RU2005129911A - Способ и устройство для угловой интерферометрической модуляции - Google Patents

Способ и устройство для угловой интерферометрической модуляции Download PDF

Info

Publication number
RU2005129911A
RU2005129911A RU2005129911/28A RU2005129911A RU2005129911A RU 2005129911 A RU2005129911 A RU 2005129911A RU 2005129911/28 A RU2005129911/28 A RU 2005129911/28A RU 2005129911 A RU2005129911 A RU 2005129911A RU 2005129911 A RU2005129911 A RU 2005129911A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
display
light
reflective
reflective element
substrate
Prior art date
Application number
RU2005129911/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Уилль м Дж. КАММИНГЗ (US)
Уилльям Дж. КАММИНГЗ
Original Assignee
АйДиСи, ЭлЭлСи (US)
АйДиСи, ЭлЭлСи
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by АйДиСи, ЭлЭлСи (US), АйДиСи, ЭлЭлСи filed Critical АйДиСи, ЭлЭлСи (US)
Publication of RU2005129911A publication Critical patent/RU2005129911A/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/12—Reflex reflectors
    • G02B5/122—Reflex reflectors cube corner, trihedral or triple reflector type
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/12—Reflex reflectors
    • G02B5/122—Reflex reflectors cube corner, trihedral or triple reflector type
    • G02B5/124—Reflex reflectors cube corner, trihedral or triple reflector type plural reflecting elements forming part of a unitary plate or sheet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y80/00—Products made by additive manufacturing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Claims (53)

1. Дисплей, содержащий по существу прозрачную подложку, содержащую, по меньшей мере, первую по существу плоскую поверхность и вторую по существу плоскую поверхность, причем вторая поверхность расположена под первым ненулевым углом относительно первой поверхности; по меньшей мере, первый отражающий элемент, расположенный поверх указанной первой поверхности, причем указанный первый отражающий элемент имеет первую отражающую способность, которая изменяется в ответ на первый сигнал; и по меньшей мере, второй отражающий элемент, расположенный поверх указанной второй поверхности.
2. Дисплей по п.1, в котором второй отражающий элемент содержит отражающий слой, расположенный поверх подложки.
3. Дисплей по п.1, в котором второй отражающий элемент имеет вторую отражающую способность, которая изменяется в ответ на второй сигнал.
4. Дисплей по п.3, в котором первый отражающий элемент является по существу идентичным второму отражающему элементу.
5. Дисплей по п.1, в котором первый ненулевой угол составляет приблизительно 90°.
6. Дисплей по п.1, в котором подложка содержит третью по существу плоскую поверхность, расположенную под вторым ненулевым углом к первой поверхности, причем указанная третья поверхность расположена под третьим ненулевым углом ко второй поверхности.
7. Дисплей по п.6, дополнительно содержащий, по меньшей мере, третий отражающий элемент, расположенный поверх третьей поверхности подложки.
8. Дисплей по п.7, в котором второй отражающий элемент содержит отражающий слой, расположенный поверх второй поверхности, и в котором третий отражающий элемент содержит отражающий слой, расположенный поверх третьей поверхности.
9. Дисплей по п.7, в котором второй отражающий элемент имеет вторую отражающую способность, которая изменяется в ответ на второй сигнал; и третий отражающий элемент имеет третью отражающую способность, которая изменяется в ответ на третий сигнал.
10. Дисплей по п.9, в котором первый отражающий элемент является по существу идентичным второму и третьему отражающим элементам.
11. Дисплей по п.1, в котором первый отражающий элемент содержит отражающий слой, выполненный с возможностью перемещения между, по меньшей мере, первым положением и вторым положением; и частично отражающий слой, расположенный между указанным перемещаемым отражающим слоем и первой поверхностью.
12. Дисплей по п.11, в котором первая отражающая способность первого отражающего слоя является отражающей способностью в области длин волн, причем область длин волн изменяется в ответ на первый сигнал.
13. Дисплей по п.12, в котором первый отражающий элемент является отражающим белый свет, если перемещаемый отражающий слой первого отражающего элемента находится в первом положении.
14. Дисплей по п.1, дополнительно содержащий процессор, электрически соединенный, по меньшей мере, либо с указанным первым отражающим элементом, либо с указанным вторым отражающим элементом, причем указанный процессор выполнен с возможностью обработки данных изображения; и устройство памяти, электрически соединенное с указанным процессором.
15. Дисплей по п.14, дополнительно содержащий схему возбуждения, выполненную с возможностью передачи, по меньшей мере, одного сигнала в, по меньшей мере, либо указанный первый отражающий элемент, либо указанный второй отражающий элемент.
16. Дисплей по п.15, дополнительно содержащий контроллер, выполненный с возможностью передачи, по меньшей мере, части указанных данных изображения в указанную схему возбуждения.
17. Дисплей по п.14, дополнительно содержащий модуль источника изображения, выполненный с возможностью передачи указанных данных изображения в указанный процессор.
18. Дисплей по п.17, в котором указанный модуль источника изображения содержит, по меньшей мере, один из приемника, приемопередатчика и передатчика.
19. Дисплей по п.14, дополнительно содержащий устройство ввода, выполненное с возможностью приема входных данных и передачи указанных входных данных указанному процессору.
20. Дисплей, содержащий средство для, по существу, пропускания света; первое средство для отражения света, причем отражающая способность первого отражающего средства изменяется в ответ на первый сигнал, и свет, падающий под прямым углом на пропускающее средство, отражается под ненулевым углом относительно пропускающего средства; и второе средство для отражения света.
21. Дисплей по п.20, в котором средство для пропускания света содержит по существу прозрачную подложку, содержащую, по меньшей мере, первую по существу плоскую поверхность и вторую по существу плоскую поверхность, причем вторая поверхность расположена под первым ненулевым углом относительно первой поверхности.
22. Дисплей по п.20, в котором первое отражающее средство содержит первый отражающий элемент, имеющий отражающую способность, которая изменяется в ответ на первый сигнал.
23. Дисплей по п.20, в котором второе отражающее средство содержит отражающий слой.
24. Дисплей по п.20, в котором второе отражающее средство содержит отражающий слой, расположенный поверх подложки.
25. Дисплей по п.20, в котором первое отражающее средство содержит средство для модуляции света.
26. Дисплей по п.25, в котором модулирующее свет средство содержит интерферометрический световой модулятор.
27. Дисплей по п.20, в котором первое и второе отражающие средства являются по существу идентичными.
28. Способ отображения цвета, содержащий этапы, на которых модулируют свет на первой по существу плоской поверхности, причем первая поверхность содержит первый оптический элемент, выполненный с возможностью модуляции света; отражают свет в первой области длин волн от первой поверхности в направлении второй по существу плоской поверхности; и отражают свет в направлении зрителя.
29. Способ по п.28, в котором модуляция света содержит интерферометрическую модуляцию.
30. Способ по п.28, в котором отражение света в направлении зрителя содержит отражение света от второй поверхности в сторону зрителя.
31. Способ по п.30, в котором вторая поверхность содержит отражающий слой.
32. Способ по п.30, в котором отражение света от второй поверхности содержит отражение света во второй области длин волн.
33. Способ по п.32, в котором первая область длин волн является по существу совпадающей со второй областью длин волн.
34. Способ по п.28, в котором отражение света в направлении зрителя содержит отражение света от второй поверхности к третьей по существу плоской поверхности; и отражение света от третьей поверхности в направлении зрителя.
35. Способ по п.34, в котором отражение света от третьей поверхности содержит отражение света во второй области длин волн.
36. Способ по п.35, в котором вторая область длин волн является по существу совпадающей с первой областью длин волн.
37. Способ по п.28, в котором отражение света в направлении зрителя содержит отражение света во второй области длин волн света от второй поверхности в направлении третьей по существу плоской поверхности; и отражение света в третьей области длин волн света от третьей поверхности в направлении зрителя.
38. Способ по п.37, в котором третья область длин волн отличается от первой и второй области длин волн.
39. Способ по п.37, дополнительно содержащий этап, на котором отражают свет в четвертой области длин волн от первой поверхности, причем четвертая область длин волн отличается от первой области длин волн.
40. Способ производства устройства отображения, содержащий этапы, на которых формируют первую и вторую по существу плоские поверхности поверх одной или нескольких подложек, причем первая и вторая поверхности расположены под ненулевым углом относительно друг друга; формируют первый электрод поверх первой поверхности; осаждают диэлектрический слой поверх первого электрода; осаждают жертвенный слой поверх диэлектрического слоя; формируют гибкий слой поверх жертвенного слоя; удаляют жертвенный слой для формирования интерферометрической полости между гибким слоем и диэлектрическим слоем, причем гибкий слой является подвижным относительно диэлектрического в ответ на первый сигнал; и формируют отражающий элемент, расположенный поверх второй поверхности.
41. Способ по п.40, дополнительно содержащий этапы, на которых удаляют часть жертвенного слоя до формирования гибкого слоя для формирования полостей в жертвенном слое; и формируют поддерживающие структуры в полостях.
42. Способ по п.40, в котором формирование гибкого слоя содержит формирование второго электрода.
43. Способ по п.40, дополнительно содержащий этапы, на которых формируют второй электрод поверх, по меньшей мере, части жертвенного слоя; и формируют механический слой поверх второго электрода, причем механический слой находится в контакте с, по меньшей мере, частью второго электрода.
44. Способ по п.40, дополнительно содержащий этапы, на которых формируют третью по существу плоскую поверхность, расположенную под ненулевым углом относительно первой и второй поверхностей; и формируют второй отражающий элемент поверх третьей поверхности.
45. Способ по п.44, дополнительно содержащий этап, на котором ориентируют поверхности трех подложек таким образом, чтобы они были перпендикулярны друг другу.
46. Способ по п.44, в котором формирование второго отражающего элемента содержит формирование интерферометрического модулятора.
47. Способ по п.40, в котором формирование первой и второй поверхностей содержит формирование первой и второй поверхностей поверх первой подложки.
48. Способ по п.40, дополнительно содержащий этап, на котором формируют интерферометрический модулятор.
49. Способ по п.40, в котором формирование первой и второй поверхностей содержит ориентацию первой поверхности по существу перпендикулярно ко второй поверхности.
50. Способ по п.40, в котором формирование первой и второй поверхностей содержит формирование первой поверхности поверх первой подложки и формирование второй поверхности поверх второй подложки.
51. Способ по п.50, дополнительно содержащий прикрепление первой подложки непосредственно ко второй подложке, причем первая подложка расположена под ненулевым углом относительно второй подложки.
52. Способ по п.50 дополнительно содержащий этап, на котором первую подложку и вторую подложку прикрепляют к рамке, причем первая подложка расположена под ненулевым углом относительно второй подложки.
53. Дисплей, изготовленный способом по п.40.
RU2005129911/28A 2004-09-27 2005-09-26 Способ и устройство для угловой интерферометрической модуляции RU2005129911A (ru)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US61359704P 2004-09-27 2004-09-27
US60/613,597 2004-09-27
US11/103,378 US7321456B2 (en) 2004-09-27 2005-04-11 Method and device for corner interferometric modulation
US11/103,378 2005-04-11

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2005129911A true RU2005129911A (ru) 2007-04-10

Family

ID=35478375

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005129911/28A RU2005129911A (ru) 2004-09-27 2005-09-26 Способ и устройство для угловой интерферометрической модуляции

Country Status (11)

Country Link
US (2) US7321456B2 (ru)
EP (1) EP1640766A3 (ru)
JP (1) JP2006099082A (ru)
KR (1) KR20060092898A (ru)
AU (1) AU2005203552A1 (ru)
BR (1) BRPI0503870A (ru)
CA (1) CA2517404A1 (ru)
MX (1) MXPA05010306A (ru)
RU (1) RU2005129911A (ru)
SG (1) SG121088A1 (ru)
TW (1) TW200619725A (ru)

Families Citing this family (90)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7532377B2 (en) * 1998-04-08 2009-05-12 Idc, Llc Movable micro-electromechanical device
KR100703140B1 (ko) 1998-04-08 2007-04-05 이리다임 디스플레이 코포레이션 간섭 변조기 및 그 제조 방법
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
US7944599B2 (en) 2004-09-27 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US7583429B2 (en) 2004-09-27 2009-09-01 Idc, Llc Ornamental display device
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US7936497B2 (en) 2004-09-27 2011-05-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence
US8008736B2 (en) 2004-09-27 2011-08-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device
US7327510B2 (en) * 2004-09-27 2008-02-05 Idc, Llc Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator
US7719500B2 (en) 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7372613B2 (en) 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7884989B2 (en) 2005-05-27 2011-02-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. White interferometric modulators and methods for forming the same
US7460292B2 (en) * 2005-06-03 2008-12-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator with internal polarization and drive method
US7636151B2 (en) * 2006-01-06 2009-12-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing residual stress test structures
US7916980B2 (en) * 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
WO2007120885A2 (en) * 2006-04-13 2007-10-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mems devices and processes for packaging such devices
US7369292B2 (en) * 2006-05-03 2008-05-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electrode and interconnect materials for MEMS devices
US8040587B2 (en) 2006-05-17 2011-10-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Desiccant in a MEMS device
US20070268201A1 (en) * 2006-05-22 2007-11-22 Sampsell Jeffrey B Back-to-back displays
US7649671B2 (en) * 2006-06-01 2010-01-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release
US7471442B2 (en) * 2006-06-15 2008-12-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for low range bit depth enhancements for MEMS display architectures
WO2007149475A2 (en) * 2006-06-21 2007-12-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method for packaging an optical mems device
US7835061B2 (en) 2006-06-28 2010-11-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Support structures for free-standing electromechanical devices
US7527998B2 (en) * 2006-06-30 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
US7629197B2 (en) * 2006-10-18 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Spatial light modulator
US20080111834A1 (en) * 2006-11-09 2008-05-15 Mignard Marc M Two primary color display
US7816164B2 (en) 2006-12-01 2010-10-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS processing
US7403180B1 (en) * 2007-01-29 2008-07-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Hybrid color synthesis for multistate reflective modulator displays
US8115987B2 (en) 2007-02-01 2012-02-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Modulating the intensity of light from an interferometric reflector
US7916378B2 (en) 2007-03-08 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing a light absorbing mask in an interferometric modulator display
US7742220B2 (en) * 2007-03-28 2010-06-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing conducting layers separated by stops
US7643202B2 (en) * 2007-05-09 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical system having a dielectric movable membrane and a mirror
US7715085B2 (en) * 2007-05-09 2010-05-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical system having a dielectric movable membrane and a mirror
US8111262B2 (en) * 2007-05-18 2012-02-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator displays with reduced color sensitivity
US7643199B2 (en) * 2007-06-19 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. High aperture-ratio top-reflective AM-iMod displays
US7782517B2 (en) * 2007-06-21 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Infrared and dual mode displays
US7630121B2 (en) * 2007-07-02 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
JP2010538306A (ja) * 2007-07-31 2010-12-09 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 干渉変調器の色ずれを高めるためのデバイス
US8072402B2 (en) 2007-08-29 2011-12-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric optical modulator with broadband reflection characteristics
US7773286B2 (en) * 2007-09-14 2010-08-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Periodic dimple array
US7847999B2 (en) * 2007-09-14 2010-12-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator display devices
US20090078316A1 (en) * 2007-09-24 2009-03-26 Qualcomm Incorporated Interferometric photovoltaic cell
EP2064148A1 (en) * 2007-09-28 2009-06-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc Optimization of desiccant usage in a mems package
JP5302322B2 (ja) * 2007-10-19 2013-10-02 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 一体型光起電力を有するディスプレイ
US8058549B2 (en) * 2007-10-19 2011-11-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Photovoltaic devices with integrated color interferometric film stacks
EP2203765A1 (en) * 2007-10-23 2010-07-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Adjustably transmissive mems-based devices
US20090293955A1 (en) * 2007-11-07 2009-12-03 Qualcomm Incorporated Photovoltaics with interferometric masks
US8941631B2 (en) * 2007-11-16 2015-01-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Simultaneous light collection and illumination on an active display
US7715079B2 (en) * 2007-12-07 2010-05-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS devices requiring no mechanical support
CA2710198A1 (en) * 2007-12-21 2009-07-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Multijunction photovoltaic cells
US8164821B2 (en) 2008-02-22 2012-04-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device with thermal expansion balancing layer or stiffening layer
US7944604B2 (en) 2008-03-07 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator in transmission mode
US7612933B2 (en) 2008-03-27 2009-11-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device with spacing layer
US7898723B2 (en) * 2008-04-02 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical systems display element with photovoltaic structure
US7969638B2 (en) * 2008-04-10 2011-06-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having thin black mask and method of fabricating the same
US8023167B2 (en) * 2008-06-25 2011-09-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US7791783B2 (en) * 2008-06-25 2010-09-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US7768690B2 (en) 2008-06-25 2010-08-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US7746539B2 (en) * 2008-06-25 2010-06-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method for packing a display device and the device obtained thereof
US7859740B2 (en) * 2008-07-11 2010-12-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Stiction mitigation with integrated mech micro-cantilevers through vertical stress gradient control
US20100020382A1 (en) * 2008-07-22 2010-01-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Spacer for mems device
US7855826B2 (en) 2008-08-12 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus to reduce or eliminate stiction and image retention in interferometric modulator devices
US8358266B2 (en) * 2008-09-02 2013-01-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light turning device with prismatic light turning features
US20100096006A1 (en) * 2008-10-16 2010-04-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Monolithic imod color enhanced photovoltaic cell
US20100096011A1 (en) * 2008-10-16 2010-04-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. High efficiency interferometric color filters for photovoltaic modules
US7581326B1 (en) * 2008-12-31 2009-09-01 Lockheed Martin Corporation Optical solid-state heading sensor
US8410690B2 (en) * 2009-02-13 2013-04-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with desiccant
US8270056B2 (en) * 2009-03-23 2012-09-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with openings between sub-pixels and method of making same
US8979349B2 (en) * 2009-05-29 2015-03-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination devices and methods of fabrication thereof
US8270062B2 (en) * 2009-09-17 2012-09-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with at least one movable stop element
US8488228B2 (en) * 2009-09-28 2013-07-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric display with interferometric reflector
US8379392B2 (en) 2009-10-23 2013-02-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light-based sealing and device packaging
KR101723149B1 (ko) * 2009-12-30 2017-04-05 삼성디스플레이 주식회사 엠이엠에스 표시판 및 이를 포함하는 표시 장치
EP2556403A1 (en) 2010-04-09 2013-02-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mechanical layer of an electromechanical device and methods of forming the same
MX2012012033A (es) 2010-04-16 2013-05-20 Flex Lighting Ii Llc Dispositivo de iluminacion que comprende una guia de luz a base de pelicula.
WO2011130718A2 (en) 2010-04-16 2011-10-20 Flex Lighting Ii, Llc Front illumination device comprising a film-based lightguide
KR20130091763A (ko) 2010-08-17 2013-08-19 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. 간섭 디스플레이 장치에서의 전하 중성 전극의 작동 및 교정
US9057872B2 (en) 2010-08-31 2015-06-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Dielectric enhanced mirror for IMOD display
US9134527B2 (en) 2011-04-04 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US8963159B2 (en) 2011-04-04 2015-02-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US8659816B2 (en) 2011-04-25 2014-02-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mechanical layer and methods of making the same
US8736939B2 (en) 2011-11-04 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Matching layer thin-films for an electromechanical systems reflective display device
US8760751B2 (en) * 2012-01-26 2014-06-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog IMOD having a color notch filter
US8717660B2 (en) * 2012-07-03 2014-05-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Annulus scattering diffuser for reflective display
US9181086B1 (en) 2012-10-01 2015-11-10 The Research Foundation For The State University Of New York Hinged MEMS diaphragm and method of manufacture therof
US9325948B2 (en) 2012-11-13 2016-04-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Real-time compensation for blue shift of electromechanical systems display devices
US11550210B2 (en) 2020-05-29 2023-01-10 Mega1 Company Ltd. Projecting apparatus

Family Cites Families (245)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2534846A (en) 1946-06-20 1950-12-19 Emi Ltd Color filter
US3037189A (en) 1958-04-23 1962-05-29 Sylvania Electric Prod Visual display system
US3210757A (en) 1962-01-29 1965-10-05 Carlyle W Jacob Matrix controlled light valve display apparatus
DE1288651B (de) 1963-06-28 1969-02-06 Siemens Ag Anordnung elektrischer Dipole fuer Wellenlaengen unterhalb 1 mm und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anordnung
US3556836A (en) * 1967-02-24 1971-01-19 United Aircraft Corp Composite boron filaments with matrix overcoat
FR1603131A (ru) 1968-07-05 1971-03-22
US3813265A (en) 1970-02-16 1974-05-28 A Marks Electro-optical dipolar material
US3653741A (en) 1970-02-16 1972-04-04 Alvin M Marks Electro-optical dipolar material
DE10127319B4 (de) * 2001-06-06 2004-03-18 Andrea Burkhardt Wellnessgerät
US3728030A (en) 1970-06-22 1973-04-17 Cary Instruments Polarization interferometer
US3725868A (en) 1970-10-19 1973-04-03 Burroughs Corp Small reconfigurable processor for a variety of data processing applications
US3701586A (en) 1971-04-21 1972-10-31 George G Goetz Light modulating deflectable membrane
JPS4946974A (ru) * 1972-09-11 1974-05-07
DE2336930A1 (de) 1973-07-20 1975-02-06 Battelle Institut E V Infrarot-modulator (ii.)
US4099854A (en) 1976-10-12 1978-07-11 The Unites States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Optical notch filter utilizing electric dipole resonance absorption
US4196396A (en) 1976-10-15 1980-04-01 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Interferometer apparatus using electro-optic material with feedback
US4389096A (en) 1977-12-27 1983-06-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Image display apparatus of liquid crystal valve projection type
US4663083A (en) 1978-05-26 1987-05-05 Marks Alvin M Electro-optical dipole suspension with reflective-absorptive-transmissive characteristics
US4445050A (en) 1981-12-15 1984-04-24 Marks Alvin M Device for conversion of light power to electric power
US4228437A (en) 1979-06-26 1980-10-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Wideband polarization-transforming electromagnetic mirror
NL8001281A (nl) 1980-03-04 1981-10-01 Philips Nv Weergeefinrichting.
DE3012253A1 (de) 1980-03-28 1981-10-15 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Verfahren zum sichtbarmaschen von ladungsbildern und eine hierfuer geeignete vorichtung
US4377324A (en) 1980-08-04 1983-03-22 Honeywell Inc. Graded index Fabry-Perot optical filter device
US4441791A (en) 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
FR2506026A1 (fr) 1981-05-18 1982-11-19 Radant Etudes Procede et dispositif pour l'analyse d'un faisceau de rayonnement d'ondes electromagnetiques hyperfrequence
NL8103377A (nl) 1981-07-16 1983-02-16 Philips Nv Weergeefinrichting.
US4571603A (en) 1981-11-03 1986-02-18 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror electrostatic printer
NL8200354A (nl) 1982-02-01 1983-09-01 Philips Nv Passieve weergeefinrichting.
US4500171A (en) 1982-06-02 1985-02-19 Texas Instruments Incorporated Process for plastic LCD fill hole sealing
US4482213A (en) 1982-11-23 1984-11-13 Texas Instruments Incorporated Perimeter seal reinforcement holes for plastic LCDs
JPS60159731A (ja) 1984-01-30 1985-08-21 Sharp Corp 液晶表示体
US4566935A (en) 1984-07-31 1986-01-28 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4710732A (en) 1984-07-31 1987-12-01 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5061049A (en) 1984-08-31 1991-10-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5096279A (en) 1984-08-31 1992-03-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4662746A (en) 1985-10-30 1987-05-05 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4596992A (en) 1984-08-31 1986-06-24 Texas Instruments Incorporated Linear spatial light modulator and printer
US4615595A (en) 1984-10-10 1986-10-07 Texas Instruments Incorporated Frame addressed spatial light modulator
US5172262A (en) 1985-10-30 1992-12-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4859060A (en) 1985-11-26 1989-08-22 501 Sharp Kabushiki Kaisha Variable interferometric device and a process for the production of the same
US5835255A (en) 1986-04-23 1998-11-10 Etalon, Inc. Visible spectrum modulator arrays
GB8610129D0 (en) 1986-04-25 1986-05-29 Secr Defence Electro-optical device
US4748366A (en) 1986-09-02 1988-05-31 Taylor George W Novel uses of piezoelectric materials for creating optical effects
US4786128A (en) 1986-12-02 1988-11-22 Quantum Diagnostics, Ltd. Device for modulating and reflecting electromagnetic radiation employing electro-optic layer having a variable index of refraction
NL8701138A (nl) 1987-05-13 1988-12-01 Philips Nv Electroscopische beeldweergeefinrichting.
DE3716485C1 (de) 1987-05-16 1988-11-24 Heraeus Gmbh W C Xenon-Kurzbogen-Entladungslampe
JPH02503713A (ja) 1987-06-04 1990-11-01 ルコツ　バルター 光学的な変調及び測定方法
US4857978A (en) 1987-08-11 1989-08-15 North American Philips Corporation Solid state light modulator incorporating metallized gel and method of metallization
US4900136A (en) 1987-08-11 1990-02-13 North American Philips Corporation Method of metallizing silica-containing gel and solid state light modulator incorporating the metallized gel
US4956619A (en) 1988-02-19 1990-09-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US4856863A (en) 1988-06-22 1989-08-15 Texas Instruments Incorporated Optical fiber interconnection network including spatial light modulator
US5028939A (en) 1988-08-23 1991-07-02 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator system
JP2700903B2 (ja) * 1988-09-30 1998-01-21 シャープ株式会社 液晶表示装置
US4982184A (en) 1989-01-03 1991-01-01 General Electric Company Electrocrystallochromic display and element
US5181095A (en) * 1989-02-10 1993-01-19 Texas Instruments Incorporated Complementary bipolar and MOS transistor having power and logic structures on the same integrated circuit substrate
US5214419A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Planarized true three dimensional display
US5170156A (en) 1989-02-27 1992-12-08 Texas Instruments Incorporated Multi-frequency two dimensional display system
US5192946A (en) 1989-02-27 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Digitized color video display system
US5272473A (en) 1989-02-27 1993-12-21 Texas Instruments Incorporated Reduced-speckle display system
US5162787A (en) 1989-02-27 1992-11-10 Texas Instruments Incorporated Apparatus and method for digitized video system utilizing a moving display surface
US5214420A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator projection system with random polarity light
US5206629A (en) 1989-02-27 1993-04-27 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and memory for digitized video display
US5079544A (en) 1989-02-27 1992-01-07 Texas Instruments Incorporated Standard independent digitized video system
US5287096A (en) 1989-02-27 1994-02-15 Texas Instruments Incorporated Variable luminosity display system
US4900395A (en) 1989-04-07 1990-02-13 Fsi International, Inc. HF gas etching of wafers in an acid processor
US5022745A (en) 1989-09-07 1991-06-11 Massachusetts Institute Of Technology Electrostatically deformable single crystal dielectrically coated mirror
US4954789A (en) 1989-09-28 1990-09-04 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US5381253A (en) * 1991-11-14 1995-01-10 Board Of Regents Of University Of Colorado Chiral smectic liquid crystal optical modulators having variable retardation
US5124834A (en) 1989-11-16 1992-06-23 General Electric Company Transferrable, self-supporting pellicle for elastomer light valve displays and method for making the same
US5037173A (en) 1989-11-22 1991-08-06 Texas Instruments Incorporated Optical interconnection network
JP2910114B2 (ja) 1990-01-20 1999-06-23 ソニー株式会社 電子機器
US5500635A (en) * 1990-02-20 1996-03-19 Mott; Jonathan C. Products incorporating piezoelectric material
CH682523A5 (fr) 1990-04-20 1993-09-30 Suisse Electronique Microtech Dispositif de modulation de lumière à adressage matriciel.
GB9012099D0 (en) 1990-05-31 1990-07-18 Kodak Ltd Optical article for multicolour imaging
US5083857A (en) * 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
EP0467048B1 (en) 1990-06-29 1995-09-20 Texas Instruments Incorporated Field-updated deformable mirror device
US5099353A (en) 1990-06-29 1992-03-24 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5018256A (en) 1990-06-29 1991-05-28 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5142405A (en) 1990-06-29 1992-08-25 Texas Instruments Incorporated Bistable dmd addressing circuit and method
US5216537A (en) 1990-06-29 1993-06-01 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5153771A (en) 1990-07-18 1992-10-06 Northrop Corporation Coherent light modulation and detector
US5034351A (en) 1990-10-01 1991-07-23 Motorola, Inc. Process for forming a feature on a substrate without recessing the surface of the substrate
US5192395A (en) 1990-10-12 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Method of making a digital flexure beam accelerometer
US5044736A (en) 1990-11-06 1991-09-03 Motorola, Inc. Configurable optical filter or display
US5331454A (en) 1990-11-13 1994-07-19 Texas Instruments Incorporated Low reset voltage process for DMD
US5602671A (en) * 1990-11-13 1997-02-11 Texas Instruments Incorporated Low surface energy passivation layer for micromechanical devices
US5233459A (en) 1991-03-06 1993-08-03 Massachusetts Institute Of Technology Electric display device
US5136669A (en) 1991-03-15 1992-08-04 Sperry Marine Inc. Variable ratio fiber optic coupler optical signal processing element
CA2063744C (en) 1991-04-01 2002-10-08 Paul M. Urbanus Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system
US5142414A (en) 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
US5226099A (en) 1991-04-26 1993-07-06 Texas Instruments Incorporated Digital micromirror shutter device
US5179274A (en) 1991-07-12 1993-01-12 Texas Instruments Incorporated Method for controlling operation of optical systems and devices
US5168406A (en) 1991-07-31 1992-12-01 Texas Instruments Incorporated Color deformable mirror device and method for manufacture
US5254980A (en) 1991-09-06 1993-10-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system controller
US5358601A (en) 1991-09-24 1994-10-25 Micron Technology, Inc. Process for isotropically etching semiconductor devices
US5315370A (en) 1991-10-23 1994-05-24 Bulow Jeffrey A Interferometric modulator for optical signal processing
US5233385A (en) 1991-12-18 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated White light enhanced color field sequential projection
US5233456A (en) 1991-12-20 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated Resonant mirror and method of manufacture
US5228013A (en) 1992-01-10 1993-07-13 Bik Russell J Clock-painting device and method for indicating the time-of-day with a non-traditional, now analog artistic panel of digital electronic visual displays
US5296950A (en) 1992-01-31 1994-03-22 Texas Instruments Incorporated Optical signal free-space conversion board
US5231532A (en) 1992-02-05 1993-07-27 Texas Instruments Incorporated Switchable resonant filter for optical radiation
US5212582A (en) 1992-03-04 1993-05-18 Texas Instruments Incorporated Electrostatically controlled beam steering device and method
DE69310974T2 (de) 1992-03-25 1997-11-06 Texas Instruments Inc Eingebautes optisches Eichsystem
US5312513A (en) * 1992-04-03 1994-05-17 Texas Instruments Incorporated Methods of forming multiple phase light modulators
US5401983A (en) * 1992-04-08 1995-03-28 Georgia Tech Research Corporation Processes for lift-off of thin film materials or devices for fabricating three dimensional integrated circuits, optical detectors, and micromechanical devices
US5311360A (en) 1992-04-28 1994-05-10 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University Method and apparatus for modulating a light beam
TW245772B (ru) * 1992-05-19 1995-04-21 Akzo Nv
JPH0651250A (ja) * 1992-05-20 1994-02-25 Texas Instr Inc <Ti> モノリシックな空間的光変調器およびメモリのパッケージ
US5638084A (en) 1992-05-22 1997-06-10 Dielectric Systems International, Inc. Lighting-independent color video display
US5818095A (en) * 1992-08-11 1998-10-06 Texas Instruments Incorporated High-yield spatial light modulator with light blocking layer
US5345328A (en) 1992-08-12 1994-09-06 Sandia Corporation Tandem resonator reflectance modulator
US5293272A (en) 1992-08-24 1994-03-08 Physical Optics Corporation High finesse holographic fabry-perot etalon and method of fabricating
US5327286A (en) 1992-08-31 1994-07-05 Texas Instruments Incorporated Real time optical correlation system
US5325116A (en) 1992-09-18 1994-06-28 Texas Instruments Incorporated Device for writing to and reading from optical storage media
US5296775A (en) 1992-09-24 1994-03-22 International Business Machines Corporation Cooling microfan arrangements and process
FI96450C (fi) 1993-01-13 1996-06-25 Vaisala Oy Yksikanavainen kaasun pitoisuuden mittausmenetelmä ja -laitteisto
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US5559358A (en) 1993-05-25 1996-09-24 Honeywell Inc. Opto-electro-mechanical device or filter, process for making, and sensors made therefrom
US5324683A (en) 1993-06-02 1994-06-28 Motorola, Inc. Method of forming a semiconductor structure having an air region
US5489952A (en) * 1993-07-14 1996-02-06 Texas Instruments Incorporated Method and device for multi-format television
US5510824A (en) * 1993-07-26 1996-04-23 Texas Instruments, Inc. Spatial light modulator array
US5526172A (en) 1993-07-27 1996-06-11 Texas Instruments Incorporated Microminiature, monolithic, variable electrical signal processor and apparatus including same
US5500761A (en) * 1994-01-27 1996-03-19 At&T Corp. Micromechanical modulator
US5796378A (en) 1994-03-29 1998-08-18 Casio Computer Co., Ltd. Birifringence control type liquid crystal display device and apparatus and method of driving the same
US5665997A (en) 1994-03-31 1997-09-09 Texas Instruments Incorporated Grated landing area to eliminate sticking of micro-mechanical devices
US5457900A (en) 1994-03-31 1995-10-17 Roy; Avery J. Footwear display device
GB9407116D0 (en) 1994-04-11 1994-06-01 Secr Defence Ferroelectric liquid crystal display with greyscale
US7550794B2 (en) * 2002-09-20 2009-06-23 Idc, Llc Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer
US6680792B2 (en) * 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US6040937A (en) 1994-05-05 2000-03-21 Etalon, Inc. Interferometric modulation
US8081369B2 (en) * 1994-05-05 2011-12-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for a MEMS device
US7460291B2 (en) * 1994-05-05 2008-12-02 Idc, Llc Separable modulator
US20010003487A1 (en) 1996-11-05 2001-06-14 Mark W. Miles Visible spectrum modulator arrays
US6710908B2 (en) * 1994-05-05 2004-03-23 Iridigm Display Corporation Controlling micro-electro-mechanical cavities
US7123216B1 (en) 1994-05-05 2006-10-17 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US5497172A (en) * 1994-06-13 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated Pulse width modulation for spatial light modulator with split reset addressing
US5499062A (en) * 1994-06-23 1996-03-12 Texas Instruments Incorporated Multiplexed memory timing with block reset and secondary memory
US5636052A (en) 1994-07-29 1997-06-03 Lucent Technologies Inc. Direct view display based on a micromechanical modulation
US5485304A (en) 1994-07-29 1996-01-16 Texas Instruments, Inc. Support posts for micro-mechanical devices
US5487197A (en) * 1994-08-05 1996-01-30 Iskra, Jr.; Joseph W. Pneumatic wheelchair cushion
US5610624A (en) * 1994-11-30 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with reduced possibility of an on state defect
US5726480A (en) * 1995-01-27 1998-03-10 The Regents Of The University Of California Etchants for use in micromachining of CMOS Microaccelerometers and microelectromechanical devices and method of making the same
US5610438A (en) * 1995-03-08 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Micro-mechanical device with non-evaporable getter
US5661592A (en) 1995-06-07 1997-08-26 Silicon Light Machines Method of making and an apparatus for a flat diffraction grating light valve
US6046840A (en) 1995-06-19 2000-04-04 Reflectivity, Inc. Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements
US5835256A (en) 1995-06-19 1998-11-10 Reflectivity, Inc. Reflective spatial light modulator with encapsulated micro-mechanical elements
US6324192B1 (en) 1995-09-29 2001-11-27 Coretek, Inc. Electrically tunable fabry-perot structure utilizing a deformable multi-layer mirror and method of making the same
US5999306A (en) * 1995-12-01 1999-12-07 Seiko Epson Corporation Method of manufacturing spatial light modulator and electronic device employing it
US5825528A (en) 1995-12-26 1998-10-20 Lucent Technologies Inc. Phase-mismatched fabry-perot cavity micromechanical modulator
US5751469A (en) 1996-02-01 1998-05-12 Lucent Technologies Inc. Method and apparatus for an improved micromechanical modulator
US5867301A (en) 1996-04-22 1999-02-02 Engle; Craig D. Phase modulating device
US5710656A (en) * 1996-07-30 1998-01-20 Lucent Technologies Inc. Micromechanical optical modulator having a reduced-mass composite membrane
US5838484A (en) 1996-08-19 1998-11-17 Lucent Technologies Inc. Micromechanical optical modulator with linear operating characteristic
US6028689A (en) 1997-01-24 2000-02-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Multi-motion micromirror
US5786927A (en) 1997-03-12 1998-07-28 Lucent Technologies Inc. Gas-damped micromechanical structure
US6384952B1 (en) 1997-03-27 2002-05-07 Mems Optical Inc. Vertical comb drive actuated deformable mirror device and method
EP0877272B1 (en) * 1997-05-08 2002-07-31 Texas Instruments Incorporated Improvements in or relating to spatial light modulators
US5959777A (en) * 1997-06-10 1999-09-28 The University Of British Columbia Passive high efficiency variable reflectivity image display device
US5867302A (en) 1997-08-07 1999-02-02 Sandia Corporation Bistable microelectromechanical actuator
US6028690A (en) * 1997-11-26 2000-02-22 Texas Instruments Incorporated Reduced micromirror mirror gaps for improved contrast ratio
US6180428B1 (en) * 1997-12-12 2001-01-30 Xerox Corporation Monolithic scanning light emitting devices using micromachining
KR100604621B1 (ko) 1998-01-20 2006-07-28 세이코 엡슨 가부시키가이샤 광 스위칭 소자, 그의 제어 방법 및 화상 표시 장치
US6195196B1 (en) * 1998-03-13 2001-02-27 Fuji Photo Film Co., Ltd. Array-type exposing device and flat type display incorporating light modulator and driving method thereof
US6282010B1 (en) 1998-05-14 2001-08-28 Texas Instruments Incorporated Anti-reflective coatings for spatial light modulators
GB2341476A (en) 1998-09-03 2000-03-15 Sharp Kk Variable resolution display device
JP4074714B2 (ja) * 1998-09-25 2008-04-09 富士フイルム株式会社 アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法
JP3919954B2 (ja) 1998-10-16 2007-05-30 富士フイルム株式会社 アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法
US6171945B1 (en) * 1998-10-22 2001-01-09 Applied Materials, Inc. CVD nanoporous silica low dielectric constant films
US6465956B1 (en) 1998-12-28 2002-10-15 Pioneer Corporation Plasma display panel
US6358021B1 (en) * 1998-12-29 2002-03-19 Honeywell International Inc. Electrostatic actuators for active surfaces
US6201633B1 (en) * 1999-06-07 2001-03-13 Xerox Corporation Micro-electromechanical based bistable color display sheets
US6862029B1 (en) * 1999-07-27 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Color display system
US6525310B2 (en) * 1999-08-05 2003-02-25 Microvision, Inc. Frequency tunable resonant scanner
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6674090B1 (en) * 1999-12-27 2004-01-06 Xerox Corporation Structure and method for planar lateral oxidation in active
EP1185972A1 (en) 2000-02-24 2002-03-13 Koninklijke Philips Electronics N.V. Display device comprising a light guide
US6836366B1 (en) 2000-03-03 2004-12-28 Axsun Technologies, Inc. Integrated tunable fabry-perot filter and method of making same
US6698295B1 (en) 2000-03-31 2004-03-02 Shipley Company, L.L.C. Microstructures comprising silicon nitride layer and thin conductive polysilicon layer
DE60142383D1 (de) * 2000-07-03 2010-07-29 Sony Corp Optische mehrschichtige Struktur, optische Schalteinrichtung, und Bildanzeigevorrichtung
EP1172681A3 (en) * 2000-07-13 2004-06-09 Creo IL. Ltd. Blazed micro-mechanical light modulator and array thereof
US6853129B1 (en) * 2000-07-28 2005-02-08 Candescent Technologies Corporation Protected substrate structure for a field emission display device
JP4304852B2 (ja) * 2000-09-04 2009-07-29 コニカミノルタホールディングス株式会社 非平面液晶表示素子及びその製造方法
US6466354B1 (en) 2000-09-19 2002-10-15 Silicon Light Machines Method and apparatus for interferometric modulation of light
US6859218B1 (en) * 2000-11-07 2005-02-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Electronic display devices and methods
US6433917B1 (en) 2000-11-22 2002-08-13 Ball Semiconductor, Inc. Light modulation device and system
US6353489B1 (en) * 2000-11-23 2002-03-05 Digilens, Inc. Optical retro-reflection device
TW565726B (en) 2000-11-27 2003-12-11 Asulab Sa Reflective liquid crystal display device with improved display contrast
WO2002049199A1 (en) * 2000-12-11 2002-06-20 Rad H Dabbaj Electrostatic device
US6911891B2 (en) * 2001-01-19 2005-06-28 Massachusetts Institute Of Technology Bistable actuation techniques, mechanisms, and applications
JP3818857B2 (ja) * 2001-02-07 2006-09-06 シャープ株式会社 表示装置
US6661561B2 (en) 2001-03-26 2003-12-09 Creo Inc. High frequency deformable mirror device
US6657832B2 (en) 2001-04-26 2003-12-02 Texas Instruments Incorporated Mechanically assisted restoring force support for micromachined membranes
JP3740444B2 (ja) * 2001-07-11 2006-02-01 キヤノン株式会社 光偏向器、それを用いた光学機器、ねじれ揺動体
JP4032216B2 (ja) * 2001-07-12 2008-01-16 ソニー株式会社 光学多層構造体およびその製造方法、並びに光スイッチング素子および画像表示装置
KR100452112B1 (ko) * 2001-07-18 2004-10-12 한국과학기술원 정전 구동기
US6862022B2 (en) * 2001-07-20 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method and system for automatically selecting a vertical refresh rate for a video display monitor
US6632698B2 (en) 2001-08-07 2003-10-14 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Microelectromechanical device having a stiffened support beam, and methods of forming stiffened support beams in MEMS
US6870581B2 (en) * 2001-10-30 2005-03-22 Sharp Laboratories Of America, Inc. Single panel color video projection display using reflective banded color falling-raster illumination
EP1518273A2 (en) 2001-12-14 2005-03-30 Laird Technologies, Inc. Emi shielding including a lossy medium
US6959990B2 (en) * 2001-12-31 2005-11-01 Texas Instruments Incorporated Prism for high contrast projection
US6791735B2 (en) * 2002-01-09 2004-09-14 The Regents Of The University Of California Differentially-driven MEMS spatial light modulator
US6608268B1 (en) 2002-02-05 2003-08-19 Memtronics, A Division Of Cogent Solutions, Inc. Proximity micro-electro-mechanical system
US6794119B2 (en) 2002-02-12 2004-09-21 Iridigm Display Corporation Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
US6891658B2 (en) * 2002-03-04 2005-05-10 The University Of British Columbia Wide viewing angle reflective display
US6778034B2 (en) 2002-05-07 2004-08-17 G.M.W.T. (Global Micro Wire Technology) Ltd. EMI filters
US6722733B2 (en) * 2002-07-08 2004-04-20 Mirror Lite Protective seat cover
US6822798B2 (en) * 2002-08-09 2004-11-23 Optron Systems, Inc. Tunable optical filter
US6674033B1 (en) * 2002-08-21 2004-01-06 Ming-Shan Wang Press button type safety switch
JP2004145264A (ja) * 2002-08-30 2004-05-20 Victor Co Of Japan Ltd 投射型表示装置
TW544787B (en) * 2002-09-18 2003-08-01 Promos Technologies Inc Method of forming self-aligned contact structure with locally etched gate conductive layer
US6885409B2 (en) 2002-09-27 2005-04-26 Eastman Kodak Company Cholesteric liquid crystal display system
US6983135B1 (en) 2002-11-11 2006-01-03 Marvell International, Ltd. Mixer gain calibration method and apparatus
TWI289708B (en) * 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
TW594155B (en) 2002-12-27 2004-06-21 Prime View Int Corp Ltd Optical interference type color display and optical interference modulator
US6808953B2 (en) * 2002-12-31 2004-10-26 Robert Bosch Gmbh Gap tuning for surface micromachined structures in an epitaxial reactor
US7250930B2 (en) 2003-02-07 2007-07-31 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Transparent active-matrix display
TWI226504B (en) 2003-04-21 2005-01-11 Prime View Int Co Ltd A structure of an interference display cell
US6829132B2 (en) * 2003-04-30 2004-12-07 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Charge control of micro-electromechanical device
US6940630B2 (en) 2003-05-01 2005-09-06 University Of Florida Research Foundation, Inc. Vertical displacement device
TW570896B (en) * 2003-05-26 2004-01-11 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
TW591716B (en) 2003-05-26 2004-06-11 Prime View Int Co Ltd A structure of a structure release and manufacturing the same
TWI223855B (en) 2003-06-09 2004-11-11 Taiwan Semiconductor Mfg Method for manufacturing reflective spatial light modulator mirror devices
US7221495B2 (en) 2003-06-24 2007-05-22 Idc Llc Thin film precursor stack for MEMS manufacturing
US7190380B2 (en) * 2003-09-26 2007-03-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Generating and displaying spatially offset sub-frames
US7173314B2 (en) * 2003-08-13 2007-02-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Storage device having a probe and a storage cell with moveable parts
TWI305599B (en) * 2003-08-15 2009-01-21 Qualcomm Mems Technologies Inc Interference display panel and method thereof
TW200506479A (en) * 2003-08-15 2005-02-16 Prime View Int Co Ltd Color changeable pixel for an interference display
TWI251712B (en) * 2003-08-15 2006-03-21 Prime View Int Corp Ltd Interference display plate
TW593127B (en) * 2003-08-18 2004-06-21 Prime View Int Co Ltd Interference display plate and manufacturing method thereof
TWI231865B (en) * 2003-08-26 2005-05-01 Prime View Int Co Ltd An interference display cell and fabrication method thereof
US20050057442A1 (en) * 2003-08-28 2005-03-17 Olan Way Adjacent display of sequential sub-images
TWI230801B (en) 2003-08-29 2005-04-11 Prime View Int Co Ltd Reflective display unit using interferometric modulation and manufacturing method thereof
TWI232333B (en) * 2003-09-03 2005-05-11 Prime View Int Co Ltd Display unit using interferometric modulation and manufacturing method thereof
US7235105B2 (en) * 2003-09-18 2007-06-26 Jackson Roger P Threaded center line cage with winged end gap
US6982820B2 (en) * 2003-09-26 2006-01-03 Prime View International Co., Ltd. Color changeable pixel
US20050068583A1 (en) * 2003-09-30 2005-03-31 Gutkowski Lawrence J. Organizing a digital image
US6861277B1 (en) * 2003-10-02 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of forming MEMS device
US7198873B2 (en) 2003-11-18 2007-04-03 Asml Netherlands B.V. Lithographic processing optimization based on hypersampled correlations
US7161728B2 (en) 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
TWI235345B (en) 2004-01-20 2005-07-01 Prime View Int Co Ltd A structure of an optical interference display unit
TWI256941B (en) 2004-02-18 2006-06-21 Qualcomm Mems Technologies Inc A micro electro mechanical system display cell and method for fabricating thereof
US7119945B2 (en) 2004-03-03 2006-10-10 Idc, Llc Altering temporal response of microelectromechanical elements
TWI261683B (en) 2004-03-10 2006-09-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Interference reflective element and repairing method thereof
EP1632804B1 (en) * 2004-09-01 2008-06-04 Barco, naamloze vennootschap. Prism assembly

Also Published As

Publication number Publication date
US7321456B2 (en) 2008-01-22
MXPA05010306A (es) 2006-04-18
JP2006099082A (ja) 2006-04-13
BRPI0503870A (pt) 2006-05-09
KR20060092898A (ko) 2006-08-23
AU2005203552A1 (en) 2006-04-13
SG121088A1 (en) 2006-04-26
CA2517404A1 (en) 2006-03-27
US20080112036A1 (en) 2008-05-15
EP1640766A3 (en) 2009-04-22
US20060077515A1 (en) 2006-04-13
TW200619725A (en) 2006-06-16
US7515327B2 (en) 2009-04-07
EP1640766A2 (en) 2006-03-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2005129911A (ru) Способ и устройство для угловой интерферометрической модуляции
CA2577816A1 (en) Systems and methods using interferometric optical modulators and diffusers
US7405867B2 (en) Miniature optical modulator module using flexible printed circuit board
RU2005129957A (ru) Система и способ освещения интерферометрических модуляторов с использованием задней подсветки
RU2010137686A (ru) Электромеханическое устройство с промежуточным уровнем
JP2006099061A5 (ru)
TW200535487A (en) Spatial light modulator with integrated optical compensation structure
US20080106677A1 (en) Electrode structure capable of reflecting color light and lcos panel
US20110122479A1 (en) Integrated modulator illumination
JP2004219843A (ja) 光変調器、表示装置及びその製造方法
JP5047735B2 (ja) 照明装置および画像表示装置
RU2005129902A (ru) Способ и устройство для компенсации цветового сдвига как функции угла зрения
JP2002243937A (ja) 干渉フィルタの製造手段、干渉フィルタ、波長可変干渉フィルタ製造手段、波長可変干渉フィルタ、及び、波長選択フィルタ
RU2009145292A (ru) Микроэлектромеханическое устройство, в котором оптическая функция отделена от механической и электрической
RU2005129949A (ru) Система и способ для обеспечения в микроэлектромеханическом устройстве антистикционного покрытия
JP2011514619A (ja) 前面光ガイドおよび結合素子を有する表示部の光照明
WO2002025348A2 (en) Method and apparatus for interferometric modulation of light
CN217034466U (zh) 一种全固态光学相控阵及激光雷达装置
KR20120130937A (ko) 광결정형 광변조기 및 이를 구비하는 3차원 영상 획득 장치
TW201319677A (zh) 具有光補償模組的反射型顯示裝置
CN115244333A (zh) 使背光中的边缘耦合光偏振
JP2006091489A (ja) 表示装置
CN207457602U (zh) 滤光片、显示装置和电子装置
US7894121B2 (en) Light valve assembly with a holographic optical element and a method of making the same
WO2023093433A1 (zh) 彩膜基板、显示面板和显示装置

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20080927

FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20080927