RU2006142856A - Устройство механической развязки для монолитного дифференциального вибрационного датчика - Google Patents
Устройство механической развязки для монолитного дифференциального вибрационного датчика Download PDFInfo
- Publication number
- RU2006142856A RU2006142856A RU2006142856/28A RU2006142856A RU2006142856A RU 2006142856 A RU2006142856 A RU 2006142856A RU 2006142856/28 A RU2006142856/28 A RU 2006142856/28A RU 2006142856 A RU2006142856 A RU 2006142856A RU 2006142856 A RU2006142856 A RU 2006142856A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sides
- parts
- frame
- sensor according
- refined
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/48—Coupling means therefor
- H03H9/50—Mechanical coupling means
- H03H9/505—Mechanical coupling means for microelectro-mechanical filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Claims (8)
1. Датчик, изготовленный из плоской пластины, содержащий два почти одинаковых вибрационных элемента, функционирущих в дифференциальном режиме с общей рабочей частотой и соединенных между собой механическим устройством, симметричным по отношению к оси, перпендикулярной пластине, содержащий рамку и две связующие перемычки, каждая из которых поддерживает вибрационный элемент, отличающийся тем, что рамка образована из последовательности массивных и утонченных частей и ее размеры выбраны с использованием теоретической модели вибрационного поведения рамки так, чтобы частота моды структурного резонанса рамки была максимально близкой к общей рабочей частоте, а каждая из связующих перемычек расположена в узле вибрации рамки на общей рабочей частоте, при этом механическое устройство не имеет плоскости симметрии, пересекаемой перпендикулярной осью.
2. Датчик по п.1, отличающийся тем, что обе утонченные части (11 и 12, 13 и 14), расположенные соответственно с той и с другой стороны от каждой из обеих связующих перемычек (71, 72) и ближайших к указанной связующей перемычке зон, имеют механическую гибкость, существенно отличающуюся одна от другой.
3. Датчик по любому из пп.1 или 2, отличающийся тем, что рамка (DM') окружает два вибрационных элемента (ТА'1, ТА'2).
4. Датчик по п.1 и 2, отличающийся тем, что рамка (DM') имеет четыре стороны (41, 42, 43, 44), соединенные в виде прямоугольника, две (43, 44) из указанных сторон расположены напротив одна к другой и соединены каждая с соответствующей связующей перемычкой (71, 72), причем каждая из сторон имеет две утонченные части (11 и 12, 13 и 14), расположенные соответственно с одной и с другой стороны от каждой из двух связующих перемычек.
5. Датчик по п.4, отличающийся тем, что утонченные части (11, 12, 13, 14) обеих сторон (43, 44) имеют величину сечения (e2), измеренную в плоскости рамки (DM'), определяемую диапазоном от четверти до половины величины сечения (e3) неутонченных частей указанных сторон.
6. Датчик по п.5, отличающийся тем, что обе утонченные части (11 и 12, 13 и 14), расположенные соответственно с одной и другой стороны каждой из двух связующих перемычек (71, 72) и наиболее близких к указанным связующим перемычкам зон, имеют длины (L1, L2), значительно отличающиеся одна от другой, причем наибольшая длина (L2) в 2-10 раз превышает другую длину (L1).
7. Датчик по п.6, отличающийся тем, что две другие стороны (41, 42) имеют утонченные части (15, 16), величина сечения (e4) которых, измеренная в плоскости рамки (DM'), составляет от четверти до половины величины сечения (e1) неутонченных частей указанных сторон.
8. Датчик по п.7, отличающийся тем, что длина (L3) утонченных частей (15, 16) двух других сторон (41, 42) составляет от половинной до двух длин (L2) наиболее длинной (12, 14) из двух утонченных частей, расположенных соответственно с одной и другой стороны каждой из двух связующих перемычек (71, 72) и наиболее близких к указанным связующим перемычкам зон.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0404794A FR2869998B1 (fr) | 2004-05-05 | 2004-05-05 | Dispositif de decouplage mecanique pour capteur vibrant differentiel monolithique |
FR0404794 | 2004-05-05 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2006142856A true RU2006142856A (ru) | 2008-06-10 |
RU2335775C1 RU2335775C1 (ru) | 2008-10-10 |
Family
ID=34945874
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2006142856/28A RU2335775C1 (ru) | 2004-05-05 | 2005-04-21 | Монолитный дифференциальный вибрационный датчик |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7448268B2 (ru) |
EP (1) | EP1800140B1 (ru) |
JP (1) | JP4661865B2 (ru) |
KR (1) | KR101143124B1 (ru) |
CA (1) | CA2565289C (ru) |
FR (1) | FR2869998B1 (ru) |
IL (1) | IL179045A0 (ru) |
NO (1) | NO338952B1 (ru) |
RU (1) | RU2335775C1 (ru) |
UA (1) | UA90671C2 (ru) |
WO (1) | WO2005121811A1 (ru) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1394612B1 (it) * | 2009-07-07 | 2012-07-05 | Univ Degli Studi Salerno | Pendolo ripiegato a bassa frequenza con elevato fattore di qualita' meccanico, e sensore sismico utilizzante tale pendolo ripiegato. |
FR2970776B1 (fr) * | 2011-01-24 | 2014-05-02 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Dispositif de mesure de la temperature d'une poutre vibrante et application a l'amelioration de la precision de mesure d'un capteur a poutre vibrante |
ITRM20110220A1 (it) * | 2011-04-28 | 2012-10-29 | Univ Degli Studi Salerno | Pendolo ripiegato con bassa frequenza di risonanza ed alto fattore di qualità meccanico in configurazione verticale, e sensore sismico verticale utilizzante tale pendolo ripiegato. |
US9315724B2 (en) | 2011-06-14 | 2016-04-19 | Basf Se | Metal complexes comprising azabenzimidazole carbene ligands and the use thereof in OLEDs |
CN104374953A (zh) * | 2014-11-25 | 2015-02-25 | 东南大学 | 一种分体式差分硅微谐振式加速度计 |
US10545167B2 (en) * | 2015-10-20 | 2020-01-28 | Analog Devices, Inc. | Multiple-axis resonant accelerometers |
FR3126777B1 (fr) * | 2021-09-09 | 2023-09-08 | Commissariat Energie Atomique | Capteur microélectromécanique résonant a fonctionnement amelioré |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH578803A5 (ru) * | 1974-05-14 | 1976-08-13 | Suisse Horlogerie | |
US5396797A (en) * | 1991-02-08 | 1995-03-14 | Alliedsignal Inc. | Triaxial angular rate and acceleration sensor |
FR2739190B1 (fr) * | 1995-09-26 | 1997-11-28 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Transducteur monolithique d'acceleration |
US5962786A (en) * | 1995-09-26 | 1999-10-05 | Onera (Office National D'eudes Et De Recheres Aerospatiales) | Monolithic accelerometric transducer |
JPH10267663A (ja) * | 1997-03-28 | 1998-10-09 | Mitsubishi Electric Corp | 角速度センサ |
JP2004077351A (ja) | 2002-08-21 | 2004-03-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
-
2004
- 2004-05-05 FR FR0404794A patent/FR2869998B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-04-21 US US11/568,644 patent/US7448268B2/en active Active
- 2005-04-21 KR KR1020067024663A patent/KR101143124B1/ko active IP Right Grant
- 2005-04-21 RU RU2006142856/28A patent/RU2335775C1/ru active
- 2005-04-21 WO PCT/FR2005/000988 patent/WO2005121811A1/fr active Application Filing
- 2005-04-21 JP JP2007512248A patent/JP4661865B2/ja active Active
- 2005-04-21 EP EP05760039.7A patent/EP1800140B1/fr active Active
- 2005-04-21 UA UAA200611614A patent/UA90671C2/ru unknown
- 2005-04-21 CA CA2565289A patent/CA2565289C/fr active Active
-
2006
- 2006-11-05 IL IL179045A patent/IL179045A0/en active IP Right Grant
- 2006-12-05 NO NO20065596A patent/NO338952B1/no unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7448268B2 (en) | 2008-11-11 |
JP2007536544A (ja) | 2007-12-13 |
EP1800140A1 (fr) | 2007-06-27 |
KR20070012724A (ko) | 2007-01-26 |
EP1800140B1 (fr) | 2014-01-08 |
FR2869998A1 (fr) | 2005-11-11 |
NO20065596L (no) | 2007-02-05 |
WO2005121811B1 (fr) | 2006-02-02 |
US20070163347A1 (en) | 2007-07-19 |
WO2005121811A1 (fr) | 2005-12-22 |
FR2869998B1 (fr) | 2006-07-07 |
JP4661865B2 (ja) | 2011-03-30 |
KR101143124B1 (ko) | 2012-05-08 |
UA90671C2 (ru) | 2010-05-25 |
IL179045A0 (en) | 2007-03-08 |
RU2335775C1 (ru) | 2008-10-10 |
CA2565289A1 (fr) | 2005-12-22 |
NO338952B1 (no) | 2016-11-07 |
CA2565289C (fr) | 2011-06-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2006142856A (ru) | Устройство механической развязки для монолитного дифференциального вибрационного датчика | |
EP2012087B1 (en) | Vibration gyro | |
WO2007046869A3 (en) | In-plane mechanically coupled microelectromechanical tuning fork resonators | |
KR20200118467A (ko) | 결합된 마이크로전자기계 공진기 | |
FI20011678A (fi) | Pietsosähköisiä resonaattoreita käsittävä suodinrakenne | |
CN103036527B (zh) | 一种方块式微机械谐振器 | |
RU2005114073A (ru) | Блок для несъемной опалубки | |
DE69921264T2 (de) | Drehgeschwindigkeitssensor | |
JP7453147B2 (ja) | Mems共振器の構成 | |
JPH0792017A (ja) | 捩れ振動子 | |
CN107834991A (zh) | 一种石英谐振敏感芯片 | |
TWI292636B (ru) | ||
WO2014125178A9 (fr) | Structure plane de résonateur mécanique découplé par des vibrations de flexion et d'extension-compression | |
RU2008137986A (ru) | Качающийся стол | |
CN210658037U (zh) | 一种现浇箱梁内箱室过人孔洞的支撑结构 | |
JPH0533492A (ja) | 型枠装置 | |
JPH03192911A (ja) | 短辺水晶振動子 | |
RU2002105070A (ru) | Резонатор вибрационного датчика угловых скоростей | |
JPH03247861A (ja) | ラチス梁基礎の型枠 | |
JPS593612Y2 (ja) | 音叉支持構造 | |
JP2021075945A (ja) | 基礎梁接合構造 | |
KR20240113614A (ko) | 진동 시스템들을 결합하기 위한 결합 장치 | |
JPH0310506A (ja) | 短辺水晶振動子 | |
ATE520195T1 (de) | Ein oszillator und eine integrierte schaltung | |
JPH03259751A (ja) | 振動ビーム加速度計 |