt - cobalt alloy target | |
| CN108950269A (zh) | 一种控制k438母合金中杂质元素含量的冶炼工艺 | |
| CN108754277A (zh) | 一种钴铁镍钒锆高熵合金及其制备方法 | |
| CN106244946B (zh) | 一种含钼的高强塑性锆基非晶合金及制备方法 | |
| CN107779790B (zh) | 一种含锗无镍无磷大尺寸钯基非晶合金及其制备方法 | |
| Kim et al. | Fabrication of alloy nanopowders by the electrical explosion of electrodeposited wires | |
| Sanin et al. | Structural heredity of alloys produced by centrifugal SHS: Influence of remelting temperature | |
| CN101942618B (zh) | 一种镁基块体金属玻璃复合材料及其制备方法 | |
| CN101319303A (zh) | 含贵金属溅镀靶材的制作方法 | |
| RU2007119266A (ru) | Способ изготовления слитка | |
| JP2006326639A (ja) | マルエージング鋼の製造方法 | |
| RU2007132651A (ru) | Способ производства распыляемых мишеней из молибдена и устройство для его реализации |