JP2511934B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JP2511934B2 JP2511934B2 JP62045243A JP4524387A JP2511934B2 JP 2511934 B2 JP2511934 B2 JP 2511934B2 JP 62045243 A JP62045243 A JP 62045243A JP 4524387 A JP4524387 A JP 4524387A JP 2511934 B2 JP2511934 B2 JP 2511934B2
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- Japan
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- axis
- coil
- current
- electron beam
- fluorescent plate
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子顕微鏡に係り、特に、フイラメントの軸
出しを行なうに好適な電子顕微鏡に関する。
出しを行なうに好適な電子顕微鏡に関する。
従来の装置において、電子銃の軸出しを行なう場合、
Ｘ軸偏向コイルの電流を調整する調整ツマミとＹ軸偏向
コイルの電流を調整する調整ツマミを操作して電子銃の
軸出しを行なつていた。
Ｘ軸偏向コイルの電流を調整する調整ツマミとＹ軸偏向
コイルの電流を調整する調整ツマミを操作して電子銃の
軸出しを行なつていた。
上記従来技術は電子銃の軸出しを行なう場合、Ｘ軸偏
向コイルとＹ軸偏向コイルの電流を調整する調整ツマミ
をそれぞれ操作して電子銃の軸出しを行なつていた。
向コイルとＹ軸偏向コイルの電流を調整する調整ツマミ
をそれぞれ操作して電子銃の軸出しを行なつていた。
即ち、第７図に示されるように、電子銃の偏向コイル
は一対のＹコイル（Ｙ軸偏向コイル）１と一対のXLコイ
ル（Ｘ軸偏向コイル）２を有し、各コイルが光軸上に上
下に配列されている電子銃からの電子線（ビーム）はXL
コイル２、XUコイル３内を通過して蛍光板に照射される
ようになつている。この電子線５が光軸21に対して一定
の角度をもつて入射したとき、Ｘ軸方向のみに注目する
と、XUコイル３及びXLコイル２により電子銃の光軸を軸
出しコイル20より下の光軸21に平行となつて蛍光板に照
射される。このようなとき、光軸21に平行になつた電子
線のずれ量４は、第９図に示されるように、XLコイル２
の電流を調整することによつて零にすることができる。
即ちXLコイル２に補正電流を流すことによつて電子線５
を光軸21に一致させることができる。この調整はフイラ
メント軸出しの角度補正であり、フイラメントの軸出し
補正としては他に水平補正がある。
は一対のＹコイル（Ｙ軸偏向コイル）１と一対のXLコイ
ル（Ｘ軸偏向コイル）２を有し、各コイルが光軸上に上
下に配列されている電子銃からの電子線（ビーム）はXL
コイル２、XUコイル３内を通過して蛍光板に照射される
ようになつている。この電子線５が光軸21に対して一定
の角度をもつて入射したとき、Ｘ軸方向のみに注目する
と、XUコイル３及びXLコイル２により電子銃の光軸を軸
出しコイル20より下の光軸21に平行となつて蛍光板に照
射される。このようなとき、光軸21に平行になつた電子
線のずれ量４は、第９図に示されるように、XLコイル２
の電流を調整することによつて零にすることができる。
即ちXLコイル２に補正電流を流すことによつて電子線５
を光軸21に一致させることができる。この調整はフイラ
メント軸出しの角度補正であり、フイラメントの軸出し
補正としては他に水平補正がある。
一般に電子顕微鏡において、フイラメントの軸出しを
行なう場合、角度補正ボリユームを中点にし、まず水平
補正ボリユームを調整して軸出しを行なう。そして電子
顕微鏡の蛍光板を観察し、電子線が蛍光板の中心にくる
ようにXLコイル２、Ｙコイル１の電流値を調整する。こ
れは、角度ずれによる電子線が蛍光板より外側へずれる
ことがないためであり、水平補正により電子線を蛍光板
の中心へ移動させることが重要であるからである。
行なう場合、角度補正ボリユームを中点にし、まず水平
補正ボリユームを調整して軸出しを行なう。そして電子
顕微鏡の蛍光板を観察し、電子線が蛍光板の中心にくる
ようにXLコイル２、Ｙコイル１の電流値を調整する。こ
れは、角度ずれによる電子線が蛍光板より外側へずれる
ことがないためであり、水平補正により電子線を蛍光板
の中心へ移動させることが重要であるからである。
ここで、第10図に示されるように、蛍光板の表示領域
のうち、XLコイル２、YLコイル１の電流の調整によつて
電子線５の位置を補正可能な範囲を補正範囲７とし、蛍
光板で観察できる認知範囲６とし、認知範囲６の中心軸
をＸ軸10、Ｙ軸11としたとき、電子線５の位置13が認知
範囲６外にある場合、電子線５のずれ方向がわからない
ので、位置13をＸ′軸８側へ少し変化させるためにXLコ
イル２の電流を変えた後Ｙ′軸９方向に電子線５の位置
を移動させるためYLコイル１の電流を調整する。この操
作によつても認知範囲６内に電子線５が観察されない場
合には、Ｘ′軸８方向に電子線５の位置を移動させるた
めに、さらにXLコイル２の電流を変える。このとき電子
線５をＹ′軸９の一端から他端まで移動させるためYLコ
イル１の電流を調整する。この操作を認知範囲６内に電
子線５が観察されるまで繰り返す。
のうち、XLコイル２、YLコイル１の電流の調整によつて
電子線５の位置を補正可能な範囲を補正範囲７とし、蛍
光板で観察できる認知範囲６とし、認知範囲６の中心軸
をＸ軸10、Ｙ軸11としたとき、電子線５の位置13が認知
範囲６外にある場合、電子線５のずれ方向がわからない
ので、位置13をＸ′軸８側へ少し変化させるためにXLコ
イル２の電流を変えた後Ｙ′軸９方向に電子線５の位置
を移動させるためYLコイル１の電流を調整する。この操
作によつても認知範囲６内に電子線５が観察されない場
合には、Ｘ′軸８方向に電子線５の位置を移動させるた
めに、さらにXLコイル２の電流を変える。このとき電子
線５をＹ′軸９の一端から他端まで移動させるためYLコ
イル１の電流を調整する。この操作を認知範囲６内に電
子線５が観察されるまで繰り返す。
このように従来の装置ではYLコイル１とXLコイル２の
電流を調整するために、調整ボリユームを何度も操作し
なければならず、フイラメントの軸出し操作が面倒であ
つた。
電流を調整するために、調整ボリユームを何度も操作し
なければならず、フイラメントの軸出し操作が面倒であ
つた。
なお、特願昭57−33917号に記載されている装置によ
る方法も考えられるが、この装置の場合には、蛍光板上
に電子線が全く到達しない場合に、電子線を検出するこ
とができない。
る方法も考えられるが、この装置の場合には、蛍光板上
に電子線が全く到達しない場合に、電子線を検出するこ
とができない。
本発明の目的は、上記問題を解決し、電子線の軸合わ
せを自動的におこなうことのできる電子顕微鏡を提供す
ることにある。
せを自動的におこなうことのできる電子顕微鏡を提供す
ることにある。
本発明では上記目的の達成のため、電子銃、照射レン
ズ、結合レンズ、像観察用蛍光板、電子銃からのビーム
を蛍光板のＸ軸に沿って偏向させるＸ軸偏向コイル、電
子銃からのビームを蛍光板のＹ軸に沿って偏向させるＹ
軸偏向コイルを有する電子顕微鏡において、前記両偏向
コイルにそれぞれ異なる周期で電流を供給する手段を有
し、前記ビームが蛍光板に照射されたときの前記Ｘ軸偏
向コイルに供給された電流値範囲の同一Ｘ軸上の中心値
をＸ軸偏向コイルの供給電流とし、前記ビームが蛍光板
に照射されたときの前記Ｙ軸偏向コイルに供給された電
流値範囲の同一Ｙ軸上の中心値をＹ軸偏向コイルの供給
電流としている。
ズ、結合レンズ、像観察用蛍光板、電子銃からのビーム
を蛍光板のＸ軸に沿って偏向させるＸ軸偏向コイル、電
子銃からのビームを蛍光板のＹ軸に沿って偏向させるＹ
軸偏向コイルを有する電子顕微鏡において、前記両偏向
コイルにそれぞれ異なる周期で電流を供給する手段を有
し、前記ビームが蛍光板に照射されたときの前記Ｘ軸偏
向コイルに供給された電流値範囲の同一Ｘ軸上の中心値
をＸ軸偏向コイルの供給電流とし、前記ビームが蛍光板
に照射されたときの前記Ｙ軸偏向コイルに供給された電
流値範囲の同一Ｙ軸上の中心値をＹ軸偏向コイルの供給
電流としている。
Ｘ軸及びＹ軸偏向コイルにそれぞれ異なった周波数で
電流を周期的に供給すると電子線が蛍光板より広い範囲
を周期的に移動する。この際蛍光板が電流を発する範
囲、即ち電子線が蛍光板に照射されている範囲を検出す
る。この検出結果に基づいて蛍光板のＸ軸方向及びＹ軸
方向の電子線の照射範囲に対するコイルの供給電流を検
出し、蛍光板の中心におけるＸ軸及びＹ軸偏向コイルへ
の電流値を演算することによって電子線を蛍光板の中心
に軸合わせすることができる。
電流を周期的に供給すると電子線が蛍光板より広い範囲
を周期的に移動する。この際蛍光板が電流を発する範
囲、即ち電子線が蛍光板に照射されている範囲を検出す
る。この検出結果に基づいて蛍光板のＸ軸方向及びＹ軸
方向の電子線の照射範囲に対するコイルの供給電流を検
出し、蛍光板の中心におけるＸ軸及びＹ軸偏向コイルへ
の電流値を演算することによって電子線を蛍光板の中心
に軸合わせすることができる。
以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて説明す
る。第１図において、YLコイル１の電流値を設定するた
めのボリユーム14は抵抗R1,R2を介して増幅器16の入力
側に接続されている。ボリユーム14の摺動端子を移動さ
せると、摺動端子１に応じた電圧が増幅器16に入力され
る。この増幅器16の入力側には抵抗R2、スイツチ19を介
して電圧可変器15からの電圧が入力されるようになつて
いる。電圧可変器15は電圧のレベルが周期的に変化する
パルス信号を出力するようになつている。このため、増
幅器16に電圧可変器15からの信号が供給されると、この
出力信号の周期に従つて増幅器16から信号が出力され
る。そして増幅器16の出力信号は抵抗R4,R5を介して増
幅器17に入力される。増幅器17の入力側には基準抵抗18
が接続されており、増幅器17の入力電圧が周期的に変化
すると、この入力電圧の変化に応じて基準抵抗18の電圧
が変化する。基準抵抗18に流れる電流はYLコイル１に流
れる電流に等しいので、電圧可変器15から出力される信
号の周期に応じてYLコイル１を流れる電流が変化するよ
うになつている。
る。第１図において、YLコイル１の電流値を設定するた
めのボリユーム14は抵抗R1,R2を介して増幅器16の入力
側に接続されている。ボリユーム14の摺動端子を移動さ
せると、摺動端子１に応じた電圧が増幅器16に入力され
る。この増幅器16の入力側には抵抗R2、スイツチ19を介
して電圧可変器15からの電圧が入力されるようになつて
いる。電圧可変器15は電圧のレベルが周期的に変化する
パルス信号を出力するようになつている。このため、増
幅器16に電圧可変器15からの信号が供給されると、この
出力信号の周期に従つて増幅器16から信号が出力され
る。そして増幅器16の出力信号は抵抗R4,R5を介して増
幅器17に入力される。増幅器17の入力側には基準抵抗18
が接続されており、増幅器17の入力電圧が周期的に変化
すると、この入力電圧の変化に応じて基準抵抗18の電圧
が変化する。基準抵抗18に流れる電流はYLコイル１に流
れる電流に等しいので、電圧可変器15から出力される信
号の周期に応じてYLコイル１を流れる電流が変化するよ
うになつている。
又、スイツチ19がオフのときにはボリユーム14によつ
て設定された電流がYLコイル１に流れる。即ち、ボリユ
ーム14、増幅器17、基準抵抗18などによつてＹ軸偏向コ
イル調整手段が構成され、電圧可変器15、スイツチ19、
増幅器16,17、基準抵抗18などによつて電流調整手段が
構成されている。
て設定された電流がYLコイル１に流れる。即ち、ボリユ
ーム14、増幅器17、基準抵抗18などによつてＹ軸偏向コ
イル調整手段が構成され、電圧可変器15、スイツチ19、
増幅器16,17、基準抵抗18などによつて電流調整手段が
構成されている。
以上の構成において、第２図に示されるように電子線
５が認知範囲６の範囲外の位置13にあるとき、スイツチ
19をオンにすると、電子線がＹ′軸９上をＹ変動範囲12
内で周期的に往復移動する。ここで、XLコイル２の電流
を調整ボリユームで変化させるとXLコイル２の電流値の
変化に応じて電子線がＸ′軸８方向に移動し、電子線が
認知範囲６内を通過するのを観察することができる（第
３図参照）。この後XLコイル２の電流値を微調整して
Ｙ′軸９を認知範囲のＹ軸11と一致させる。
５が認知範囲６の範囲外の位置13にあるとき、スイツチ
19をオンにすると、電子線がＹ′軸９上をＹ変動範囲12
内で周期的に往復移動する。ここで、XLコイル２の電流
を調整ボリユームで変化させるとXLコイル２の電流値の
変化に応じて電子線がＸ′軸８方向に移動し、電子線が
認知範囲６内を通過するのを観察することができる（第
３図参照）。この後XLコイル２の電流値を微調整して
Ｙ′軸９を認知範囲のＹ軸11と一致させる。
次にスイツチ19をオフにしてYLコイル１の電流をボリ
ユーム14で認知範囲６の中心となるように調整する（第
４図参照）。
ユーム14で認知範囲６の中心となるように調整する（第
４図参照）。
このように、電子線がＹ変動範囲12の範囲内で往復移
動するので、ボリユーム14の簡単な操作によつて電子線
５の位置13を認知範囲６内に移動させることができる。
動するので、ボリユーム14の簡単な操作によつて電子線
５の位置13を認知範囲６内に移動させることができる。
なお前記実施例においては、電圧可変器15をYLコイル
１の電流調整回路に挿入したものについて述べたが、電
圧可変器15をXLコイル２の電流調整回路に挿入するよう
にしても前記実施例と同様に行うことができる。
１の電流調整回路に挿入したものについて述べたが、電
圧可変器15をXLコイル２の電流調整回路に挿入するよう
にしても前記実施例と同様に行うことができる。
第５図には、本発明の他の実施例の構成が示されてい
る。
る。
本実施例は、DAコンバータ20、CPU21、コンパレータ2
2、蛍光板24、抵抗R7を追加し、蛍光板24からの信号を
コンパレータ22を介してCPU21へ供給し、ボリユーム14
からの信号を抵抗R1,DAコンバータ20を介してCPU21へ供
給し、これらの信号を基にスイツチ19をオン・オフする
と共に電圧可変器15の電圧を調整するようにしたもので
あり、他の構成は第１図のものと同様であるので、同一
のものには同一符号を付してそれらの説明は省略する。
2、蛍光板24、抵抗R7を追加し、蛍光板24からの信号を
コンパレータ22を介してCPU21へ供給し、ボリユーム14
からの信号を抵抗R1,DAコンバータ20を介してCPU21へ供
給し、これらの信号を基にスイツチ19をオン・オフする
と共に電圧可変器15の電圧を調整するようにしたもので
あり、他の構成は第１図のものと同様であるので、同一
のものには同一符号を付してそれらの説明は省略する。
上記構成において、CPU21によつてスイツチ19がオン
になると電圧可変器15からの信号がYLコイル１に供給さ
れ、YLコイル１の電流が周期的に変化する。このとき同
様にXLコイル２の電流もYLコイル１の電流とは異なつた
周期で変化させる。即ち、各コイルの電流値を異なつた
周期で変化させるのは、第３図に示されるように、電子
線５の位置13を補正範囲７内で操作するためである。
になると電圧可変器15からの信号がYLコイル１に供給さ
れ、YLコイル１の電流が周期的に変化する。このとき同
様にXLコイル２の電流もYLコイル１の電流とは異なつた
周期で変化させる。即ち、各コイルの電流値を異なつた
周期で変化させるのは、第３図に示されるように、電子
線５の位置13を補正範囲７内で操作するためである。
XLコイル２、YLコイル１の電流の変化によつて電子線
が認知範囲６内に入ると、比較電圧Vsより入力電圧Viが
高くなるように設定されたコンパレータ22の出力が変化
し、CPU21のメモリに、このときの電圧可変器15の出力
電圧が記憶される。この記憶された出力電圧の範囲は、
第６図に示されるように、XLコイル２では、認知範囲25
から認知範囲26までとなり、YLコイル１では認知範囲27
から認知範囲28までとなる。ここで、XLコイル２は認知
範囲25＋認知範囲26の1/2の電圧がDAコンバータ20より
加算され、YLコイル１には、認知範囲27＋認知範囲28の
1/2の電圧がDAコンバータ20によつて加算される。これ
により自動的に電子銃の軸出しが可能となる。
が認知範囲６内に入ると、比較電圧Vsより入力電圧Viが
高くなるように設定されたコンパレータ22の出力が変化
し、CPU21のメモリに、このときの電圧可変器15の出力
電圧が記憶される。この記憶された出力電圧の範囲は、
第６図に示されるように、XLコイル２では、認知範囲25
から認知範囲26までとなり、YLコイル１では認知範囲27
から認知範囲28までとなる。ここで、XLコイル２は認知
範囲25＋認知範囲26の1/2の電圧がDAコンバータ20より
加算され、YLコイル１には、認知範囲27＋認知範囲28の
1/2の電圧がDAコンバータ20によつて加算される。これ
により自動的に電子銃の軸出しが可能となる。
以上説明したように蛍光板によって電子線が認知され
る値に基づいて蛍光板の中心を特定することができるた
め、電子銃の軸出しの自動化が容易となる。
る値に基づいて蛍光板の中心を特定することができるた
め、電子銃の軸出しの自動化が容易となる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図乃至第
４図はそれぞれ電子線の移動方法を説明するための図、
第５図は本発明の他の実施例を示す構成図、第６図は第
５図に示す実施例による電子線の移動方法を説明するた
めの図、第７図は軸出しコイルの構成図、第８図及び第
９図はそれぞれ電子線の位置ずれ調整方法を説明するた
めの図、第10図は従来装置による電子線の位置ずれ調整
方法を説明するための図である。 １……YLコイル、２……XLコイル、５……電子線、６…
…認知範囲、７……補正範囲、14……ボリユーム、15…
…電圧可変器、16、17……増幅器、18……基準抵抗、19
……スイツチ。
４図はそれぞれ電子線の移動方法を説明するための図、
第５図は本発明の他の実施例を示す構成図、第６図は第
５図に示す実施例による電子線の移動方法を説明するた
めの図、第７図は軸出しコイルの構成図、第８図及び第
９図はそれぞれ電子線の位置ずれ調整方法を説明するた
めの図、第10図は従来装置による電子線の位置ずれ調整
方法を説明するための図である。 １……YLコイル、２……XLコイル、５……電子線、６…
…認知範囲、７……補正範囲、14……ボリユーム、15…
…電圧可変器、16、17……増幅器、18……基準抵抗、19
……スイツチ。
Claims (1)
- 【請求項１】電子銃、照射レンズ、結像レンズ、像観察
用蛍光板、電子銃からのビームを蛍光板のＸ軸に沿って
偏向させるＸ軸偏向コイル、電子銃からのビームを蛍光
板のＹ軸に沿って偏向させるＹ軸偏向コイルを有する電
子顕微鏡において、前記両偏向コイルにそれぞれ異なる
周期で電流を供給する手段を有し、前記ビームが蛍光板
に照射されたときの前記Ｘ軸偏向コイルに供給された電
流値範囲の同一Ｘ軸上の中心値をＸ軸偏向コイルの供給
電流とし、前記ビームが蛍光板に照射されたときの前記
Ｙ軸偏向コイルに供給された電流値範囲の同一Ｙ軸上の
中心値をＹ軸偏向コイルの供給電流とすることを特徴と
する電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62045243A JP2511934B2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62045243A JP2511934B2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63213247A JPS63213247A (ja) | 1988-09-06 |
| JP2511934B2 true JP2511934B2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=12713813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62045243A Expired - Lifetime JP2511934B2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2511934B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5409511B2 (ja) * | 2010-05-20 | 2014-02-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡、および電子顕微鏡の光軸調整方法 |
-
1987
- 1987-03-02 JP JP62045243A patent/JP2511934B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63213247A (ja) | 1988-09-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |