PL119186B1 - Apparatus for etching of semiconductor plates - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie do wy¬ trawiania plytek pólprzewodnikowych.Wynalazek ma zastosowanie w procesie techno¬ logicznym wytwarzania elementów pólprzewodni¬ kowych a zwlaszcza cienkowarstwowych detekto¬ rów promieniowania jonizujacego.Nie sa znane urzadzenia do wytrawiania plytek pólprzewodnikowych. Wytrawiania dokonuje sie umieszczajac plytke pólprzewodnikowa w opraw¬ ce a nastepnie plucze sie ja i wytrawia przez umieszczanie w odpowiednich naczyniach ze srod¬ kami trawiacymi. Tego typu obróbka jest praco¬ chlonna i nie zapewnia wymaganej powtarzalno¬ sci w zakresie grubosci wytrawionych plytek.Urzadzenie wedlug wynalazku zawiera podsta¬ we, do której przytwierdzona jest pionowa plyta wsporcza. Na plytce tej osadzony jest zespól na¬ pedowy zawierajacy tarcze napedzajaca sprzezona mechanicznie z tarcza mimosrodowa. Tarcza ta sprzezona jest za posrednictwem napedu z tarcza mocujaca umieszczona w zbiorniku. Zbiornik w urzadzeniu wedlug wynalazku zawiera przewód wlewowy i przewód wylewowy. Natomiast tarcza mocujaca zawiera pierscien mocujacy oraz kolki ustalajace.Urzadzenie wedlug wynalazku pozwala na uzy¬ skiwanie cienkich, i powtarzalnych pod wzgledem grubosci plytek pólprzewodnikowych. Proces wy¬ trawiania jest prosty w obsludze i mniej praco- 10 15 20 25 chlonny w stosunku do tradycyjnie stosowanego, recznego.Wynalazek jest blizej objasniony w przykladzie wykonania odtworzonym na rysunkach, na których Fig. 1 przedstawia widok urzadzenia od strony czolowej a Fig. 2 widok urzadzenia od strony bocznej.Przygotowana do trawienia plytke pólprzewod¬ nikowa wklada sie do tarczy mocujacej 1 i mocu¬ je sie przy pomocy pierscienia 2. Tarcza mocuja¬ ca 1 na zewnetrznym obwodzie posiada naciety rowek 3 na pas transmisyjny 4, przy pomocy któ¬ rego jest ona poruszana. Tarcza mocujaca 1 wraz z zamocowana plytika pólprzewodnikowa jest za¬ nurzona w kwasoodpornym zbiorniku 5, który opiera sie o podstawe 6. Prostopadle do plaszczyz¬ ny tarczy mocujacej 1, przytwierdzone sa trzy kol¬ ki 7, których dlugosc jest prawie równa wewnetrz¬ nej odleglosci miedzy sciankami naczynia 5.Kolki 7 zapewniaja równolegly do plaszczyzny scianek naczynia 5 ruch oprawki 1. Srodek tra¬ wiacy jest wlewany do naczynia za posrednictwem lejka 8 i przewodu wlewowego 9, przez który na¬ pelnia sie zbiornik 5 poczawszy od dna. Usuwanie srodka trawiacego odbywa sie poprzez wlewanie wody dejonizowanej lejkiem 3, a stopniowo roz¬ cienczajacy sie, srodek trawiacy wplywa przewo¬ dem wylewowym 10. Pas transmisyjny 4 jest po¬ ruszany przy pomocy tarczy napedowej li, przy- 119 186119 186 twierdzonej mimosrodowo do tarczy 12. Tarcza ta jest polaczona z osia napedowa 13, utrzymywana poziomo za posrednictwem lozyska 14, przymoco¬ wanego do plyty pionowej wsporczej 15.Os napedowa 13 jest polaczona z tarcza napedo¬ wa 16 a ta z kolei za posrednictwem pasa trans¬ misyjnego 17 i tarczy pomocniczej 18 przenosi ruch obrotowy silnika 19. Silnik 19 jest zamocowany przy pomocy osi 20 do plyty pionowej wsporczej 15. Tarcza mocujaca 1 z zamontowana plytka pól¬ przewodnikowa wykonuje ruch posuwisto-obroto¬ wy zapewniajacy równomierny doplyw srodka tra¬ wiacego do pólprzewodnika, co zapewnia jedno¬ rodne trawienie powierzchni. 10 15 Zastrzezenia patentowe 1. Urzadzenie do wytrawiania plytek pólprze¬ wodnikowych, znamienne tym, ze stanowi je ze¬ spól polaczonych wzajemnie elementów w postaci podstawy (6), do której przytwierdzona jest pio¬ nowa plyta wsporcza 15 przy czym na plycie tej osadzony jest zespól napedowy zawierajacy tarcze napedzajaca (16) sprzezona mechanicznie z tarcza mimosrodowa (12), która sprzezona jest za posred¬ nictwem napedu z tarcza mocujaca (1) umieszczo¬ na w zbiorniku (5) zawierajacym przewód wlewo¬ wy (9) i przewód wylewowy (10). 2. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze tarcza mocujaca (1) zawiera pierscien mocujacy (2) oraz kolki ustalajace (7).Figi119186 Fig 2 PL

Claims (2)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Urzadzenie do wytrawiania plytek pólprze¬ wodnikowych, znamienne tym, ze stanowi je ze¬ spól polaczonych wzajemnie elementów w postaci podstawy (6), do której przytwierdzona jest pio¬ nowa plyta wsporcza 15 przy czym na plycie tej osadzony jest zespól napedowy zawierajacy tarcze napedzajaca (16) sprzezona mechanicznie z tarcza mimosrodowa (12), która sprzezona jest za posred¬ nictwem napedu z tarcza mocujaca (1) umieszczo¬ na w zbiorniku (5) zawierajacym przewód wlewo¬ wy (9) i przewód wylewowy (10).
2. 2. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze tarcza mocujaca (1) zawiera pierscien mocujacy (2) oraz kolki ustalajace (7). Figi119186 Fig 2 PL