PL103703B1 - Urzadzenie do pokrywania cienkimi warstwami duzych powierzchni,zwlaszcza plyt szklanych - Google Patents

Urzadzenie do pokrywania cienkimi warstwami duzych powierzchni,zwlaszcza plyt szklanych Download PDF

Info

Publication number
PL103703B1
PL103703B1 PL18986776A PL18986776A PL103703B1 PL 103703 B1 PL103703 B1 PL 103703B1 PL 18986776 A PL18986776 A PL 18986776A PL 18986776 A PL18986776 A PL 18986776A PL 103703 B1 PL103703 B1 PL 103703B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
chambers
frames
glass plates
thin layers
vacuum
Prior art date
Application number
PL18986776A
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to PL18986776A priority Critical patent/PL103703B1/pl
Publication of PL103703B1 publication Critical patent/PL103703B1/pl

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie do pokrywania cienkimi warstwami duzych powierzchni, zwlaszcza plyt szklanych, przeznaczonych do produkcji miedy innymi luster aluminiowych i luster barwnych oraz szkiel z warstwami pólprzepuszczalnymi o zwiekszonym wspólczynniku odtrcia promieniowania cieplnego, majacych zastosowanie w nowoczesnym budownictwie.
Znane z polskiego opisu patentowego nr 78913 urzadzenie do pokrywania plyt szklanych cienkimi warstwami metali oraz ich zwiazkami, ma w swoim wnetrzu trzy usytuowane kolejno obok siebie zespoly: podajacy, napedowy i odbierajacy, osadzone w ramie konstrukcyjnej. Górna czesc ramy konstrukcyjnej tworzy poziomy tor, przy czym poczatkowy odcinek toru jest ukosnie sciety i spelnia role równi pochylej, co zapewnia niezawodne wejscie plyt na tor. Zespól podajacy zawiera zasobnik, w którym znajduje sie podnosnik z ramkami na plyty, przeznaczone do pokrycia, przy czym grubosc ramek jest wieksza od grubosci plyt. Podnosnik jest polaczony z lancuchami, zaopatrzonymi w kolki, zahaczajace o wystepy ramek. Zespól odbierajacy ma pojemnik oraz podnosnik, polaczony lancuchami z zespolem napedowym. Zespól napedowy zawiera wal napedowy polaczony poprzez kolo lancuchowe, mimosród, dzwignie i kolo zapadkowe z lancuchami.
Lancuchy sluza do przesuwania plyt, torem ramy konstrukcyjnej pod katode. W opisanym urzadzeniu pokrywanie plyt szklanych cienkimi warstwami metali odbywa sie okresowo na drodze rozpylania katodowego przy cisnieniu rzedu 10"3 Tr.
W celu zastosowania opisanego urzadzenia do pokrywania duzych plyt szklanych cienkimi warstwami metoda naparowywania w wysokiej prózni, konieczne byloby stosowanie dodatkowych pomp dyfuzyjnych o bardzo duzej wydajnosci oraz wbudowanie zródel par i ich rozgrzewanie i studzenie w kazdym cyklu pompowania.
Znana z polskiego opisu patentowego nr 96377 komora prózniowa, do pokrywania plyt szklanych cienkimi warstwami metali, jest podzielona na trzy czesci, oddzielone miedzy soba pokrywami. Pokrywy sa wyposazone w zebatki, które wspólpracuja z kolami zebatymi, osadzonymi za posrednictwem sprzegiel na walkach2 103 703 napedowych. Na walkach tych sa równiez osadzone mimosrody, dociskajace pokrywy z klinami. Ponadto na walkach sa osadzone jeszcze inne kola zebate z zebatkami, zamocowanymi do plyt przenosnikowych, laczonych ze soba hakami.
Opisana komora prózniowa sluzy do ciaglego pokrywania plyt szklanych cienkimi warstwami metali na drodze rozpylania katodowego. Metoda ta wymaga uzycia szkla hartowanego, ze wzgledu na gradienty temperatury powstajace w trakcie procesu nakladania warstw.
Znane z czasopisma Silikattechnik nr 21 z 1970 r. str. 40-44 urzadzenie do ciaglego pokrywania plyt szklanych na drodze naparowywania, sklada sie z komór segmentowych oddzielonych miedzy soba zaworami i wyposazonych w uklady pompowe, umozliwiajac przy pracy ciaglej uzyskiwanie w odpowiednich segmentach koniecznej prózni roboczej. Wada opisanego urzadzenia jest to, ze w celu uzyskania prózni 10"4-10"5 Tr, musi sie ono skladac z wielu duzych gabarytowo komór i pomp oraz skomplikowanej automatyki.
Celem wynalazku jest skonstruowanie urzadzenia, pozwalajacego powlekac w jednym cyklu pompowania, szereg duzych plyt szklanych, przy zmniejszonej do minimum objetosci urzadzenia, co umozliwia uzyskanie duzej wydajnosci naparowywanych plyt, przy stosunkowo niewielkich wydajnosciach stosowanych pomp dyfuzyjnych. Cel ten zostal osiagniety przez zastosowanie trzech prostopadlosciennych komór, oddzielonych zasuwami a wyposazonych kazda w niezalezny wysokoprózniowy uklad pompowy. W komorach skrajnych, w ich dolnych czesciach sa usytuowane ruchome platformy jezdne, spoczywajace na stole teleskopu polaczonego z mechanizmem podnoszaco-napedowym. Do korpusu komór sa zamocowane listwy oporowe, o które sa oparte rolki ramek, mocujacych pokrywany przedmiot i tworzacych w stosie uklad plaskorównoleglych przestrzeni, wyposazonych dodatkowo w zaczepy, zahaczajace o srube pociagowa, oraz w elektrody wysokiego napiecia.
Rolki ramek wspólpracuja z krzywkami, przymocowanymi do poziomego toru jezdnego, usytuowanego w górnej czesci komór. Konstrukcja nosna wzmacniajaca sciany komór tworzy kanal), wchodzace w sklad ukladu chlodzenia. Zródla par, znajdujace sie w komorze srodkowej, sa umieszczone na wysuwalnej podstawie, tworzacej próznioszczelne zamkniecie wlazu.
Zaleta urzadzenia, wedlug wynalazku, jest to, ze pozwala na pokrycie cienkimi warstwami wielu plyt w jednym cyklu pompowania bez zapowietrzenia komory srodkowej i wygaszanie zródla par. Prostopadloscienny ksztalt komór i uklad trójkomorowy zapewniaja maksymalne wykorzystanie przestrzeni prózniowej, a co za tym idzie zwiekszenie lacznej powierzchni, a takze rozmiarów naparowywanych plyt w porównaniu z komorami cylindrycznymi. Ponadto urzadzenie umozliwia dzieki zastosowaniu spoletyzowanego wsadu, wtaczanego na platformie jezdnej, zwiekszenie wydajnosci przez skrócenie czasu zaladunku i rozladunku.
Przedmiot wynalazku jest uwidoczniony w przykladzie wykonania na rysunku, który przedstawia schemat urzadzenia, w przekroju pionowym.
Urzadzenie sklada sie z trzech prostopadlosciennych komór: wstepnej 1, srodkowej 2 i koncowej 3, oddzielonych zasuwami próznioszczelnymi 4. Kazda 7 komór 1, 2 i 3 jest wyposazona w niezalezny uklad pompowy. Zanikniecie zasuw 4 umozliwia utrzymanie koniecznej prózni w komorze 2 podczas otwierania drzwi komór 1 i 3, w czasie zaladowania i wyladowania plyt w ramach 6. W komorach 1 i 3, w ich dolnej czesci sa usytuowane platformy jezdne 7, spoczywajace na stole 8 teleskopu 9. Ramy 6, ulozone w stos, spoczywaja na platformach 7 i sa przesuwane ku górze za pomoca mechanizmu srubowego 10, sprzegnietego z napedem podnoszenia 11.
Do korpusu komór 1 i 3 sa zamocowane listwy oporowe 12, o które jest oparta jedna para rolek 13 ram 6, wyposazonych dodatkowo w zaczepy 14 oraz elektrody wysokiego napiecia, sluzace do czyszczenia jonowego.
Stos ram 6 z plytami tworzy system plaskorównoleglych przestrzeni. Ramy 6, podchodzace do góry natrafiaja rolkami 13 na krzywki kierujace 15, które wprowadzaja je na poziomy tor jezdny 16. Ramy 6 przesuwaja sie po torze 16, zahaczajac zaczepem 14 o srube przesuwu poziomego 17, wprawiana w ruch obrotowy przez naped 18.
W komorze 2 znajduja sie zródla par 19, umieszczone na wysuwalnej podstawie 20, tworzacej próznioszczelne zamkniecie wlazu. Wysuwalna podstawa 20 ulatwia zaladunek i wymiane zuzytych elementów oraz szybkie przystosowanie urzadzenia do zmiany asortymentu produkcji. Konstrukcja wzmacniajaca sciany komór 1, 2 i 3 tworzy kanaly, wchodzace w sklad ukladu chlodzenia. Ruchy pionowe platform jezdnych 7 ze stosami ram 6 sa regulowane przez system wylaczników krancowych, wlaczanych i zwalnianych przez przesuwajace sie ramy 6.

Claims (1)

1. Zastrzezenie patentowe Urzadzenie do pokrywania cienkimi warstwami duzych powierzchni, zwlaszcza plyt szklanych, skladajace sie z trzech prostopadlosciennych komór, polaczonych zasuwami i wyposazonych w zródla par oraz w ramy, sluzace do mocowania plyt, znamienne tym, ze kazda z komór (1, 2 i 3) jest wyposazona w niezalezny103 703 3 wysokoprózniowy uklad pompowy, przy czym w komorach (1 i 3), w ich dolnych czesciach sa usytuowane ruchome platformy jezdne (7), spoczywajace na stole (8) teleskopu (9), polaczonego z mechanizmem podnoszaco-napedowym, zas do korpusu komór (1 i 3) sa zamocowane listwy oporowe (12), o które sa oparte rolki (13) ram (6), mocujacych pokrywany przedmiot i tworzacych w stosie uklad plaskorównoleglych przestrzeni, a wyposazonych dodatkowo w zaczepy (14), zahaczajace o srube pociagowa (17), oraz w elektrody wysokiego napiecia, przy czym rolki (13) wspólpracuja z krzywkami (15), przymocowanymi do poziomego toru jezdnego (16), usytuowanego w górnej czesci komór (1,2 i 3), których konstrukcja wzmacniajaca sciany tworzy kanaly, wchodzace w sklad ukladu chlodzenia, zas zródla par (19), usytuowane w komorze (2), sa umieszczone na wysuwalnej podstawie (20), tworzacej próznioszczelne zamkniecie wlazu.
PL18986776A 1976-05-25 1976-05-25 Urzadzenie do pokrywania cienkimi warstwami duzych powierzchni,zwlaszcza plyt szklanych PL103703B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL18986776A PL103703B1 (pl) 1976-05-25 1976-05-25 Urzadzenie do pokrywania cienkimi warstwami duzych powierzchni,zwlaszcza plyt szklanych

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL18986776A PL103703B1 (pl) 1976-05-25 1976-05-25 Urzadzenie do pokrywania cienkimi warstwami duzych powierzchni,zwlaszcza plyt szklanych

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL103703B1 true PL103703B1 (pl) 1979-07-31

Family

ID=19977033

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL18986776A PL103703B1 (pl) 1976-05-25 1976-05-25 Urzadzenie do pokrywania cienkimi warstwami duzych powierzchni,zwlaszcza plyt szklanych

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL103703B1 (pl)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4261808A (en) Vacuum coating apparatus with continuous or intermittent transport means
ES365730A1 (es) Instalacion para la paletizacion de objetos planos rectan- gulares.
US11131019B2 (en) Apparatus for coating substrates
RU2039919C1 (ru) Вакуумная сушильная установка
US2965369A (en) Transfer mechanism for heat treating apparatus
US3077271A (en) Process and apparatus for charging and discharging multi-level presses
PL103703B1 (pl) Urzadzenie do pokrywania cienkimi warstwami duzych powierzchni,zwlaszcza plyt szklanych
US3659831A (en) Integral quench furnace and transfer mechanism
US3243059A (en) Slab heating furances and extractors
KR20210066190A (ko) 메인 롤러를 구비한 대면적 성형 장치
KR101452189B1 (ko) 프레스 장치 시스템
KR20100071658A (ko) 박막 증착 장치
KR101461535B1 (ko) 압연용 가열로에서 가열능력과 열효율을 향상시키기 위한 장치 및 그 방법
CN107826725B (zh) 一种层架式高效储坯机
CN211471498U (zh) 一种铝材用时效炉
CA1236293A (en) Workpiece charger for heating furnace
CN221988667U (zh) 一种真空镀膜设备
JP2818558B2 (ja) 成形品処理装置における開閉扉装置
PL115921B1 (en) Vacum apparatus for coating the articles with thin films of metals,semiconductors and dielectrics
SU567063A1 (ru) Контейнер дл загрузки электродов в обжиговую печь
CN221059405U (zh) 面包烘烤隧道炉
GB1010613A (en) Improvements in the handling of goods during processing or treatment
JPS5897437A (ja) プレスの金型交換装置
JPH05203364A (ja) 連続処理装置
US2534325A (en) Multiple platen press