RU1799863C - Способ изготовлени спа спеченного нитрида кремни с металлом - Google Patents
Способ изготовлени спа спеченного нитрида кремни с металломInfo
- Publication number
- RU1799863C RU1799863C SU914921078A SU4921078A RU1799863C RU 1799863 C RU1799863 C RU 1799863C SU 914921078 A SU914921078 A SU 914921078A SU 4921078 A SU4921078 A SU 4921078A RU 1799863 C RU1799863 C RU 1799863C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon nitride
- mpa
- holding
- heating
- junctions
- Prior art date
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
Использование: изобретение относитс к области изготовлени спаев керамики из спеченного нитрида кремни с металлом и может быть использовано дл изготовлени металлокерамических узлов в двигателестроении и электротехнической промышленности . Сущность изобретени : нитрид кремни металлизируют пастой, содержащей 75-92 мас.% вольфрама и 8-25 мас.% титана или гидрида титана. Пайку осуществл ют по режиму: нагрев до 1000°С, выдержка в течение 25-80 мин, дальнейший нагрев до температуры пайки и выдержка при ней в течение 60-75 с. Механическа прочность спаев при сдвиге составл ет 103- 116 МПа, а после 10 термоциклов на воздухе в интервале 20-600-20°С 65-74 МПа. нитриду кремни и активному металлу (сплаву). Пример 1. Готов т пасту состава, мас.%: вольфрам 88, TIH2 12. Пасту нанос т на поверхность керамики слоем толщиной 20-30 мкм. Затем производ т пайку керамики с металлом при помощи медного припо в вакууме ( мм рт.ст.) по режиму: нагрев до 1000°С в течение 1 часа, выдержка при 1000°С в течение 30 мин, нагрев до температуры плавлени медного припо в течение 10 мин, выдержка при температуре плавлени припо в течение 60 сек, охлаждение в течение 3 часов. Механическа прочность спаев керамики из нитрида кремни с никелем при сдвиге составл ет 103±15 МПа, механическа прочность при сдвиге после 10 термоциклов на воздухе в интервале 20-600-20°С составл ет 65±13 МПа. Конкретные примеры составов и свойств приведены в таблице. w Ё Ч| ю ю 00 О CJ
Description
Из приведенных данных видно, что введение в зону спа порошкообразного вольфрама в количестве 75-92 мас.% и соблюдение предлагаемого температурного режима процесса позвол ют повысить механическую прочность спаев после термо- циклировани на 80-100%. Данный эффект расшир ет область применени спаев и повышает их надежность.
Claims (1)
- Формулаизобретени Способ изготовлени спа спеченного нитрида кремни с металлом путем нанесени металлизационного сло , содержащего титан и вольфрам, последующего нагрева и выдержки при температуре пайки, отличающийс тем, что, с целью повышени термической стойкости спаев, металлизационный слой нанос т из пасты, содержащей 8-25 мас.% титана или гидрида титана и 75-92 мас.% вольфрама , при нагреве производ т дополнительную выдержку при 1000°С в течение 25-30 мин, а при температуре пайки - 60-75 с,
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU914921078A RU1799863C (ru) | 1991-03-21 | 1991-03-21 | Способ изготовлени спа спеченного нитрида кремни с металлом |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU914921078A RU1799863C (ru) | 1991-03-21 | 1991-03-21 | Способ изготовлени спа спеченного нитрида кремни с металлом |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU1799863C true RU1799863C (ru) | 1993-03-07 |
Family
ID=21566118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU914921078A RU1799863C (ru) | 1991-03-21 | 1991-03-21 | Способ изготовлени спа спеченного нитрида кремни с металлом |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU1799863C (ru) |
-
1991
- 1991-03-21 RU SU914921078A patent/RU1799863C/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Батыгин В.Н., Метелкин И.И., Решетников A.M. Вакуумно-плотна керамика и ее спаи с металлами. М.: Энерги , 1973, с. 290- 325. За вка ЕР № 0277645, кл. С 04 В 37/02, опубл. 1988 г. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4077888B2 (ja) | セラミックス回路基板 | |
| US4797328A (en) | Soft-solder alloy for bonding ceramic articles | |
| JPS6187396A (ja) | 電子回路装置とその製造方法 | |
| JP2002527892A (ja) | 基板に半導体チップを半田付けする方法と、この方法によって製造されるデバイス | |
| JP3834351B2 (ja) | セラミックス回路基板 | |
| US5045400A (en) | Composition for and method of metallizing ceramic surface, and surface-metallized ceramic article | |
| RU1799863C (ru) | Способ изготовлени спа спеченного нитрида кремни с металлом | |
| JPH0288482A (ja) | セラミックスのメタライズ又は接合方法 | |
| JP3914648B2 (ja) | 金属−セラミックス接合基板 | |
| KR0180485B1 (ko) | 질화 규소 소결체와 금속 접합체의 제조 방법 | |
| KR102442892B1 (ko) | 반도체용 세라믹 기판 히터의 박막형 저항 온도 센서 접합방법 | |
| JPS6272472A (ja) | セラミツクスと金属等との接合方法 | |
| JPH0369874B2 (ru) | ||
| RU2016881C1 (ru) | Состав для изготовления спаев керамики из спеченного нитрида кремния с металлом | |
| JPS62179893A (ja) | 金属とセラミツクスとの接合用ろう材 | |
| JP3155044B2 (ja) | セラミックスと金属の接合用ロウ材及びその接合方法 | |
| JP3302807B2 (ja) | セラミックスとシリコンとの接合方法 | |
| JPS62197376A (ja) | 窒化アルミニウム基板 | |
| JPS59164676A (ja) | セラミツクスと金属の接合体及びその製造方法 | |
| JP2666865B2 (ja) | 窒化アルミニウムセラミックスのメタライズ法 | |
| JP2704158B2 (ja) | 導電性メタライズ層を有する窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 | |
| SU881081A1 (ru) | Паста дл металлизации алюмооксидной керамики | |
| JPH0725675A (ja) | アルミナセラミックスとアルミニウムの接合方法 | |
| SU669711A1 (ru) | Способ соединени феррита с металлами | |
| SU1625855A1 (ru) | Фритта дл металлизационной пасты |