JPH03259751A - 振動ビーム加速度計 - Google Patents
振動ビーム加速度計Info
- Publication number
- JPH03259751A JPH03259751A JP2056726A JP5672690A JPH03259751A JP H03259751 A JPH03259751 A JP H03259751A JP 2056726 A JP2056726 A JP 2056726A JP 5672690 A JP5672690 A JP 5672690A JP H03259751 A JPH03259751 A JP H03259751A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- beams
- input axis
- vibration beams
- acceleration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000003864 humus Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、振動ヒーム加速度計に関し、もう少し詳し
くいうと、振動ビーム力変換器によって拘束されたプル
ーフマスを備えた振動ビーム加速度計に関するものであ
る。
くいうと、振動ビーム力変換器によって拘束されたプル
ーフマスを備えた振動ビーム加速度計に関するものであ
る。
［従来の技術］
従来、この種の振動ビーム加速度計として、特開昭５９
−１２６２６１号公報および特開昭５９−１３６６５９
号公報に記載されたものがある。すなわち、第２図に示
すように、支持体（１）に弾性ヒンジ（２）を介して２
つのプルーフマス（３ａ）、（３１１）が互いに逆向き
に並設、支持されている。一端を支持体（１）に支持さ
れた２つの振動ヒーム（４−ａ）、 （４１３）の他端
がそれぞれプルーフマス（３ａ）、 （３ｂ）に連結さ
れている。
−１２６２６１号公報および特開昭５９−１３６６５９
号公報に記載されたものがある。すなわち、第２図に示
すように、支持体（１）に弾性ヒンジ（２）を介して２
つのプルーフマス（３ａ）、（３１１）が互いに逆向き
に並設、支持されている。一端を支持体（１）に支持さ
れた２つの振動ヒーム（４−ａ）、 （４１３）の他端
がそれぞれプルーフマス（３ａ）、 （３ｂ）に連結さ
れている。
以上の構成により、プルーフマス（３ａ）、 （３１１
）は矢印（５）で示す入力軸に沿う加速度に応答して振
動し、振動ビーム（４ａ）、 （４ｂ）にそれぞれ引張
り力と圧縮力を互いに逆相て交互に与えることにより、
加速度を検出する。
）は矢印（５）で示す入力軸に沿う加速度に応答して振
動し、振動ビーム（４ａ）、 （４ｂ）にそれぞれ引張
り力と圧縮力を互いに逆相て交互に与えることにより、
加速度を検出する。
上記従来の振動ビーム加速度計は、温度による出力の変
動や、高次の項のエラー等を減少させ、精度の向上を図
って、各２個づつのプルーフマス（３ａ）、 （３１１
）および振動ビーム（４ａ）、 （４ｂ）からなる２重
プルーフマス構造となっていた。
動や、高次の項のエラー等を減少させ、精度の向上を図
って、各２個づつのプルーフマス（３ａ）、 （３１１
）および振動ビーム（４ａ）、 （４ｂ）からなる２重
プルーフマス構造となっていた。
［発明が解決しようとする課題］
以上のような従来の振動ビーム加速度計は、ブルー・フ
マスおよび振動ビームを各２個づつ備えており、構造が
複雑であることから、小形化、低コスト化の妨げとなっ
ていた。
マスおよび振動ビームを各２個づつ備えており、構造が
複雑であることから、小形化、低コスト化の妨げとなっ
ていた。
この発明は」二足の課題を解決するためになされたもの
で、小形化、低コスト化を達成することができる、構造
簡単な振動ビーム加速度計を得ることを目的とする。
で、小形化、低コスト化を達成することができる、構造
簡単な振動ビーム加速度計を得ることを目的とする。
［課題を解決するだめの手段］
この発明に係る振動ビーム加速度計は、プルーフマスを
１個とし、その両側にそれぞれ振動ビームが取付けられ
ている。
１個とし、その両側にそれぞれ振動ビームが取付けられ
ている。
［作 用コ
この発明においては、入力軸方向に加速度が印加され、
プルーフマスがこれに応動すると、２′つの振動ビーｌ
＼に互いに逆相で引張力と圧縮力が加えられる。
プルーフマスがこれに応動すると、２′つの振動ビーｌ
＼に互いに逆相で引張力と圧縮力が加えられる。
［実施例］
第１図はこの発明の一実施例を示し、支持体（１）に弾
性ヒンジ（２）を介して単一のプルーフマス（３）が入
力軸（５）に直交して支持されており、一端を支持体（
１）にそれぞれ支持された２個の振動ビーム（４ａ＞、
（４１１）それぞれの他端がプルーフマス（３）の両
側に連結されている。振動ビームの構成としては特表昭
６１−５０２６３６号公報に記載のものでもよい。
性ヒンジ（２）を介して単一のプルーフマス（３）が入
力軸（５）に直交して支持されており、一端を支持体（
１）にそれぞれ支持された２個の振動ビーム（４ａ＞、
（４１１）それぞれの他端がプルーフマス（３）の両
側に連結されている。振動ビームの構成としては特表昭
６１−５０２６３６号公報に記載のものでもよい。
振動し一ノ、（４ａ） 、 （４ｂ）は圧電素子、例え
ば水晶からなるもので、入力軸（５）と平行に配置され
、入力軸（５）方向の力の関数で表される共振振動数を
有している。また、プルーフマス（３）は、振り子機能
を有し、入力軸（５）方向に印加される加速度を力に変
換して、入力軸（５）方向の圧縮力、引張力として振動
ビーム（４ａ）、 （４１））に伝える役割を果たす。
ば水晶からなるもので、入力軸（５）と平行に配置され
、入力軸（５）方向の力の関数で表される共振振動数を
有している。また、プルーフマス（３）は、振り子機能
を有し、入力軸（５）方向に印加される加速度を力に変
換して、入力軸（５）方向の圧縮力、引張力として振動
ビーム（４ａ）、 （４１））に伝える役割を果たす。
以上の構成により、いま、入力軸（５）方向に、ある加
速度が印加されると、振動ビーム（４ａ）（４１＋ ）
の一方には圧縮力、他方には引張力がそれぞれ加わる。
速度が印加されると、振動ビーム（４ａ）（４１＋ ）
の一方には圧縮力、他方には引張力がそれぞれ加わる。
圧縮力が加えられた振動ビームの共振振動数は低くなり
、引張力が加えられた振動ビームの共振振動数は逆に高
くなる。この対称１対の振動ビーム（４ａ）、 （４１
１＞の共振振動数をそれぞれ測定して演算することによ
り、印加された加速度を求めることができる。したがっ
て、２個の振動ビ−ム（４ａ）、 （４ｂ）を用いてい
るので、温度変化による出力変動や高次の項のエラーを
極小とすることができる。
、引張力が加えられた振動ビームの共振振動数は逆に高
くなる。この対称１対の振動ビーム（４ａ）、 （４１
１＞の共振振動数をそれぞれ測定して演算することによ
り、印加された加速度を求めることができる。したがっ
て、２個の振動ビ−ム（４ａ）、 （４ｂ）を用いてい
るので、温度変化による出力変動や高次の項のエラーを
極小とすることができる。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、この発明は、プルーフ
マス１個と振動ビーム２個との組合わせによるので、小
形化、低コス１〜化を達成することができ、しかも、高
い測定精度が得られるという効果がある。
マス１個と振動ビーム２個との組合わせによるので、小
形化、低コス１〜化を達成することができ、しかも、高
い測定精度が得られるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例の正断面図、第２図は従来
の振動ビーム加速度計の正断面図である。 （１）・・・支持体、（２）・・弾性ヒンジ、（３）・
・プルーフマス、（４ａ）、 ＜旧】）・・振動ビーム
、（５）・入力軸。 ’ｌ＋０
の振動ビーム加速度計の正断面図である。 （１）・・・支持体、（２）・・弾性ヒンジ、（３）・
・プルーフマス、（４ａ）、 ＜旧】）・・振動ビーム
、（５）・入力軸。 ’ｌ＋０
Claims (1)
- 支持体と、加速度に応答するように前記支持体に弾性ヒ
ンジを介して支持されている単一のプルーフマスと、一
端部が前記プルーフマスの両側にそれぞれ連結され他端
部が前記支持体に支持されている対称一対の振動ビーム
とを備えてなる振動ビーム加速度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2056726A JPH03259751A (ja) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | 振動ビーム加速度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2056726A JPH03259751A (ja) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | 振動ビーム加速度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03259751A true JPH03259751A (ja) | 1991-11-19 |
Family
ID=13035503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2056726A Pending JPH03259751A (ja) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | 振動ビーム加速度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03259751A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012078109A1 (en) * | 2010-12-08 | 2012-06-14 | Microfine Materials Technologies Pte Ltd | High-performance bending accelerometer |
-
1990
- 1990-03-09 JP JP2056726A patent/JPH03259751A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012078109A1 (en) * | 2010-12-08 | 2012-06-14 | Microfine Materials Technologies Pte Ltd | High-performance bending accelerometer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7802475B2 (en) | Acceleration sensor | |
| US5005413A (en) | Accelerometer with coplanar push-pull force transducers | |
| JP2009042240A (ja) | 加速度センサ | |
| JP5375624B2 (ja) | 加速度センサー、及び加速度検出装置 | |
| US8225662B2 (en) | Acceleration sensing device | |
| CN104820113B (zh) | 一种集成温度敏感单元的石英双梁力频谐振器 | |
| US8939027B2 (en) | Acceleration sensor | |
| KR20030097874A (ko) | 가속도 측정기 스트레인 경감 구조 | |
| JPS62232528A (ja) | 振動ビ−ム形力変換器 | |
| JP2008286521A (ja) | 回転速度検知ユニット、及び回転速度センサ | |
| JP3072354B2 (ja) | 振動子型加速度計 | |
| JPS63302611A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH04363670A (ja) | 振動子型加速度計 | |
| JP2011191091A (ja) | 音叉型振動片、振動子およびセンサー装置 | |
| WO2001051934A1 (en) | Temperature compensated oscillating accelerometer with force multiplier | |
| JP2001194155A (ja) | 運動センサ | |
| JPH03259751A (ja) | 振動ビーム加速度計 | |
| JP2741620B2 (ja) | 振動子の支持構造 | |
| JPH10267663A (ja) | 角速度センサ | |
| JPS5897610A (ja) | 捩り−周波数変換器 | |
| JP2008175578A (ja) | 圧電振動ジャイロ用振動子 | |
| KR100210707B1 (ko) | 진동 자이로스코프 | |
| JP2008076075A (ja) | 絶対圧センサ | |
| JP3139212B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JP3049305B2 (ja) | 振動子形加速度計 |