NO861098L - Elektrisk filter som arbeider med akustiske boelger. - Google Patents

Description

Den foreliggende oppfinnelse angår et elektrisk filter som angitt i den innledende del av patentkrav 1.

Fra Proe. of the IEEE, Bind 67 (1969), s. 147-157,

fig. 3 er der kjent et akustisk bølgefilter som resonansfilter som har en inngangsomformer og en utgangsomformer anordnet direkte ved siden av hverandre på overflaten av substratet. Uansett tilsvarende polarisering kan der ved et slikt filter konstateres en forstyrrende grad av krysstale mellom inngang og utgang.

For avskjermning mellom inngangsomformer og utgangsomf ormer har man derfor, slik det er kjent fra "1982 Ultrasonics" Symposium 1 982 IEEE, s. 284-289, forsynt slike filtere med anordninger som vist på artikkelens fig. 6. Ved en slik avskjermende anordning dreier det seg i det vesentlige om at der som overflatebelegg på substratet er anordnet en bjelkeformet struktur som er orientert på tvers av hovedforplantningsaksen for de i filteret løpende bølger og ligger på gods som referansepotensial. Dette overflatebelegg som ligger på godspotensial og danner en bred strimmel, er posi-sjonert mellom inngangsomformer og utgangsomformer og bevirker i og for seg en god avskjermning. Ved tilsvarende høye frekvenser gjør imidlertid allerede induktivitetene av tilførsels-ledningene for tilkobling av denne avskjermning til referansepotensial seg uheldig bemerket på den måte at der opptrer udefinerte elektriske potensialer på dette avskjermende belegg, potensialer som forårsaker tilsvarende forstyrrelser mellom inngang og utgang.

Videre skal der også henvises til Ultrasonics Symposium 1979 IEEE, s. 841-844.

Den foreliggende oppfinnelse har til oppgave å skaffe

en ytterligere bedring når det gjelder minsket krysstale resp. minskede forstyrrelser mellom inngang og utgang ved et filter som arbeider med akustiske bølger.

Denne oppgave blir løst med et filter med de trekk som

er angitt i den karakteriserende del av patentkrav 1, og ytterligere utformninger og videre utviklinger fremgår av de uselv-stendige krav - i den forbindelse skal der særlig henvises til utformningene ifølge fig. 5 og 6.

Til grunn for den foreliggende oppfinnelse ligger den tanke at en ytterligere forbedring lar seg oppnå ved at man i samsvar med en grunntanke for oppfinnelsen deler opp de kjente strimler som forløper på tvers av bølgenes hovedfor-plantningsakse, i (minst) to delstrukturer, resp. avbryter dem elektrisk. Uten at forstyrrende krysstale gjør seg gjeld-ende, kan man da forbinde den ene delstruktur elektrisk med den på referansepotensial liggende samleskinne hos den tilgrensende omformerstruktur og forbinde den annen delstruktur med den på referansepotensial liggende samleskinne hos den annen omformerstruktur, som ligger nær denne annen delstruktur, samtidig som den ene av de nevnte omformerstrukturer danner inngang og den annen danner utgang. Ved utførelse i samsvar med denne oppfinnelsestanke er det sikret at der ikke over den av-kjermende struktur kan opptre noe forstyrrende potensial beroende på uunngåelige induktiviteter av et eller annet slag. Et slikt potensial opptrer når der går strøm mellom den på referansepotensial liggende ene samleskinne hos en omformer og den på referansepotensial liggende samleskinne hos den annen omformer. Slike strømmer blir på pålitelig måte forhindret av det tversgående elektriske avbrudd som oppfinnelsen gir anvisning på, uten at den avskjermende virkning på noen måte forringes.

Oppfinnelsen gir særlig anvisning på at de nevnte delstrukturer består av strimmelformede belegg som er elektrisk forbundet med hverandre og er likeartet med de strimmelformede belegg som forekommer i filterets digitalstrukturer. Fortrinnsvis har de delstrukturer som består av et antall av slike strimmelformede belegg, minst én samleskinne hver, fortrinnsvis en ved hver ende, samtidig som denne ene resp. den ene av samleskinnene, via en forbindelsesledning er forbundet med den på referansepotensial liggende, allerede nevnte samleskinne hos den tilgrensende omformerstruktur. Med særlig fordel er oppfinnelsen anvendelig ved et filter som har en koblestruktur mellom inngangsomformer og utgangsomformer, slik det f.eks.

er vist på fig. 7 i Proe. of the IEEE, bind 67 (1979), s. 150. En annen særlig foretrukken anvendelse av oppfinnelsen fås

med et filter som arbeider med aktustiske bølger, som det der er angitt i søkernes ikke tidligere publiserte prioritets-eldre patentsøknad 85 5285, hvor der mellom inngangsomformeren og utgangsomformeren befinner seg en ytterligere struktur,

som vist på patentsøknadens tegning. Denne struktur er et kollektiv av strimmelformede, elektrisk ledende belegg som tilsvarer de strimmelformede belegg hos filterets digitalstrukturer, og som er slik plassert og utformet at de er refleksjonsfrie. Ved et filter ifølge denne eldre patentsøknad er kollek-tivet anordnet for å egalisere belysningen under fotolitografisk fremstilling av filteret.

Oppfinnelsen vil bli belyst ved foretrukne utførelses-eksempler som er beskrevet i det følgende under henvisning til tegningen. Fig. 1 viser en første utførelsesform for filteret ifølge oppfinnelsen med en enkelt avskjerming. Fig. 2 viser en annen utførelsesform for filteret ifølge oppfinnelsen, hvor en koblestruktur som allikevel finnes, dessuten er utformet avskjermende i samsvar med oppfinnelsen. Fig. 3-5 viser utsnitt av ytterligere utførelsesformer hvis øvre komponenter f.eks. tilsvarer fig. 2( og hvor den i samsvar med oppfinnelsen utformede avskjermende struktur samtidig oppfyller funksjonen ifølge patentsøknad 85 5285;

resp. er en ledestruktur.

Fig. 1 viser et filter 1 som er utført i samsvar med oppfinnelsen og oppviser to interdigitalstrukturer 2 og 3, hvorav den ene er inngangsomformer og den annen utgangsomformer. Disse interdigitalstrukturer 2, 3 er oppbygget på vanlig måte og kan ha de forskjelligste spesielle utformninger. Et vesentlig trekk ved dem er at de har elektrodefingre av elektrisk lededyktige (metall-)belegg på overflaten av det piezoelektriske substrat 4. Disse interdigitalt anordnede strimmelformede belegg av fingerelektrodene er i retningen for hovedforplantningsaksen 5 for de i filteret frembragte bølger forbundet skiftevis med en samleskinne 6 resp. 7 og med en samleskinne 8 resp. 9 hos henholdsvis den ene omformerstruktur 2 og den annen omformerstruktur 3. For den tilsiktede usymmetriske drift av filteret er f.eks. samleskinnene 7 og 8 lagt på referansepotensial, særlig godspotensial. De andre samleskinner 6 og 9 er de såkalte hete tilslutningsender av filteret 21. 13 betegner en bjelkeformig-struktur av et overflatebelegg på substratet 4 orientert i det vesentlige tvers på hovedforplantningsaksen 5. Dens to delstrukturer 14 og 15 er elektrisk adskilt fra hverandre ved en strimmel 16 som likeledes er orientert på tvers av denne akse 5, og som ikke oppviser noe elektrisk ledende overflatebelegg på filteret 4. Denne strimmel 16 er imidlertid, særlig for innsparing av plass, utført forholdsvis smal. Den skråstilling av delstrukturene 14 og 15 som er angitt på fig. 1, tjener f.eks.

til å reflektere de bølgeandeler som reflekteres ved de på tvers av aksen 5 forløpende kanter ut i skrå retning.

Som det fremgår av fig. 1, er der på substratoverflaten anordnet forbindelsesbelegg 17, 18 som forbinder for det første samleskinnen 7 med delstrukturen 14 og for det annet samleskinnen 8 med delstrukturen 15 elektrisk. I og med dette tiltak er delstrukturene 14 og 15 lagt på referansepotensial,

så disse delstrukturer 14 og 15 virker pålitelig som avskjermning på tilsvarende måte som den kjente bjelkeformede overflate-belegning. Over disse delstrukturer 14 og 15 kan der imidlertid ikke flyte noen som helst elektrisk strøm, som ville føre til forstyrrende spenninger på grunn av de induktive serie-motstander, som særlig ved høye frekvenser ikke ville være til å unngå. Avskjermningssystemet omfatter elementene 7,

8, 17, 18, 14 og 15. Ved denne utførelsesform for oppfinnelsen er delstrukturen 14 via forbindelsesbelegget 17 forbundet med den på (gods-)referansepotensial liggende samleskinne 7 hos omformerstrukturen 2, som f.eks. danner filterets inn-gangsomf ormer . Tilsvarende gjelder for delstrukturen 15, forbindelsesbelegget 18 og samleskinnen 8 hos omformerstrukturen 3( som da blir filterets utgangsomf ormer.

Fig. 2 anskueliggjør en annen utførelsesform for oppfinnelsen, hvor detaljer som allerede er beskrevet under henvisning til fig. 1, har samme henvisningsbetegnelser som på denne figur. Utførelsesformen 11 på fig. 2 oppviser den vesentlige forskjell fra den på fig. 1 at der anvendes en koblestruktur 23 som består av mange strimmelformede overflatebelegg, idet den setter seg sammen av et antall strimmelformede overflatebelegg 123 som følger på hverandre i retningen for aksen 5. En anordning som ligger til grunn for utførelses-formen på fig. 2 med koblestruktur mellom to interdigitalomformere 2, 3, er f.eks. kjent fra de ovennevnte publika-sjoner Ultrasonics Symposium (1979), s. 841, fig. 1 og Pro-ceedings of the IEEE, bind 67 (1979), s. 150, nederste linje på fig. 7. Ved en slik koblestruktur svarer de strimmelformede belegg 123 med hensyn til utformning og dimensjoner i normal-tilfellet til fingerelektrodene hos omformerstrukturene 2,

3, men for en koblestruktur finnes der ingen interdigital anordning med samleskinner som nødvendigvis behøves i den forbindelse. En slik koblestruktur bevirker strengt tatt en gradert avkobling.

Ved den utførelsesform for oppfinnelsen som er anskueliggjort på fig. 2, er i samsvar med oppfinnelsen en slik koble-struktur i tillegg også benyttet som avskjermende struktur (svarende til strukturen 14, 15 på fig. 1) og med tilsvarende spesiell utformning. Denne koblestruktur 23 er i henhold til oppfinnelsen delt opp i (minst) to delstrukturer 24 og 25, innbyrdes adskilt av en fri strimmel 26. Denne er f.eks. ikke bredere enn avstandene mellom de strimmelformede belegg 123 innen de enkelte koblestrukturer 24, 25 hos omformerne henholdsvis 2 og 3. Men der kan også være anordnet en bredere fri strimmel 26, noe som tilsvarer en sløyfning av de strimmelformede belegg (som 123) som ellers forekommer ved den kjente koblestruktur på dette sted.

Et særskilt tiltak når det gjelder utformning består

i at delstrukturen 24 har minst én samleskinne 27. Tilsvarende gjelder for delstrukturen 25 med dens samleskinne 28. Samleskinnene henholdsvis 27 og 28 tjener til å danne elektrisk forbindelse mellom de strimmelformede belegg 123 hos henholdsvis den ene og den annen delstruktur 24 resp. 25, som det fremgår av fig. 2. I samsvar med oppfinnelsen er der også

ved utførelsesformen på fig. 2 anordnet forbindelsesbelegg

17 og 18 som forbinder disse delstrukturer 24 og 25 med den respektive på referansepotensial liggende samleskinne 7 resp.

8 hos omformerstrukturene 2 resp. 3.

Også ved utførelsesformen på fig. 2 er det utelukket

at der kan gå noen elektrisk strøm som fører til forstyrrelser, eller at der kan oppstå noen tilsvarende støyspenning mellom omformerne 2 og 3.

Som det kan utledes fra fig. 2, kan der også være anordnet ekstra samleskinner eller overflatebelegg 127 og 128 som tilsvarer disse med hensyn til sin generelle form. Overflate-belegget 127 kan likeledes være forbundet med de strimmelformede belegg 123 hos delstrukturen 24. Noen tvingende nød-vendighet for disse forbindelser foreligger imidlertid ikke. Dette gjelder også for de lignende ekstra overflatebelegg

128, og ved delstrukturen 25 er denne annen alternative mulighet med elektriske forbindelser vist. Spesielt tjener disse ekstra overflatebelegg 127 og 128 som tilsvarer samleskinner, til å gi en symmetri når det gjelder tilstedeværelse og anordning av overflatebelegg.

Som koblestruktur virker denne struktur 23 som alt i

alt består av delstrukturene 24 og 25, reflekterende med de strimmelformede belegg 123. Denne refleksjonsvirkning refererer seg til de aktustiske bølger som frembringes i filteret resp. forløper i retningen for hovedforplantningsaksen 5. Utførelses-eksempelet på fig. 5 oppviser dessuten også (likedan som i den ovennevnte kjente teknikk) reflektorstrukturer R1 og R2.

På grunn av refleksjonsvirkningen av koblestrukturen 23 blir de to andeler av dette filter 21 på fig. 2 som ligger til høyre og til venstre (på fig. 2), referert til strukturen 23, koblet bølgeakustisk og - på grunn av den piezoelektriske egenskap hos substratet 4 - også elektrisk med hverandre.

Et filter i samsvar med oppfinnelsen kan også med delstrukturer 24 og 25 svarende til fig. 2, være utført som av-skjermninger mellom omformerstrukturene 2 og 3, uten at disse delstrukturer 24 og 25 tilsammen virker resp. må virke som koblestruktur. I den ovennevnte eldre patentsøknad 85 5285

er der beskrevet anvendt ekstra strukturer bestående av strimmelformede overflatebelegg. I den utførelsesform som er angitt

i denne eldre patentsøknad, er en slik struktur beliggende mellom filterets to omformerstrukturer, betegnet med 100.

Meningen med denne ekstra struktur var der å oppnå en egalisering for resp. under forløpet av den fotolitografiske prosess til fremstilling av de strimmelformede belegg hos disse strukturer. Av den grunn er de strimmelformede belegg hos en slik ekstra struktur ved filteret ifølge denne eldre søknad utformet svarende til de strimmelformede overflatebelegg hos filterets nødvendige digitalstrukturer (omformerstrukturer og reflektorstrukturer). Den eldre søknad omtaler også det alternativ å forsyne en slik ekstra struktur med samleskinner (der betegnet med 106). Avgjørende ved filteret ifølge den eldre søknad er at den ekstra struktur som den der er anordnet mellom de to interdigitalomformere, er utformet resp. dimensjonert for å være refleksjonsfrie for den akustiske bølge. Dette står i motsetning til den koblestruktur 23 som er vist på fig. 2 i nærværende søknad, og som den foreliggende oppfinnelse gir anvisning på. Hvorledes man utformer en slik (ekstra) struktur reflekjsonsfritt, er forsåvidt det ikke er kjent på annen måte, utførlig beskrevet i den eldre søknad. Spesielt lar dette seg oppnå ved (i sammenligning med filterets nødvendige strukturer) avvikende tilmåling av avstandene mellom de strimmelformede belegg eller ved avstandssprang valgt lik en fjerdedel av den akustiske bølges effektive bølgelengde (som ved strukturen 200 ifølge den eldre søknad).

På fig. 3 i søknadens tegning er denne ytterligere utfør-elsesform 21 for oppfinnelsen bare vist i utsnitt. Strukturen 33 er en helt ut refleksjonsfri struktur og består av delstrukturene 34 og 35. De strimmelformede belegg 123 hos strukturene 34 og 35 har imidlertid avstander svarende til dem ifølge den eldre søknad. De enkelte strimmelformede belegg 123 hos delstrukturen 34 har innbyrdes (midtpunkt-)avstander som avviker et visst mål fra (midtpunkt-)avstandene mellom de strimmelformede belegg hos filterets nødvendige digitalstrukturer, idet de avviker fra de (midtpunkt-)avstander som bestemmer midtfrekvensen resp. den effektive bølgelengde av den akustiske bølge hos vedkommende filter. Målet for avviket er valgt slik at første nullsted i de interdigitale refleksjoner på de strimmelformede belegg hos denne delstruktur 34 faller sammen med vedkommende filters (forhåndsbestemte) midtpunktfrekvens.

Delstrukturen 35 kan være utformet på samme måte som delstrukturen 34. Imidlertid viser fig. 3 et annet alternativ for en refleksjonsfri struktur i filteret, nemlig ett hvor de enkelte strimmelformede belegg 123 hos delstrukturen 35, fortrinnsvis gruppevis, er anordnet slik at (midtpunkt-) avstandene mellom enkelte strimmelformede belegg 123 resp. mellom enkelte grupper av strimmelformede belegg skiller seg en (resp. et ulike multiplum av en) kortbølgelengde fra de for filterets midtpunktfrekvens bestemmende avstander mellom de strimmelformede belegg hos strukturene henholdsvis 2 og 3.

Ut fra samme tankegang som ved den eldre søknad er fortrinnsvis avstanden mellom strukturen 2 og delstrukturen 34, resp. avstanden mellom strukturen 3 og delstrukturen 35, redu-sert til avstanden mellom de strimmelformede belegg 123, resp. mellom fingerelektrodene hos omformerne 2, 3, så forbindelses-beleggene 17, 18 blir tilsvarende korte.

Videre enkeltheter ved et filter i henhold til fig.

3 svarer til dem hos et filter i henhold til fig. 2. Tilsvarende gjelder for de overensstemmende henvisningsbetegnelser.

For SBAW- og for SSBW-akustikkbølger som utgjør hver

sin spesielle form for akustiske bølger som i oppfinnelsens forstand forløper i et substrat i nærheten av dettes overflate, og som i den foreliggende oppfinnelses forstand faller under det her benyttede begrep overflatebølger, er der fra "1979 Ultrasonics Symposium", s. 783-785 kjent en anordning hvor

der mellom en inngangs- og en utgangs-omformerstruktur som på substratets overflate har en avstand fra hverandre, er anordnet en ekstra "lede"-struktur (energi trapping grating).

Fig. 4 viser en slik anordning 31 i utsnitt. Denne ledestruktur som der er anordnet mellom omformerstrukturene, tjener til å hindre den SBAW-bølge som forløper mellom disse to omformerstrukturer, i å forlate området nær substratets overflate, altså i å dykke ned i det indre av substratkroppen. For en

slik struktur er det nok å anordne strimmelformede belegg,

som imidlertid med hensyn til resonansen av den struktur de danner, sammenholdt med omformerstrukturene, har en helt annen, spesiell dimensjonering. Resonansfrekvensen for denne struktur som forhindrer SBAW-bølgen i å vike ut nedover, ligger ved tilnærmelsesvis 1,25 ganger midtfrekvensen for omformerstrukturene resp. for hele filteret, dvs. at de enkelte strimmelformede belegg har relativt betraktelig kortere periodiske avstander fra hverandre. På dette punkt skiller en slik ledestruktur seg f.eks. fra en ovenfor nevnt eller i den eldre søknad detaljert beskrevet fyllstruktur med det spesielle valg av sin frekvens som tilsvarer (det første) nullstedet for filterets interdigitale refleksjoner. I trykkskriftet er det nevnt at denne struktur som benyttes for SBAW- resp. SSBW-bølger, er lagt på godspotensial og har avskjermende virkning.

En ledestruktur 43 som beskrevet foran er ved anvendelse av oppfinnelsen og som anskueliggjort mer detaljert på fig.

4, utformet slik at der igjen dannes (minst) to delstrukturer 4, 45 som, svarende til utførelsesformene særlig på fig. 2

og 3 og ut fra samme tankegang, er enkeltvis forbundet med den respektive tilgrensende omformerstruktur 2, 3, så avskjerm-ningen er tilsvarende oppdelt i samsvar med oppfinnelsen.

De utførelsesformer for oppfinnelsen som særlig er beskrevet under henvisning til fig. 2-4, gjelder respektive tilfeller med enten en koblestruktur (fig. 2), en fyllstruktur (fig. 3) eller en ledestruktur for SSBW-bølger (fig. 4). Særlig ved en koblestruktur kan man ha å gjøre med det tilfelle at koblestrukturen i samsvar med det filteropplegg som da følger ut fra gitte forutsetninger, bare har ganske få, f.eks. bare to eller fire, strimmelformede belegg. Den ovenfor angitte oppdeling i to delstrukturer 24 og 25 ville da bety at en og en delstruktur 24, 25 består av bare to eller til og med bare ett strimmelformet belegg. Det siste tilfelle ville riktig-nok hva antall strimler angår, stort sett tilsvare utførelses-formen på fig. 1. Men ved utførelsesformen på fig. 1 er de to delstrukturer 14, 15 slike belegg hvis strimmelbredde er stor i forhold til bredden av et slikt strimmelformet belegg 123, nemlig en bredde på f.eks. en kvart bølgelengde. Et slikt smalt strimmelformet belegg 123 kan ha så liten elektrisk ledningsevne i sin lengderetning at det med hensyn til den forlangte avskjermende virkning langsetter strimmelen allerede har for stor seriemotstand.

For et tilfelle som beskrevet foran kan man anvende

en ytterligere utførelsesform 41, som er vist på fig. 5, og som består i å levne en koblestruktur 24a som bare omfatter få, f.eks. maksimalt fire strimmelformede belegg 123, udelt, altså å anvende den som den ene av de (minst) to delstrukturer i oppfinnelsens forstand. Som annen delstruktur anbefaler seg da en slik annen struktur, f.eks. en fyllstruktur 35a som på fig. 3 eller en ledestruktur som på fig. 4. En slik utførelsesform blir dermed en blanding mellom det respektive prinsipp som på den ene side tilsvarer fig. 2 (med bare få koblende strimler) og på den annen side tilsvarer prinsippet for fig. 3 eller 4. De respektive to delstrukturer 24a, 35a som tilsvarer de prinsipper som beskrives her, blir ved bruk av oppfinnelsen drevet slik at dels den ene delstruktur (dvs. den samlede koblestruktur som bare oppviser disse få koble-strimler) er forbundet med en omformerstruktur 2 og sammen med denne er lagt på referansepotensial, og dels en annen struktur (fyllstruktur og/eller ledestruktur) er anordnet som tilhørende annen delstruktur 35a og elektrisk forbundet med den annen omformerstruktur 3 og lagt på referansepotensial sammen med denne. I oppfinnelsens forstand foreligger da igjen en avskjermende struktur 53 og to delstrukturer 24a,

35a som i innbyrdes samvirkning og i fellesskap gjør det mulig å oppnå den nødvendige avskjermende virkning, skjønt disse to delstrukturer hver for seg har innbyrdes forskjellig funksjon i filteret.

Claims (9)

1. Filter som arbeider med akustiske bølger, med elektrisk inngang og utgang, med et antall digitalstrukturer som hver oppviser strim-melf ormede, elektrisk lededyktige belegg på overflaten av filterets substrat, anordnet i filterets hovedforplantnings-retning for bølgene, samtidig som de enkelte digitalstrukturer er omformerstrukturer eller resonatorstrukturer, med en tilslutning for et referansepotensial, og med en avskjermende struktur som er anordnet mellom en inngangsomformers og en utgangsomformers digitalstrukturer og utformet som elektrisk lededyktig belegg på substratets overflate, samt elektrisk forbundet med tilslutningen for referansepotensial, samtidig som hver av omformerstrukturenes samleskinner er elektrisk forbundet med referansepotensial, karakterisert ved at den avskjermende struktur (13, 23, 33, 43, 53) har to delstrukturer (14, 15; 24, 25; 34, 35; 44, 45; 24a, 35a) anordnet bak hverandre i hovedforplantningsaksen (5), at disse delstrukturer oppviser minst ett belegg som forløper strimmelformig på tvers av hovedforplantningsaksen (5) , at den ene av disse delstrukturer ( 1 4, 24 , 34, '44, 24a) ved hjelp av et forbindelsesbelegg (17) er forbundet med den med referansepotensial (M) forbundne samleskinne (7) hos den omformerstruktur (2) som grenser til denne delstruktur, og at den annen av disse delstrukturer ('1 5, 25, 35,

45, 35a) ved hjelp av et ytterligere forbindelsesbelegg (18) er forbundet med den med referansepotensial (M) forbundne samleskinne (8) hos den omformerstruktur (3) som grenser til denne delstruktur.

2. Filter som angitt i krav 1, karakterisert ved at de respektive forbindelsesbelegg (17; 18) med hensyn til sine dimensjoner utgjør en fortsettelse av den dermed forbundne samleskinne (7; 8).

3. Filter som angitt i krav 1 eller 2, karakterisert ved at det ene forbindelsesbelegg (17) som til-hører den ene delstruktur ( 1 4 , 24, 34 , 44, 24a)( referert til hovedforplantningsaksen (5) er anordnet på den ene side av denne akse og forbindelsesbelegget (18) hos den annen delstruktur (15, 25, 35, 45, 35a) er anordnet på den annen side av denne akse.

4. Filter som angitt i krav 1 eller 2, karakterisert ved at minst én av delstrukturene (24, 25; 34,

35; 44, 45; 24a, 35a) hos den avskjermende struktur (23, 33,

43, 53) oppviser et antall strimmelformede, ved siden av hin-annen liggende, elektrisk lededyktige belegg (123), orientert hovedsakelig på tvers av hovedforplantningsaksen (5).

5. Filter som angitt i et av kravene 1-4, karakterisert ved at delstrukturene (24, 25) tilhører en koblestruktur (23) hos filteret (fig. 2) og denne koblestruktur er dimensjonert reflekterende for den akustiske bølge, og at det ene forbindelsesbelegg (7) går over i den ene samleskinne hos den ene delstruktur (24) og det annet forbindelsesbelegg (8) går over i den ene samleskinne (8) hos den annen delstruktur (25) (fig. 2).

6. Filter som angitt i et av kravene 1-4, karakterisert ved at delstrukturene (34, 35) tilhører et kollektiv av ytterligere strimmelformede belegg (123) som utfyller et mellom-rom mellom en inngangsstruktur og en utgangsstruktur, at den ene delstruktur (34) omfatter et antall av disse ytterligere strimmelformede belegg, at den annen delstruktur (35) omfatter et ytterligere antall av disse ytterligere strimmelformede belegg, og at disse delstrukturer (34, 35) har samleskinner (27, 28) hvorav den respektive ene samleskinne (27, 28) hos vedkommende delstruktur (34, 35) går over i det respektive tilhørende forbindelsesbelegg (17, 18) (fig. 3).

7. Filter som angitt i krav 6, karakterisert ved at det kollektiv av ytterligere strimmelformede belegg (123) som omfatter disse delstrukturer (34, 35), er en refleksjonsfri strimmelstruktur i henhold til patentsøknad 85 5285 (fig. 3).

8. Filter som angitt i et av kravene 1-4, karakterisert ved at delstrukturene (44, 45) tilhører en ledestruktur (43) (energy trapping grating) med ytterligere strimmelformede belegg (123), at den ene delstruktur (44) omfatter et antall av disse ytterligere strimmelformede belegg (123), at den annen delstruktur (45) omfatter et ytterligere antall av disse ytterligere strimmelformede belegg (123), og at disse delstrukturer (44, 45) har samleskinner (27, 28) hvorav den respektive ene samleskinne (27, 28) hos vedkommende delstruktur (44, 45) går over i det respektive tilhørende forbindelsesbelegg (17, 18) (fig. 4).

9. Filter som angitt i et av kravene 1-4, karakterisert ved at den ene delstruktur (24a) er en koblestruktur, og at den annen delstruktur (35a) er en fyllstruktur eller en ledestruktur (fig. 5).