NO132015B - - Google Patents

Description

Oppfinnelsen vedrorer en fremgangsmåte for fremstilling av en elektretmikrofon i hvilken inngår en fast elektrode og en bevegelig elektrode, idet den bevegelige elektroden innbefatter en forste plastfilm som er metallisert og en andre plastfilm som er elektrostatisk polarisert.

I det amerikanske patentskrift 3 436 492 beskrives en elektretmikrofon av ovenfor definert type, hvilken har en fast elektrode i form av et feltstyrt halvlederelement ovenpå hvis styreflate en som membran fungerende elektretfilm er anbrakt. Elektret-filmens side som er vendt fra halvdelelementet, er belagt

> med tynt metallskikt som utgjor mikrofonens bevegelige

I I

elektrode. Mellom elektretfilmeri og halvlederelementet finnes en mikroskopisk avstand som folge av ujevnheter hos deres mot hverandre vendte flater. Elektretmikrofonen får i denne spe-sielle utforelse en hoy kapasitans mellom den faste og den bevegelige elektroden hvorved oppnås fordelen av en hoy folsomhet.

Ved fabrikasjonen av denne kjente elektretmikrofonen forekommer hva angår elektretfiImen to på hverandre folgende prosesstrinn som består i å metallisere respektivt elektrostatisk polari-.sere den samme. Turordningen mellom de to prosesstrinn kan ikke snus om etter som metalliseringsprosessen vil virke lad-ningsnoytraliserende. Imidlertid har det vist seg at det på-lagte metallskiktet gir opphav til en stor risiko for dielektriske gjennomslag under polarisasjonsprosessen.

Ifblge oppfinnelsen elimineres nevnte risiko for dielektriske gjennomslag derved at ved de to nevnte prosesstrinn anvendes det istedenfor en og samme plastfilm eller elektretfilm to ulike plastfilmer hvilke siden kombineres til to i kaskade fungerende membraner hos elektretmikrofonen. Herved kan dess-uten den fordelen vinnes at det blir mulig å velge materialet i de to plastfilmene hver for seg på slik måte at den metalliserte filmen får en lav temperaturutvidelseskoeffisient for å minske mikrofonfolsomhetens temperaturavhengighet og at den elektrostatisk polariserte filmen, dvs. elektretfilmen, får en hoy resistivitet for å maksimere mikrofonens livslengde. Disse materialegenskaper, hvilke tydeligvis er vanskelige, for ikke å si umulige å forandre i et materiale, tilsvares best av polyester respektivt teflon.

Enda en fordel med elektretmikrofonen ifblge oppfinnelsen er at antallet av de av flatejevnheter mellom den faste og den bevegelige elektroden dannede gjennomlopende mekaniske kontakt-punkter blir færre og den at den som oppnås mellom elektro-delene blir jevnere fordelt i flateplanet enn ved den tidligere

kjente elektretmikrofonen, hvorved mikrofonens mekaniske dis-I! torsjon reduseres.

! Oppfinnelsen skal nå beskrives under henvisning til vedlagte tegning.

På tegningen vises et snittbilde av en elektretmikrofon ifblge oppfinnelsen innbefattende en fast elektrode bestående av en metallisk baseplate 1, en bevegelig elektrode som utgjor en fbrste membran 2, og en mellom disse to elektroder belagt elektretfilm som har funksjonen av en andre membran 3. Mem-branene 2 og 3 er anordnet slik at de fungerer i kaskade med en i akustisk bblge forårsaket svingningsbevegelse hos de samme, og de består av en metallisert polyesterfilm respektivt av en elektrostatisk polarisert teflonfilm. Polyesterfilmens lave temperaturutvidelseskoeffisient, ca. 27 x 10~^ pr. °C, gjor det mulig å oppnå at mikrofonens fblsomhet blir relativt uavhengig av temperaturen, mens teflonfilmens meget hbye resistivitet, 2 x 10 jT.m, innebærer at dens ved elektrostatisk polarisasjon bibrakte ledninger avtar meget langsomt med tiden slik at mikrofonens livslengde blir hoy.

Elektretmikrofonen ifblge oppfinnelsen har et konvensjonelt hus 4, som er forsynt med akustiske åpninger 5. Den faste elektroden 1'er på kjent måte utformet slik at den har luft-kanaler 6. Akustiske bblger tilsiktes å innkomme gjennom åp-ningen 5 og å påvirke de separate i kaskade fungerende membraner 2 og 3, hvorved en signalspenning kan uttas mellom en elektrisk tilkobling 7 til den faste elektroden 1 og en annen elektrisk tilkobling 8 til den bevegelige elektroden 2. Til-koblingen -7 er utformet slik at den fjærer mot den faste elektroden 1.

Med hensyn til mikrof onf blsomhetens temperatur avhengighet er det særlig hensiktsmessig at respektive materialer hos den faste elektroden 1 og den bevegelige elektroden 2 velges med hovedsakelig like stor temperaturutvidelseskoeffisienter.

Visse avvikelser fra den beskrevne og for oppfinnelsen fore-trukne utfbrelsesform kan forekomme ifblge oppfinnelsens ramme. Eksempelvis kan foruten anvendt elektretfilm en eller flere I"ulike plastfilmer innlegges mellom den faste elektroden 1 og

I 1 den bevegelige elektroden 2 for å utgjore membran hos elektret-mikrofonene og redusere dennes mekaniske distorsjon til en bestemt verdi.

Claims (1)

1. En fremgangsmåte for fremstilling av en elektretmikrofon, i hvilken inngår en fast elektrode og en bevegelig elektrode, idet den bevegelige elektroden innbefatter en forste plastfilm som er metallisert, og den andre plastfilm, som er elektrostatisk polarisert, karakterisert ved et forste fremgangsmåtetrinn, i hvilket nevnte forste plastfilm metal-liseres, mens nevnte andre plastfilm polariseres, og et andre fremgangsmåtetrinn, i hvilket nevnte metalliserte plastfilm, nevnte polariserte plastfilm og nevnte faste elektrode sammen-smeltes.