NL8300648A

NL8300648A - Floating transportbaan voor substraten.

Info

Publication number: NL8300648A
Application number: NL8300648A
Authority: NL
Original assignee: Integrated Automation
Priority date: 1983-02-21
Filing date: 1983-02-21
Publication date: 1984-09-17
Also published as: EP0135548A1; WO1984003412A1; JPS60500907A

Description

#,

Floating transportbaan voor substraten.

In da Nederlandss Qctrooi-aanvrage No. 83 GQ 443 van da aanvrager zijn transportbanen omschreven, waarbij de substraten, welke zich in aan floating transportpassaga met bahulp van dubbel floating ervan rechtlijnig 5 verplaatsen, door middel van daartoe aangepaste transporteurs vanuit zulk een baan in zijdelingse richting kunnen worden verplaatst.

Daarbij is het mogelijk, dat meerdere, naast elkaar gelegen aftak-transportbanen zijn aangesloten op zulk een hoofdtransportbaan.

Tevens kunnen zulke aftak-transportbanen een zodanige brede passage 10 voor de substraten hebben, dat daarin meerdere substraten naast elkaar liggend kunnen worden verplaatst met een mogelijke aansluiting van zulk een baan op een mechanische transportbaan voor verder transport.

Op deze aftak-transportbanen kunnen ook cassettes voor toevoer van substraten zijn aangesloten met aldus via zulk een baan toevoer van substra-15 ten naar de hoofdtranspartbaan.

Ook kunnen op 2ulke aftak-transportbanen cassettes voor vergaring van substraten zijn aangesloten.

Zulke cassettes kunnen dan met behulp van stepper-motoren in verticale richting worden verplaatst voor opname of afvoer van een volgende sub— 20 straat.

Verder kan op zulk een aftak-transportbaan verzamelbanen met enkel of dubbel floating verplaatsing van da substraten zijn aangesloten voor opzameling van een groot aantal substraten in één vlak en zulks mogelijk in meerdere lagen.

25 Zulk een verzamelbaan of series van banen kunnen dan deel uitmaken van de micro cleanroom ruimte-, waarin het transport van substraten tussen proces—,test—, meet en sortering modules tezamen met belichtingsmodules onderling plaats vinden.

Daarbij bevindt zich een inert gas in zulk een ruimte.

30 Verdere bijzonderheden volgen uit de beschrijving van de hieronder aangegeven Figuren.

Figuur 1 toont een hoofdtransportbaan volgens de uitvinding met de aansluiting er op van een aftak-transportbaan.

Figuur 2 is een dwarsdoorsnede over de lijn 2-2 van de transportbaan 35 volgens de Figuur 1.

Figuur 3 toont een vergroot detail van de overgang van de hoofdtranspartbaan naar de tweede baan als aftaktransportbaan.

8300648 ί- > - 2 -

Figuur 4 toont de combinatie van een hoofdtransportbaan met een tweetal aftak-transportbanen.

Figuur 5 toont een tweetal hoofdtransportbanen met elk een aftak-transportbaan met een sterk vergrootte passage ervan voor de substraten 5 en aansluiting van deze aftak-transportbanen op een gemeenschappelijke transportband·

Figuur 6 is een doorsnede over de lijn 6-6 van de inrichting volgens de Figuur 5*

In de Figuur 1 is de hoofdtransportbaan 10 aangegeven· Deze bestaat 10 daarbij uit de zijdraagstukken 12 en 14» waarin series transporteurs 16 zijn opgenomen met aan weerszijde van de passage 18 de transporteur-sectiBS 20 en 22, zie tevens de Figuur 2.

De zijdraagstukken zijn opgesloten in de bovenplaat 24 en onderplaat 26»

Op deze hoofdtransportbaan 10 is de aftak-transportbaan 28 aangeslo-15 ten. Deze bestaat uit de draagstukken 30 en 32, die corresponderen met het draagstuk 14 en waarbij dit draagstuk 14 gedeeld is met de tussen gelegen opening 34,

In deze aftak-transportbaan 28 zijn de transporteurs 36 opgenomen, welke gelijk zijn aan de transporteurs 16 en zulks in tenminste het aanslui-20 tingsgebied·

De eerste transporteur 36 ligt daarbij tegen een aantal transporteurs 16 van de hoofdtransportbaan 10. De passage 38 sluit daarbij aan op de passage 18, doordat de in de draagstukken 14 opgenomen afstandstrippen 40 corresponderen met de strippen 42, die in de draagstukken 30 en 32 zijn op— 25 genomen.

Het boveneinde van een aantal transporteurs 16' zijn met behulp van een bout-verbinding 44 vastgezet op de bovenplaat 24, terwijl hun ondereinde met behulp van de boutverbinding 46 zijn vastgezet op de onderplaat 26«

Hierdoor blijft de breedte van passage 18 ook ter plaatse van deze 30 transporteurs 16' nagenoeg gelijk·

De boven- en onderplaten bedekken eveneens over tenminste enige afstand dB draagstukken 30 en 32 van de aftak-transportbaan 28,

Tussen een tweetal transporteurs 16’ is verder nog de transporteur 48 opgenomen, zie tevens de Figuren 2 en 3· 35 In deze transporteur met secties 50 en 52 bevinden zich de segmen ten 54 en 56 met de daarin opgenomen kanalen 58, die schuin in de richting van de aftak-transportbaan zijn geplaatst· Deze kanalen 58 zijn via de gemeenschappelijke kanalen 60 en 62 en toevoerkanalen 64 en 66 aangesloten op 8300648 - 3 - ean eigen toevoer 68 van medium. Met behulp van de afsluit-ventielen 70 en 72 kan afsluiting van deze kanalen 64 en 66 plaats vinden.

De marking van de verandering van bewegingsrichting van de substraten 74 is daarbij als volgt: 5 Deze substraten doorlopen al dan niet tegen elkaar liggend de passa ge 18. Op commando worden de ventielen 70 en 72 geopend met toevoer van transportmedium onder relatief hoge druk via de kanalen 58 naar de substraat 74’, welke daardoor naar de passage 38 wordt gestuwd met overname van de verplaatsing ervan door de transporteurs 36. Vervolgens wordt via 10 deze ventielen 70 en 72 de toevoer van medium naar de transporteurs 48 gestopt, zodat de volgende substraat zich ongehinderd verder in de hoofdtransportbaan 10 kan verplaatsen.

In de Figuur 4 is de hoofdtransportbaan 10 over een grotere lengte aangegeven en waarbij daarop nog een tweede aftak-transportbaan 281 is aan-15 gesloten. De transporteurs 48* hebben daarbij wederom dezelfde functie als die van de transporteur 48 met op commando de verplaatsing in zijwaartse richting van de substraten 74.

Binnen het kader van de uitvinding kan ook slechts deze hoek-trans-portsectie 28' zijn toegepast, waarbij dan elke substraat 74 met behulp van 20 een impuls in zijdelingse richting wordt verplaatst.

Zulk een constructie is toepasbaar in transportbanen, welke meer dan alleen een rechtlijnige verplaatsing van de substraten bieden. Tevens is daarbij elke hoek van zijdelingse verplaatsing mogelijk.

In de Figuur 5 is op de hoofdtransportbaan 10· een transportbaan 76 25 aangesloten met een zodanig verbrede passage 78, dat gelijktijdig met behulp van transporteurs 80, 82 en 84 een drietal substraten 74 vanaf deze hoofdtransportbaan 10* daarheen verplaatsbaar zijn, zie tevens de Figuur 6.

Binnen het kader van de uitvinding kan zulk een passage 78 nog breder zijn en is daarin ook een éénzijdige '’floating" transport mogelijk naar 30 een met gasvormig transportmedium gevulde micro cleanroom ruimte ten behoeve van een tijdelijke opslag van deze substraten.

Op de transportbaan 76 is een mechanische transportband 86 voor de substraten aangesloten. Daarbij kan bijvoorbeeld de transportbaan 10’ zich reeds tot in een hoogvacuum-module uitstrekken en kan processing onder 35 hoog vacuum van de op de transportband 86 gebrachte substraten plaats vinden. Daartoe kan de transportband een metalen folie zijn, die daarbij tevens als electrode kan fungeren. Deze folie wordt dan met behulp van transportinrichting 88 gelijkmatig van de rol 90 af gerold en kan het wederom oprollen van d8 folie plaats vinden op rol 92.

8300848 - 4 -

De overname van de substraten door de transportband geschiedt daarbij telkens als een drietal van deze substraten door de transportbaan 76 worden vrijgegeven.

Aan de andere zijde van de transportband 86 bevindt zich de transport-5 baan-opstelling 94, welke soortgelijk is aan de combinatie van transportbanen 10* en 76,

Binnen het kader van de uitvinding is elk ander type van mechanisch transport-systeem tussen de transportbaneen, die een "floating'· transport van de substraten bieden, mogelijk.

10 De ultra nauwe "floating" passage voor de substraten met een zeer be perkte inhoud van de daarmede gevormde ultra-cleanroom tuimte voor deze substraten en zulks gecombineerd met een zeer geringe benodigde hoeveelheid transportmedium per tijdseenheid, maakt het nu mogelijk om het "floating" transportsysteem zeer doelmatig tevens geschikt te doen zijn voor opzame-15 ling in een verzamelbaan van een zeer groot aantal substraten.

Daarbij kan dan zulk een verzamelbaan zodanig zijn uitgevoerd, dat de aan elkaar grenzende transport/verzamel-banen zich zodanig in opwaartse richting uitstrekken, dat na 360° zulk een baan-gedeelte boven een andere, ermede verbonden baan-gedeelte is gelegen. Aldus is in een aantal opvol— 20 gende lagen een opzameling onder cleanroom-conditie van bijvoorbeeld 1000 substraten mogelijk.

Ook kunnen deze op Blkaar gestapelde banen als pakket met behulp van stepper-motoren in verticale richting verplaatsbaar zijn voor een telkenmale aansluiting van een opvolgende baan op da toe- en afvoer via de trans— 25 portbanen met een "floating" transport van de substraten.

Daarbij kan ook de gehele ruimte, inclusief de steppermotoren of zonder deze motoren in een ultra-cleanroom ruimte zijn ondergebracht.

Binnen het kader van de uitvinding zijn eveneens andere uitvoeringen van zulk een substraat-vergaarbaan mogelijk.

8300648

Claims

1. Inrichting ten behoeve van het transporteren van substraten en tenminste bestaande uit een in een hoofdtransportbaan opgenomen serie transporteurs voor een tenminste plaatselïjk tmee-zijdig "floating” trans-5 port in een passage ervan van deze substraten en die opvolgend in de bewegingsrichting van de substraten zijn opgesteld, met het kenmerk, dat daarin middelen zijn opgenomen voor een tenminste plaatselijk kunnen veranderen van de bewegingsrichting van deze substraten·

2. Inrichting volgens de Conclusie 1, met het kenmerk, dat daarbij 10 zulk een transporteur bestaat uit een tweetal secties met een ertussen gelegen passage voor de substraten zodanig, dat tenminste tijdens deze verandering van bewegingsrichting tussen deze transporteursecties en de er langs bewegende substraten een "floating" gaskussen voor deze substraten wordt onderhouden. 15

3, Inrichting volgens de Conclusie 2, met het kenmerk, dat daarbij in deze transporteurs een aantal kanalen zijn opgenamen, welke enerzijds zijn aangesloten op een gemeenschappelijke toevoer van gasvormig transport medium en anderzijds zijn verbonden met de passage.

4. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, mat het ken-20 merk, dat daarbij in tenminste één van de transporteur-secties de opstelling van de daarin opgenomen toevoerkanalen voor het stuwen van gasvormig medium naar de substraat zodanig is, dat deze stromen medium resulteren in een krachtwerking op de substraat in zijwaartse richting.

5· Inrichting volgens de Conclusie 4, met het kenmerk, dat daarbij 25 in deze inrichting middelen zijn opgenomen voor het gedurende een gewenste periode van tijd leiden van het transportmedium naar de substraat.

6. Inrichting volgens de Conclusie 4, met het kenmerk, dat daarbij deze zijwaartse richting circa 90° bedraagt·

7, Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken-30 merk, dat daarbij de transporteurs aan weerszijde ervan zijn vastgezet op een draagstuk en in één van deze draagstukken ter plaatse van deze afvoer in zijwaartse richting tenminste een opening is opgenomen·

8* Inrichting volgens de Conclusie 7, met het kenmerk, dat daarbij zulk een draagstuk voorzien is van aan weerszijden ervan een doorlopende 35 opsluitplaat, welke zodanig is uitgevoerd, dat daarmede de transporteur-secties in hoogterichting ervan zijn opgesloten.

9, Inrichting volgens de Conclusie 8, met hBt kenmerk, dat daarbij ► ter plaatse van de passage, welke in zijwaartse richting door zulk een 8300648 - 6 - w S* draagstuk is gevoerd, tenminsta één transporteur-sectie. tenminste plaatselijk is vastgezet op één van deze opsluitplaten.

10. Inrichting volgens éé der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat zoals zich in een groef van de draagstukken van de hoofdtrans- 5 portbaan zich opzij van de passage een afstanstrip is opgenomen, waartegen de transporteursecties liggen, bij de afvoer in de draagstukken ervan eveneens een groef is opgenomen met daarin aan weerszijde van de passage ervan een afstandstrip, deze groeven aan elkaar grenzen en deze verder zodanig met elkaar combineren, dat tenminste een strip-segment in beide aangren-10 zende groeven kan zijn opgenomen.

11. Inrichting volgens êên der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij opzij van het draagstuk met de daarin opgenomen passage in zijwaartse richting zich een aftak-transportbaan bevindt,

12. Inrichting volgens de Conclusie 11, met het kenmerk, dat de com-15 binatie van hoofdtransportbaan en aftak-transportbaan verder zodanig is, dat daarbij de passage-ingang van deze aftak-transportbaan correspondeert met de afvoerpassage van de hoofdtransportbaan, welke in êên van de draagstukken ervan is gelegen.

13. Inrichting volgens êên der voorgaande Conclusies, met het ken-20 merk, dat daarbij de transporteurs van deze tweede transportbaan tenminste plaatselijk nagenoeg gelijk zijn aan de transporteurs van de hoofdtransportbaan.

14. Inrichting volgens de Conclusie 13, met het kenmerk, dat daarbij de opsluitplaten aan weerszijde van de draagstukken van de hoofdtransport- 25 baan zich zodanig in dwarsrichting tot buiten het draagstuk met de erin opgenomen afvoerpassage uitstrekken, dat deze tenminste een gedeelte van de draagstukken van de aftak-transportbaan insluiten.

15. Inrichting volgens de Conclusie 13, met het kenmerk, dat de ligplaats van de eerste transporteur ervan zich bevindt in de opening, welke 30 in het draagstuk van de hoofdtransportbaan is opgenomen.

16. Inrichting volgens de Conclusie 15, met het kenmerk, dat daarbij deze transporteur met zijn ene wandgedeelte tenminste nagenoeg grenst aan het daarmede corresponderende einde van tenminste een tweetal transporteurs van de hoofdtransportbaan,

17. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken merk, dat daarbij de aftaktransportbaan als aansluitend tweede hoofdtransportbaan zich aan het einde van de eerste hoofdtransportbaan bevindt ten behoeve van het verkrijgen van een transportsysteem met een niet-rechtlijnige verplaatsing van de substraten. 8300648 _ - 7 -

18. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de aftak—transportbaan tenminste ter plaatse van de aansluiting ervan op de hoofdtransportbaan een grotere passage-breedte heeft dan die van deze houfdtransportbaan.

19. inrichting volgens de Conclusie 18, met het kenmerk, dat daarbij de breedte van de passage in deze aftak-transportbaan zodanig groot is, dat tenminste een tweetal substraten naast elkaar liggend er door heen kunnen worden gevoerd.

20. Inrichting volgens de Conclusie 19, met het kenmerk, dat daarbij 10 in de hoofdtransportbaan tenminste een tweetal transporteurs en middelen zijn apgenomen ten behoeve van het in zijwaartse richting verplaatsen van tenminste een tweetal substraten in tenminste nagenoeg dezelfde tijd.

21. Inrichting volgens de Conclusie 20, met het kenmerk, dat daarbij de constructieve opbouw ervan zodanig is, dat in tenminste een aantal van "5 deze aftaktransportbaan een twee-zijdige "floating" transport van de substraten kan plaats vinden.

22. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij de opbauw en middelen tot regeling van het transportmedium ervoor zodanig zijn, dat substraten via zulk een aftak-transportkanaal naar de 20 hoofdtransportbaan kunnen worden gevoerd voor verdere verplaatsing ervan.

23. Inrichting volgens de Conclusie 22, met het kenmerk, dat daarin verder zodanige middelen zijn opgenomen, dat de substraat—snelheid in het einde van da verplaatsing voor de verandering van bewegingsrichting groter is dan de verplaatsingsnelheid er voor.

24. Inrichting volgans de Conclusie 23, met het kenmerk, dat daarbij in de hoofdtransportbaan middelen zijn opgenomen voor een zodanige buffering van de aankomende substraten, dat deze geen mechanisch contact kunnen maken met deze baan.

25. Inrichting volgens de Conclusie 23, mat het kenmerk, dat daarbij 30 de opbauw ervan verder zodanig is, dat de verplaatsingsnelheid van de substraten in de overname-sactie van de hoofdtransportbaan hoger is dan de verplaatsingsnelheid na deze overname-sectie.

26. Methode van de inrichting volgens de Conclusie 25, met het kenmerk, dat daarbij gedurende het transport van d8 substraten opvolgend ten- 35 minste een tweetal naast elkaar liggende substraten vanuit de aftak-trans— portbaan naar de overname-sectie van de hoofdtranspartbaan worden gevoerd en de snelheid tijdens de overname zodanig groot is, dat zulke substraten aansluiten op substraten, welke zich uit de overname-sectie van deze hoofd— transportbaan verplaatsen. 8 3 0 0 S 4 8 - 8 -

27. Methode volgens de Conclusie 26, mst het kenmerk, dat deze substraten zich in de overname-sectie invoegen tussen substraten, welke zich in de hoofdtransportbaan verplaatsen.

28. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken-5 merk, dat daarbij in de hoofdtransportbaan sensoren ten behoeve van snel- heidsregeling in combinatie met regelmiddelen in de toevoer van transportmedium zijn opgenomen voor het zodanig verplaatsen van de substraten, dat in deze baan tenslotte opvolgende substraten zich zelfstandig en op enige 10 afstand van elkaar verwijderd kunnen verplaatsen.

29. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de opbouw van zulk een aftak-transportbaan zodanig is, dat daarop een cassette voor opzameling van substraten aansluitbaar is met een transport van opvolgende substraten naar hun respectievelijke ligplaatsen 15 in deze cassette.

30. Inrichting volgens de Conclusie 29, met het kenmerk, dat daartoe het laatste gedeelte van deze aftakbaan slechts bestaat uit transporteurs, welke aan de onderzijde van de passage zijn opgenomen.

31. Inrichting volgens de Conclusie 30, met het kenmerk, dat deze 20 verder zodanig is uitgevoerd, dat deze cassette met behulp van een stepper-motor telkenmale na ontvangst van een substraat in opwaartse richting wordt verplaatst voor het ontvangen van een volgende substraat.

32. Inrichting volgens de Conclusie 30, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat bij zulk een aftak-transportbaan een toe- 25 voer van substraten vanuit een cassette plaats vindt en deze cassette met behulp van een stepper-motor telkenmale na afvoer van een substraat zich over enige afstand in benedenwaartse richting verplaatst voor het afvoeren Van de volgende substraat.

33.Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken- 30 merk, dat zulk een aftak-transportbaan is aangesloten op één of meerdere substraat-verzamelbanen voor het opzamelen van een groot aantal substraten.

34. Inrichting volgens de Conclusie 33, met het kenmerk, dat daarbij meerdere opzamel-baansecties boven elkaar zijn gelegen met een geleidelijk oplopende opzamelbaan.

35. Inrichting volgens de Conclusie 33, met het kenmerk, dat daarbij zulk een baan zodanig is uitgevoerd, dat de verplaatsing van substraten daarin geschiedt met behulp van tenminste een plaatselijk één-zijdige "floating" transport.

36. Substraat-verzamelbaan, welke is opgenomen in de inrichting vol- 8300648 gens Conclusie 33, met het kenmerk, dat deze is aangesloten op tenminste een toevoer en een afvoer van substraten·

37· Substraat—verzamelbaan volgens de Conclusie 36, met het kenmerk, dat deze als gemeenschappelijke substraat—verzamelbaan via aftak-transport-5 banen is aangesloten op tenminste een twetal modules voor processing, testen, meten, sorteren of belichten.

38* Substraat-verzamelbaan volgens de Conclusie 37, met het kenmerk, dat daarbij zulk een baan verder zodanig is uitgevoerd, dat deze als ruimte deel uitmaakt van de ,,clean-ΓOoml, ruimte van de inrichting ter plaatse van 10 tenminste de hoofdtransportbaan.

39. Inrichting volgens één de voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarin zodanige middelen zijn opgenomen, dat daarin tenminste Dlaatselijk met behulp van het transportmedium een sub-micro ,,clean-room,r wordt onderhouden.

40. Inrichting volgens de Conclusie 39, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat deze "clean-room" conditie wordt onderhouden in de gehele installatie—sectie tussen tenminste een tweetal modules.

41. Inrichting volgens de Conclusie 40, met het kenmerk, dat deze 20 verdBr zodanig is uitgevoerd, dat deze "clean-roam" conditie eveneens wordt onderhouden in de op deze sectie aangesloten substraat-verzamelbaan. 8300348