RU1803207C - Устройство дл жидкостной обработки изделий - Google Patents

Abstract

Использование: дл  очистки фотошаблонных заготовок, может найти применение в стекольной и приборостроительной отрасл х промышленности дл  обработки плоских изделий. Сущность изобретени : устройство содержит ванны дл  обрабатывающей жидкости, держатель изделий, ме- ханизм .вертикального перемещени  держател . Держатель закреплен на раме, кинематически св занной посредством цепной передачи с приводом электродвигател , на валу которого размещены обгонна  муф1 та, св занна  с цепной передачей, и эксцентрик с напрессованным на его внешнюю поверхность подшипником, взаимодействующим с нижней перекладиной рамы в процессе обработки, Это дает возможность повысить качество обработки изделий за счет обеспечени  плавного возвратно-поступательного перемещени  изделий в вертикальной плоскости (покачивани ), что, в свою очередь, дает возможность использовать ультразвук в. процессе обработки и тем самым увеличить ее интенсивность. Кроме того, устройство позвол ет использовать один привод как дл  подъема рамы с держател ми (при выгрузке обработанных изделий и загрузке новых), так и дл  плавного покачивани  рамы в процессе обработки. 4 ил. (Л С

Description

Изобретение относитс  к машиностроению , в частности к технологическому обору- дованмю дл  очистки фотошаблонных Заготовок, и может найти применение в сте кольной и приборостроительной отрасл х промышленности дл  обработки плоских изделий.

Технический результат от данного изобретени  заключаетс  в повышении качества обработки.

На фиг. 1 схематично показано устройство дл  жидкостной обработки изделий (в качестве примера реализации рассмотрено устройство с использованием трех ванн дл  обрабатывающей жидкости); на фиг. 2 - то же, вид сбоку; на фиг. 3 - фрагмент механизма вертикального перемещени  держател ; на фиг. 4 -.фрагмент цепной передачи.

Устройство дл  жидкостной обработки изделий состоит из корпуса 1, на котором закреплены ванны 2 дл  обрабатывающей жидкости, две направл ющие 3 дл  рамы 4, на которой закреплены держатели 5 изделий-кассет 6 с издели ми 7. Кроме того, на корпусе 1 закреплены элементы механизма вертикального перемещени  держател  5 - электродвигатель 8 и блок 9 цепной передачи , образованной двум  звездочками 10 (верхней и нижней) и цепью 11, на ветви которой установлен упор 12, предназначем- ный л  взаимодействи  с нижней псрекла- диной рамы 4. На валу привода электродвигател  8 размещены обгонна 

00

о со ю о VI

муфта 13, на корпусе которой установлена Нижн   звездочка 10 цепной передачи, и эксцентрик 14, на внешнюю поверхность которого напрессован подшипник 15. Верхн   звездочка 10 цепной передачи разме- щена на оси, закрепленной на блоке 9. Цепь 11 проходит через отверстие, выполненное в теле нижней перекладины рамы 4 и фактически служит т гой рамы 4 при ее подъеме. Обгонна  муфта 13 предназначена дл  обеспечени  сцеплени  вала электродвигател  8 с нижней звездочкой 10 цепной т ги на врем  подъема и опускани  рамы 4 с держател ми 5 (дл  выгрузки обработанных изделий 7 из кассет 6 и загрузки новых на обработку). Эксцентрик 14 с напрессован- ным на его внешнюю поверхность подшипником 15 предназначены дл  обеспечени  плавного, без рывков вертикального возвратно-поступательного перемещени  (по- качивани ) рамы 4 с держател ми 5 во врем  обработки изделий 7 в ваннах 2, причем величина эксцентриситета определ ет амплитуду покачивани  рамы 4. В рассматрива

емом примере реализации амплитуда

покачивани  составл ет 60 мм. На чертеже не показаны средства загрузки-выгрузки изделий, цепи управлени  электродвигателем 8, средство подачи обрабатывающей жидкости, ультразвуковые преобразовате-

ли и др. элементы, не имеющие отношени  к существу за вленного и технического решени , но очевидные при реализации устройства дл  применени  его в полупроводниковом производстве.

Работа устройства дл  жидкостной обработки изделий происходит следующим образом. . В исходном состо нии рама 4 с держа тел ми 5 находитс  в верхнем положении за счет взаимодействи  нижней перекладины рамы 4 с упором 12. В ванны 2 заливаетс  обрабатывающа  жидкость, а обрабатываемые издели  7 загружаютс  в кассеты 6,

; которые устанавливают на опорах держателей 5. В верхнем положении держател  5 нижн   звездочка 10 цепной передачи находитс  в зацеплении с валом электродвигател  8 посредством обгонной муфты 13. По окончании процесса загрузки включаетс  электродвигатель 8, передающий вращение нижней звездочки 10 цепной передачи, в результате чего упор 12 на ветви цепи 11 опускаетс  вместе с рамой 4 и держател ми 5. При таком направлении движени  обгонна  муфта 13 выводит звездочку 10 из за- цеплени  с валом электродвигател  8 и опускание рамы 4 по направл ющим 3 происходит под действием собственного веса. При этом нижн   перекладина рам.ы 4 опираетс  на упор 12. Опускание рамы 4 и со 0 5 0

5

0

5

0

5 0 5 .

ответственно, погружение держателей 5 с обрабатывающими издели ми 7 в кассетах

6 в ванны 2 с обрабатывающей жидкостью происходит до тех пор, пока нижн   перекладина рамы 4 неупретс  во вращающийс  вместе с эксцентриком 14 подшипник 15, преп тствующий дальнейшему опусканию рамы 4. При этом держатели 5 с издели ми

7 занимают нижнее положение и полностью погружены в ванны 2 с обрабатывающей жидкостью. Поскольку рама 4 уже опираетс  не на упор 12, а на подшипник 15, то движение цепи 11 прекращаетс , а рама 4, взаимодейству  с подшипником 15, получает возвратно-поступательное вертикальное перемещение (покачивание) с амплитудой, равной величине эксцентриситета и с частотой вращени  эксцентрика 14. При этом .происходит жидкостна  обработка изделий 7 (в нашем случае с применением ультразвука в течение 3-5 мин). По завершении технологической операции осуществл етс  переключение направлени  вращени  электродвигател  8 (реверс), в результате чего обгонна  муфта 13 снова вводит в зацепление звездочку 10 и вал привода электродвигател  8, а цепь 11 начинает перемещатьс  в обратном направлении, при котором ветвь цепи 11 с упором 12 поднимаетс , а упор 12, взаимодейству  с нижней перекладиной par мы 4, увлекает ее за собой вверх. Рама 4 по направл ющим 3 поднимаетс  до вышеописанного верхнего положени , при котором происходит выгрузка обработанных изделий 7. Кассета 6 с издели ми 7 снимаетс  с .опор держател  5 и загружаетс  нова . Далее процесс обработки происходит вышеописанным образом.

Claims (1)

1. Предлагаемое устройство обеспечивает повышение качества обработки изделий за счет плавного вертикального возвратно-поступательного движени  изделий, увеличивающего интенсивность обработки, особенно при использовании ультразвука. При этом устройство позвол ет одним приводом производить и подъем, и покачивание изделий, не внос  загр знений в зону обработки , поскольку над ней в отличие от устройства-прототипа отсутствуют трущиес  части,  вл ющиес  источником загр знений . Дл  перехода с одного вида движени  на другой достаточно лишь переключить направление вращени  электродвигател . В этом состо т техническое и общественнопо- лезное,преимущества предложенного устройства перед прототипом. .Формула изобретени 

   Устройство дл  жидкостной обработки изделий, содержащее ванну дл  обрабатывающей жидкости, держатель изделий и

   приводной механизм вертикального перемещени  держател , отличающеес  тем, что оно имеет раму, держатель изделий жестко закреплен на раме, механизм вертикального перемещени  имеет цепную передачу , кинематически св занную с рамой, а

   вал привода снабжен обгонной муфтой, св занной с цепкой передачей, и эксцентриком с напрессованным на его внешнюю поверхность подшипником, установленным с возможностью взаимодействи  с нижней частью рамы.

   ФиаЛ

   9 &

   Фи г Л