RU2005136792A - Способ получения сверхтвердых покрытий - Google Patents

Claims (6)

1. Способ получения сверхтвердых покрытий, включающий в себя предварительную подготовку изделия путем обработки поверхности в вакуумной камере ускоренными ионами, нанесение на обработанную поверхность слоя материала методом электродугового вакуумного распыления графитового катода из катодного пятна с получением углеродного алмазоподобного покрытия, отличающийся тем, что предварительную обработку поверхности изделия проводят в вакуумной камере ионами аргона с энергией до 1000 эВ и при давлении газа аргона (2-6)·10² Па, затем с помощью электродугового испарителя с сепарацией плазменного потока наносят подслой на основе металлов, входящих в группу Ti, Cr, Zr, далее наносят композиционный слой металл- углерод тем же методом, что предыдущий слой, после чего на изделие наносят алмазоподобную пленку с помощью генератора углеродной плазмы при импульсном токе 3-5 кА, причем длительность разряда составляет 0,2-0,5 мс а длительность паузы не менее 10 мс, далее формируют защитный подслой из совмещенных атомно-молекулярных потоков из металлов, входящих в группу Al, Ti, Si, Zr и углерода с изменением массовой % доли металла от 0 до 8, а завершают процесс нанесением на изделие чистого металлического слоя.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что подслой наносят толщиной 0,04-0,06 мкм.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что композиционный слой наносят толщиной до 0,1 мкм.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что алмазоподобную пленку наносят толщиной 0,10 мкм.

5. Способ по п.1, отличающийся тем, что защитный подслой выполняют толщиной 0,020-0,025 мкм.

6. Способ по п.1, отличающий тем, что металлический слой выполняют толщиной до 0,1 мкм.