RU1830154C

RU1830154C - Электронно-лучевое устройство

Info

Publication number: RU1830154C
Application number: SU823495254A
Authority: RU
Inventors: Байсвенгер Зигфрид; Боппель Вольфганг
Original assignee: Др.Инж.Рудольф Хелль, Гмбх
Priority date: 1982-09-30
Filing date: 1982-09-30
Publication date: 1993-07-23

Abstract

Использование: электронно-лучевое устройство предназначено дл формировани электронного пучка с заданным поперечным размером. Сущность изобретени : устройство содержит электронную пушку, включающую катод, управл ющий электрод , анод и датчик поперечного размера пучка, а также схему питани и регулировки размеров пучка. Датчик выполнен в виде кольцевой диафрагмы, охватывающей пучок , сигнал с датчика сравниваетс с опорным , а разностный сигнал через схему регулировки воздействует на блок питани управл ющего электрода, что обеспечивает стабильность заданного размера пучка. С целью повышени стабильности анод с датчиком объединены в единый прот женный вдоль оси электрод в виде цилиндра Фа раде , что исключает вли ние отраженных и вторичных электронов на работу устройства . 2 ил.

Description

Ё

Изобретение относитс к высокостабильному источнику излучени зар женных частиц с подогревным катодом, вспомогательным электродом и анодом со сквозным отверстием.

В основе насто щего изобретени лежит задача создани высокостабильной электронной пушки, в которой луч. стабилен по исходному размеру, углу раствора и току.

Дл решени этой задачи на обратной, по отношению к катоду, стороне вспомогательного электрода предусмотрена окружающа луч соединенна с измерительным резистором измерительна диафрагма, с помощью которой может диафрагмироватьс часть пучка, на которую воздействует вспомогательный электрод, причем измерительный резистор в качестве датчика действительных значений соединен с подключенным к опорному напр жению регул тором, а выход регул тора дл стабилизации диафрагмируемого посредством диафрагмы пучка соединен с вспомогательным электродом. В зависимости от расположени измерительной диафрагмы может быть благопри тным соединение измерительной диафрагмы с потенциалом, который отличаетс от нулевого потенциала электронной пушки. Предпочтительный вариант изобретени заключаетс в том, что диафрагма выполнена в виде клетки Фараде . Другое предпочтительное выполнение изобретени заключаетс в том, что анод пушки выполнен в виде измерительной диафрагмы .

. На фиг. 1 показано размещение электродов электронной пушки; на фиг.2 - принципиальна схема выполнени устройства.

На фиг.1 изображена принципиальна конструкци электронной пушки, а именно подогревный катод К, вспомогательный

00

ы о

к

со

электрод W и измерительна диафрагма М. котора окружает выход щий из поверхности катода электронный луч Е. Измерительна диафрагма М соединена через измерительный резистор RM с посто нным потенциалом, например, потенциалом мае- сы. и выполнена таким образом, что улавливает часть пучка, котора больше отверсти В диафрагмы. Дл поддержани посто нной эффективности этой диафр.агмы, пространство перед диафрагмой в направлении катода выполнено а виде клетки FK Фара- де . В электронной пушке измерительна диафрагма может быть анодом или анод, в направлении луча, может быть размещен перед или за измерительной диафрагмой. Если пучок сфокусирован так, что он имеет размер, который изображен граничными лучами EI и Е2, то он может без помех проходить через отверстие В диафрагмы. Если пучок более веерообразный,как это изображено граничными лучами Ез и , то он на- талкиваетс на внутреннюю стенку измерительной диафрагмы М и через измерительный резистор RM к опорному потенциалу течет ток..

При этом предпочтительно чтобы измерительна диафрагма М была соединена с потенциалом, который отличаетс от нулевого потенциала электронной пушки.

Практика показывает, что из-за термических дрейфов, прежде всего в фазе разгона , измен етс рассто ние между катодом и анодом. При твердо отрегулированном напр жении на вспомогательном электроде W, также называемым цилиндр Венельта, измен етс геометри пучка и из-за этого при отсутствии измерительной диафрагмы М и предусмотренного согласно изобретению регул тора происходит изменение интенсивности пучка.

Нэ фиг.2 изображена схема, в которой по вл ющийс в измерительном резисторе RM ток, вызывающий на измерительном резисторе RM падение фактического напр жени Uist подаетс в регул тор R напр жени , который в свою очередь соединен с опорным напр жением Uraf. Выход регул тора соединен с регулирующей схемой S, котора подает к вспомогательному электроду W регулирующее напр жение, обеспечивающее стабильное напр жение на измерительном резисторе RM. Опорное напр жение

служит в регулирующей схеме в качестве фиксированного базового напр жени , с которым сравнивают регулируемое напр жение и определ ют отклонение регулируемой величины. Это вл етс нормальной функцией контура регулировани . На измерительном сопротивлении RM имеетс Uist (действующее в качестве меры анодного тока , так как в соответствии с законом Ома напр жение на сопротивлении пропорциональнотоку Регул тор R сравнивает Uistc Uref (действующее с опорным) и определ ет отклонение Uist от Uref и передает его далее на исполнительный элемент S. Исполнительный элемент затем в зависимости от

отклонени регулирует напр жение на . вспомогательном электроде W.

Claims

Формула изобретени Электронно-лучевое устройство, содержащее электронную пушку, включающую

соосно последовательно установленные вдоль оси подогревной катод, вспомогательный управл ющий электрод, анод со сквозным центральным отверстием дл прохождени пучка и измерительный датчик в виде охватывающей пучок кольцевой диафрагмы, а также измерительный резистор , блоки электропитани катода и вспомогательного электрода и регул тор блока питани вспомогательного электрода, причем измерительна диафрагма соединена с первым выводом измерительного резистора , второй вывод которого заземлен, первый вывод резистора соединен с входом регул тора, выход регул тора соединен с

управл ющим входом блока питани вспомогательного электрода, а выход последнего соединен с вспомогательным электродом, о т л и ч а ю щ е е с тем, что, с целью повышени стабильности поперечного размера пучка, анод и измерительна диафрагма объединены в единый электрод, выполненный в виде цилиндра Фараде с центральным отверстием дл прохождени пучка.

У//////////Ь I У//////////Л

v

Фиг.1

Оо

.ti. .

/777/

W

/

Я

Фие. 2