NO784268L - Fremgangsmaate til fremstilling av en paasproeytningsplate - Google Patents

Fremgangsmaate til fremstilling av en paasproeytningsplate

Info

Publication number
NO784268L
NO784268L NO784268A NO784268A NO784268L NO 784268 L NO784268 L NO 784268L NO 784268 A NO784268 A NO 784268A NO 784268 A NO784268 A NO 784268A NO 784268 L NO784268 L NO 784268L
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
container
powder
spraying
filled
wall
Prior art date
Application number
NO784268A
Other languages
English (en)
Inventor
Robert Jospeh Wright
Ralph Julius Hecht
Richard James Fenton
Original Assignee
United Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by United Technologies Corp filed Critical United Technologies Corp
Publication of NO784268L publication Critical patent/NO784268L/no

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F7/00Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression
    • B22F7/06Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite workpieces or articles from parts, e.g. to form tipped tools
    • B22F7/08Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite workpieces or articles from parts, e.g. to form tipped tools with one or more parts not made from powder
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F5/00Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the special shape of the product
    • B22F5/10Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the special shape of the product of articles with cavities or holes, not otherwise provided for in the preceding subgroups
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/3407Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/3407Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C23C14/3414Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)

Description

Fremgangsmåte til fremstilling av
en påsprutingsanordning.
Den foreliggende oppfinnelse vedrører en fremgangsmåte
til fremstilling av kjølte påsprutingsanordninger. Oppfinnelsen har også tilknytning til isostatisk varmpressing.
Påspruting under anvendelse av en hul katode er kjent
fra atskillige US-patentskrifter, f.eks. US-patentskrifter 3.314.873, 3.282.816 samt 3.528.902. Ingen av disse patentskrifter beskriver fremgangsmåte til fremstilling av påsprutingsanordninger.
Fra US-patentskrift 3.992.202 er det kjent en isostatisk varmpressingsteknikk for fremstilling av hule gjenstander, såsom skjærende verktøy.
Ifølge den foreliggende oppfinnelse er det frembrakt en
fremgangsmåte til fremstilling av en hul, sylindrisk påsprutingsanordning med en komponent av duktilt metall metallurgisk bundet til ytterflaten av anordningen og med en kjøleanordning. Materialet i anordningen er et finkornet materiale dannet av pulver ved komprimering ved høyere temperatur. En kjølekappe er festet til den ytre metallflate.Fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen er særlig anvendelig ved fremstilling av påsprutingsanordninger av sprøtt materiale.
Oppfinnelsen vil bli nærmere forklart i det etterfølgende under henvisning til de medfølgende tegninger, hvori: Fig. 1 viser et uttrukket riss av komponentene i anordningen, i form av en beholder, før sammensetning. Fig. 2 viser et tverrsnitt gjennom beholderen etter sammensetning, anbringelse av pulver og evakuering. Fig. 3 viser anordningen i fig. 2 etter isostatisk varmpressing. Fig. 4 viser anordningen i fig. 3 etter fjerning av beholderens inner- og endeflater. Fig. 5 viser anordningen i fig. 4 etter frembringelse av
kjølekappen.
Fig. 6 viser en alternativ utførelse av kjølekappen.
Oppfinnelsen vedrører en fremgangsmåte til fremstilling av en påsprutingsanordning. En slik ferdig anordning er vist i fig. 5. Påsprutingsanordningen 1 har toroideform og består av et antall stort sett sylindriske komponenter. Påspruting er en velkjent beleggingsprosess som er beskrevet i US-patentskrifter 3.314.873, 3.282.816 samt 3.528.902. Beleggsmaterialet som på-føres ved spruting danner den indre komponent 2 i den ferdige påsprutingsanordning. Den viste påsprutingsanordning er inn-rettet til bruk i et påsprutingsapparat med hul katode hvor gjenstanden som skal påsprutes anbringes i en åpning 3 i anordningen og sprutbelegges ved påtrykning av et elektrisk felt mellom gjenstanden som skal belegges og påsprutingsanordningen i en egnet atmosfære. I den spesielle anvendte prosess, anbringes en andre katode, benevnt etterkatode, konsentrisk i åpningen og gjenstanden som skal belegges anbringes i den ringformete åpning mellom katodene. Katoder fremstilt ved fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen kan anvendes i forbindelse med likestrøms-og RF-påspruting, reaksjonspåsprutingsmetoder og påsprutings-metoder hvor det anvendes magnetiske felter og/eller ytterligere elektroder. Påspruting har vært ansett for å være en langsom prosess som krever et langt tidsrom for utvikling av et tykt belegg. Det er i den senere tid blitt utviklet hurtige på-sprutingsprosesser som øker hastigheten for avsetningen av belegget. Disse prosesser er slik at det utvikles betydelig varme i materialet i påsprutingsanordningen. Varmen kan være tilstrekkelig til å.smelte materialet i anordningen eller få dette til å sprekke, og derfor må det anvendes kjølte påsprutingsanordninger .
Påspruting er av interesse for avsetning av korrosjons-bestandige belegg på gassturbinmotorkomponenter. Slike belegg har sammensetninger som er meget sprøe i bulkform og derfor meget vanskelig å fremstille. Det er også viktig at uhomogeni-teter i sammensetningen i materialet i påsprutingsanordningen gjøres så små som mulig, slik at de resulterende belegg vil ha jevn sammensetning. Dette gjør støping til en uønsket frem-stillingsmetode. Den foreliggende oppfinnelse vedrører en fremgangsmåte til fremstilling av fluidumkjølte, hule påsprutingsanordninger som særlig er egnet for fremstilling av slike anord- ninger av sprøe materialer. Det henvises til fig. 1 som viser et uttrukket riss av komponentene som danner og avgrenser en beholder til fremstilling av påsprutingsanordningen. Disse komponenter omfatter en innervegg 10 som er anordnet konsentrisk med en yttervegg 11. Både veggen 10 og veggen 11 har stort sett samme lengde. En øvre endekomponent 12 og en nedre endekomponent 13 samvirker med veggene 10 og 11 for avgrensning av et toroide-volum 14 med stort sett rektangulært tverrsnitt. Disse komponenter fremstilles av et duktilt metallmateriale som har vakuum-integritet og høytemperaturegenskaper som er forenelige med de etterfølgende prosesstrinn. Ved den temperatur som kreves for å binde materialpartiklene i påsprutingsanordningen sammen må beholdermaterialet ha en lav sigegrense og en høy sigehastighet slik at det kan anpasse seg etter materialet i påsprutingsanordningen når dette krymper i volum. Til fremstilling av påsprutingsanordninger av de nedenfor beskrevne beleggsmaterialer fremstilles beholderkomponentene fortrinnsvis av rustfritt stål av 30 0-serien. Selv om innerveggen og ytterveggen er vist uten sømmer, kan de
selvfølgelig fremstilles av plater ved binding og sveising. Innerveggen 10 og ytterveggen 11 er anordnet på konsentrisk
måte på den nedre endekomponent 13, og innerveggen 10 og ytterveggen 11 er sveiset til endekomponenten 13 ved en hensikts-messig sammenføyningsprosess som vil frembringe en vakuumtett fuge. Volumet 14 mellom innerveggen 10 og ytterveggen 11 fylles deretter med et pulvermateriale av ønsket sammensetning for anordningen, og den øvre ende 12 anbringes over enheten og forbindes med denne ved en prosess som vil frembringe en vakuumtett fuge. Fuger 15 er vist i fig. 2 som viser den monterte påsprut-ingsanordnings beholder.
Selvfølgelig kan andre fremstillingsmetoder anvendes for fremstilling av den ytre beholder. F.eks. kan innerveggen 10 og ytterveggen 11 samt den nedre endekomponent 13 fremstilles av plater ved dyptrekking. Det vesentlige er at beholderen er vakuumtett.
Den øvre ende 12 er utstyrt med et evakueringsrør 16 som rager gjennom den øvre ende 12 og forbinder volumet 14 med beholderens utside. Evakueringsrøret 16 danner en lekkasjefri forsegling med den øvre endekomponent 12. Evakueringsrøret 16
er forbundet med et ikke vist evakueringsapparat, og et høy-vakuum frembringes i volumet 14 som inneholder pulveret for materialet til påsprutingsanordningen. Etter at det ønskete
høyvakuum er oppnådd, avstenges evakueringsrøret 16 f.eks ved sveising for å bibeholde det pulverinneholdende volum 14 i evakuert tilstand. Evakueringsrøret 16 er vist ført gjennom den øvre ende 12, men det er klart at plasseringen av dette rør ikke er av avgjørende betydning og at den spesielle plas-sering ikke utgjør noe viktig trekk ved oppfinnelsen. Beholderen kan selvfølgelig fylles med pulver og lukkes i et vakuumkammer, hvorved evakueringsrøret er overflødig.
Fig. 2 viser beholderen 17 etter at den er fyllt med pulver 18 og evakuert. Fig. 2 og de etterfølgende figurer viser tverrsnitt. Den evakuerte, pulverfyllte beholder 17 i fig. 2 er anbrakt i en ikke vist trykkbeholder og behandles under betingelser med høyere temperatur og trykk som er valgt slik at pulveret 18 komprimeres og bindes sammen til dannelse av et materiale som er stort sett uporøst. Under den isosta-. tiske varmpressing krymper den ytre metallbeholder og anpasser seg til det pakkete pulver som følge av trykkdifferansen. Ved avslutningen av den isostatiske varmpressing vil den ytre metallbeholder føye seg tett til det komprimerte pulver 19 og vil være metallurgisk bundet til dette. Beholderen 20 som er fyllt med isostatisk varmpresset pulver er vist i'fig. 1 og er som vist noe mindre enn beholderen i fig. 2. Etter den isostatiske varmpressing fjernes de deler av beholderen som omtrent svarer til den opprinnelige innervegg 10, den øvre ende 12 og
den nedre ende 13 på vilkårlig måte som kan omfatte bearbeidelse, sliping og kjemisk fjerning. Fig. 4 viser påsprutingsanordningen etter fjerningstrinnet. Et parti 21 av beholderen, som tilsvarer den opprinnelige yttervegg 11, bibeholdes på anordningens ytre omkrets og er som nevnt ovenfor metallurgisk bundet til anordningen og bevirker således god termisk og elektrisk kontakt mellom beholderresten og materialet i anordningen.
Deretter fremstilles en fluidumkjølekappe 22 som festes til beholderresten 21 slik som vist i fig. 5. Kjølekappen er i fig. 5 vist i skjematisk form og omfatter et innløpsrør 23
og et utløpsrør 24 som kan samvirke med et ytre fluidumforråd (ikke vist) for tilførsel og bortføring av fluidum, såsom vann, fra kjølekappen. Disse komponenter festes fortrinnsvis til inn-løpet 23 ved en sammenkoplingsmetode som vil frembringe en lekkasjefri skjøt. Fig. 5 viser sveiseskjøter 27. Detaljene i kjølekappen i fig. 5 er bare eksempler uten å være begrensende,
og fagfolk på området varmeoverføring innser lett at mange likn-ende kjølearrangementer vil kunne anvendes. Således kan f.eks. som vist i fig. 6 en metallrørspiral 26 forbindes med metall-komponenten 21 for uttrekking av varme.
Den beskrevne fremgangsmåte er blitt anvendt for fremstilling av sylindriske påsprutingsanordninger av materiale som benevnes MCrAlY, hvor M er Ni, Co, Fe og blandinger av disse. Den nominelle vektsammensetning av MCrAlY-materialene er angitt i tabell I nedenfor.
Disse materialer ble anvendt i form av pulver med en omtrent differanse på 0,043 mm, og de ble innkapslet i 6,3 5
mm tykt rustfritt stål av typen 3 04 for å frembringe en likn-ende anordning som den som er vist i figurene. Anordningens innerdiameter var ca. 3 5,56 cm, dens høyde ca. 25,4 cm og dens materialtykkelse ca. 2,54 cm. Det innkapslete pulver ble evakuert til et vakuum på ca. 0,133 Pa og ble isostatisk varmpresset ved en temperatur på 1149°C og et trykk på 1379 bar samt en total syklustid på 8 timer. Ved avslutningen av denne isostatiske varmpressing viste MCrAlY-pulveret seg å være fullstendig bundet og fullstendig tett. De ikke ønskete inner- og endepartier av rustfritt stål av beholderen ble fjernet ved bearbeidelse, og en egnet kjølekappe ble fremstilt ved fast-sveising på det rustfrie stålparti som omga anordningens omkrets. Den fremstilte anordning var uten sprekker, hadde homo-gen sammensetning og finkornet mikrostruktur. En således fremstilt anordning ble anvendt for påføring av et MCrAlY-belegg på forskjellige turbinblader.

Claims (3)

1. Fremgangsmåte til fremstilling av en fluidumkjølt påsprutingsanordning, karakterisert ved a) at det anordnes en toroideformet beholder som er fremstilt av et duktilt metall, b) at beholderen fylles med et pulvermateriale hvis sammensetning tilsvarer sammensetningen til anordningen som skal fremstilles , c) at den fyllte beholder evakueres og forsegles slik at den pulverfyllte beholder holdes i en evakuert tilstand, d) at beholderen komprimeres isostatisk ved en høyere temperatur som er valgt slik at pulveret komprimeres og bindes til beholderen, e) at beholderen fjernes fra det komprimerte pulver-materialet med unntagelse av en rest om den ytre omkrets, samt f) at en kjøleanordning forbindes med resten om "den ytre omkrets.
2. Fremgangsmåte i samsvar med krav 1, karakterisert ved at materialet i anordningen er jern, kobolt, nikkel, blandinger av disse, aluminium, krom eller yttrium.
3. Fremgangsmåte i samsvar med krav 1, karakterisert ved at fluidumkjøleanordningen forbindes med beholderens ytteromkrets før den isostatiske pressing, og at kjøleanordningen er åpen mot det mediet for den isostatiske pressing.
NO784268A 1977-12-22 1978-12-19 Fremgangsmaate til fremstilling av en paasproeytningsplate NO784268L (no)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/863,120 US4135286A (en) 1977-12-22 1977-12-22 Sputtering target fabrication method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NO784268L true NO784268L (no) 1979-06-25

Family

ID=25340314

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO784268A NO784268L (no) 1977-12-22 1978-12-19 Fremgangsmaate til fremstilling av en paasproeytningsplate

Country Status (13)

Country Link
US (1) US4135286A (no)
JP (1) JPS5495984A (no)
AU (1) AU519493B2 (no)
BE (1) BE872774A (no)
CA (1) CA1112015A (no)
DE (1) DE2855155A1 (no)
DK (1) DK576078A (no)
FR (1) FR2412621A1 (no)
GB (1) GB2010912B (no)
IL (1) IL56124A (no)
NL (1) NL7812260A (no)
NO (1) NO784268L (no)
SE (1) SE7812696L (no)

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2745020C3 (de) * 1977-10-04 1985-02-07 Mannesmann AG, 4000 Düsseldorf Verfahren und Vorrichtung zum pulvermetallurgischen Herstellen von Formkörpern
US4331476A (en) * 1980-01-31 1982-05-25 Tektronix, Inc. Sputtering targets with low mobile ion contamination
US4477955A (en) * 1980-04-10 1984-10-23 Cameron Iron Works, Inc. Method of producing a lined structure
USRE32389E (en) * 1980-04-10 1987-04-07 Cameron Iron Works, Inc. Method of producing a lined structure
GB2073783B (en) * 1980-04-10 1984-10-10 Cameron Iron Works Inc Lining valves by hot isotatic pressing
GR79748B (no) * 1982-12-23 1984-10-31 Ver Edelstahlwerke Ag
AT385227B (de) * 1984-01-24 1988-03-10 Ver Edelstahlwerke Ag Verfahren zur herstellung von kraftuebertragenden, insbesondere drehmomentuebertragenden elementen
US4597847A (en) * 1984-10-09 1986-07-01 Iodep, Inc. Non-magnetic sputtering target
US5215639A (en) * 1984-10-09 1993-06-01 Genus, Inc. Composite sputtering target structures and process for producing such structures
US4750932A (en) * 1985-04-15 1988-06-14 Gte Products Corporation Refractory metal silicide sputtering target
US4941920A (en) * 1987-11-25 1990-07-17 Hitachi Metals, Ltd. Sintered target member and method of producing same
US4824481A (en) * 1988-01-11 1989-04-25 Eaastman Kodak Company Sputtering targets for magneto-optic films and a method for making
JPH0785818B2 (ja) * 1990-01-26 1995-09-20 いすゞ自動車株式会社 複合材製鍛造部品及びその製造方法
DE69117868T2 (de) * 1990-05-15 1996-07-25 Toshiba Kawasaki Kk Zerstäubungstarget und dessen herstellung
US5428882A (en) * 1993-04-05 1995-07-04 The Regents Of The University Of California Process for the fabrication of aluminum metallized pyrolytic graphite sputtering targets
BE1007535A3 (nl) * 1993-09-24 1995-07-25 Innovative Sputtering Tech Gelaagde metaalstructuur.
US5392981A (en) * 1993-12-06 1995-02-28 Regents Of The University Of California Fabrication of boron sputter targets
US5778302A (en) * 1995-09-14 1998-07-07 Tosoh Smd, Inc. Methods of making Cr-Me sputter targets and targets produced thereby
US6183686B1 (en) 1998-08-04 2001-02-06 Tosoh Smd, Inc. Sputter target assembly having a metal-matrix-composite backing plate and methods of making same
US6071389A (en) * 1998-08-21 2000-06-06 Tosoh Smd, Inc. Diffusion bonded sputter target assembly and method of making
WO2000032347A1 (en) 1998-12-03 2000-06-08 Tosoh Smd, Inc. Insert target assembly and method of making same
US6238532B1 (en) 1999-10-29 2001-05-29 International Business Machines Corporation Radio-frequency coil for use in an ionized physical vapor deposition apparatus
KR20030064398A (ko) * 2000-09-11 2003-07-31 토소우 에스엠디, 인크 내부 냉각 채널을 갖는 스퍼터 타겟의 제조 방법
US6409897B1 (en) 2000-09-20 2002-06-25 Poco Graphite, Inc. Rotatable sputter target
US20030002043A1 (en) * 2001-04-10 2003-01-02 Kla-Tencor Corporation Periodic patterns and technique to control misalignment
US6797137B2 (en) * 2001-04-11 2004-09-28 Heraeus, Inc. Mechanically alloyed precious metal magnetic sputtering targets fabricated using rapidly solidfied alloy powders and elemental Pt metal
WO2003104522A1 (en) * 2002-06-07 2003-12-18 Heraeus, Inc. Fabrication of ductile intermetallic sputtering targets
US20040126492A1 (en) * 2002-12-30 2004-07-01 Weaver Scott Andrew Method and apparatus for using ion plasma deposition to produce coating
WO2006055513A2 (en) * 2004-11-18 2006-05-26 Honeywell International Inc. Methods of forming three-dimensional pvd targets
DE102005017190A1 (de) * 2005-04-13 2006-10-19 W.C. Heraeus Gmbh Verfahren zum Herstellen von rohrförmigen Sputtertargets, danach hergestellte Sputtertargets und deren Verwendung
US20080078268A1 (en) 2006-10-03 2008-04-03 H.C. Starck Inc. Process for preparing metal powders having low oxygen content, powders so-produced and uses thereof
US20080145688A1 (en) 2006-12-13 2008-06-19 H.C. Starck Inc. Method of joining tantalum clade steel structures
US8197894B2 (en) 2007-05-04 2012-06-12 H.C. Starck Gmbh Methods of forming sputtering targets
US20090028744A1 (en) * 2007-07-23 2009-01-29 Heraeus, Inc. Ultra-high purity NiPt alloys and sputtering targets comprising same
US8702919B2 (en) * 2007-08-13 2014-04-22 Honeywell International Inc. Target designs and related methods for coupled target assemblies, methods of production and uses thereof
US8246903B2 (en) 2008-09-09 2012-08-21 H.C. Starck Inc. Dynamic dehydriding of refractory metal powders
NO329945B1 (no) * 2008-10-10 2010-12-27 Tool Tech As Fremgangsmate for fremstilling av en syrefast, somlos trykkbeholder
US8734896B2 (en) 2011-09-29 2014-05-27 H.C. Starck Inc. Methods of manufacturing high-strength large-area sputtering targets
GB201119238D0 (en) * 2011-11-08 2011-12-21 Rolls Royce Plc A hot isostatic pressing tool and a method of manufacturing an article from powder material by hot isostatic pressing
GB201119240D0 (en) * 2011-11-08 2011-12-21 Rolls Royce Plc A hot isostatic pressing tool and a method of manufacturing an article from powder material by hot isostatic pressing
CN103978220A (zh) * 2014-05-29 2014-08-13 哈尔滨工具厂 复合成份粉末冶金高速钢及制备方法
CN109972100B (zh) * 2019-05-13 2023-06-06 无锡飞而康新材料科技有限公司 一种管状铬靶材的制备方法
US11821077B2 (en) * 2020-12-17 2023-11-21 Youngstown State University Sputtering target

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1120016B (de) * 1964-07-08 1961-12-21 Elger 1 Alpenlaendisches Unter Nicht geheizte Elektrode, insbesondere fuer Niederspannungsleuchtstofflampen, sowie Lampe mit solchen Elektroden
US3334400A (en) * 1964-12-07 1967-08-08 Olin Mathieson Method of producing heat exchangers
US3573003A (en) * 1969-11-07 1971-03-30 Olin Corp Compound metal structure
US3730867A (en) * 1970-10-26 1973-05-01 Gen Motors Corp Rf sputtering of tetragonal germanium dioxide
US3803702A (en) * 1972-06-27 1974-04-16 Crucible Inc Method of fabricating a composite steel article
US3939241A (en) * 1974-10-04 1976-02-17 Crucible Inc. Method for powder metallurgy compacting
DE2527184C3 (de) * 1975-06-18 1981-07-02 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Vorrichtung zur Herstellung von Targets für Kathodenzerstäubung
SE7702959L (sv) * 1976-03-22 1977-09-23 Industrial Materials Tech Valskonstruktion

Also Published As

Publication number Publication date
US4135286A (en) 1979-01-23
NL7812260A (nl) 1979-06-26
BE872774A (fr) 1979-03-30
AU4217578A (en) 1979-06-28
IL56124A (en) 1980-10-26
CA1112015A (en) 1981-11-10
JPS5495984A (en) 1979-07-28
AU519493B2 (en) 1981-12-03
DE2855155A1 (de) 1979-06-28
GB2010912B (en) 1982-08-18
FR2412621A1 (fr) 1979-07-20
DK576078A (da) 1979-06-23
SE7812696L (sv) 1979-06-23
GB2010912A (en) 1979-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO784268L (no) Fremgangsmaate til fremstilling av en paasproeytningsplate
US4023966A (en) Method of hot isostatic compaction
US4212669A (en) Method for the production of precision shapes
US3622313A (en) Hot isostatic pressing using a vitreous container
CA1075502A (en) Powdered metal consolidation method
EP0172658B1 (en) Method of forming powdered metal articles
US20030089482A1 (en) Process for producing a tube-shaped cathode sputtering target
JPH0539566A (ja) スパツタリング用ターゲツト及びその製造方法
US8505806B2 (en) Zirconium-coated steel plates and chemical device elements produced with such plates
US4227927A (en) Powder metallurgy
JPS6119375B2 (no)
CN116178037A (zh) 用于连接材料的高温方法及利用该方法的装置
CN102672174A (zh) 一种采用热等静压成型工艺制作整体环形机匣件的方法
CN102189261A (zh) 一种多孔制件的致密化方法
CN109972100A (zh) 一种管状铬靶材的制备方法
WO2016030654A1 (en) A mould for use in a hot isostatic press
US4435360A (en) Method of manufacturing metal pieces by casting and sintering of a metal alloy powder
US2818339A (en) Method for producing malleable and ductile beryllium bodies
US5043137A (en) Method and device to produce a coating from metal powder metallurgically bonded to a metallic part
US4904538A (en) One step HIP canning of powder metallurgy composites
CA2440130C (en) Corrosion resistant component and method for fabricating same
GB2085032A (en) Isostatic Pressing of Chromium Sputtering Targets
JP2011045927A (ja) 合金材料の熱間等方圧加圧のための方法及びデバイス
CN106271012A (zh) 热等静压焊接方法
JPS6126705A (ja) Hip処理による金属製品上への金属質被覆面の形成方法