JPS5816000B2 - エレクトレツトマイクロホン ノ セイゾウホウ - Google Patents

エレクトレツトマイクロホン ノ セイゾウホウ

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JPS5816000B2
JPS5816000B2 JP47120344A JP12034472A JPS5816000B2 JP S5816000 B2 JPS5816000 B2 JP S5816000B2 JP 47120344 A JP47120344 A JP 47120344A JP 12034472 A JP12034472 A JP 12034472A JP S5816000 B2 JPS5816000 B2 JP S5816000B2
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JP
Japan
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electret
plastic film
microphone
electret microphone
fixed electrode
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JP47120344A
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JPS4864917A (ja
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ヤン・オロフ・ヘドマン
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Telefonaktiebolaget LM Ericsson AB
Original Assignee
Telefonaktiebolaget LM Ericsson AB
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Publication date
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Publication of JPS4864917A publication Critical patent/JPS4864917A/ja
Publication of JPS5816000B2 publication Critical patent/JPS5816000B2/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R31/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor
    • H04R31/006—Interconnection of transducer parts
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00—Electrostatic transducers
    • H04R19/01—Electrostatic transducers characterised by the use of electrets
    • H04R19/016—Electrostatic transducers characterised by the use of electrets for microphones
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49005—Acoustic transducer
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49226—Electret making

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、固定電極および可動電極を有し、可動電極
が金属化される第１プラスチツク膜と静電的（こ分極さ
れる第２プラスチツク膜とから成るエレクトレットマイ
クロホンの製造法）こ関するものである。
米国特許第３４３６４９２号明細書Ｉこは電界制御半導
体素子の形の固定電極を有し、この電極の制御面上（こ
ダイアフラムとして作用するエレクトレット膜を設けた
上記型のエレクトレットマイクロホンが記載されている
。
半導体素子から離れたエレクトレット膜の側はマイクロ
ホンの可動電極を構成する薄い金属で被覆される。
仝レフトレッド膜と半導体素子との間にはそれらの対向
した表面の不規則による微視的な間隙が存在する。
この基本的な実例ではエレクトレットマイクロホンは固
定電極と可動電極との間Ｉこ高キャレクシタンスをもち
、高感度の利益をもっている。
周知のエレクトレットマイクロホンの製造においては、
エレクトレット膜を処理する二つの連続した段階すなわ
ち金属化および静電分極化がある。
二つの連続した処理段階間の順序は逆（こすることがで
きない、というのは金属化処理は分極電荷を中性化する
影響をもっているからである。
しかしながら、付加された金属層は分極化処理中絶縁破
壊の大きな危険を生じることが立証された。
この発明１こよれば、この絶縁破壊の危険は上記二つの
処理段階において単一プラスチック膜またはエレクトレ
ット膜を用いる代りに二つの別個のプラスチック膜を使
用しそれら二枚のプラスチック膜を互い（こ重ねて結合
してエレクトレットマイクロホンのダイアフラムを構成
することによって除去される。
これ１こよって金属化した膜が温度に対するマイクロホ
ン感度の依存性を最小にするようＩこ低熱膨張係数をも
ちかつ静電的に分極した膜すなわちエレクトレット膜が
マイクロホンの寿命を最大するよう１こするため高耐久
性をもつようＩこして二つのプラスチック膜に対して別
個の材料を選択することができるという別の利益かもた
らされる。
これらの材料の特性（一つの材料に結合するのは不可能
ではないが非常に困難である）それぞれポリエステルお
よびテフロン（こおいて最も良いことが見い出される。
またこの発明の方法）こ従って製造されたエレクトレッ
トマイクロホン（こおいては、分極化処理工程で別個に
作られたエレクトシ・ット膜が挿置されているので、固
定電極と可動電極との間の表面の不規則性）こよって形
成される機械的接触点の数が少なく、また電極間の間隙
の表面は従来周知のエレクトレットマイクロホンの場合
より一層一様となり、従ってマイクロホンの機械的ひず
みを減少させることができる。
この発明を以下添附図面（こついて説明する。
図面１こはこの発明（こよるエレクトレットマイクロホ
ンを断面図で示し、このエレクトレットマイクロホンは
金属基板１から成る固定電極、第１ダイアフラム２を構
成する可動電極、および上記二つの電極間に配置されか
つ第２ダイアフラム３を構成するエレクトレット膜から
成る。
ダイアフラム２，３は、それらが音響波Ｉこよって生じ
られたダイアフラムの振動運動（こおいて連続して作用
するよう１こ配列され、またそれらはそれぞれ金属化し
たポリエステル膜および静電的に分極化したテフロンか
ら成る。
ポリエステル膜の熱膨張係数が低い（はぼ２７Ｘ１０
’／’Ｃ）ので、マイクロホンの感度は比較的温度に
影響されず、一方テフロンの固有抵抗は非常）こ高い（
２，１０１６Ωｍ）ので、それの分極電荷は時間と共１
こ非常１こゆつくりと減少し、それでマイクロホンの寿
命は非常１こ長くなる。
すなわち原子を構成する正負の電荷またはイオンが互い
に反対方向（こ変位して双極子モーメントを作る。
この発明ｌこよるエレクトレットマイクロホンは音響開
口５を備えた従来型のケーシング４を有している。
固定電極１は空気通路６をもつように従、来の仕方で形
成される。
音響波は開口５を通って入り込みそして縦続的（こ作用
する別個のダイアフラム２，３を作動し、固定電極１に
対する電気導体７と可動電極２に対する別の電気導体８
との間に信号電圧が発生される。
導体７は固定電極１１こ対するばねとして形成された部
分を備えている。
温度（こ対するマイクロホン感度が温度に・対して依存
性をもつ点からして、固定電極１および可動電極２をそ
れぞれ実質的（こ等しい熱膨張係数をもつ材料で構成す
ることは特に賢明である。
この発明の上記した好ましい実施例はこの発明の範囲内
において種々変更できる。
例えば、上記エレクトレット膜とは別１こ固定電極１と
可動電極２との間にエレクトレットマイクロホンのダイ
アフラムを構成しかつそれの機械的ひずみを一定値１こ
減少する一つまたはそれ以上の付加的プラスチック膜を
挿入してもよい。
この発明（こおいては次のよう１こ実施できる。
（１）固定電極および可動電極を有し、可動電極が金属
化される第１プラスチツク膜と静電的１こ分極される第
２プラスチツク膜とから成るエレクトレットマイクロホ
ンの製造方法）こおいて、上記第１プラスチツク膜を金
属化する処理工程と、上記第２プロスチツク膜を分極す
る処理工程と、上記金属化プラスチック膜と上記分極プ
ラスチック膜と上記固定電極とを互いに組立る処理工程
とから成ることを特徴とするエレクトレットマイクロホ
ンの製造法。
（２）上記第１処理段階１こおいて上記第１プラスチツ
ク膜が上記同率電極、とほぼ同じ熱膨張係数をもつ基準
Ｉこ対して選択され、一方上記第２プラスチック膜が高
い固有抵抗をもつ基準に対して選択される上記第１項記
載のエレクトレットマイクロホンの製造法。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明によるエレクトレットマイクロホンの断
面図である。 図面中、１は金属基板（固定電極）、２は第１ダイアフ
ラム、３は第２ダイアフラム、４は従来型のケーシング
、５は音響開口、６は空気通路、７は電気導体、８は別
の電気導体である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 固定電極および可動電極を有し、可動電極が金属化
    される第１プラスチツク膜と静電的に分極。 される第２プラスチツク膜とから成るエレクトレットマ
    イクロホンの製造法）こおいて、上記第１プラスチツク
    膜を金属化する処理工程と、上記第２プラスチツク膜を
    分極する処理工程と、上記金属化プラスチック膜と上記
    分極プラスチック膜と上記固定電極とを互い］こ組立る
    処理工程とから成ることを特徴とするエレクトレットマ
    イクロホンの製造法。
JP47120344A 1971-12-02 1972-12-02 エレクトレツトマイクロホン ノ セイゾウホウ Expired JPS5816000B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

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SE15456/71A SE362571B (ja) 1971-12-02 1971-12-02

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JPS4864917A JPS4864917A (ja) 1973-09-07
JPS5816000B2 true JPS5816000B2 (ja) 1983-03-29

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ID=20300673

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JP47120344A Expired JPS5816000B2 (ja) 1971-12-02 1972-12-02 エレクトレツトマイクロホン ノ セイゾウホウ

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JP (1) JPS5816000B2 (ja)
AU (1) AU467222B2 (ja)
BR (1) BR7208381D0 (ja)
CA (1) CA961974A (ja)
CH (1) CH555123A (ja)
DE (1) DE2257358C3 (ja)
DK (1) DK141150B (ja)
ES (1) ES409005A1 (ja)
FI (1) FI57679C (ja)
FR (1) FR2162194B1 (ja)
GB (1) GB1365257A (ja)
IT (1) IT971396B (ja)
NL (1) NL7216115A (ja)
NO (1) NO132015C (ja)
SE (1) SE362571B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6281400U (ja) * 1985-11-07 1987-05-25

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3896274A (en) * 1973-10-04 1975-07-22 Thermo Electron Corp Electret earphone
SE7410408L (sv) * 1974-08-15 1976-01-19 Ericsson Telefon Ab L M Forfarande for framstellning av en elektretmikrofon med ett noggrant bestemt luftgap.
JPS5636233Y2 (ja) * 1974-12-27 1981-08-26
US4070741A (en) * 1976-09-27 1978-01-31 Genrad Inc. Method of making an electret acoustic transducer
JPS53100228U (ja) * 1976-12-27 1978-08-14
SE398588B (sv) * 1977-03-23 1977-12-27 Ericsson Telefon Ab L M Temperaturstabil elektretmikrofon
JPS5754399Y2 (ja) * 1978-02-20 1982-11-25
GB2079053B (en) * 1980-06-30 1984-03-28 Tokyo Shibaura Electric Co Electret device
GB2079056B (en) * 1980-06-30 1985-04-17 Tokyo Shibaura Electric Co Electret device
US4429190A (en) * 1981-11-20 1984-01-31 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Continuous strip electret transducer array
US4767973A (en) * 1987-07-06 1988-08-30 Sarcos Incorporated Systems and methods for sensing position and movement
JPH02149199A (ja) * 1988-11-30 1990-06-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd エレクトレットコンデンサマイクロホン
US5408534A (en) * 1992-03-05 1995-04-18 Knowles Electronics, Inc. Electret microphone assembly, and method of manufacturer
US5647007A (en) * 1994-12-22 1997-07-08 Helen Of Troy Limited Optimized sound components for hair dryer stereo system
AT410498B (de) * 2001-02-20 2003-05-26 Akg Acoustics Gmbh Elektroakustische kapsel
TW200629954A (en) * 2004-11-02 2006-08-16 Hosiden Corp Condenser microphone and method for manufacturing substrate for the same
JP4245625B2 (ja) * 2006-09-29 2009-03-25 ホシデン株式会社 エレクトレットコンデンサマイクロホン
JP5172198B2 (ja) * 2007-04-27 2013-03-27 三洋電機株式会社 エレクトレット素子および静電動作装置
JP4944760B2 (ja) * 2007-12-27 2012-06-06 ホシデン株式会社 エレクトレットコンデンサマイクロホン
TWI378733B (en) * 2008-10-27 2012-12-01 Htc Corp Method for manufacturing electret diaphragm
KR101276350B1 (ko) * 2011-07-04 2013-06-18 주식회사 비에스이 스프링 베이스를 이용한 접합형 콘덴서 마이크로폰
US9583456B2 (en) 2013-11-22 2017-02-28 Invensas Corporation Multiple bond via arrays of different wire heights on a same substrate

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3118022A (en) * 1961-08-07 1964-01-14 Bell Telephone Labor Inc Electroacoustic transducer
FR1330592A (fr) * 1961-08-07 1963-06-21 Western Electric Co Transducteur électrostatique
FR1354631A (fr) * 1962-05-22 1964-03-06 Western Electric Co Transducteur électroacoustique
US3436492A (en) * 1966-01-17 1969-04-01 Northern Electric Co Field effect electroacoustic transducer
US3612778A (en) * 1967-05-15 1971-10-12 Thermo Electron Corp Electret acoustic transducer and method of making

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6281400U (ja) * 1985-11-07 1987-05-25

Also Published As

Publication number Publication date
NL7216115A (ja) 1973-06-05
GB1365257A (en) 1974-08-29
DE2257358A1 (de) 1973-06-14
BR7208381D0 (pt) 1973-08-30
AU467222B2 (en) 1975-11-27
DK141150C (ja) 1980-07-07
CH555123A (de) 1974-10-15
ES409005A1 (es) 1975-10-16
IT971396B (it) 1974-04-30
JPS4864917A (ja) 1973-09-07
FR2162194B1 (ja) 1976-06-04
NO132015B (ja) 1975-05-26
US3812575A (en) 1974-05-28
NO132015C (ja) 1975-09-03
CA961974A (en) 1975-01-28
SE362571B (ja) 1973-12-10
DE2257358C3 (de) 1980-09-25
DK141150B (da) 1980-01-21
FI57679B (fi) 1980-05-30
FR2162194A1 (ja) 1973-07-13
FI57679C (fi) 1980-09-10
AU4917672A (en) 1974-05-23
DE2257358B2 (de) 1976-01-15

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