PL36463B1 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
PL36463B1
PL36463B1 PL36463A PL3646352A PL36463B1 PL 36463 B1 PL36463 B1 PL 36463B1 PL 36463 A PL36463 A PL 36463A PL 3646352 A PL3646352 A PL 3646352A PL 36463 B1 PL36463 B1 PL 36463B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
pump
ion
space
deflecting
stream
Prior art date
Application number
PL36463A
Other languages
English (en)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of PL36463B1 publication Critical patent/PL36463B1/pl

Links

Description

Przedmiot wynalazku dotyczy urzadzenia do otrzymywania strumienia jonowego, nie zawie¬ rajacego praktycznie czastek gazowych.Urzadzenia tego rodzaju skladaja sie zazwyczaj ze zródla jonów, w którym gaz luib inny pierwia¬ stek jest jonizowany, ze stopnia pompowego, zao¬ patrzonego w filtry dyfuzyjne, mogace sluzyc takze jako elektrody przyspieszajace, w którym nie zjonizowane czastki sa odsysane, a wreszcie z wlasciwego stopnia przyspieszajacego, w któ¬ rym strumien jonowy osiaga zadana szybkosc.Przyspieszanie jonów stosuje sie do wielu celów, zwlaszcza w fizyce jadrowej. Jony takie sluza np. do naswietlania jadra atomowego, w celu otrzymywania sztucznych radioaktywnych two¬ rzyw. Przyspieszone jony lekkiego wodoru two¬ rza protony, natomiast przyspieszone jony ciez¬ kiego wodoru tworza demtrony, jony zas helu tworza czastki alfa itd. Jony niektórych gazów, pierwiastków i zwiazków posiadaja duze znacze¬ nie np. w dziedzinie spektroskopii tworzyw.W zródlach jonów czastki gazów lub pier¬ wiastków sa jonizowane przy cisnieniu od kilku tysiacznych mm Hg do kilku mm Hg, natomiast cisnienie w stopniu przyspieszajacym nie jest wyzsze od 1(H mm Hg, a w niektóryeh przy¬ padkach musi byc nawet nie wyzsze anizeli 10"6 mm Hg. W urzadzeniach przyspieszaja¬ cych o napieciu wyzszym od 100 kV niedosta¬ teczna próznia powoduje powstawanie luku mie¬ dzy poszczególnymi elektrodami oraz wyladowan wiazkowych.W znanych dotychczas urzadzeniach do otrzy¬ mywania czystego strumienia jonowego stosuje sie dlatego miedzy wlasciwym stopniem jono¬ wym, a stopniem przyspieszajacym przestrzen pompowa z ukladem filtrów i pomp wysokopróz- niowych. Ten sposób wymaga jednak filtrów o malym otworze, wzglednie o dluzszym kanale, co jednak zmniejsza wydajnosc zródla jonów.Filtry sa umieszczone w jednej linii z edektren darni ssacymi zródla jonów i elementem ssacym, prowadzacym do stopnia przyspieszajacego, na¬ tomiast elementy ssace pomp wysofeopróznio- wych sa ustawione prostopadle do kierunku stru¬ mienia jonowego. Czastki, które w duzej prózni poruszaja sie prostoliniowo, dochodza razem ze strumieniem jonowym do stopnia przyspieszaja-xefe^-%sfeijtek czpgo nie mozd-byc. tu osiagnieta WyS°^a#^fia* * %fl a0l$^$mnosc &e u^tJ^al^urzadzenie wedlug wynalazku. Urzadzenie to skladajace sie z wla¬ sciwego zródla jonów, stopnia .pompowego oraz stopnia przyspieszajacego, jest znamienne tym, ze w kierunku, w którym strumien jonowy wchodzi do przestrzeni ssacej, jest umieszczony element ssacy pompy wysokoprózniowej oraz ze strumien jonowy jest odchylony ze swego kie¬ runku pierwotnego i zostaje skupiony na wejscio¬ wym filtrze przestrzeni pompowej. Skupianie to jest uskuteczniane za pomoca pola magnetyczne¬ go lub elektrostatycznego lub tez za pomoca obu tych pól. Przestrzen ssaca mgze byc podzielona na dwie czesci za pomoca przegrody, zaopatrzo¬ nej w otwór do przeplywu strumienia jonowego.W jednej z tych czesci znajduje sie element ssacy^pompy, w drugiej zas czesci — filtr wyj¬ sciowy. W celu uzyskania wyzszej prózni moz¬ na zastosowac przed stopniem przyspieszajacym kilka takich przestrzeni ssacych, polaczonych szeregowo.P-rzedmiot wynalazku jest uwidoczniony na rysunku, na którym fig. 1 przedstawia dotych¬ czasowe rozwiazanie, fig. 2 — urzadzenie wedlug wynalazku ze stopniem pompowym, utworzo¬ nym z jednej przestrzeni pompowej bez przegro¬ dy fig. 3 — podobne urzadzenie z przegroda i fig. 4 — urzadzenie wedlug wynalazku ze stop¬ niem pompowym z trzema przestrzeniami pom¬ powymi, zaopatrzonymi w przegrody wedlug .fig. 3.¦Na fig. 1 cyfra 1 oznaczone jest wlasciwe zró¬ dlo jonów, cyfra 2 — stopien pompowy, cyfra 3 --^- nie uwidoczniony na rysunku stopien przy¬ spieszajacy, do którego wchodzi strumien jono¬ wy 15. Zródlo jonów 1 zawiera przestrzen ka¬ pilarna 4, nagrzewana katode 5, anode 6 oraz szyjke wlotowa 7, crzez która gaz lub pierwia¬ stek, który ma byc jonizowany, jcst doprowadza¬ ny do przestrzeni kapilarnej 4. Miedzy katoda i anoda powstaje luk jonizacyjny, zas elektroda 8 odsysa jony z przestrzeni 4 miedzy katoda i anoda. Na jednej linii z elektroda 8 leza filtry 9, 10, 11, które sluza do przyspieszania strumie¬ nia jonowego 15, a jednoczesnie sa filtrami dy¬ fuzyjnymi. Do szyjek 12, 13, 14 sa przylaczone nie uwidocznione na rysunku pompy, które od¬ sysaja z przestrzeni 4 dyfundujace nie zjonizo¬ wane czasteczki. Poniewaz jednak czasteczki po-? ruszaja sie prostoliniowo wraz ze strumieniem jonowym, znaczna ich ilosc dochodzi do stopnia przyspieszajacego.Fig. 2 przedstawia najprostsze wykonanie urza¬ dzenia wedlug wynalazku. Zródlo jonów jest to samo, co w urzadzeniu wedlug fig. 1. Jony sa takze odsysane za pomoca elektrody ssacej 8 i wraz z niezjonizowanymi czastkami przedostaja sie do stopnia ssacego 2, którego przestrzen ssa¬ ca jest oznaczona liczba 47. Przeciwnie do kie¬ runku wlotu strumienia jonowego 15 znajduje sie szyjka ssaca 16, do której przylaczona jest nieuwidoczniona na rysunku pompa, która wy¬ pompowuje wraz ze strumieniem jonowym dy¬ fundujace nie zjonizowane czasteczki z przestrze¬ ni pompowej. Strumien jonowy jest odchylany, np. za pomoca pola magnetycznego 17, o kat 90° wskutek czego zostaje skupiany na filtrze wyjsciowym 18, przez który oczyszczony stru¬ mien jonowy przechodzi do stopnia przyspiesza¬ jacego 3.W niektórych przypadkach np. w spektroskopii tworzyw, gdzie jest doprowadzony strumien jo¬ nowy, wolny od jonów innego izotopu lub wol¬ ny od jonów o innym ladunku, lub tez tam, gdzie ze strumienia jonowego, posiadajacego jo¬ ny o róznej energii kinetycznej, winny byc wy¬ brane jony moncenergetyczne, jest korzystnie zastosowac urzadzenie przedstawione na fig. 3.Przestrzen pompowa 48 jest tutaj podzielona na dwie przestrzenie 21, 22 za pomoca przegrody 19, zaopatrzonej w otwór 20. Szyjka ssaca 16 pom¬ py znajduje sie w przestrzeni 21 przeciwnie do kierunku wchodzacego strumienia jonowego 15* W przestrzeni 22 znajduje sie filtr wyjsciowy 18, który sluzy jako elektroda przyspieszajaca i ja¬ ko filtr dyfuzyjny. Strumien jonowy jest w po¬ lu magnetycznym 17 tak odchylany, ze przecho¬ dzi on przez otwór 20 i jest skupiany na filtrze wyjsciowym 18, po przejsciu przez który prze¬ dostaje sie do nieuwidocznionego na rysunku stopnia przyspieszajacego 3. Przez odpowiedni dobór powierzchni i ksztaltu otworu 20 mozna oddzielic pozadane czesci strumienia jonowego i usunac niepozadane skladowe.Jezeli w stopniu przyspieszajacym jest wyma¬ gana szczególnie wysoka próznia, mozna stopien pompowy zaopatrzyc w kilka przestrzeni pompo¬ wych wedlug fig. 2 lub 3. Takie urzadzenie o trzech przestrzeniach wedlug fig. 3 jest tytu¬ lem przykladu przedstawione na fig. 4. Pole ma¬ gnetyczne 24 odchyla strumien jonowy 15 o kat 180°, wskutek czego przechodzi on po przez otwór 26 w przegrodzie 25, która dzieli pierw¬ sza przestrzen pompowa 42 na dwie czesci 27 i 28. Przeciwnie do wlotowego kierunku stru¬ mienia jonowego 15 znajduje sie w czesci 27 szyjka ssaca 23, do której jest przylaczona pom¬ pa wysokoprózniowa, nie uwidoczniona na ry¬ sunku, za pomoca której sa odsysane czasteczki nie zjonizowane. Strumien jonowy jest skupiany na filtrze wyjsciowym 29, znajdujacym sie 2w miejscu przejseia z przestrzeni 28 do drugiej przestrzeni ssacej U3. Ta''druga przestrzen ssaca jest z kolei podzielona na dwie czesci 33 i 3U za pomoca przegrody.31, zaopatrzonej w otwór 32. W przestrzeni 33 znajduje sie, równiez prze¬ ciwnie do kierunku wchodzacego strumienia jo¬ nowego, szyjka ssaca 30, przez która niezjonizo¬ wane czasteczki sa odprowadzane z przestrzeni 28 do przestrzeni 33. Za pomoca pola magnetycz¬ nego A5 strumien jonowy jest odchylany o kat 180°, wskutek czego przedostaje sie on przez otwór 32 do przestrzeni 3A i zostaje skupiony na filtrze wyjsciowym 35. Ten ostatni filtr znaj¬ duje sie w miejscu przejscia miedzy przestrze¬ nia 3U i trzecia przestrzenia pompowa AU, po¬ dzielona na dwie przestrzenie 39 i AO za pomoca przegrody 37, zaopatrzonej w otwór 38. Pozosta¬ le czasteczki sa odsysane z przestrzeni 39 przez szyjke ssaca 36, zas strumien jonowy zostaje od¬ chylony o kat 90° za pomoca pola magnetycz¬ nego W, wskutek czego strumien ten przechodzi poprzez otwór 38 i zostaje skupiony na filtrze wyjsciowym 41. Strumien jonowy 15 przechodzi przez filtr 41 praktycznie biorac bez czaste¬ czek gazowych i przedostaje sie do nieuwidocz- nionego na rysunku stopnia przyspieszajacego 3.Przez odpowiednie rozmieszczenie poszczegól¬ nych otworów w przegrodach oraz odpowiednie rozmieszczenie wyjsciowych filtrów poszczegól¬ nych stopni mozna kontrolowac wychodzace jony odnosnie ich charakteru i ich energii. PL

Claims (7)

  1. Zastrzezenia patentowe 1. Urzadzenie do otrzymywania strumienia jono¬ wego, skladajace sie z wlasciwego zródla jo¬ nów, stopnia pompowego i stopnia przyspie¬ szajacego, znamienne tym, ze zawiera prze¬ strzenie pompowe W, U8), w których w kie¬ runku wlotowym strumienia jonowego (15) jest umieszczona szyjka ssaca (16) pompy wy- sokoprózniowej, przy czym strumien jonowy jest odchylany ze swego kierunku pierwotne¬ go i skupiany na filtrze wyjsciowym (18) przestrzeni pompowej.
  2. 2. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze posiada elementy do odchylania strumie¬ nia jonowego (15) za pomoca pola magnetycz¬ nego (17).
  3. 3. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze posiada elementy do odchylania strumienia jonowego (15) za pomoca pola elektrostatycz¬ nego.
  4. 4. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze posiada elementy do odchylania strumienia jonowego (15) za pomoca wspólnego dziala¬ nia pola magnetycznego i elektrostatycznego.
  5. 5. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 — 4, znamienne tym, ze przestrzen pompowa (48) jest podzie¬ lona za pomoca przegrody (19) na dwie czesci (21, 22), przy czym przegroda ta jest zaopa¬ trzona w otwór (20), którego powierzchnia i ksztalt odpowiada zadanemu kierunkowi strumienia jonowego, wskutek czego jest on doprowadzany do filtru wyjsciowego (18).
  6. 6. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 — 5, znamienne tym, ze zawiera w charakterze stopni pompo¬ wych kilka szeregowo umieszczonych prze¬ strzeni pompowych.
  7. 7. Urzadzenie wedlug zastrz. 5 i 6, znamienne tym, ze pole (17, 2h, A.5, 46), odchylajace stru¬ mien jonowy (15), powierzchnia i ksztalt otworów (20, 26, 32, 38) w przestrzeniach pom¬ powych oraz ksztalt i rozmieszczenie filtrów wyjsciowych (18, 29, 35, 41) sa w stosunku do siebie tak dobrane, iz przepuszczana jest tylko zadana czesc strumienia jonowego (15). Tesla, narodni podnik Zastepca: Kolegium Rzeczników PatentowychDo opisu patentowego nr 36463 /5 9 40 " ; -Lii. #2 As -j f/g* /7GJ /7G4 MUILUU.UUHKilB -JI E l B L ' ':kaI [roirJ^jft^ , : -ilowej [ „Prasa" St-gród, 3022-17,7!54 — R-5-14499-E1 bezdrz. 100 g. — 150. PL
PL36463A 1952-12-20 PL36463B1 (pl)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL36463B1 true PL36463B1 (pl) 1953-08-31

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017022125A1 (ja) 質量分析装置
US2892114A (en) Continuous plasma generator
US20070114392A1 (en) Mass spectrometer
US5139731A (en) System and method for increasing the efficiency of a cyclotron
CN112955998B (zh) 质量分析装置
GB684710A (en) Improvements relating to high vacuum pumps
PL36463B1 (pl)
US10455683B2 (en) Ion throughput pump and method
JP3272441B2 (ja) イオン加速装置
EP0809857B1 (en) Generator of ribbon-shaped ion beam
Bittner Production of Doubly Charged Helium Ions
US3408519A (en) Ion source with spaced electrode ionizing pits
CN105428199B (zh) 质谱分析方法及具有大气压接口的质谱分析装置
GB1398167A (en) High pressure ion sources
US5326227A (en) Exhaust apparatus with vacuum pump
JP4571003B2 (ja) クラスターイオンビーム装置
JPH09270245A (ja) 不純物イオン発生装置及びこれを用いた質量分析装置
JPH09223474A (ja) 加速型プラズマ銃
CN113748488B (zh) 离子分析装置
JP2765111B2 (ja) イオン注入装置
RU2183985C2 (ru) Способ промышленного электромагнитного разделения изотопов химических элементов
JP6752449B2 (ja) イオンビーム中和方法と装置
US3955090A (en) Sputtered particle flow source for isotopically selective ionization
DE1915367A1 (de) Ein- oder mehrstufige komprimierende Ionenpumpe
EP0056899A1 (en) Gas ion source