RU1632352C

RU1632352C - Способ изготовления гибких печатных схем

Info

Publication number: RU1632352C
Authority: RU
Inventors: П.П. Пахомов; В.С. Кузнецов; В.М. Карлов; В.А. Тейерман
Original assignee: Научно-исследовательский институт "Домен"
Priority date: 1989-03-21
Filing date: 1989-03-21
Publication date: 1995-11-20

Abstract

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления гибридных интегральных схем, коммутационных печатных плат, пассивных печатных радиоэлементов. Целью изобретения является повышение качества схемы за счет снижения температурного градиента и исключения непонтролируемых деформаций в фольгированной диэлектрической пленке. Другой целью изобретения является повышение точности изготовления схемы за счет обеспечения равномерной толщины слоя фоторезиста, а также улучшения условий травления. Из фольгированной диэлектрической пленки (П) штампом вырубают заготовку с кольцевой пуклевкой (КП), размещенной на минимальном расстоянии от краев заготовки, не меньшем 1,5 мм. Выравнивание заготовки достигается контролируемой пластической деформацией, проводимой в процессе штамповки, а также формированием из КП ребер жесткости. Необходимая степень выравнивания достигается при отношении ширины КП к диаметру кольца, составляющем 0,020 0,026. 2 ил.

Description

Изобретение относится к радиоэлетронике и может быть использовано в технологии изготовления гибридных интегральных схем, коммутационных печатных плат, пассивных печатных радиоэлементов.

Целью изобретения является повышение качества схемы за счет снижения температурного градиента при формировании печатного рисунка и связанной с ним дифференциации условий протекания фотохимических реакций, а также за счет исключения неконтролируемых деформаций в фольгированной пленке при многократных натяжениях ее при помощи технологической оснастки. Другой целью изобретения является повышение точности изготовления схемы за счет обеспечения равномерной толщины слоя фоторезиста при формировании печатного рисунка, а также благодаря улучшению условий травления, вызванных проведением контролируемой пластической деформации фольги при штамповке.

Проведение операции штамповки фольгированной диэлектрической пленки с образованием кольцевой пуклевки на минимальном расстоянии от края заготовки не менее 1,5 мм обеспечивает с одной стороны жесткость заготовки благодаря пуклевке, выполняющей функции ребра жесткости, а с другой стороны ее плоскостность за счет деформирования материала заготовки. При этом величина натяжения, достаточная для выравнивания заготовки, реализуется при формировании пуклевки на минимальном расстоянии от края заготовки, не меньшем 1,5 мм.

Выполнение пуклевки с конкретными геометрическими размерами обеспечивает необходимую и контролируемую степень деформации материала заготовки, что в свою очередь обусловливает выравнивание заготовки и улучшает условия травления фольги. При этом при отношении ширины пуклевки к диаметру кольца, меньшем 0,020, возможно искривление поверхности пленки, либо ее разрезание штампом. При отношении ширины пуклевки к диаметру кольца, большем 0,026, натяжение пленки недостаточно для выравнивания ее поверхности.

На фиг. 1 представлена заготовка для изготовления гибких печатных схем, общий вид; на фиг.2 сечение А-А на фиг.1.

Заготовка содержит фольгированную диэлектрическую пленку 1 с кольцевой пуклевкой 2 и базовыми отверстиями 3.

П р и м е р. Из односторонней фольгированной полиимидной пленки 1 толщиной 50 мкм штампом вырубают заготовку диаметром 90 мм с кольцевой пуклевкой по периметру диаметром 85 мм и шириной пуклевки, равной 2,20 мм. При этом расстояние от края заготовки до пуклевки составило 2,5 мм, а отношение ширины пуклевки к диаметру кольца равно 0,025. Профиль пуклевки выбран круглой или трапецеидальной формы и направлен в сторону диэлектрического слоя.

Полученную заготовку обезжиривают толуолом, декаптируют в 50% -ном растворе HCl, промывают в воде и высушивают. Затем формируют сквозные отверстия, для чего на полиимидную пленку центрифугированием наносят слой фоторезиста толщиной 1,6-1,8 мкм. После сушки фоторезист экспонируют через фотошаблон, проявляют, а после дубления осуществляют травление. Аналогичным образом формируют печатный рисунок на медной фольге.

Claims

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГИБКИХ ПЕЧАТНЫХ СХЕМ, включающий формирование заготовки путем обрезки по контуру фольгированной диэлектрической пленки, выравнивание заготовки путем ее натяжения, формирование печатного рисунка и отверстий для межслойных переходов и разделение заготовки на печатные схемы, отличающийся тем, что, с целью повышения качества схем и точности их изготовления, обрезку и выравнивание заготовки осуществляют одновременно штамповкой фольгированной диэлектрической пленки с образованием кольцевой пуклевки на минимальном расстоянии от краев заготовки не менее 1,5 мм, причем отношение ширины пуклевки к диаметру кольца пуклевки составляет 0,020-0,026.