Przedmiotem wynalazku jest sposób elektrolitycznego nanoszenia kontaktów sferycznych do struktur pólprzewodnikowych. Sposób ten stosuje sie przy galwanicznym nanoszeniu kontaktów dla duzej ilosci elemen¬ tów pólprzewodnikowych uprzednio wytworzonych w formie struktur na plytce.Znane sposoby elektrolitycznego nanoszenia kontaktów sprowadzaja sie najczesciej do tego, ze pewna ilosc plytek z wytworzonymi strukturami zanurza sie do elektrolitu. Plytki krzemowe od strony elektrody bazy wspólnej dla wszystkich struktur przykleja sie, na przyklad do plytek szklonych i poprzez sprezynki i nakretki dociskowe mocuje w gniazdach listew doprowadzajacych prad. Znany jest równiez sposób wedlug którego plytke ze strukturami pólprzewodnikowymi utrzymuje sie od strony elektrody bazy przyssawka prózniowa.Koncentrycznie z rurka ssawki polaczona jest rurka o wiekszym przekroju poprzecznym, do której doprowadzo¬ ny jest sprezony gaz, na przyklad powietrze. Wyplywajacy gaz z rurki nadmuchowej zabezpiecza brzegi plytki przed przedostawaniem sie tam elektrolitu. Elektrolit doprowadza sie pod pewnym cisnieniem do tej strony plytki, na której nanosi sie kontakty sferyczne.Przedstawione sposoby nanoszenia kontaktów sferycznych daja ograniczone mozliwosci w uzyskiwaniu duzych wydajnosci i jakosci procesu oraz wymagaja szeregu niezbednych, precyzyjnie wykonanych czynnosci jak: zapewnienie pewnego polaczenia elektrycznego wspólnej dla wszystkich struktur pólprzewodnikowych na plytce elektrody bazy z listwa zasilajaca przy jednoczesnym zabezpieczeniu jej (elektrody bazy) przed dostepem elektrolitu. Stosowane do tego celu sprezynki nie daja pewnego polaczenia elektrycznego a maskowanie elektro¬ dy bazy plytkami szklonymi i nakretkami dociskowymi jest bardzo pracochlonne i powoduje czeste lamanie plytek krzemowych.Niedogodnoscia innych znanych sposobów jest koniecznosc stosowania kontroli w obwodach pomocni¬ czych urzadzen mocujacych: stabilizacja cisnienia sprezonego gazu w przewodzie nadmuchowym, regulacja odpo¬ wiedniego natezenia przeplywu elektrolitu omywajacego plytke krzemowa od strony nanoszenia kontaktów. To2 97 682 ostatnie jest szczególnie klopotliwe ze wzgledu na to; ze najczesciej elektfplft jest roztworem- cyjankalicznym.Ponadto w znanych i stosowanych do tego celu kapielach elektrolitycznych nie ma skladnika gwarantujacego wysoka wytrzymalosc mechaniczna gotowyeh kontaktów sferycznych, tak wazna w procesach hermetyzacji struktur. - Celem wynalazku jest usuniecie niedogodnosci znanych sposobów mocowania plytek krzemowych w ka¬ pieli i uzyskanie przy prowadzeniu procesu wysokiej niezawodnosci przy równoczesnym obnizeniu stopnia zlozo¬ nosci pomocniczych obwodów ustalajaco-mocujacych. Dalszym celem wynalazku jest zapewnienie takiego skladu kapieli, aby wytrzymalosc mechaniczna kontaktu sferycznego byla wysoka.Zagadnieniem technicznym wymagajacym rozwiazania dla osiagniecia celu jest opracowanie prostego i pewnego sposobu ustalenia plytki ze strukturami w kapieli galwanicznej, co daje wieksze niz dotychczas korzy¬ sci w uproszczeniu prowadzenia procesu nanoszenia kontaktów sferycznych oraz podnosi stopien jego niezawo¬ dnosci.Zgodnie z wynalazkiem proste i pewne mocowanie plytki na czas trwania procesu uzyskuje sie dzieki wykorzystaniu geometrycznych ksztaltów plytki, jej malego ciezaru oraz wiskotycznych wlasnosci kipieli galwanicznej. Plytka spoczywa na powierzchni elektrolitu w ten sposób, ze plaszczyzna, na której nanoszone sa kontakty zwilzona jest szczelnie elektrolitem. Elektroda bazy wolna jest calkowicie od elektrolitu, a jej polacze¬ nie z biegunem zródla napiecia realizowane jest w ten sposób, ze wywiera ono niewielki nacisk na plytke odbierajac plytce pozostale stopnie swobody. Znikomy ciezar plytki oraz jej stosunkowo duza powierzchnia styku z lepkim elektrolitem nie stawiaja scislych wymagan w zakresie docisku wywieranego na elektrode bazy przy laczeniu jej z biegunem zródla pradu. Brzegi plytki sa zabezpieczone lakierem przed szkodliwym rozply¬ wem pradu przeplywajacego w czasie procesu przez plytke. W elektrolicie zanurzona jest elektroda wykonana z materialu kontaktowego i polaczona do obwodu zasilajacego, zlozonego ze zródla napiecia przemiennego i szeregowo wlaczonego opornika do ustalenia wartosci gestosci pradu podczas nanoszenia kontaktu. Kapiel elektrolityczna zawiera sól antymonu, który podnosi wytrzymalosc mechaniczna naniesionego kontaktu.Wlasnosc ta jest szczególnie pozadana przy montazu struktur pólprzewodnikowych.Przedmiot wynalazku przedstawiony jest w przykladzie wykonania na rysunku, który przedstawia plytke 1 z materialu pólprzewodnikowego z naniesionymi strukturami spoczywajaca na powierzchni kapieli elektroli¬ tycznej 5. Plytka ma zabezpieczone brzegi listwa maskujaca 6, a polaczenie 10 elektrody bazy z biegunem zródla napiecia wywiera docisk na plytke 1. W kapieli elektrolitycznej 5 zawierajacej sól antymonu w ilosci 1 g/l umieszczona jest elektroda 4 wykonana z materialu kontaktowego, na przyklad srebra. Elektroda bazy 2 wraz z elektroda 3 wlaczone sa w obwód generatora 9 napiecia przemiennego zawierajacego potencjometr 7 i miernik natezenia pradu 8 w celu ustalenia wlasciwej gestosci pradu podczas nanoszenia kontaktów do struktur znajduja¬ cych sie na plytce 1.Jak uwidoczniono na rysunku, plytke ze strukturami umieszcza sie na powierzchni elektrolitu, wykorzy¬ stujac jej znany geometryczny ksztalt kolowy. Poniewaz elektrolit charakteryzuje-sie okreslona lepkoscia, za¬ pewniajaca przenoszenie naprezen stycznych, jakie wystepuja na styku obwodu plytki z elektrolitem uniemozli¬ wiajac tym samym zatopienie plytki równiez po przylozeniu nacisku. Nacisk zapewnia plytce zupelna statecz¬ nosc bedac jednoczesnie polaczeniem elektrody bazy ze zródlem napiecia. Po polaczeniu obu elektrod ze zródlem napiecia przemiennego, 3V i ustawieniu potencjometru w takim polozeniu aby uzyskac gestosc pradu 2A/dma nastepuje elektroliza, podczas której w strukturach na plytce pólprzewodnikowej osadza sie kontakt sferyczny. Wysokosc kontaktu reguluje sie czasem trwania elektrolizy.Sposób wedlug wynalazku nie jest ograniczony jedynie do opisanego przykladu wykonania lub kombinacji, albo do stosowania razem wszystkich jego cech, lecz obejmuje równiez stosowanie pojedynczych cech. PL