PL227817B1 - Struktura ogniwa fotowoltaicznego oraz sposób wykonania struktury ogniwa fotowoltaicznego - Google Patents
Struktura ogniwa fotowoltaicznego oraz sposób wykonania struktury ogniwa fotowoltaicznego Download PDFInfo
- Publication number
- PL227817B1 PL227817B1 PL407335A PL40733514A PL227817B1 PL 227817 B1 PL227817 B1 PL 227817B1 PL 407335 A PL407335 A PL 407335A PL 40733514 A PL40733514 A PL 40733514A PL 227817 B1 PL227817 B1 PL 227817B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- zno
- layer
- covered
- electrical contact
- substrate
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims abstract description 9
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 6
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000002073 nanorod Substances 0.000 claims description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L zinc dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 3
- HQWPLXHWEZZGKY-UHFFFAOYSA-N diethylzinc Chemical compound CC[Zn]CC HQWPLXHWEZZGKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- AXAZMDOAUQTMOW-UHFFFAOYSA-N dimethylzinc Chemical compound C[Zn]C AXAZMDOAUQTMOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011592 zinc chloride Substances 0.000 claims description 2
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 claims description 2
- 239000002061 nanopillar Substances 0.000 abstract description 4
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 abstract description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 78
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 39
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 7
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 description 5
- CJOBVZJTOIVNNF-UHFFFAOYSA-N cadmium sulfide Chemical compound [Cd]=S CJOBVZJTOIVNNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 102000007469 Actins Human genes 0.000 description 1
- 108010085238 Actins Proteins 0.000 description 1
- 229910004612 CdTe—CdS Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N Silver ion Chemical compound [Ag+] FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N acetic acid;zinc Chemical compound [Zn].CC(O)=O.CC(O)=O ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical group [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011545 laboratory measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002078 nanoshell Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004246 zinc acetate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
Przedmiotem wynalazku jest struktura ogniwa fotowoltaicznego oraz sposób wykonania struktury ogniwa fotowoltaicznego. Struktura ma podłoże o przewodnictwie typu p, ze spodnim kontaktem elektrycznym, na którym znajduje się warstwa aktywna ZnO a na niej przezroczysta elektroda z kontaktem elektrycznym. W strukturze tej warstwę aktywną ZnO pomiędzy podłożem (1), a warstwą przezroczystej elektrody (6), stanowi warstwa nanosłupków ZnO o wysokości co najmniej 50 nm pokrytych warstwą ZnO o grubości co najmniej 1 nm. Sposób wykonania struktury ogniwa fotowoltaicznego, polega na tym, że najpierw podłoże typu p, ze spodnim kontaktem elektrycznym pokrywa się warstwą zarodkującą, następnie podłoże wraz z warstwą zarodkującą, umieszcza w mieszaninie reakcyjnej o wartości pH 6,5 - 12, zawierającej rozpuszczalnik, co najmniej jeden prekursor tlenu, i co najmniej jeden prekursor cynku, podgrzewa się do temperatury 30 - 95°C i utrzymuje w tej temperaturze przez co najmniej 1 sekundę. Z kolei z podłoża i wykrystalizowanych nanosłupków warstwy aktywnej usuwa się zanieczyszczenia, i pokrywa nanosłupki warstwą ZnO (5). Następnie warstwę aktywną pokrywa się warstwą przezroczystej elektrody, na której wykonuje się górny kontakt elektryczny.
Description
Przedmiotem wynalazku jest struktura ogniwa fotowoltaicznego oraz sposób wykonania struktury ogniwa fotowoltaicznego. Struktury tego typu mogą być wykorzystywane jako źródło energii elektrycznej, ponieważ podczas oświetlania światłem generują napięcie elektryczne.
W literaturze naukowej jak i patentowej znajdują się opisy struktur fotowoltaicznych różnego rodzaju.
Do najbardziej znanych należą krzemowe ogniwa fotowoltaiczne PV, które stanowią prawie 90% rynku fotowoltaicznego. Obecnie w handlu znajdują się panele PV zawierające krystaliczne, cienkowarstwowe ogniwa krzemowe. Chociaż obserwuje się znaczące postępy w technologii komórek/struktur PV opartych zarówno o monokrystaliczny jaki i o polikrystaliczny krzem nadal technologia ich wytwarzania jest zbyt droga i w większości przypadków jest po prostu nieopłacalna. Pozostałe 10% rynku fotowoltaicznego stanowią ogniwa fotowoltaiczne oparte o cienko warstwowe materiały takie jak: tellurek kadmu (CdTe), siarczek kadmu (CdS), stopy miedziowo-indowo-galowo-dwuselenku (CIGS) oraz ogniwa wielo-złączowe wykorzystujące materiały AIIIBV. Wadą ogniw cienkowarstwowych CdTe-CdS jest ich wysoka cena (zwłaszcza koszt telluru) jak również ich negatywny wpływ na środowisko ze względu na użycie kadmu. Kolejnym problemem który ogranicza stosowalność technologii opartej o CdTe są problemy związane z wykonaniem kontaktów omowych zarówno do p-typu CdTe jak i do n-typu CdS. Te utrudnienia powodują, że CdTe oraz CdS są materiałami trudnymi dla fotowoltaiki.
W przypadku ogniw opartych o stop selenku indowo-galowo-miedziowego (CIGS), problem jest podobny, gdyż partnerem do p-typu przewodnictwa CIGS najczęściej stosowany jest CdS.
Znane są także ogniwa zawierające wielowarstwy różnych materiałów, tzw. ogniwa wielozłączowe, wytwarzane za pomocą epitaksji z wiązek molekularnych (MBE). Struktury takich ogniw zbudowane są na ogół z trzech warstw. Dolną warstwą jest warstwa podłożowa z germanu (Ge), środkową jest wielowarstwa InGaAs a górną warstwą jest również wielowarstwa InGaP. Sprawność ogniw trój-złączowych jest wprawdzie najwyższa (rzędu 40% w warunkach laboratoryjnych) ale ich koszt wytworzenia jest bardzo wysoki co powoduje, że ich masowa produkcja nie jest możliwa.
Z publikacji R. Pietruszka, G. Luka. B.S. Witkowski, K. Kopalko, E. Zielony, P. Biegański, E. Placzek-Popko, M. Godlewski, „Electrical and photovoItaic propertics of ZnO/Si heterostructures with ZnO films grown by atomie Iayer deposition”. Thin Solid Films, doi: 10,1016/j.tsf.2013.10.110, znana jest struktura ogniwa fotowoltaicznego, wytwarzana za pomocą technologii osadzania warstw atomowych (ang. Atomic Layer Deposition - ALD). Struktura ta jest strukturą trój-warstwową o układzie półprzewodnik typu p / półprzewodnik typu n / przezroczysta półprzewodnikowa elektroda. Podłożem w tej strukturze jest podłoże typu p, które jest pierwszą warstwą, drugą warstwą jest warstwa tlenku cynku (typu n), a trzecią warstwą jest warstwa tlenku cynku domieszkowana aluminium. Koszt wytworzenia struktury jest stosunkowo niski w porównaniu ze strukturami wytwarzanymi komercyjnie, a sprawność ogniwa zbudowanego z takich struktur sięga 6%.
Z publikacji; R Pietruszka i inni, Beilstain Journal of Nanotechnology 2014, 5, p. 173-179 pt. „Photovoltaic properties of ZnO nanorods/ptype Si heterojunction structures” znana jest struktura ogniwa fotowoltaicznego na bazie ZnO, która posiada półprzewodnikowe podłoże typu p ze spodnim kontaktem elektrycznym (warstwa Al), na którym znajduje się warstwa zarodkująca ZnO oraz warstwa nanosłupków ZnO pokryła warstwą przezroczystej elektrody. ZnO:Al z kontaktem elektrycznym. Z publikacji tej znany jest także sposób wykonania takiej struktury. W przypadku takiej struktury efektywne złącze nie jest tworzone na całej powierzchni krzemu, a jedynie w miejscach, gdzie występują nanosłupki ZnO. Przestrzenie pomiędzy nanosłupkami, które zostały wypełnione warstwą AZO (ze względu na wysoką koncentrację; elektronów) nie biorą udziału w separacji nośników, a tym samym nie dają wkładu do wydajności ogniwa.
Celem wynalazku jest opracowanie struktury fotowoltaicznej o podwyższonej wydajności oraz względnie taniego sposobu wytwarzania takiej struktury.
Struktura fotowoltaiczna według wynalazku posiada półprzewodnikowe podłoże typu p, ze spodnim kontaktem elektrycznym, na którym znajduje się warstwa aktyna ZnO, w postaci nanosłupków ZnO osadzonych na warstwie zarodkującej oraz warstwa przezroczystej elektrody ZnO:Al z kontaktem elektrycznym. W strukturze tej warstwa aktywna ma postać nanosłupków ZnO przykrytych dodatkową warstwą ZnO o grubości co najmniej 200 nm.
Sposób wykonania struktury ogniwa fotowoltaicznego według wynalazku polega na tym, że najpierw na podłożu półprzewodnikowym typu p, ze spodnim kontaktem elektrycznym, wytwarza się
PL 227 817 B1 w znany sposób warstwę zarodkującą a następnie warstwę aktywną ZnO w postaci nanosłupków ZnO oraz warstwę przezroczystej elektrody ZnO:Al i kontakt elektryczny. W sposobie tym, po zakończeniu procesu krystalizacji nanosłupków ZnO usuwa się z podłoża i wykrystalizowanych nanosłupków ZnO zanieczyszczenia, korzystnie wygrzewając przez co najmniej 1 sekundę w temperaturze >100°C. Następnie nanosłupki ZnO pokrywa się dodatkową warstwą ZnO o grubości co najmniej 200 nm i dopiero taką warstwę aktywną pokrywa się warstwę przezroczystej elektrody ZnO:AI, na której wykonuje się górny kontakt elektryczny. Korzystnie jest jeżeli dodatkową warstwę ZnO, którą pokrywa się nanosłupki warstwy aktywnej osadza się w co najmniej 1000 cyklach procesu ALD stosując jako prekursor cynku dietylocynk, dimetylocynk lub chlorek cynku, a jako prekursor tlenu wodę, ozon lub plazmę tlenową.
Otrzymana struktura generuje napięcie elektryczne pod wpływem światła z zakresu widzialnego, podczerwieni i bliskiego UV. Technologia wykonania struktury fotowoltaicznej według wynalazku jest tania i prosta, a struktura jest strukturą wielokrotnego użytku.
Wynalazek zostanie bliżej objaśniony na przykładzie wykonania struktury fotowoltaicznej Ti-Au/ZnO:Al/ZnO/ZnONR/Si/Al pokazanej na rysunku.
Do wykonania przykładowej struktury wykorzystano komercyjne podłoże krzemowe typu p o oporności 2.3 Ω cm i rozmiarach 1,5 x 1,5 cm. Podłoże na początku zostało poddane oczyszczaniu, które prowadzono w płuczce ultradźwiękowej. Podłoże płukano w 3 etapach po 30 sekund, kolejno w izopropanolu, acetonie i wodzie dejonizowanej. Na wyczyszczone podłoże 1, od spodu, metodą rozpylania katodowego naniesiono warstwę glinu 2 stanowiącą spodni kontakt elektryczny. W drugim etapie przystąpiono do wytworzenia na oczyszczonym podłożu warstwy aktywnej ZnO w postaci nanosłupków ZnO 4 pokrytych cienką warstwą ZnO 5. W tym celu najpierw na górnej powierzchni podłoża I również metodą rozpylania katodowego, naniesiono nanocząsteczki srebra, stanowiące zarodki 3 do wzrostu hydrotermalnego nanosłupków. Następnie podłoże z zarodkami umieszczono w mieszaninie reakcyjnej zawierającej rozpuszczony octan cynku doprowadzony do wartości pH równej 8. Mieszaninę wraz z podłożem podgrzano do temp. 50°C i w tej temperaturze przez 2 minuty prowadzono wzrost nanosłupków. Po zakończeniu wzrostu podłoże 1 z wykrystalizowanymi nanosłupkami 4 wypłukano w izopropanolu dla usunięcia ewentualnych zanieczyszczeń i przystąpiono do osadzania na nich warstwy ZnO 5. W tym celu podłoże umieszczono w reaktorze ALD gdzie wygrzewano je przez 2 minuty w temperaturze 200°C. Po wygrzewaniu komora reaktora została schłodzona do temp. 160°C, i w tej temperaturze, w 1000 cyklach ALD nanosłupki ZnO (oraz częściowo podłoże) zostały dokładnie pokryte warstwą ZnO o grubości ok. 200 nm. Następnie bez wyciągania z reaktora ALD podłoża z osadzoną warstwą aktywną, nałożono warstwę przezroczystej elektrody 6 w postaci warstwy tlenku cynku domieszkowanego glinem ZnO:Al. W tej samej temperaturze (160°) w 1700 cyklach ALD, na warstwie aktywnej (nanosłupki 4 pokryte warstwą ZnO 5) osadzono warstwą ZnO:Al o grubości 300 nm stanowiącą górną, przezroczystą elektrodę 6.
Warstwę elektrody 6 osadzono stosując jako prekursor cynku dietylocynk, jako prekursor tlenu wodę, a jako prekursor glinu trimetyloglin. Po osadzeniu warstwy elektrody 6, w procesie rozpylania katodowego naniesiono punktowy omowy kontakt do warstwy ZnO:Al 7 wykonany z tytanu i złota.
Pokrycie nanosłupków ZnO dodatkowo warstwą ZnO zwiększyło obszar złącza separującego nośniki, co zdecydowanie wpłynęło na zwiększenie sprawności struktury według wynalazku. Otrzymana struktura wykazała sprawność ~12% (pomiary laboratoryjne z wykorzystaniem symulatora słońca).
Claims (3)
1. Struktura ogniwa fotowoltaicznego, posiadająca półprzewodnikowe podłoże podłoże typu p, ze spodnim kontaktem elektrycznym, warstwę aktywną ZnO w postaci nanosłupków ZnO osadzonych na warstwie zarodkującej oraz warstwę przezroczystej elektrody ZnO:Al z kontaktem elektrycznym, znamienna tym, że warstwa aktywna ZnO ma postać nanosłupków przykrytych dodatkowej warstwą ZnO o grubości co najmniej 200 nm.
2. Sposób wykonania struktury ogniwa fotowoltaicznego, w którym na podłożu typu p, ze spodnim kontaktem elektrycznym, wytwarza sie w znany sposób warstwę zarodkującą a następnie warstwę aktywną ZnO w postaci nanosłupków ZnO, oraz warstwę przezroczystej elektrody ZnO:Al i kontakt elektryczny, znamienny tym, że po zakończeniu procesu wytwarzania nanosłupków ZnO usuwa się z podłoża i wykrystalizowanych nanosłupków ZnO zanieczyszczenia, korzystnie wygrzewając przez co najmniej 1 sekundę w temperaturze >100°C,
PL 227 817 Β1 po czym nanosłupki ZnO pokrywa się za pomocą procesu ALD, dodatkową warstwą ZnO o grubości co najmniej 200 nm i dopiero taką warstwę aktywną pokrywa się warstwą przezroczystej elektrody ZnO:AI, na której wykonuje się górny kontakt elektryczny.
3. Sposób według zastrz. 3, znamienny tym, że dodatkową warstwę ZnO, którą pokrywa się nanosłupki warstwy aktywnej osadza się w co najmniej 1000 cyklach ALD stosując jako prekursor cynku dietylocynk, dimetylocynk lub chlorek cynku, a jako prekursor tlenu wodę, ozon lub plazmę tlenową.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL407335A PL227817B1 (pl) | 2014-02-27 | 2014-02-27 | Struktura ogniwa fotowoltaicznego oraz sposób wykonania struktury ogniwa fotowoltaicznego |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL407335A PL227817B1 (pl) | 2014-02-27 | 2014-02-27 | Struktura ogniwa fotowoltaicznego oraz sposób wykonania struktury ogniwa fotowoltaicznego |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL407335A1 PL407335A1 (pl) | 2015-08-31 |
| PL227817B1 true PL227817B1 (pl) | 2018-01-31 |
Family
ID=53938575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL407335A PL227817B1 (pl) | 2014-02-27 | 2014-02-27 | Struktura ogniwa fotowoltaicznego oraz sposób wykonania struktury ogniwa fotowoltaicznego |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL227817B1 (pl) |
-
2014
- 2014-02-27 PL PL407335A patent/PL227817B1/pl unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL407335A1 (pl) | 2015-08-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI520366B (zh) | 用於大規模cigs基薄膜光伏材料的艙內摻雜鈉的方法和系統 | |
| Cunningham et al. | Cadmium telluride PV module manufacturing at BP Solar | |
| TW201203576A (en) | Single junction CIGS/CIS solar module | |
| US20110020980A1 (en) | Thermal pre-treatment process for soda lime glass substrate for thin film photovoltaic materials | |
| JP2011515867A (ja) | サブストレート構造太陽電池の改良された接続 | |
| TW201201397A (en) | Photoelectronically active, chalcogen-based thin film structures incorporating tie layers | |
| US20140352751A1 (en) | Solar cell or tandem solar cell and method of forming same | |
| US8900664B2 (en) | Method of fabricating high efficiency CIGS solar cells | |
| EP3295490B1 (en) | Photovoltaic cell structure and method to produce the same | |
| Choi et al. | Wide-bandgap CuGaSe2 thin film solar cell fabrication using ITO back contacts | |
| EP3111486B1 (en) | Photovoltaic cell structure and method of manufacturing a photovoltaic cell | |
| CN102628161A (zh) | 用于制造半导体膜和光伏装置的方法 | |
| JP2009105130A (ja) | 光起電力素子の製造方法 | |
| US20110020978A1 (en) | Sodium doping method and system of cigs based materials using large scale batch processing | |
| US20100229912A1 (en) | Photovoltaic device through lateral crystallization process and fabrication method thereof | |
| TW201222845A (en) | Photoelectric conversion device | |
| Chantana et al. | Impact of Ga/(In+ Ga) profile in Cu (In, Ga) Se2 prepared by multi-layer precursor method on its cell performance | |
| TWI509821B (zh) | 光伏元件與其製作方法 | |
| KR101785771B1 (ko) | Cigs막의 제법 및 그것을 이용하는 cigs 태양 전지의 제법 | |
| Compaan | The status of and challenges in CdTe thin-film solar-cell technology | |
| CN104282781B (zh) | 太阳能电池吸收薄膜及其制造方法 | |
| PL227817B1 (pl) | Struktura ogniwa fotowoltaicznego oraz sposób wykonania struktury ogniwa fotowoltaicznego | |
| CN104241441A (zh) | 薄膜太阳能电池及其形成方法 | |
| CN101499438B (zh) | 透光型薄膜太阳能电池模块及其制造方法 | |
| TWI443840B (zh) | 四元化合物薄膜及其製作方法 |