RU1784815C - Устройство дл глубокой очистки газов от примесей паров воды и кислорода - Google Patents

Abstract

Использование: глубока  очистка газов. Сущность изобретени : адсорбционна  и поглотительна  колонки 1 и 6 подсоединены к магистрали посредством многоходовых вентипей 7 и 8 и снабжены байпасными лини ми 9 с запорными вентил ми 10 и 11, что позвол ет производить избирательную очистку . 1 ил.

Description

VI

00

4 00

с 

Изобретение относитс  к области тонкой химической технологии, в частности к устройствам глубокой очистки газов, например благородных, азота метана, углекислоты , и может быть использовано в микроэлектронике, порошковой металлургий , технике  дерного эксперимента и аналитической химии дл  производства полупроводниковых приборов, микросхем, созданий защитной атмосферы при сварке и наполнени  сч ет чиков элементарных частиц , а также дл  целей обычной и у-спектроскопии и хроматографии.

Наиболее близким техническим решением  вл етс  устройство дл  глубокой очистки аргона, содержащее систему криогенной очистки с адсорбером (адсорбционной колонкой), установленным между сборниками газа (емкост ми конденсации и газификации), снабженными многоходовыми вентил ми.

Известное устройство за счет однократного пропускани  газа через систему очистки понижает содержание примесей от 1-10 3до6-10 7об %.

Недостатками известного устройства  вл ютс : высокое значение чистоты исходного газа, т.е применение аргона высшего сорта, невозможность избирательного удалени  примесей, узкий ассортимент очищаемых газов.

Цель изобретени  - обеспечение глубины и избирательности, в части примесей, очистки газов, в том числе и технических, начальное содержание примесей в которых может достигать 1-3 об.%. например дл  азота, причем осуществл етс  избирательное снижение содержани  названных примесей либо они удал ютс  суммарно.

Предлагаемое устройство позвол ет получить глубокую очистку газов, в том числе и технических сортов, избирательное удаление (индивидуальное или суммарное) примесей паров воды и кислорода до уровн  .%.

Устройство позвол ет получить при испытани х чистоту азота на выходе (в емкости 3) до 3.7-106 об.%, исходный газ - технический азот с суммарным содержанием примесей об.%; чистоту ксенона на выходе (в емкости 3) до 9,3-10 об.%, исходный газ - ксенон с содержанием примесей 1-Ю 2 об.%.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что за вл емое устройство, содержащее систему криогенной очистки с адсорбционной колонкой , установленной между емкост ми конденсации и газификации системы, снабженными многоходовыми вентил ми, содержит поглотительную колонку, причем обе колонки подсоединены к устройству также с помощью многоходовых вентилей и снабжены бзйпэсными лини ми с запорными вентил ми.

На чертеже показана схема за вл емого устройства.

Устройство содержит систему криогенной очистки с адсорбционной колонкой 1,

установленной между емкост ми конденсации и газификации 2 и 3 системы, снабженными многоходовыми вентил ми 4 и 5 соответственно, поглотительную колонку б, причем колонки 1 и б подсоединены к устройству также с помощью многоходовых вентилей 7 и 8 соответственно и снабжены байпасными лини ми 9 с запорными вентил ми 10 и 11 соответственно.

Устройство работает следующим образом

Емкость конденсации и газификации 2 подключают с помощью вентил  4 к потоку очищаемого газа, например ксенона, производ т сбор и первичное удаление примесей

из ксенона, далее, переложив вентили 4, 5, 7, 8 в направление очистки и открыв байпас- ные вентили 10 и 11, понижа  уровень хладагента в емкости 2 и повыша  его в емкости 3, пропускают газ через колонку 1, где удал етс  больша  часть влаги и часть кислорода , далее газовый поток проходит через колонку 6, где происходит дополнительное удаление кислорода, затем при конденсации газа в емкости 3 происходит заключительное удаление влаги, остатков кислорода и других не конденсируемых при температуре выбранного хладагента примесей, что обеспечивает высокую чистоту газа в емкости 3, из которой в дальнейшем газ может

быть направлен потребителю.

Claims (1)

1. Устройство позвол ет вести многократную очистку, повтор   описанный цикл очистки в пр мом и обратном пор дках. Формула изобретени 

   Устройство дл  глубокой очистки газов от примесей паров воды и кислорода, содержащее систему криогенной очистки с адсорбционной колонкой, установленную между емкост ми конденсации и газификации системы , снабженными многоходовыми вентил ми , отличающеес  тем, что, с целью обеспечени  глубины и избирательности очистки газов, в том числе и технических, система криогенной очистки содержит поглотительную колонку, причем обе колонки подсоединены к устройству также с помощью многоходовых вентилей и снабжены байпасными лини ми с запорными вентил ми