NO870192L - Kjemikaliebeholder som kan kastes etter bruk. - Google Patents

Description

Denne oppfinnelse vedrører en kastbar beholder for forsendelse av giftige og korrosive flytende kjemikalier. Særlig vedrører denne oppfinnelse en beholder for transportering av flytende kjemikalier av ultrahøy renhet av den type som anvendes eksempelvis ved fremstillingen av halvledere og optiske fibere.

Mange fremstillingsprosesser anvender kjemikalier av høy renhet som innføres i en bæregass for slike prosesser som halvlederdoping, dampavsetning, etsing og molekylær impreg-nering av et substrat med det innførte kjemikaliet. I mange av disse anvendelser er renheten av kjemikaliet kritisk, og urenheter måles i deler pr. billion. Forurensning, slik som den som kan opptre under forsendelse og håndtering må for all del unngås.

Eksempelvis er noen av de kjemikalier som anvendes ved fremstillingen av halvlederanordninger flytende fosforoksyklorid, fosfortriklorid, fosfortribromid, trikloretylen, tetrametoksysi lan, silisiumtetrabromid, trikloretan, arsentriklorid, arsentribromid og antimonpentaklorid. Mange av disse kjemikalier, slik som arsenforbindelsene er meget giftige. Andre, slik som bromforbindelsene er ekstremt korrosive. Følgelig må arbeidereksponering bli redusert. Samtidig må det sørges for at det sikres at det høyeste nivå av renhet hos disse kjemikalier opprettholdes. Selv den minste forurensning kan påvirke svikten hos halvlederanordninger, som direkte påvirker profiterbarheten for den totale fremstillingsprosess.

Tidligere har slike kjemikalier typisk vært forsendt i flamme-forseglede glassampuller som er i stand til å tilfredsstille vedkommende samferdelsdepartements bestemmelse som krever beholdere som er i stand til å holde 103,425 pa trykk. (Selv om visse metallbeholdere også kan tilfredsstille de gjeldende SD-bestemmelse, er slike beholdere uakseptable på grunn av problemet med metallisk forurensning, hvilket er særlig skadelig for den pålitelige fremstilling av halvledere.) Når glassbeholderne ble mottatt, ble de typisk åpnet ved å bryte forseglingen hvoretter de ble tømt inn i en bobler. En bobler er en anordning som tillater en bæregass, slik som nitrogen, å bli boblet gjennom det flytende kildematerialet, hvorved det flytende kildematerialet trenger inn i gassen. Bæregassen, med det inntrengte kjemikalium, leveres typisk til substratet som skal behandles, f.eks. i en diffusjonsovn eller et dampavsetningskammer. Slik det er lett forståelig, var overføringen av det flytende kildematerialet fra forsendelsesampullen av glass til bobleren en alvorlig potensiell kilde for atmosfærisk og fuktighetsforurensning og arbeidereksponering overfor kjemikaliet.

En relativt tilfredsstillende løsning på forurensnings- og eksponeringsproblemet er den kvartsbeholder som er omhandlet eksempelvis i US patentene 4.134.514, 4.140.735 og 4.298.037. Disse patenter omhandler boblere av høy-renhets kvarts som dobler som forsendelsesbeholdere. Kvartsboblerne fylles med kjemikaliet ved hjelp av leverandøren, fyllerøret flamme-forsegles, i henhold til SD-bestemmelse, bobleren som inneholder kjemikaliet blir så forsendt til brukeren, som fester gassledninger, bryter en forsegling og overvåker temperaturstyringsutstyret til bobleren, og anvender kjemikaliet som ønsket. Selv om majoriteten av forurensnings-problemer således unngås, ettersom det ikke er noe behov for å overføre kjemikaliet fra forsendelsesbeholderen inn i en separat bobler, er en ulempe med dette system den kostnad som er involvert. Kvartsbeholdere av høy renhet er relativt kostbare. Av denne grunn har det vært praksis innenfor industrien å returnere tomme kvartsboblere til kjemikalie-leverandøren for påfylling. Dette involverer en retur-forsendelsesutgift. Dessuten, ettersom innløps-, utløps- og fyllerørene gjentatte ganger oppvarmes og forsegles på ny, kan den krystallinske struktur hos kvartsen bli påvirket, hvilket bevirker kvartsen til å bli sprø eller smuldre. Som et resultat av dette må bobleren granskes omhyggelig ved hvert påfyllingstidspunkt. Visse boblere kan kun anvendes så få ganger som tre ganger, andre kan vare 10 til 12 på-fyllinger, med gjennomsnittet liggende i nærheten av 5 til 6 ganger.

Ingen passende mindre kostbare alternativer til kvarts-bobleren har vært nærliggende for fagfolk innenfor halvleder og relaterte støtteindustrier. De fleste alternativer som har vært vurdert er blitt utelukket på grunn av mangel på tilfredsstillende -forsendelsesbestemmelser, uforenelighet med de kjemikalier som skal forsendes, eller forurensning av sådanne kjemikalier ved selve materialet.

Et hovedproblem som synes å utelukke bruken av organisk polymere materialer for boblere er luft og fuktighetsforurensning av det oppbevarte flytende kildematerialet. Endog årsmå mengder av fuktighetsforurensning kan ha ekstremt skadelig virkninger for hal vledersvikt. Selv om mange organiske polymerer vanligvis anses å være ugjennomtrengelige dampbarrierer, er i virkeligheten små mengder av luft og fuktighet i stand til å infiltrere nærmest alle slike materialer. En grafisk illustrering av dette fenomen er den gradvise krympning av et barns ballong ettersom trykkluft slipper ut gjennom veggene i selve ballongen.

Den eksisterende kostnad for endog små (500 ml) boblere av høy-renhets kvarts er av størrelsesorden flere hundre dollar - som ofte nærmer seg eller er mer enn kostnaden for kjemi-kaliene som de inneholder. Det er vesentlig at, til tross for eksistensen av problemet i et antall år, og det nærmest overveldende involverte økonomiske incentiv, ingen egnet lavkostandsalternative boblere er hittil blitt utviklet.

Følgelig er det et formål med den foreliggende oppfinnelse å tilveiebringe en relativt rimelig bobler som er egnet til å transportere gifte og korrosive væsker av ultrahøy renhet. Det er et ytterligere formål med den foreliggende oppfinnelse å tilveiebringe en kastbar bobler som er laget av organisk polymermateriale. Et annet formål med den foreliggende oppfinnelse er å tilveiebringe en lavkostnadsbobler som unngår atmosfærisk forurensning, fuktighetsforurensning, og forurensning av det oppbevarte flytende kildematerialet ved selve beholderen. Nok et annet formål med den foreliggende oppfinnelse er å tilveiebringe en ventil for bruk på en bobler som er dampugjennomtrengelig, og som likevel tilveiebringer ingen mulighet for metallisk forurensning av det flytende kildematerialet.

Til fremme av de foregående formål, er det tilveiebragt ifølge den foreliggende oppfinnelse en kastbar gjenstand for forsendelse av farlig flytende materiale, omfattende et beholderlegeme av i alt vesentlig damp-ugjennomtrengelig organisk polymermateriale som har en topp og en bunn, en første åpning i toppen av beholderen, et rør som strekker seg fra den første åpningen inn i beholderen, som har en åpen bunnende nær bunnen av beholderen, en andre åpning i toppen av beholderen, en skjør forsegling i de første og andre åpninger for avtetting av åpningene, og et damp-ugj ennom-trengelig metallbelegg på utsiden av beholderen i intim kontakt med det organiske polymermaterialet. Metallbelegget er fortrinnsvis et damp-avsatt belegg av krom, nikkel eller sink. Det organiske polymermaterialet kan være en hvilken som helst egnet damp- og fuktighets-ugjennomtrengelig polymer, slik som lineær ultrahøy molekylær vekts- eller høy tetthets-polyetylen eller annen polyolefin, en styrenpolymer, polyetylentereftalat, melaminformaldehyd, fluorpolymerer , klorfluorpolymerer eller flere lag av forskjellige polymerer slik som polytetraf luoretylen, polyetylen, polyvinylidin-klorid og lignende.

Ifølge en annen utf ørel sesform av oppfinnelsen er det omhandlet en kobler som tilsvarer den foregående generelle beskrivelse i kombinasjon med et korrosivt eller giftig flytende kjemikalium.

Ifølge nok en annen utførelsesform av den foreliggende oppfinnelse er det omhandlet en kastbar gjenstand for forsendelse av farlig flytende materiale, omfattende en beholder av i alt vesentlig damp-ugjennomtrengelig organiske polymermateriale som har en topp og en bunn, middel for å innføre en bæregass inn i bunnen av beholderen, middel for å fjerne bæregassen fra toppen av beholderen, og et damp-ugj ennomtrengel ig metallbelegg avsatt på utsiden av beholderens organiske polymermateriale... Væskenivådetektoren anvender _enten en flytende beholder av magnetisk materiale eller en oppvarmer i tett nærhet til en varmedetektor, idet varmedetektoren aktiveres når væske innenfor beholderen ikke lenger er tilstede til å lede varme vekk fra oppvarmeren og varmedetektoren'. ••' " - .• ,.,-,,:av,ii5v sr : e .'..••»,

Ifølge nok et annet aspekt ved den foreliggende oppfinnelse, er det tilveiebragt en ventil på beholderen for å styre strømmen av bæregass, eller annet fluidum, inn i eller ut av beholderen, idet ventilen omfatter en innløpsport, en utløpsport, et indre av en ikke-reaktiv organisk polymer, silikon, glass, eller keramisk materiale, damp-ugjennom-trengel ige forseglinger ved innløpsporten og utløpsporten, et damp-ugjennomtrengelig metall på utsiden av ventilen opp til forseglingene, slik at det utvendige av ventilen, som kan erfare omgivelseskontakt, er i alt vesentlig fullstendig dekket med metall og de innvendige overflater av ventilen, som er i kontakt med det fluidum som styres av ventilen, er i alt vesentlig metallfri.

I nok en annen utførelsesform av den foreliggende oppfinnelse er det tilveiebragt en fuktighets-ugjennomtrengelig bobler som har et organisk polymer indre og et metall ytre, og et flytende kjemikalium av ultrahøy renhet innenfor bobleren, idet det organiske polymermaterialet er ikke-reaktivt med og ikke-forurensende for væsken i bobleren.

Ifølge et annet aspekt ved oppfinnelsen er en fludiumsstyre-ventil tilveiebragt ved en innløpsport, en utløpsport, et i alt vesentlig metallfritt indre av organisk polymermateriale som definerer en fluidumspassasje, et damp-ugjennomtrengelig metall ytre, fluidumsstyremiddel innenfor fluidumspassasjen, middel som strekker seg fra det ytre til det indre av ventilen for aktivering av fluidumsstyremidlet, og damp-ugj ennomtrengel ige forseglinger ved innløpsporten, utløps-porten, og på akt iver ingsmidlet som adskiller det ytre av metall fra det indre metallfrie, og hindrer omgivende kontakt med det indre når ventilen er i bruk. Forseglingene kan lages av en organisk f luorpolymer, en polyolefin, en polyvinylharpiks, en polyamid eller fortrinnsvis grafitt.

Figur 1 er et delvis bortkuttet perspektivriss av en bobler

ifølge den foreliggende oppfinnelse.

Figur 2 er et utspilt sideriss av bobleren ifølge den foreliggende oppfinnelse, som viser en to-dels konstruksjon. Figur 3 er et sideriss av et vertikalt tverrsnitt av en ventil plassert over forseglingen i innløpsrøret hos bobleren. Figur 4 er et vertikalt tverrsnitt av en rotasjonsmessig

støpt bobler som har et et-stykkslegeme.

Figur 5 er et side, bortkuttet riss av en termisk nivå-detektor. Figur 6 er et langsgående tverrsnitt av utløpsrøret med et kompresj onsf orbindel sesorgan og opprivningsverktøy vist med strekprikket linje. Figur 7 er et utspilt perspektivriss av et forseglings-opprivende forbindelsesorgan.

Med henvisning til figur 1, er bobleren 10 ifølge den foreliggende oppfinnelse en omsluttet stiv-vegget beholder som har en vegg 12 lagd av organisk polymermateriale. På utsiden av veggen 12 er et tynt metallbelegg 14.

Det organiske polymermaterialet velges til å være forenelig med de flytende kildematerialer som skal plasseres i beholderen. En ikke-reaktiv polymer er vesentlig for å unngå forurensning. ,av det flytende kildematerialet. En type av polymer som tilfredsstiller dette krav for mange år er polyetylen. Polyetylen ("T.TTDPE") av ultrahøy molekylær vekt eller høy-tetthet foretrekkes særlig. Andre passende polymerer innbefatter andre polyolef iner, polyvinylidenklorid (PVDC), og etylen/vinylalkohol-kopolymer. Bruken av en polyamid slik som en nylon som et fyllmateriale i polymeren kan ytterligere øke ønskelige egenskaper ved å skape en ytterligere sperre med innviklet-bane.

Organiske fluorpolymerer og kopolymerer er også egnet for å lage den kastbare bobleren. Slike materialer innbefatter polytetraf luoretylen , heksaf luorpropylen/tetraf luoretylen-kopolymer, etylen/klortrifluorfluoretylen, etylen/tetrafluor-etylen-kopolymer , polyvinylidenf luorid, polyvinylf luorid og lignende.

Høymolekylarvekts polyetylentereftalat kan være egnet, enten alene, eller i kombinasjon med en annen polymer, slik som etylen/vinylalkohol-kopolymer eller polyvinylidenklorid.

Ytterligere andre polymerer som kan være egnet for formål i henhold til den foreliggende oppfinnelse omfatter, enten alene eller i kombinasjon, andre polyvinylharpikser, urea-formaldehyder, melamin-formaldehyder, fenoliske forbindelser, furaner, polyimider, polyxylener, polyvinylestere, polybenz-imidazoler, polyfenylener, polymetylenoksyder (acetal), og klorerte polyetere.

Multi-lags materiale bestående av mer enn en organisk polymer kan også med fordel anvendes. Eksempelvis kan veggen 12 har et indre lag av en av polyolef inene, som er relativt ikke-reaktive polymerer, og et neste lag av et materiale slik som polyvinylidenklorid, som har gode dampsperreegenskaper. Andre lag kan tilføyes til å forbedre sperreegenskapene, gi økt styrke eller å ta fordel av gunstige egenskaper hos andre polymerer. Et foretrukket lagdelt polymermateriale har et indre lag av LHDPE, fortrinnsvis fylt med nylon, et sperrelag av polyetylenpolyvinylidenklorid av ultrahøy molekylarvekt, og et ytre lag av polyetylen-LHDPE av ultrahøy molekylarvekt, igjen fortrinnsvis innbefattende nylon som et fyllmateriale. Et klebemiddel eller "bindingsmateriale" anvendes til å binde lagene, slik det er vanlig.

Selv om de foregående organiske polymere materialer innehar tilstrekkelig sperreegenskaper for de fleste konvensjonelle anvendelser, kan de i seg selv være uegnet for den foreliggende oppfinnelses formål på grunn av at. ørsmå, men skadelige mengder av fuktighet og luft kan, ikke desto mindre, diffundere gjennom materialet og inn i beholderen. For således å maksimalisere sperreegenskapene hos veggen 12, tilveiebringer den foreliggende oppfinnelse et metallbelegg 14 på boblerens utside. Et slikt metallbelegg gir en meget effektiv sperre overfor gass og fuktighet. Selv om metallet tilføres utsiden av beholderen, er det ikke desto mindre ønskelig at metallet er relativt ikke-reaktivt med det flytende kildematerialet innenfor beholderen på grunn av mulig spill av væsken på beholderens utside, eller annen utilsiktet forurensning. Egnede metaller innbefatter nikkel, krom, sink, tantal, wolfram, molybden og zirkonium. Av disse er særlig nikkel, krom og sink foretrukket. Aluminium og rustfritt stål kan vurderes i anvendelser hvor deres relative reaktive natur ikke er et problem. Hvilket som helst av edelmetallene, særlig platina, vil også være egnet, selv om kostnad vanligvis vil være en ulempe. Metallbelegningsprosessen utføres fortrinnsvis ved spruting, eller ved en konvensjonell damp-avsetningsprosess. For å hindre skade på metallbelegget, kan et ripe-beskyttelses-belegg påføres etter metall iseringen. Et gjennomsiktig polymerbelegg, slik som polyvinylidenklorid, polyuretan eller LHDPE foretrekkes, selv om andre beskyttende belegg, slik som maling kan.anvendes. Dette belegg påføres fortrinnsvis bobleren som en smelte, en emulsjon, en suspensjon eller i en pppløsningsmiddelbær.er;.r Bruken av let ■ slikt belegg kan-.•-•også gjøre det mere praktisk å anvende rimelig, men reaktive metaller, slik som aluminum.

For ennå ytterligere å forøke sperreegenskapene hos det organi ske : polymermater ialet, kan det bli fluorert, som omhandlet i US patentene 3.998.180, 4.081.574 og 4.142.032, som innbefattes her med henvisning.

Som det er vist i figur 2, kan bobleren 10 dannes et topp-stykke 16 og et bunnstykke 18. To-dels konstruksjonen forenkler sprøytestøpningsprosessene, og er også egnet når bobleren dannes av en lagdelt dukbunke ved vakuumstøpning. Hvis bobleren dannes i to stykker 16 og 18, kan stykkene sammenføyes ved hjelp av en hvilken som helst egnet metode, slik som ved ultralydsveising.

Alternativt kan bobleren 10 dannes i et stykke ved rotasjons-støpning eller blåsestøpning, slik det er vist i figur 4. Et-stykks konstruksjonen forenkler støpningsprosessen og eli-minerer den omkretsmessige søm, et potensielt problemsted og kilde for lekkasje i en to-dels konstruksjon.

Bobleren 10 har et innløpsrør 20 som strekker seg generelt vertikalt gjennom toppen av bobleren 10 Inn i det indre av bobleren 10 og strekker seg til i tett nærhet av beholderens bunn. Innløpsrøret 20 har en åpning ved bunnen derav for at bæregassen kan innføres i bobleren gjennom innløpsrøret 20 og kan boble opp gjennom det flytende kildematerialet innenfor bobleren, hvorved bæregassen blir mettet med det flytende kildematerialet. Alternativt kan innløpsrøret strekke seg gjennom siden eller bunnen av bobleren 10.

Et utløpsrør 24 er også tilveiebragt for å tillate mettet bæregass å strømme ut av bobleren 10 til å bli anvendt på hvilken som helst måte det er ønsket. Utløpsrøret 24 strekker seg gjennom toppen av bobleren 10 inn i innsiden, og har en åpen ende innenfor bobleren 10 nær toppen derav.

Bobleren 10 kan også forsynes med et fyllerør 26 som strekker seg gjennom toppen av bobleren 10 inn i det indre derav for innføring av flytende kildemateriale inn i bobleren. Et termobrønnrør 28 kan også tilveiebringes. Termobrønnrøret 28 strekker seg gjennom toppen av bobleren 10 og strekker seg generelt vertikalt ned til innsiden av bobleren 10. Termo-brønnrøret, til forskjell fra innløpsrøret 20, utløpsrøret 24 og fyllrøret 26, har en lukket bunnende. En hensikt med termobrønnrøret er å tillate temperaturen for det flytende kildematerialet som befinner seg i bobleren å bli overvåket. Under drift blir termobrønnrøret 28 i det minste delvis fylt med en varmeoverføringssubstans slik som mineralolje eller silikonolje. En temperaturavføler i termobrønnrøret kan således overvåke temperaturen av det flytende kildematerialet .

En væskenivådetektor 30 er tilveiebragt for å tillate fjerntliggende overvåkning av nivået av det flytende kildematerialet. Selv om en hvilken som helst type av ønsket væskenivådetektor kan anvendes, er den foretrukne detektor en to-dels detektor som har en fast del 32 og en bevegelig del 34. Den bevegelige delen 34 kan omfatte et magnetisk materiale som er innkapslet eller belagt i en ikke-reaktiv substans, slik som fluorinert polyetylen. I utførelsesformen vist i figur 1, er den bevegelige delen glidbart montert på termobrønnrøret 28. Den bevegelige delen 34 flyter på det flytende kildematerialet. Ettersom nivået av flytende kildemateriale faller, glir den bevegelige delen 34 ned langs termobrønnrøret 28 inntil den kommer i nærheten av den faste detektordelen 32. Den faste detektordelen 32 omfatter middel til å detektere nærheten av den bevegelige delen 34. Egnede detektorer innbefatter en magnetisk aktivert reed-bryter eller en spole. Den faste detektordelen 32 kan monteres enten på utsiden av bobleren 10, eller fortrinnsvis innenfor termobrønnrøret 28, i formen av 32a som vist i figur 4. Det magnetiske materialet 35 i den bevegelige del 34 kan med fordel oppbevares i et forseglet kvartsrør, eller annen beholder som har.tilstrekkelig luftrom innenfor til å flyte.

I en foretrukket utførelsesform, som vist I figur 4, er den bevegelige- del 34 en hul'plastbeholder som omgir-termobrønn-røret 28. En magnet 35 er plassert innenfor den hule bevegelige delen 34. Et luftrom kan tilveiebringes i den bevegelige delen 34 hvis nødvendig, til å gi oppdrift. Den faste detektordelen 32a er tilveiebragt innenfor termobrønnrøret 28. Alternativt kan den bevegelige delen 34 inneholde et ferromateriale, og den faste detektordelen 32a kan innbefatte en magnet.

I en alternativ utførelsesf orm, vist i figur 5, kan væskenivådetektoren 130 aktiveres termisk. En egnet utforming er en liten oppvarmer 132 i tett nærhet til eller i kontakt med en termobryter 134 som er montert på eller i bobleren 10. Så lenge som væskenivået i bobleren 10 er over detektoren 130, blir varme fra oppvarmeren 132 hurtig ledet vekk fra termobryteren 134. Når væskenivået faller under detektoren 130, bevirker oppvarmeren termobryteren til å åpne (eller lukke). Egnede oppvarmere innbefatter resistive oppvarmere, slik som ordinære motstander, til hvilke en konstant spenning kan tilføres under bobleren drift. Passende termobrytere innbefatter termosikringer og bimetallbrytere. Andre temperatur-detektorer, slik som termistorer kunne også anvendes.

Som vist i figurene 3 og 5, er en skjør brytfor segl ing 36 tilveiebragt ved toppen av innløpsrøret 20 og utløpsrøret 24. Den skjøre brytforsegl ingen 36 kan lages av et passende organisk polymermateriale, slik som det materialet som omfatter veggene i bobleren 10, eller det kan lages av kvarts. Brytforseglingen 36 kan plasseres i innløpet 20 og utløp 24 ved hjelp av hvilket som helst passende middel, slik som sveisning eller støpning. Med de skjøre brytforseglinger 36 på plass, blir de øvre ender av rørene 20, 24, 26 og 28 så dekket. En foretrukket fremgangsmåte for å dekke endene er med en klebelapp 38 som vist i figur 6. Lappen 38 kan lages av et hvilket som helst ønsket materiale, selv om metall lagdelt med et passende polymert materiale foretrekkes.

I utførelsesformen for fremstillingsprosessen av bobleren 10, hvor toppstykket 16 og bunnstykket 18 støpes separat, kan rørene 20, 24, 26 og 28 festes inn i toppstykket 16 eksempelvis ved ultralydsveisning. Alternativt kan rørene 20, 24, 26 og 28 støpes inn i toppstykket 16. Både innsiden og utsiden av toppstykket 16 og bunnstykket 18 blir så fluorinert. Alternativt og fortrinnsvis utføres fluorineringsprosessen etter sammenstilling av toppstykket 16 og bunnstykket 18.

I en annen utf ørel sesf orm av f remstillingsprosessen frem-stilles boblerskallet 39 i et stykke ved rotasjonssveisning (se figur 4). Hull blir så stanset ut for rørene 20, 24, 26 og 28, som rotasjonssveises på plass. For å oppta væskenivådetektoren 30, må hullet for termobrønnrøret 28 være over-dimensjonert. Et passende forstørret segment tilveiebringes nær toppen av termobrønnrøret til å passe med det over-dimensjonerte hullet. Boblerskallet 39, med rørene 20, 24, 26 og 28 på plass, fluorineres innenfor og på utsiden.

Hele bobleren, innbefattende de frilagte deler av rørene og lappene 38, belegges så med et tynt lag av metall. Dette metallaget er generelt minst 0,508 x 10" cm tykt, og fortrinnsvis minst 7,524 x 10~<3>cm tykt. Selv om en elektro- avsetningspleteringsprosess kan anvendes, er de foretrukne fremgangsmåter for påføring av metalletbelegget enten ved en dampavsetningsprosess, slik som konvensjonell hurtigover-trekning (flashing) eller ved påsprutning (sputtering). Ved å tilføre metallbelegget ved en noe hevet temperatur (f.eks. 60° C) økes metall-til-polymer-bindingsstyrke og kjerne-dannelse reduseres. Fluoreneringstrinnet muliggjør den påfølgende binding av metall til plast uten bruken av et under leggende grunningsbelegg. Hvis ønskelig kan imidlertid et uhyre lett belegg (f.eks. et molekyl tykt) av kobber påføres som et grunningsbelegg. Andre konvensjonelle grunningsbelegg kan også anvendes. Det bør bemerkes at, på grunn av lappene 38, er toppoverflaten og det innvendige av rørene 20, 24, 26 og 28 sammen med de skjøre brytforseglinger 36 beskyttet fra metallisering. Dette unngår eventuell mulighet for at det flytende kildematerialet av høy renhet blir forurenset av metallet som anvendes for belegning.

Lappen 38 fjernes så fra fyllerøret 26, og bobleren fylles gjennom fyllerøret 26 med flytende kildemateriale av ultrahøy renhet som er forenelig med det organiske polymermaterialet, slik som fosforoksyklorid, fosfortriklorid, fosfortribromid, bortribromid, trikloretylen, tetrametoksysilan, silisiumtetrabromid, trikloretan, arsentriklorid eller antimonpentaklorid. Disse flytende kildematerialer har en renhet av minst 99,99556 og fortrinnsvis 99,9999%. Typiske urenhetsnivåer er 200 ppb eller mindre. Fyllerøret blir så varmeforseglet eller lukket ved hjelp av annen passende metode som er i stand til å eliminere muligheten for forurensning og lekkasje. Den resulterende beholder er en hermetisk-forseglet bobler som tilfredsstiller SD-f or sendel sesbes temmel ser for det oppbevarte flytende kildematerialet. Beholderens kostnad til kunden er blitt redusert med ca. 80% til 90% fra kostnaden knyttet til en kvartsbobler.

For å bruke bobleren, fjernes lappene 38 fra innløpsrøret 20, utløpsrøret 24 og termobrønnrøret 28. En ventil 40 festes så til innløpsrøret 20 og til utløpsrøret 24 som vist i figur 3. Innløpsrøret 20 og utløpsrøret 24 kan forsynes med gjenger for festing av ventilen 40. I en utførelsesf orm av oppfinnelsen blir de utvendige deler av innløpsrøret 20 og utløpsrøret 24 eliminert og ventilen skrues direkte inn i gjenger uthulet i toppen av bobleren legeme. Alternativt kan ventilen 40 festes til innløpsrøret 20 og utløpsrøret 24 ved hjelp av en kompresjonspasning, eller ved hjelp av hvilke som helst andre hensiktsmessige midler.

Ventilen 40 vist i figur 3 har et ventillegeme 44, en innløpsende 46 for festing til utløpsrøret 24, og en utløps-ende 48 for festing til en gassledning 50. I det indre av ventilen er det et fluidumsstyremiddel 54 for styring av strømmen av et fluidum gjennom ventilen. I den viste utførelsesform omfatter fluidumsstyremidlet 54 en bevegelig tIlpasningsoverflate 56 som beveges til kontakt med et ventilsete 58 for å avbryte strømmen av fluidum gjennom ventilen. Ti lpasningsoverf laten 56 aktiveres av en ventil-stamme 60. I den viste utførelsesform har ventilstammen 60 et gjenget parti 64 slik at tilpasningsoverflaten 56 kan beveges inn i og ut av kontakt med ventilsetet 58 ved rotering av ventilstammen 60.

På tilpasningsoverf laten 56, og forløpende gjennom ventilsetet 58, er en opprivningsanordning 66. En spiss, massiv opprivningsanordning 66 som i figur 3 er passende for brytforseglinger av kvarts eller glass. Brytforseglinger av polymer krever vanligvis en opprivningsanordning 66 som er i stand til å opprettholde en åpen fluidumspassasje gjennom brytforseglingen. Et skarpgjort rør, som vist ved 66a i strekprikket linje i figur 6, er en egnet konstruksjon. Andre egnede konstruksjoner kan være finnete eller kannelerte (fluted).

Opprivningsanordningen 66 er bevegelig ved aktivering av ventilstammen til å rive opp den skjøre brytforseglingen 36. Ventilen 40 er koblet til utløpsrøret 24 ved hjelp av hvilket som helst egnet middel. I den viste utførelsesform er innløpsenden 46 forsynt med utvendige gjenger på hvilke en kompresjonsmutter kan skrues. Mutteren 68 har en ringformet aksiell åpning deri for at den kan passe over utløpsrøret 24. For å forbinde ventilen 40 med utløpsrøret 24, plasseres en mutter 68 og en avsmalnet ringformet bøssing 70 på utløps-røret 24. Innløpsenden 46 på ventilen 40 plasseres så på utløpsrøret ,2,4;>..og mutterlen ,68 skrues på Innløpsenden 46, hvorved den avsmalnede bøssingen 70 komprimeres mot en tilpasset indre avsmalning 72 i innløpsenden 46 og mot utløpsrøret 24. Hvis ønskelig kan et hakk 73 tilveiebringes i innløpsrøret 20, og utløpsrøret 24 til å oppta bøssingen 70 { el ter:en ~"0-ring" eller annen - passende^ tetning ) som—vist pi' figur 3.

En tilsvarende mutter 68 og bøssing 70 tilveiebringes for å forbinde gassledningen 50 med utløpsenden 48 på ventilen på den samme måten.

En stammetetning 74 er tilveiebragt i ventillegemet 44, og er i kontakt med ventilstammen 60. Bøssingene 70 og stammeforseglingen 74 hindrer all fuktighet og damp fra ventil-legemets 44 utside fra å nå det indre i ventillegemet 44.

I en foretrukket utførelsesform blir hele ventillegemet 44 eller i det minste det indre derav, laget av et ikke-metallisk materiale som er ikke-reaktivt med og ikke vil forurense Innholdet i bobleren. Passende ikke-reaktive materialer innbefatter organiske polymermaterialer, slik som anvendes i bobleren, uorganiske polymerer, slik som sili-koner, keramiske materialer og glass. Bøssingen 70 og stamme tetningen 74 kan også lages av et passende ikke-reaktivt materiale, slik som nylon, polytetrafluoretylen, polyetylen, silikon, eller en hvilken som helst av polymerene som bobleren 10 er laget av. Imidlertid er det foretrukne materialet for bøssingen 70 og stammeforseglingen 74 grafitt. Selv om en spesiell ventilkonstruksjon er vist, vil det forstås at ventilen ifølge den foreliggende oppfinnelse kan anvende en hvilken som helst type av fluidumsstyremiddel 54, og kan være en kuleventil, en nål-og-sete-ventil en port-ventil, en pluggventil, en skiveventil, en klaffeventil, en teleskoperende ventil, en glideventil eller en hvilken som helst egnet type av fluidumsstyreventil.

Uansett den spesielle type av ventil, vil samtlige av ventilene innenfor omfanget av den foreliggende oppfinnelse ha en luft- og damptett tetning ved Innløpet, utløpet, og en hvilken som helst annen kanal som fører til det indre av ventilen.

Ventilen 40 er fortrinnsvis belagt med et lag av metall 75 av den samme type og på den samme måte som for bobleren 10, for å eliminere muligheten for fuktighetsgjennomtrengning igjennom ventilen. Hele det utvendige av ventilen 40 er dekket med metall opp til tetningen som beskytter det indre av ventilen 40 fra forurensning, f. eks. bøssingene 70 og s t amme tetningen 74. Når ventilen er laget av det samme organiske polymermaterialet som anvendes for bobleren, foretrekkes det at ventilen fluorineres forut for å bli belagt med metall. Mutterne 68 kan også med fordel metall-belegges både innvendig og utvendig. Imidlertid er det kritisk at samtlige ventildeler i fluidumsforbindelse med det indre av ventilen ikke har noe metall der som kunne komme i kontakt med det fluidum som passerer gjennom ventilen.

Således har ventilen ifølge den foreliggende oppfinnelse et metall ytre, et ikke-reaktivt ikke-metall indre, og damp-ugj ennomtrengelig tetninger mellom det ikke-metall indre og det metall ytre av ventilen 40.

Ved bruk festes ventilen 40 til utløpsrøret 24 med en kompresjonspasning som beskrevet ovenfor, ved å skru ventilen 40 inn i legemet av bobleren 10, eller ved hjelp av et hvilket som helst annet passende middel. Gassledningen også festet til ventilen 40, og ventilen renses med en inert gass. Oppr i vningsanordningen 66 aktiveres så til å rive opp den skjøre brytforseglingen 36, hvorved tillates at gass strømmer ut av bobleren.

En andre ventil 40 er koblet til innløpsrøret 20 på bobleren 10 på den samme som beskrevet ovenfor.

ij }• li S <2 t "C 0.6'Il r- f i /J «i; ") i f: wop • :• y i' iT:-ri V, ~j j

I visse anvendelser er en. fluidums-styreventil på innløps-røret 20 og utløpsrøret 24 ikke nødvendig. Eksempelvis har brukere ofte fluidumsstyreventiler i selve gassledningen 50, eller ved andre punkter i systemet. Følgelig er det også tilveiebragt ifølge den foreliggende oppfinnelse et enkelt T-forb indel ses stykke 76. T-f orbindel sesstykket 76 har en toppende 78, en bunnende 80 for forbindelse med utløpsrøret 24, og en utløpsende 84 for forbindelse med en gassledning 50. Som det er vist i figur 7, er ringformede muttere 68 tilveiebragt for å forbinde utløpsrøret 24 og gassledningen

50 med T-forbindelsesorganet 76.

En plunger 86 er tilveiebragt som er innført det meste av veien inn i toppenden 78 av T-f orbindel sess tykket 76. Plungeren 86 har en skarpgjort nedre ende 88 for å rive opp brytforseglingen 36. I den viste utførelsesform er plungeren 86 turbulær, slik at når den strekker seg gjennom brytforseglingen, kan den holde fragmentene av den opprevede brytf or segl ingen åpne og tilveiebringe en gasspassasje gjennom brytforseglingen. Et hull 90 er tilveiebragt gjennom siden av plungeren 86 og inn i det hule indre slik at gass kan strømme opp gjennom plungeren 86 (som har en mindre utvendig diameter enn innsiden av T-forbindelsesstykket 76), ut gjennom hullet 90, og gjennom utløpsenden 84 på T-forbindelsesstykket 76 til gassledningen 50 som skal anvendes som ønsket.

Så snart bunnenden 80 og utløpsenden 84 på T-forbindelsesstykket 76 er. tilkoblet og plungeren 86 er plassert over brytforseglingen 36 gjennom toppenden 78, skrues en gjenget hette 94 delvis på gjengene ved toppenden 78. Forbindelsesstykket renses så med en inert gass, fortrinnsvis bæregassen. Brytforseglingen 36 rives så opp ved å skru hetten 94 stramt på toppenden 78 hos T-forbindelsesstykket 76, hvorved hetten 94 bringes i kontakt med plungeren 86 og tvinger denne gjennom brytforseglIngen 36.

T-forbindelsesstykket 76, likesom ventilen 40, kan være laget av et hvilket som helst passende materiale som innehar de nødvendige sperreegenskaper, og kan med fordel lages av det samme polymermaterialet som bobleren. Likeledes kan plungeren 86 lages av det samme materialet som ventilen, eller alternativt kan den lages av en forskjellig polymer, eller av et hvilket som helst annet ikke-reaktivt materiale, slik som kvarts.

Et andre T-forbindelsesstykke festes til innløpsrøret 20 på den samme måte som ovenfor i forbindelse med utløpsrøret 24.

I en alternativ utførelsesform kan ventilen 40 eller forbindelsesstykkene 76 festes til bobleren før forsendelse, enten på konvensjonell måte, eller ved å støpe eller å sveise dem på rørene, eller i toppen av bobleren 10 i stedet for rørene. I denne utførelsesform kan brytforseglingen 36 enten forbli i toppen av rørene 20 og 24, som omhandlet ovenfor, den kan være i selve boblerlegemet (slik som når ventilen skrus direkte inn i bobleren), eller den kan tilveiebringes i ventillegemet hos en konvensjonell ventil slik at ventilen er mellom brytforseglingen og det flytende kildematerialet. Dessuten, i den utstrekning det er forenelig med sikkerhet og renhet, og tillatelig under gjeldende forsendelsesbestemmelser i forsendelseslandet, kan brytforseglingen elimineres fullstendig. Ved å feste ventil forut for forsendelse, kan ventilen belegges med metall samtidig som bobleren, hvorved sperreegenskapene for ventilen forøkes, og mulighetene for forurensning av kildematerialet ytterligere reduseres.

Oppfinnelsen er nærmere illustrert i det følgende eksempel 1.

EKSEMPEL 1: 1500 cm<*>bobler

Polyetylen (UHMWPE) av ultrahøy molekylarvekt eller lineær høy-tetthets polyetylen blir rotasjonsmessig støpt til en genereltbsylindrisk stiv-vegget beholder som har en kapasitet av 1500 cm<5>. Veggtykkelsen er omtrentlig 0,3175 cm. Fire runde hull stanses så ut i toppen av beholderen, i hvilket et innløpsrør, et utløpsrør, et termobrønnrør og et fyllerør innføres og plasseres. Disse rør blir så rotasjonssveiset (spln -ve Ided ) - for å " f este dem 'til beholder legemet.' "Termo-brønnrøret har en forseglet bunnende. En ringformet LHDPE eller UHMWPE-flottør som inneholder en magnet plasseres glidbart på termobrønnrøret innenfor beholderen. Innløpsrøret og termobrønnrøret strekker seg til like i nærheten av bunnen av beholderen; fyllerøret og utløpsrøret avsluttes akkurat innenfor beholderen.

Brytforseglinger som omfatter 0,0508 cm tykke skiver av LHDPE eller UHMWPE plasseres i toppen av innløpsrøret og utløps-røret og ultralyd sveises på plass. Beholderen trykktestes så på 172,375 x IO<3>pa.

Etter trykktesting blir bobleren flourinert. Bobleren foropp-varmes til 60" C i en halv time, plasseres så i et vakuum-kammer. Etter evakuering, innføres Ng- og Fg-gass ved atmosfærisk trykk i en time. Bobleren går så til metallise-ringsprosessen.

Lapper av metall-lagdelt plast festes til toppendene av rørene med induksjonsoppvarming. Et grunningsbelegg påføres bobleren, som så tørkes ved 60° C i en halv time. Den tørre bobleren plasseres i sprutningskammeret, som evakueres i 20 minutter til ca. 0,05 torr. Krom sprutes på den utvendige overflaten av bobleren i 2 minutter til å avsette et metallbelegg av 1,524 x IO"<3>til 2,54 x IO"<3>cm metallbelegg. Et klart, beskyttende polyvinylidenkloridbelegg påføres det utvendige av beholderen over metallet, og beholderen tørkes i 20 minutter ved 60°C.

Den fremstilte bobleren blir så vasket, tørket og fylt med flytende trikloretan, som har en renhet av 99,9999%. Fylle-røret blir så varmeforseglet.

En mutter plasseres på både innløpsrøret og utløpsrøret, og en flat plugg plasseres over enden av hvert rør og festes på plass med mutteren. Den kjemikalie-fylte bobleren plasseres i dobbeltpose av polyvinylidenkloridfilm og plasseres innenfor en form-tUpasset styrenskumbeholder. Beholderen pakkes så i en kartongbeholder og sendes til kunden.

Selv om den foreliggende oppfinnelse er blitt beskrevet i form av visse foretrukne utførelsesformer, skal det forstås at visse modifikasjoner kan foretas av de med ordinær fagkunnskap, uten å avvike fra denne oppfinnelses idé. Følgelig er det hensikten at omfanget av den foreliggende oppfinnelse skal måles kun ved de vedlagte krav og tenkelige ekvivalenter derav.

Denne oppfinnelse finner anvendelse ved fremstillingen av halvleder, elektroniske og optiske anordninger.

Claims (36)

1. Kastbar gjenstand for forsendelse av et flytende materiale som er farlig eller av ultrahøy renhet, karakterisert ved et stiv-vegget beholderlegeme av i alt vesentlig damp-ugj ennomtrengelig organisk polymermateriale som har en topp og> en bunn, -;- ..-i-mej.<. i-.~ ■ <.-,•,, en første åpning i toppen av nevnte beholder, et rør som strekker seg fra nevnte første åpning inn i nevnte beholder, forsynt med en åpen bunnende nær bunnen av nevnte beholder, enn andre-åpning -i- toppen av 'nevnte beholder,; :•-••*<••:•••.••••• ■ :■•■•!••.! en skjør i nevnte første og nevnte andre åpninger for avtetning av nevnte åpninger, og et damp-ugjennomtrengelig metallbelegg på utsiden av nevnte beholder på nevnte organiske polymermateriale.

2. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert v ed dessuten å omfatte en fjernbar tildekning plassert over hver av nevnte skjøre forseglinger før nevnte metallbelegg påføres nevnte beholder, slik at nevnte metallbelegg dekker nevnte fjernbare tildekning.

3. Gjenstand som angitt i krav 2, karakterisert ved at nevnte fjernbare tildekning er en metall-lagdelt plastlapp.

4 . Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved dessuten å omfatte en ventil, eller et forbindelsesstykke på en av nevnte åpninger, idet nevnte ventil eller forbindelsesstykke har middel for å rive opp nevnte skjøre forsegling.

5. Gjenstand som angitt i krav 4, karakterisert ved at nevnte ventil, eller forbindelsesorgan, har middel for å holde nevnte opprevede forsegling åpen.

6. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved at nevnte metall påføres nevnte beholder ved spruting (sputtering).

7. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved at nevnte metall er sink eller nikkel.

8. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved at nevnte metall er krom.

9. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved at nevnte organiske polymermateriale innbefatter polyetylentereftalat eller polyvinylidenklorid.

10. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved at nevnte organiske polymermateriale er polyetylen-polymer eller -kopolymer.

11. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved at nevnte organiske polymermateriale er blitt flourinert.

12. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved dessuten å omfatte en detektor for å bestemme væskenivået innenfor nevnte beholder.

13. Gjenstand som angitt i krav 12, karakterisert ved at nevnte væskenivådetektor omfatter en fast del og en del tilpasset til å flyte på nevnte væske.

14. Gjenstand som angitt i krav 13, karakterisert ved at nevnte væskenivådetektor omfatter: en, flytende:del. som er glidbart anbragt på utsiden av et rør som strekker seg generelt vertikalt innenfor nevnte beholder, idet nevnte flytende del omfatter en magnetisk innerdel, og en ikke-reaktiv ytterdel, og en fast del innenfor nevnte rør for å detektere nærheten av nevnte flytende del.

15. Gjenstand som angitt i krav 12, karakterisert ved at nevnte væskenivådetektor omfatter en oppvarmer, og i tett nærhet, en varmedetektor.

16. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved dessuten å omfatte en væske i nevnte beholder valgt fra gruppen bestående av f osf oroksyklorid, silisiumtetrabromid, trikloretan, fosfortriklorid, trikloretylen, tetrametoksysilan, arsentriklorid, antimon, og fosfortribromid-pentaklorid.

17. Gjenstand som angitt i krav 3, karakterisert ved dessuten å omfatte en væske i nevnte beholder valgt fra gruppen bestående av trikloretan, fosfortriklorid, trikloretylen, tetrametoksysilan, fosforoksyklorid, silisiumtetrabromid, arsentriklorid, fosfortribromid og antimonpentaklorid.

18. Gjenstand som angitt i krav 5, karakterisert ved dessuten å omfatte en væske i nevnte beholder valgt fra gruppen bestående av trikloretan, fosfortriklorid, trikloretylen, tetrametoksysilan, fosforoksyklorid, silisiumtetrabromid, arsentriklorid, fosfortribromid og antimonpentaklorid.

19. Gjenstand som angitt i krav 12, karakterisert ved dessuten å omfatte en væske i nevnte beholder valgt fra gruppen bestående av trikloretan, fosfortriklorid, trikloretylen, tetrametoksysilan, fosforoksyklorid, silisiumtetrabromid, arsentriklorid, fosfortribromid og antimonpentaklorid.

20. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved dessuten å omfatte et beskyttende belegg påført utsiden av nevnte metallbelegg.

21. " Kastbar gjenstand for forsendelse av farlig flytende materiale, karakterisert ved : en beholder av i alt vesentlig damp-ugj ennomtrengel ig organisk polymermateriale som har en topp og en bunn, middel for å innføre en bæregass inn i bunnen av nevnte beholder, middel for å fjerne bæregassen fra toppen av nevnte beholder, og damp-ugj ennomtrengel ig metallbelegg avsatt på nevnte organiske polymermateriale på utsiden av nevnte beholder.

22. Gjenstand som angitt i krav 21, karakterisert ved dessuten å omfatte middel for å detektere væskenivået innenfor nevnte beholder.

23. Gjenstand som angitt i krav 21, karakterisert ved dessuten å omfatte en ventil på nevnte beholder for styring av strømmen av bæregassen, eller annet fluidum, inn i eller ut av nevnte beholder, idet nevnte ventil omfatter: en lnnløpsport, en utløpsport, et indre av et ikke-reaktivt organisk polymer, silikon, glass eller keramisk materiale, et ytre, damp-ugj ennomtrengelige tetninger ved nevnte lnnløpsport og nevnte utløpsport, et damp-ugjennomtrengelig metall på utsiden av ventilen opp tily nevnte- tetninger ,'; slik at -det^ utvendige av ventilen- som kan erfare omgivelseskontakt i alt vesentlig fullstendig er dekket med metall, og hvis innvendige overflater av ventilen er i kontakt med det fluidum som styres av ventilen, er i alt vesentlig metallfrie.

24. Gjenstand for oppbevaring av flytende kjemikalier, karakterisert ved : en fuktighets-ugjennomtrengelig bobler som har et organisk polymer indre og et metall ytre, og flytende kjemikalium av ultrahøy renhet innenfor nevnte bobler, Idet nevnte organiske polymermateriale er ikke-reaktivt med og ikke-forurensende for nevnte væske.

25. Gjenstand som angitt i krav 22, karakterisert ved at væsken innenfor nevnte bobler er valgt fra gruppen bestående av trikloretan, fosfortriklorid, trikloretylen, tetrametoksysilan, fosforoksyklorid, silisiumtetrabromid, arsentriklorid, fosfortribromid og antimonpentaklorid.

26. Gjenstand som angitt i krav 22, karakterisert ved dessuten å omfatte en ventil på nevnte bobler som har et metall ytre og et organisk polymer indre som er ikke-reaktivt med og ikke-forurensende for væsken i nevnte bobler.

27. Gjenstand som angitt i krav 22, karakterisert ved dessuten å omfatte: en åpning på nevnte bobler; en brytforsegling i nevnte åpning; middel for å forbinde en fluidumsledning med nevnte åpning, og middel for å rive opp nevnte brytforsegling etter tilkobling av nevnte fluidumslinje, uten omgivelsesforurensning av nevnte væske i nevnte bobler.

28. Fluidumsstyreventil, karakterisert ved en lnnløpsport, en utløpsport, et i alt vesentlig metallfritt indre av organisk polymermateriale som definerer en fluidumspassasje, middel som strekker seg fra det ytre til det indre for aktivering av nevnte fluidumsstyremiddel, og damp-ugjennomtrengelige tetninger ved nevnte innløpsport, idet nevnte tetninger isolerer metallytret fra det metallfri indre og, under bruk, hindrer omgivelseskontakt med nevnte indre.

29. Ventil som angitt i krav 28, karakterisert ved at nevnte indre er en organisk f luorpolymer, en polyvinylharpiks eller en polyolefin, og nevnte ytre er et tynt metallbelegg av krom, sink eller nikkel.

30. Ventil som angitt i krav 29, karakterisert ved tetninger laget av en organisk fluorpolymer, en polyolefin, en polyvinylharpiks eller en polyamid.

31. Ventil som angitt i krav 29, karakterisert ved tetninger av grafitt.

32. Ventil som angitt i krav 28, karakterisert ved dessuten å omfatte middel for å feste nevnte ventil til en beholder som har en brytforsegling, og middel for å rive opp nevnte brytforsegling uten å tillate omgivelsesforurensning av innholdet i nevnte beholder.

33. Fremgangsmåte for fremstilling av en handelsgjenstand, karakterisert ved trinnene: å danne et kar av polymer, å danne i karet minst en innløpsledning og en utløpsledning som kommuniserer fra utsiden til innsiden av karet, og avlukke den fjerntliggende ende av ledningene med et fjern-bart eller opprivbart lukkeorgan, å metallisere den utvendige overflaten av karet til å danne en sperrer overfor fuktighet og oksygen, og å fylle karet med en kjemisk reagens av ultrahøy renhet som er reaktiv med oksygen eller fuktighet, Idet slik reaksjon degraderer reagensens kvalitet.

34. Fremgangsmåte som angitt i krav 33, karakterisert ved at polymeren velges fra gruppen bestående av polyetylentereftalat eller polyvinylidenklorid.

35. Fremgangsmåte som angitt i krav 34, karakterisert ved at karet fluorineres etter å være dannet.

36. Fremgangsmåte som angitt i krav 35, karakterisert ved at karet fylles med et kjemikalium valgt fra gruppen bestående av fosforoksyklorid, silisiumtetrabromid, trikloretan, fosfortriklorid, trikloretylen, tetrametoksysilan, arsentriklorid, fosfortribromid og antimonpentaklorid.

1. Kastbar gjenstand for forsendelse av et flytende materiale som er farlig eller av ultrahøy renhet, karakterisert ved et stiv-vegget beholderlegeme av i alt vesentlig damp-ugj ennomtrengelig organisk polymermateriale som har en topp og en:bunn" . ■■ en første åpning i toppen av nevnte beholder, et rør som strekker seg fra nevnte første åpning inn i nevnte beholder, forsynt med en åpen bunnende nær bunnen av nevnte beholder, en andre åpning i toppen av nevnte beholder, en skjør i nevnte første og nevnte andre åpninger for avtetning av nevnte åpninger, og et damp-ugjennomtrengelig metallbelegg på utsiden av nevnte beholder på nevnte organiske polymermateriale.

2. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved dessuten å omfatte en fjernbar tildekning plassert over hver av nevnte skjøre forseglinger før nevnte metallbelegg påføres nevnte beholder, slik at nevnte metallbelegg dekker nevnte fjernbare tildekning.

3. Gjenstand som angitt i krav 2, karakterisert ved at nevnte fjernbare tildekning er en metall-lagdelt plastlapp.

4. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved dessuten å omfatte en ventil, eller et forbindelsesstykke på en av nevnte åpninger, idet nevnte ventil eller forbindelsesstykke har middel for å rive opp nevnte skjøre forsegling.

5. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved at nevnte metall påføres nevnte beholder ved spruting (sputtering).

6. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved at nevnte metall er sink eller nikkel.

7. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved dessuten å omfatte en detektor å bestemme væskenivået innenfor nevnte beholder, hvor nevnte væskenivådetektor omfatter en fast del og en del som er tilpasset til å flyte på nevnte væske, Idet nevnte flytende del er glidbart anbragt på utsiden av et rør som strekker seg generelt vertikalt innenfor nevnte beholder, idet nevnte flytende del omfatter en magnetisk innerdel, og en ikke-reaktiv ytterdel, og nevnte faste parti er beliggende innenfor nevnte rør for å detektere nærheten av nevnte flytende del.

8. Gjenstand som angitt i krav 1, karakterisert ved dessuten å omfatte en væske i nevnte beholder valgt fra gruppen bestående av fosforoksyklorid, silisiumtetrabromid, trikloretan, fosfortriklorid, trikloretylen, tetrametoksysilan, arsentriklorid, antimon, og fosfortribromid-pentaklorid.

9. Kastbar gjenstand for forsendelse av farlig flytende materiale, karakterisert ved : en beholder av i alt vesentlig damp-ugj ennomtrengel ig organisk polymermateriale som har en topp og en bunn, middel for å innføre en bæregass inn i bunnen av nevnte beholder, middel for å fjerne bæregassen fra toppen av nevnte beholder, og damp-ugj ennomtrengel ig metallbelegg avsatt på nevnte organiske polymermateriale på utsiden av nevnte beholder.

10. Gjenstand som angitt i krav 21, karakterisert ved dessuten å omfatte en ventil på nevnte beholder for styring av strømmen av bæregassen, eller annet fluidum, inn i eller ut av nevnte beholder, idet nevnte ventil omfatter: en lnnløpsport, en utløpsport, et indre av et ikke-reaktivt organisk polymer, silikon, glass e 11 e r k e r aml s k rna t e r i a 1 e, en ae i •' '. i et ytre, damp-ugj ennomtrengelige tetninger ved nevnte lnnløpsport og nevnte utløpsport, et damp-ugjennomtrengelig metall på utsiden av ventilen opp til nevnte tetninger, slik at det utvendige av ventilen som kan erfare omgivelseskontakt i alt vesentlig fullstendig er dekket med metall, og hvis innvendige overflater av ventilen er i kontakt med det fluidum som styres av ventilen, er i alt vesentlig metallfrie.

11. Gjenstand for oppbevaring av flytende kjemikalier, karakterisert ved : en fuktighets-ugjennomtrengelig bobler som har et organisk polymer indre og et metall ytre, og flytende kjemikalium av ultrahøy renhet innenfor nevnte bobler, idet nevnte organiske polymermateriale er ikke-reaktivt med og ikke-forurensende for nevnte væske.

12. Gjenstand som angitt i krav 9, karakterisert ved at væsken innenfor nevnte bobler er valgt fra gruppen bestående av trikloretan, fosfortriklorid, triklor etylen, tetrametoksysilan, fosforoksyklorid, silisiumtetrabromid, arsentriklorid, fosfortribromid og antimonpentaklorid.

13. Fremgangsmåte for fremstilling av en handelsgjenstand, karakterisert ved trinnene: å danne et kar av polymer, å danne i karet minst en innløpsledning og en utløpsledning som kommuniserer fra utsiden til innsiden av karet, og avlukke den fjerntliggende ende av ledningene med et fjern-bart eller opprivbart lukkeorgan, å metallisere den utvendige overflaten av karet til å danne en sperrer overfor fuktighet og oksygen, og å fylle karet med en kjemisk reagens av ultrahøy renhet som er reaktiv med oksygen eller fuktighet, idet slik reaksjon degraderer reagensens kvalitet, at polymeren velges fra gruppen bestående av polyetylentereftalat eller polyvinylidenklorid, og at karet fluorineres etter å være dannet.