RU2006142856A - Устройство механической развязки для монолитного дифференциального вибрационного датчика - Google Patents

Устройство механической развязки для монолитного дифференциального вибрационного датчика Download PDF

Info

Publication number
RU2006142856A
RU2006142856A RU2006142856/28A RU2006142856A RU2006142856A RU 2006142856 A RU2006142856 A RU 2006142856A RU 2006142856/28 A RU2006142856/28 A RU 2006142856/28A RU 2006142856 A RU2006142856 A RU 2006142856A RU 2006142856 A RU2006142856 A RU 2006142856A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sides
parts
frame
sensor according
refined
Prior art date
Application number
RU2006142856/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2335775C1 (ru
Inventor
ТРАОН Оливье ЛЕ (FR)
Траон Оливье Ле
Марк ПЕРНИС (FR)
Марк Пернис
Дени ЖАНИО (FR)
Дени Жанио
Бернар ЛЕКОРР (FR)
Бернар Лекорр
Серж МЮЛЛЕР (FR)
Серж Мюллер
Original Assignee
Онэра (Оффис Насьонадь Д`Этюд Э Де Решерш Аэроспасьяль) (Fr)
Онэра (Оффис Насьонадь Д`Этюд Э Де Решерш Аэроспасьяль)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Онэра (Оффис Насьонадь Д`Этюд Э Де Решерш Аэроспасьяль) (Fr), Онэра (Оффис Насьонадь Д`Этюд Э Де Решерш Аэроспасьяль) filed Critical Онэра (Оффис Насьонадь Д`Этюд Э Де Решерш Аэроспасьяль) (Fr)
Publication of RU2006142856A publication Critical patent/RU2006142856A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2335775C1 publication Critical patent/RU2335775C1/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/097Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/48Coupling means therefor
    • H03H9/50Mechanical coupling means
    • H03H9/505Mechanical coupling means for microelectro-mechanical filters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Claims (8)

1. Датчик, изготовленный из плоской пластины, содержащий два почти одинаковых вибрационных элемента, функционирущих в дифференциальном режиме с общей рабочей частотой и соединенных между собой механическим устройством, симметричным по отношению к оси, перпендикулярной пластине, содержащий рамку и две связующие перемычки, каждая из которых поддерживает вибрационный элемент, отличающийся тем, что рамка образована из последовательности массивных и утонченных частей и ее размеры выбраны с использованием теоретической модели вибрационного поведения рамки так, чтобы частота моды структурного резонанса рамки была максимально близкой к общей рабочей частоте, а каждая из связующих перемычек расположена в узле вибрации рамки на общей рабочей частоте, при этом механическое устройство не имеет плоскости симметрии, пересекаемой перпендикулярной осью.
2. Датчик по п.1, отличающийся тем, что обе утонченные части (11 и 12, 13 и 14), расположенные соответственно с той и с другой стороны от каждой из обеих связующих перемычек (71, 72) и ближайших к указанной связующей перемычке зон, имеют механическую гибкость, существенно отличающуюся одна от другой.
3. Датчик по любому из пп.1 или 2, отличающийся тем, что рамка (DM') окружает два вибрационных элемента (ТА'1, ТА'2).
4. Датчик по п.1 и 2, отличающийся тем, что рамка (DM') имеет четыре стороны (41, 42, 43, 44), соединенные в виде прямоугольника, две (43, 44) из указанных сторон расположены напротив одна к другой и соединены каждая с соответствующей связующей перемычкой (71, 72), причем каждая из сторон имеет две утонченные части (11 и 12, 13 и 14), расположенные соответственно с одной и с другой стороны от каждой из двух связующих перемычек.
5. Датчик по п.4, отличающийся тем, что утонченные части (11, 12, 13, 14) обеих сторон (43, 44) имеют величину сечения (e2), измеренную в плоскости рамки (DM'), определяемую диапазоном от четверти до половины величины сечения (e3) неутонченных частей указанных сторон.
6. Датчик по п.5, отличающийся тем, что обе утонченные части (11 и 12, 13 и 14), расположенные соответственно с одной и другой стороны каждой из двух связующих перемычек (71, 72) и наиболее близких к указанным связующим перемычкам зон, имеют длины (L1, L2), значительно отличающиеся одна от другой, причем наибольшая длина (L2) в 2-10 раз превышает другую длину (L1).
7. Датчик по п.6, отличающийся тем, что две другие стороны (41, 42) имеют утонченные части (15, 16), величина сечения (e4) которых, измеренная в плоскости рамки (DM'), составляет от четверти до половины величины сечения (e1) неутонченных частей указанных сторон.
8. Датчик по п.7, отличающийся тем, что длина (L3) утонченных частей (15, 16) двух других сторон (41, 42) составляет от половинной до двух длин (L2) наиболее длинной (12, 14) из двух утонченных частей, расположенных соответственно с одной и другой стороны каждой из двух связующих перемычек (71, 72) и наиболее близких к указанным связующим перемычкам зон.
RU2006142856/28A 2004-05-05 2005-04-21 Монолитный дифференциальный вибрационный датчик RU2335775C1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0404794A FR2869998B1 (fr) 2004-05-05 2004-05-05 Dispositif de decouplage mecanique pour capteur vibrant differentiel monolithique
FR0404794 2004-05-05

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006142856A true RU2006142856A (ru) 2008-06-10
RU2335775C1 RU2335775C1 (ru) 2008-10-10

Family

ID=34945874

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006142856/28A RU2335775C1 (ru) 2004-05-05 2005-04-21 Монолитный дифференциальный вибрационный датчик

Country Status (11)

Country Link
US (1) US7448268B2 (ru)
EP (1) EP1800140B1 (ru)
JP (1) JP4661865B2 (ru)
KR (1) KR101143124B1 (ru)
CA (1) CA2565289C (ru)
FR (1) FR2869998B1 (ru)
IL (1) IL179045A0 (ru)
NO (1) NO338952B1 (ru)
RU (1) RU2335775C1 (ru)
UA (1) UA90671C2 (ru)
WO (1) WO2005121811A1 (ru)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1394612B1 (it) * 2009-07-07 2012-07-05 Univ Degli Studi Salerno Pendolo ripiegato a bassa frequenza con elevato fattore di qualita' meccanico, e sensore sismico utilizzante tale pendolo ripiegato.
FR2970776B1 (fr) * 2011-01-24 2014-05-02 Onera (Off Nat Aerospatiale) Dispositif de mesure de la temperature d'une poutre vibrante et application a l'amelioration de la precision de mesure d'un capteur a poutre vibrante
ITRM20110220A1 (it) * 2011-04-28 2012-10-29 Univ Degli Studi Salerno Pendolo ripiegato con bassa frequenza di risonanza ed alto fattore di qualità meccanico in configurazione verticale, e sensore sismico verticale utilizzante tale pendolo ripiegato.
US9315724B2 (en) 2011-06-14 2016-04-19 Basf Se Metal complexes comprising azabenzimidazole carbene ligands and the use thereof in OLEDs
CN104374953A (zh) * 2014-11-25 2015-02-25 东南大学 一种分体式差分硅微谐振式加速度计
US10545167B2 (en) * 2015-10-20 2020-01-28 Analog Devices, Inc. Multiple-axis resonant accelerometers
FR3126777B1 (fr) * 2021-09-09 2023-09-08 Commissariat Energie Atomique Capteur microélectromécanique résonant a fonctionnement amelioré

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH578803A5 (ru) * 1974-05-14 1976-08-13 Suisse Horlogerie
US5396797A (en) * 1991-02-08 1995-03-14 Alliedsignal Inc. Triaxial angular rate and acceleration sensor
FR2739190B1 (fr) * 1995-09-26 1997-11-28 Onera (Off Nat Aerospatiale) Transducteur monolithique d'acceleration
US5962786A (en) * 1995-09-26 1999-10-05 Onera (Office National D'eudes Et De Recheres Aerospatiales) Monolithic accelerometric transducer
JPH10267663A (ja) * 1997-03-28 1998-10-09 Mitsubishi Electric Corp 角速度センサ
JP2004077351A (ja) 2002-08-21 2004-03-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ

Also Published As

Publication number Publication date
US7448268B2 (en) 2008-11-11
JP2007536544A (ja) 2007-12-13
EP1800140A1 (fr) 2007-06-27
KR20070012724A (ko) 2007-01-26
EP1800140B1 (fr) 2014-01-08
FR2869998A1 (fr) 2005-11-11
NO20065596L (no) 2007-02-05
WO2005121811B1 (fr) 2006-02-02
US20070163347A1 (en) 2007-07-19
WO2005121811A1 (fr) 2005-12-22
FR2869998B1 (fr) 2006-07-07
JP4661865B2 (ja) 2011-03-30
KR101143124B1 (ko) 2012-05-08
UA90671C2 (ru) 2010-05-25
IL179045A0 (en) 2007-03-08
RU2335775C1 (ru) 2008-10-10
CA2565289A1 (fr) 2005-12-22
NO338952B1 (no) 2016-11-07
CA2565289C (fr) 2011-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2006142856A (ru) Устройство механической развязки для монолитного дифференциального вибрационного датчика
EP2012087B1 (en) Vibration gyro
WO2007046869A3 (en) In-plane mechanically coupled microelectromechanical tuning fork resonators
KR20200118467A (ko) 결합된 마이크로전자기계 공진기
FI20011678A (fi) Pietsosähköisiä resonaattoreita käsittävä suodinrakenne
CN103036527B (zh) 一种方块式微机械谐振器
RU2005114073A (ru) Блок для несъемной опалубки
DE69921264T2 (de) Drehgeschwindigkeitssensor
JP7453147B2 (ja) Mems共振器の構成
JPH0792017A (ja) 捩れ振動子
CN107834991A (zh) 一种石英谐振敏感芯片
TWI292636B (ru)
WO2014125178A9 (fr) Structure plane de résonateur mécanique découplé par des vibrations de flexion et d'extension-compression
RU2008137986A (ru) Качающийся стол
CN210658037U (zh) 一种现浇箱梁内箱室过人孔洞的支撑结构
JPH0533492A (ja) 型枠装置
JPH03192911A (ja) 短辺水晶振動子
RU2002105070A (ru) Резонатор вибрационного датчика угловых скоростей
JPH03247861A (ja) ラチス梁基礎の型枠
JPS593612Y2 (ja) 音叉支持構造
JP2021075945A (ja) 基礎梁接合構造
KR20240113614A (ko) 진동 시스템들을 결합하기 위한 결합 장치
JPH0310506A (ja) 短辺水晶振動子
ATE520195T1 (de) Ein oszillator und eine integrierte schaltung
JPH03259751A (ja) 振動ビーム加速度計