RU1830154C - Электронно-лучевое устройство - Google Patents
Электронно-лучевое устройствоInfo
- Publication number
- RU1830154C RU1830154C SU823495254A SU3495254A RU1830154C RU 1830154 C RU1830154 C RU 1830154C SU 823495254 A SU823495254 A SU 823495254A SU 3495254 A SU3495254 A SU 3495254A RU 1830154 C RU1830154 C RU 1830154C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- measuring
- anode
- power supply
- sensor
- diaphragm
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Использование: электронно-лучевое устройство предназначено дл формировани электронного пучка с заданным поперечным размером. Сущность изобретени : устройство содержит электронную пушку, включающую катод, управл ющий электрод , анод и датчик поперечного размера пучка, а также схему питани и регулировки размеров пучка. Датчик выполнен в виде кольцевой диафрагмы, охватывающей пучок , сигнал с датчика сравниваетс с опорным , а разностный сигнал через схему регулировки воздействует на блок питани управл ющего электрода, что обеспечивает стабильность заданного размера пучка. С целью повышени стабильности анод с датчиком объединены в единый прот женный вдоль оси электрод в виде цилиндра Фа раде , что исключает вли ние отраженных и вторичных электронов на работу устройства . 2 ил.
Description
Ё
Изобретение относитс к высокостабильному источнику излучени зар женных частиц с подогревным катодом, вспомогательным электродом и анодом со сквозным отверстием.
В основе насто щего изобретени лежит задача создани высокостабильной электронной пушки, в которой луч. стабилен по исходному размеру, углу раствора и току.
Дл решени этой задачи на обратной, по отношению к катоду, стороне вспомогательного электрода предусмотрена окружающа луч соединенна с измерительным резистором измерительна диафрагма, с помощью которой может диафрагмироватьс часть пучка, на которую воздействует вспомогательный электрод, причем измерительный резистор в качестве датчика действительных значений соединен с подключенным к опорному напр жению регул тором, а выход регул тора дл стабилизации диафрагмируемого посредством диафрагмы пучка соединен с вспомогательным электродом. В зависимости от расположени измерительной диафрагмы может быть благопри тным соединение измерительной диафрагмы с потенциалом, который отличаетс от нулевого потенциала электронной пушки. Предпочтительный вариант изобретени заключаетс в том, что диафрагма выполнена в виде клетки Фараде . Другое предпочтительное выполнение изобретени заключаетс в том, что анод пушки выполнен в виде измерительной диафрагмы .
. На фиг. 1 показано размещение электродов электронной пушки; на фиг.2 - принципиальна схема выполнени устройства.
На фиг.1 изображена принципиальна конструкци электронной пушки, а именно подогревный катод К, вспомогательный
00
ы о
к
со
электрод W и измерительна диафрагма М. котора окружает выход щий из поверхности катода электронный луч Е. Измерительна диафрагма М соединена через измерительный резистор RM с посто нным потенциалом, например, потенциалом мае- сы. и выполнена таким образом, что улавливает часть пучка, котора больше отверсти В диафрагмы. Дл поддержани посто нной эффективности этой диафр.агмы, пространство перед диафрагмой в направлении катода выполнено а виде клетки FK Фара- де . В электронной пушке измерительна диафрагма может быть анодом или анод, в направлении луча, может быть размещен перед или за измерительной диафрагмой. Если пучок сфокусирован так, что он имеет размер, который изображен граничными лучами EI и Е2, то он может без помех проходить через отверстие В диафрагмы. Если пучок более веерообразный,как это изображено граничными лучами Ез и , то он на- талкиваетс на внутреннюю стенку измерительной диафрагмы М и через измерительный резистор RM к опорному потенциалу течет ток..
При этом предпочтительно чтобы измерительна диафрагма М была соединена с потенциалом, который отличаетс от нулевого потенциала электронной пушки.
Практика показывает, что из-за термических дрейфов, прежде всего в фазе разгона , измен етс рассто ние между катодом и анодом. При твердо отрегулированном напр жении на вспомогательном электроде W, также называемым цилиндр Венельта, измен етс геометри пучка и из-за этого при отсутствии измерительной диафрагмы М и предусмотренного согласно изобретению регул тора происходит изменение интенсивности пучка.
Нэ фиг.2 изображена схема, в которой по вл ющийс в измерительном резисторе RM ток, вызывающий на измерительном резисторе RM падение фактического напр жени Uist подаетс в регул тор R напр жени , который в свою очередь соединен с опорным напр жением Uraf. Выход регул тора соединен с регулирующей схемой S, котора подает к вспомогательному электроду W регулирующее напр жение, обеспечивающее стабильное напр жение на измерительном резисторе RM. Опорное напр жение
служит в регулирующей схеме в качестве фиксированного базового напр жени , с которым сравнивают регулируемое напр жение и определ ют отклонение регулируемой величины. Это вл етс нормальной функцией контура регулировани . На измерительном сопротивлении RM имеетс Uist (действующее в качестве меры анодного тока , так как в соответствии с законом Ома напр жение на сопротивлении пропорциональнотоку Регул тор R сравнивает Uistc Uref (действующее с опорным) и определ ет отклонение Uist от Uref и передает его далее на исполнительный элемент S. Исполнительный элемент затем в зависимости от
отклонени регулирует напр жение на . вспомогательном электроде W.
Claims (1)
- Формула изобретени Электронно-лучевое устройство, содержащее электронную пушку, включающуюсоосно последовательно установленные вдоль оси подогревной катод, вспомогательный управл ющий электрод, анод со сквозным центральным отверстием дл прохождени пучка и измерительный датчик в виде охватывающей пучок кольцевой диафрагмы, а также измерительный резистор , блоки электропитани катода и вспомогательного электрода и регул тор блока питани вспомогательного электрода, причем измерительна диафрагма соединена с первым выводом измерительного резистора , второй вывод которого заземлен, первый вывод резистора соединен с входом регул тора, выход регул тора соединен суправл ющим входом блока питани вспомогательного электрода, а выход последнего соединен с вспомогательным электродом, о т л и ч а ю щ е е с тем, что, с целью повышени стабильности поперечного размера пучка, анод и измерительна диафрагма объединены в единый электрод, выполненный в виде цилиндра Фараде с центральным отверстием дл прохождени пучка.У//////////Ь I У//////////ЛvФиг.1Оо.ti. ./777/W/ЯФие. 2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU823495254A RU1830154C (ru) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | Электронно-лучевое устройство |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU823495254A RU1830154C (ru) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | Электронно-лучевое устройство |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1830154C true RU1830154C (ru) | 1993-07-23 |
Family
ID=21030414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU823495254A RU1830154C (ru) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | Электронно-лучевое устройство |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1830154C (ru) |
-
1982
- 1982-09-30 RU SU823495254A patent/RU1830154C/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Патент US № 3872351, кл. Н 05 В 39/04, 1973. Москалев В.А., Сергеев Г.И. и Шеста ков В.Г. Измерение параметров пучков зар женных частиц. М.: Атомиздат, 1980, с.7-9, с.103-105. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3265855A (en) | Method and apparatus for drilling small holes | |
US3291959A (en) | Procedure and equipment for the automatic focussing of the charge carrier beam in devices for the working of materials by means of a charge carrier beam | |
JPS6255264B2 (ru) | ||
US4417179A (en) | Light quantity control device | |
US3413517A (en) | Filament current control by a superposed dithering voltage | |
RU1830154C (ru) | Электронно-лучевое устройство | |
US4021636A (en) | Beam current control device for a technical corpuscular beam apparatus | |
EP0077417B1 (de) | Hochkonstanter Strahlerzeuger für geladene Teilchen | |
JPS6236360B2 (ru) | ||
US4448082A (en) | Differential type transit-time ionic pickup | |
GB1380126A (en) | Electron guns | |
US3418520A (en) | Intensity control system for a particle beam device | |
US3925706A (en) | Field emission electron gun device of the automatic control type | |
US3767922A (en) | Electric arcs | |
US3067350A (en) | Controllable ionization chamber | |
US6207922B1 (en) | Electric control for welding optical fibers | |
US5773784A (en) | Electron beam processing apparatus | |
JPH052316A (ja) | 半導体レーザの出力調整方法 | |
JPS5843697B2 (ja) | オシロスコ−プ | |
JPS6232419B2 (ru) | ||
JPS58185768A (ja) | 蒸発速度制御装置 | |
US6781300B1 (en) | Laser based electron beam gun | |
SU1172097A1 (ru) | Рентгеновский аппарат | |
JP2511934B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
RU2090327C1 (ru) | Способ электронно-лучевой сварки и устройство для его осуществления |