NL8300648A - FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES. - Google Patents

FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES. Download PDF

Info

Publication number
NL8300648A
NL8300648A NL8300648A NL8300648A NL8300648A NL 8300648 A NL8300648 A NL 8300648A NL 8300648 A NL8300648 A NL 8300648A NL 8300648 A NL8300648 A NL 8300648A NL 8300648 A NL8300648 A NL 8300648A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
substrates
conveyor track
main conveyor
track
passage
Prior art date
Application number
NL8300648A
Other languages
Dutch (nl)
Original Assignee
Integrated Automation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Integrated Automation filed Critical Integrated Automation
Priority to NL8300648A priority Critical patent/NL8300648A/en
Priority to EP19840900893 priority patent/EP0135548A1/en
Priority to PCT/NL1984/000004 priority patent/WO1984003412A1/en
Priority to JP50094084A priority patent/JPS60500907A/en
Publication of NL8300648A publication Critical patent/NL8300648A/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks

Description

#,#,

Floating transportbaan voor substraten.Floating conveyor for substrates.

In da Nederlandss Qctrooi-aanvrage No. 83 GQ 443 van da aanvrager zijn transportbanen omschreven, waarbij de substraten, welke zich in aan floating transportpassaga met bahulp van dubbel floating ervan rechtlijnig 5 verplaatsen, door middel van daartoe aangepaste transporteurs vanuit zulk een baan in zijdelingse richting kunnen worden verplaatst.In Dutch Patent Application No. 83 GQ 443 of the applicant have described conveyor tracks, wherein the substrates which move in a linear manner in a floating transport passage with a double-floating bath aid thereof, can be moved in such a sideways direction by means of adapted conveyors.

Daarbij is het mogelijk, dat meerdere, naast elkaar gelegen aftak-transportbanen zijn aangesloten op zulk een hoofdtransportbaan.It is then possible for a plurality of adjacent branch conveyor tracks to be connected to such a main conveyor track.

Tevens kunnen zulke aftak-transportbanen een zodanige brede passage 10 voor de substraten hebben, dat daarin meerdere substraten naast elkaar liggend kunnen worden verplaatst met een mogelijke aansluiting van zulk een baan op een mechanische transportbaan voor verder transport.Also, such branch conveyor tracks can have such a wide passage 10 for the substrates that multiple substrates can be moved side by side therein with a possible connection of such a track to a mechanical conveyor track for further transport.

Op deze aftak-transportbanen kunnen ook cassettes voor toevoer van substraten zijn aangesloten met aldus via zulk een baan toevoer van substra-15 ten naar de hoofdtranspartbaan.Cassettes for supplying substrates can also be connected to these branch conveyor tracks, thus supplying substrates to the main conveying track via such a path.

Ook kunnen op 2ulke aftak-transportbanen cassettes voor vergaring van substraten zijn aangesloten.Cassettes for collecting substrates can also be connected to such branching conveyor tracks.

Zulke cassettes kunnen dan met behulp van stepper-motoren in verticale richting worden verplaatst voor opname of afvoer van een volgende sub— 20 straat.Such cassettes can then be moved vertically with the aid of stepper motors for receiving or discharging the next substrate.

Verder kan op zulk een aftak-transportbaan verzamelbanen met enkel of dubbel floating verplaatsing van da substraten zijn aangesloten voor opzameling van een groot aantal substraten in één vlak en zulks mogelijk in meerdere lagen.Furthermore, collection paths with single or double floating displacement of the substrates can be connected to such a branch conveyor track for collection of a large number of substrates in one plane and possibly in several layers.

25 Zulk een verzamelbaan of series van banen kunnen dan deel uitmaken van de micro cleanroom ruimte-, waarin het transport van substraten tussen proces—,test—, meet en sortering modules tezamen met belichtingsmodules onderling plaats vinden.Such a collection lane or series of lanes can then form part of the micro cleanroom space, in which the transport of substrates between process, test, measuring and sorting modules take place together with lighting modules.

Daarbij bevindt zich een inert gas in zulk een ruimte.There is an inert gas in such a space.

30 Verdere bijzonderheden volgen uit de beschrijving van de hieronder aangegeven Figuren.Further details follow from the description of the Figures indicated below.

Figuur 1 toont een hoofdtransportbaan volgens de uitvinding met de aansluiting er op van een aftak-transportbaan.Figure 1 shows a main conveyor according to the invention with the connection of a branch conveyor to it.

Figuur 2 is een dwarsdoorsnede over de lijn 2-2 van de transportbaan 35 volgens de Figuur 1.Figure 2 is a cross-sectional view along line 2-2 of the conveyor track 35 of Figure 1.

Figuur 3 toont een vergroot detail van de overgang van de hoofdtranspartbaan naar de tweede baan als aftaktransportbaan.Figure 3 shows an enlarged detail of the transition from the main conveyor track to the second track as a branch conveyor track.

8300648 ί- > - 2 -8300648 ί-> - 2 -

Figuur 4 toont de combinatie van een hoofdtransportbaan met een tweetal aftak-transportbanen.Figure 4 shows the combination of a main conveyor track with two branch conveyor tracks.

Figuur 5 toont een tweetal hoofdtransportbanen met elk een aftak-transportbaan met een sterk vergrootte passage ervan voor de substraten 5 en aansluiting van deze aftak-transportbanen op een gemeenschappelijke transportband·Figure 5 shows two main conveyor tracks, each with a branch conveyor track with a greatly enlarged passage thereof for the substrates 5 and connection of these branch conveyor tracks to a common conveyor belt

Figuur 6 is een doorsnede over de lijn 6-6 van de inrichting volgens de Figuur 5*Figure 6 is a section on line 6-6 of the device according to Figure 5 *

In de Figuur 1 is de hoofdtransportbaan 10 aangegeven· Deze bestaat 10 daarbij uit de zijdraagstukken 12 en 14» waarin series transporteurs 16 zijn opgenomen met aan weerszijde van de passage 18 de transporteur-sectiBS 20 en 22, zie tevens de Figuur 2.In figure 1 the main conveyor track 10 is indicated. This consists here of the side carriers 12 and 14 »in which series of conveyors 16 are accommodated with on both sides of the passage 18 the conveyor sections 20 and 22, see also figure 2.

De zijdraagstukken zijn opgesloten in de bovenplaat 24 en onderplaat 26»The side supports are enclosed in the top plate 24 and bottom plate 26 »

Op deze hoofdtransportbaan 10 is de aftak-transportbaan 28 aangeslo-15 ten. Deze bestaat uit de draagstukken 30 en 32, die corresponderen met het draagstuk 14 en waarbij dit draagstuk 14 gedeeld is met de tussen gelegen opening 34,The branch conveyor track 28 is connected to this main conveyor track 10. This consists of the support pieces 30 and 32, which correspond to the support piece 14 and wherein this support piece 14 is divided with the intermediate opening 34,

In deze aftak-transportbaan 28 zijn de transporteurs 36 opgenomen, welke gelijk zijn aan de transporteurs 16 en zulks in tenminste het aanslui-20 tingsgebied·In this branch conveyor track 28, the conveyors 36, which are equal to the conveyors 16, are included in at least the connection area.

De eerste transporteur 36 ligt daarbij tegen een aantal transporteurs 16 van de hoofdtransportbaan 10. De passage 38 sluit daarbij aan op de passage 18, doordat de in de draagstukken 14 opgenomen afstandstrippen 40 corresponderen met de strippen 42, die in de draagstukken 30 en 32 zijn op— 25 genomen.The first conveyor 36 herein rests against a number of conveyors 16 of the main conveyor track 10. Passage 38 connects to passage 18, in that the spacing strips 40 incorporated in the supporting pieces 14 correspond to the strips 42 which are in the supporting pieces 30 and 32 recorded.

Het boveneinde van een aantal transporteurs 16' zijn met behulp van een bout-verbinding 44 vastgezet op de bovenplaat 24, terwijl hun ondereinde met behulp van de boutverbinding 46 zijn vastgezet op de onderplaat 26«The top end of a number of conveyors 16 'are secured to the top plate 24 by bolt connection 44, while their bottom end are secured to the bottom plate 26 by bolt connection 46

Hierdoor blijft de breedte van passage 18 ook ter plaatse van deze 30 transporteurs 16' nagenoeg gelijk·As a result, the width of passage 18 also remains virtually the same at the location of these 30 conveyors 16 '

De boven- en onderplaten bedekken eveneens over tenminste enige afstand dB draagstukken 30 en 32 van de aftak-transportbaan 28,The top and bottom plates also cover dB supports 30 and 32 of the branch conveyor track 28 over at least some distance,

Tussen een tweetal transporteurs 16’ is verder nog de transporteur 48 opgenomen, zie tevens de Figuren 2 en 3· 35 In deze transporteur met secties 50 en 52 bevinden zich de segmen ten 54 en 56 met de daarin opgenomen kanalen 58, die schuin in de richting van de aftak-transportbaan zijn geplaatst· Deze kanalen 58 zijn via de gemeenschappelijke kanalen 60 en 62 en toevoerkanalen 64 en 66 aangesloten op 8300648 - 3 - ean eigen toevoer 68 van medium. Met behulp van de afsluit-ventielen 70 en 72 kan afsluiting van deze kanalen 64 en 66 plaats vinden.Between two conveyors 16 ', the conveyor 48 is further included, see also Figures 2 and 3 · 35. In this conveyor with sections 50 and 52 there are segments 54 and 56 with the channels 58 included therein, which are inclined in the direction of the branch conveyor path. These channels 58 are connected via common channels 60 and 62 and supply channels 64 and 66 to 8300648-3 of their own supply 68 of medium. These channels 64 and 66 can be closed by means of the shut-off valves 70 and 72.

De marking van de verandering van bewegingsrichting van de substraten 74 is daarbij als volgt: 5 Deze substraten doorlopen al dan niet tegen elkaar liggend de passa ge 18. Op commando worden de ventielen 70 en 72 geopend met toevoer van transportmedium onder relatief hoge druk via de kanalen 58 naar de substraat 74’, welke daardoor naar de passage 38 wordt gestuwd met overname van de verplaatsing ervan door de transporteurs 36. Vervolgens wordt via 10 deze ventielen 70 en 72 de toevoer van medium naar de transporteurs 48 gestopt, zodat de volgende substraat zich ongehinderd verder in de hoofdtransportbaan 10 kan verplaatsen.The marking of the change of direction of movement of the substrates 74 is as follows: 5 These substrates pass through the passages, whether or not lying one against the other. 18 On request, the valves 70 and 72 are opened with supply of transport medium under relatively high pressure via the channels 58 to the substrate 74 ', which is thereby pushed to the passage 38, taking over its displacement by the conveyors 36. Then, through these valves 70 and 72, the supply of medium to the conveyors 48 is stopped, so that the next substrate can move unhindered further in the main conveyor track 10.

In de Figuur 4 is de hoofdtransportbaan 10 over een grotere lengte aangegeven en waarbij daarop nog een tweede aftak-transportbaan 281 is aan-15 gesloten. De transporteurs 48* hebben daarbij wederom dezelfde functie als die van de transporteur 48 met op commando de verplaatsing in zijwaartse richting van de substraten 74.In Fig. 4, the main conveyor track 10 is shown over a greater length and a second branch conveyor track 281 is connected thereto. The conveyors 48 * again have the same function as that of the conveyor 48 with the lateral displacement of the substrates 74 on command.

Binnen het kader van de uitvinding kan ook slechts deze hoek-trans-portsectie 28' zijn toegepast, waarbij dan elke substraat 74 met behulp van 20 een impuls in zijdelingse richting wordt verplaatst.Within the scope of the invention it is also possible to use only this corner transport section 28 ', whereby each substrate 74 is then moved in the side direction by means of an impulse.

Zulk een constructie is toepasbaar in transportbanen, welke meer dan alleen een rechtlijnige verplaatsing van de substraten bieden. Tevens is daarbij elke hoek van zijdelingse verplaatsing mogelijk.Such a construction is applicable in conveyor tracks, which offer more than just a linear displacement of the substrates. Also, any angle of lateral displacement is possible.

In de Figuur 5 is op de hoofdtransportbaan 10· een transportbaan 76 25 aangesloten met een zodanig verbrede passage 78, dat gelijktijdig met behulp van transporteurs 80, 82 en 84 een drietal substraten 74 vanaf deze hoofdtransportbaan 10* daarheen verplaatsbaar zijn, zie tevens de Figuur 6.In Figure 5, a conveyor track 76 with a widened passage 78 is connected to the main conveyor track 10, such that three substrates 74 can be moved there simultaneously from the main conveyor track 10 * by means of conveyors 80, 82 and 84, see also the Figure 6.

Binnen het kader van de uitvinding kan zulk een passage 78 nog breder zijn en is daarin ook een éénzijdige '’floating" transport mogelijk naar 30 een met gasvormig transportmedium gevulde micro cleanroom ruimte ten behoeve van een tijdelijke opslag van deze substraten.Within the scope of the invention, such a passage 78 may be even wider and it also permits unilateral floating transport to a micro-cleanroom space filled with gaseous transport medium for the temporary storage of these substrates.

Op de transportbaan 76 is een mechanische transportband 86 voor de substraten aangesloten. Daarbij kan bijvoorbeeld de transportbaan 10’ zich reeds tot in een hoogvacuum-module uitstrekken en kan processing onder 35 hoog vacuum van de op de transportband 86 gebrachte substraten plaats vinden. Daartoe kan de transportband een metalen folie zijn, die daarbij tevens als electrode kan fungeren. Deze folie wordt dan met behulp van transportinrichting 88 gelijkmatig van de rol 90 af gerold en kan het wederom oprollen van d8 folie plaats vinden op rol 92.A mechanical conveyor belt 86 for the substrates is connected to the conveyor track 76. For example, the conveyor track 10 may already extend into a high vacuum module and processing can take place under high vacuum of the substrates placed on the conveyor belt 86. For this purpose the conveyor belt can be a metal foil, which can also function as an electrode. This foil is then evenly unrolled from the roller 90 with the aid of transport device 88 and the roll-up of the d8 foil can again take place on roller 92.

8300848 - 4 -8300848 - 4 -

De overname van de substraten door de transportband geschiedt daarbij telkens als een drietal van deze substraten door de transportbaan 76 worden vrijgegeven.The transfer of the substrates by the conveyor belt takes place every time three of these substrates are released by the conveyor track 76.

Aan de andere zijde van de transportband 86 bevindt zich de transport-5 baan-opstelling 94, welke soortgelijk is aan de combinatie van transportbanen 10* en 76,On the other side of the conveyor belt 86 is the conveyor-track arrangement 94, which is similar to the combination of conveyor tracks 10 * and 76,

Binnen het kader van de uitvinding is elk ander type van mechanisch transport-systeem tussen de transportbaneen, die een "floating'· transport van de substraten bieden, mogelijk.Within the scope of the invention, any other type of mechanical conveying system between the conveyor belts, which provide a "floating" conveyance of the substrates, is possible.

10 De ultra nauwe "floating" passage voor de substraten met een zeer be perkte inhoud van de daarmede gevormde ultra-cleanroom tuimte voor deze substraten en zulks gecombineerd met een zeer geringe benodigde hoeveelheid transportmedium per tijdseenheid, maakt het nu mogelijk om het "floating" transportsysteem zeer doelmatig tevens geschikt te doen zijn voor opzame-15 ling in een verzamelbaan van een zeer groot aantal substraten.The ultra-narrow "floating" passage for the substrates with a very limited content of the ultra-cleanroom space formed therewith for these substrates and this in combination with a very small amount of transport medium required per unit of time, now makes it possible to "float" transport system can also be made very suitable for storage in a collection path of a very large number of substrates.

Daarbij kan dan zulk een verzamelbaan zodanig zijn uitgevoerd, dat de aan elkaar grenzende transport/verzamel-banen zich zodanig in opwaartse richting uitstrekken, dat na 360° zulk een baan-gedeelte boven een andere, ermede verbonden baan-gedeelte is gelegen. Aldus is in een aantal opvol— 20 gende lagen een opzameling onder cleanroom-conditie van bijvoorbeeld 1000 substraten mogelijk.In such a case, such a collecting track can then be designed such that the adjoining transport / collecting tracks extend in an upward direction such that after 360 ° such a track section is situated above another connected section of track. In a number of successive layers it is thus possible to collect, for example, 1000 substrates under a cleanroom condition.

Ook kunnen deze op Blkaar gestapelde banen als pakket met behulp van stepper-motoren in verticale richting verplaatsbaar zijn voor een telkenmale aansluiting van een opvolgende baan op da toe- en afvoer via de trans— 25 portbanen met een "floating" transport van de substraten.These Black-stacked webs can also be vertically displaced as a package with the aid of stepper motors for a subsequent connection of a successive web to the supply and discharge via the transport webs with a "floating" transport of the substrates.

Daarbij kan ook de gehele ruimte, inclusief de steppermotoren of zonder deze motoren in een ultra-cleanroom ruimte zijn ondergebracht.The entire space, including the stepper motors or without these motors, can also be housed in an ultra-cleanroom space.

Binnen het kader van de uitvinding zijn eveneens andere uitvoeringen van zulk een substraat-vergaarbaan mogelijk.Other embodiments of such a substrate collection path are also possible within the scope of the invention.

83006488300648

Claims (41)

1. Inrichting ten behoeve van het transporteren van substraten en tenminste bestaande uit een in een hoofdtransportbaan opgenomen serie transporteurs voor een tenminste plaatselïjk tmee-zijdig "floating” trans-5 port in een passage ervan van deze substraten en die opvolgend in de bewegingsrichting van de substraten zijn opgesteld, met het kenmerk, dat daarin middelen zijn opgenomen voor een tenminste plaatselijk kunnen veranderen van de bewegingsrichting van deze substraten·Device for transporting substrates and at least consisting of a series of conveyors included in a main conveyor track for at least one local floating-side transport in a passage thereof of these substrates and which follow in the direction of movement of the substrates are arranged, characterized in that means are incorporated therein for at least locally changing the direction of movement of these substrates 2. Inrichting volgens de Conclusie 1, met het kenmerk, dat daarbij 10 zulk een transporteur bestaat uit een tweetal secties met een ertussen gelegen passage voor de substraten zodanig, dat tenminste tijdens deze verandering van bewegingsrichting tussen deze transporteursecties en de er langs bewegende substraten een "floating" gaskussen voor deze substraten wordt onderhouden. 152. Device according to Claim 1, characterized in that such a conveyor consists of two sections with an intermediate passage for the substrates such that at least during this change of direction of movement between these conveyor sections and the substrates moving along them Floating gas cushion for these substrates is maintained. 15 3, Inrichting volgens de Conclusie 2, met het kenmerk, dat daarbij in deze transporteurs een aantal kanalen zijn opgenamen, welke enerzijds zijn aangesloten op een gemeenschappelijke toevoer van gasvormig transport medium en anderzijds zijn verbonden met de passage.Device according to Claim 2, characterized in that a number of channels are incorporated in these conveyors, which are connected on the one hand to a common supply of gaseous transport medium and on the other hand to the passage. 4. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, mat het ken-20 merk, dat daarbij in tenminste één van de transporteur-secties de opstelling van de daarin opgenomen toevoerkanalen voor het stuwen van gasvormig medium naar de substraat zodanig is, dat deze stromen medium resulteren in een krachtwerking op de substraat in zijwaartse richting.4. Device as claimed in any of the foregoing Claims, characterized in that in at least one of the conveyor sections the arrangement of the feed channels included therein for propelling gaseous medium to the substrate is such that these flows of medium result. in a sideways force on the substrate. 5· Inrichting volgens de Conclusie 4, met het kenmerk, dat daarbij 25 in deze inrichting middelen zijn opgenomen voor het gedurende een gewenste periode van tijd leiden van het transportmedium naar de substraat.Device according to Claim 4, characterized in that means are included in this device for guiding the transport medium to the substrate for a desired period of time. 6. Inrichting volgens de Conclusie 4, met het kenmerk, dat daarbij deze zijwaartse richting circa 90° bedraagt·Device according to Claim 4, characterized in that this lateral direction is approximately 90 ° 7, Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken-30 merk, dat daarbij de transporteurs aan weerszijde ervan zijn vastgezet op een draagstuk en in één van deze draagstukken ter plaatse van deze afvoer in zijwaartse richting tenminste een opening is opgenomen·7. Device as claimed in any of the foregoing Claims, characterized in that the conveyors on either side thereof are fixed on a support piece and at least one opening is received in one of these support pieces at the location of this discharge in the side direction · 8* Inrichting volgens de Conclusie 7, met het kenmerk, dat daarbij zulk een draagstuk voorzien is van aan weerszijden ervan een doorlopende 35 opsluitplaat, welke zodanig is uitgevoerd, dat daarmede de transporteur-secties in hoogterichting ervan zijn opgesloten.8. Device as claimed in claim 7, characterized in that such a support piece is provided with a continuous retaining plate on either side thereof, which is designed such that the conveyor sections are thereby closed in height direction. 9, Inrichting volgens de Conclusie 8, met hBt kenmerk, dat daarbij ► ter plaatse van de passage, welke in zijwaartse richting door zulk een 8300648 - 6 - w S* draagstuk is gevoerd, tenminsta één transporteur-sectie. tenminste plaatselijk is vastgezet op één van deze opsluitplaten.Device according to Claim 8, characterized in that at the location of the passage which has been passed laterally through such an 8300648-6 S * support piece, at least one conveyor section. is secured at least locally on one of these retaining plates. 10. Inrichting volgens éé der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat zoals zich in een groef van de draagstukken van de hoofdtrans- 5 portbaan zich opzij van de passage een afstanstrip is opgenomen, waartegen de transporteursecties liggen, bij de afvoer in de draagstukken ervan eveneens een groef is opgenomen met daarin aan weerszijde van de passage ervan een afstandstrip, deze groeven aan elkaar grenzen en deze verder zodanig met elkaar combineren, dat tenminste een strip-segment in beide aangren-10 zende groeven kan zijn opgenomen.10. Device as claimed in any of the foregoing Claims, characterized in that, as in a groove of the supports of the main conveyor track, a spacing strip is received, to the side of the passage, against which the conveyor sections lie, at the outlet in the supports thereof a groove is also included with a spacing strip thereon on either side of its passage, these grooves adjoin each other and further combine them such that at least one strip segment can be received in both adjacent grooves. 11. Inrichting volgens êên der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij opzij van het draagstuk met de daarin opgenomen passage in zijwaartse richting zich een aftak-transportbaan bevindt,11. Device as claimed in any of the foregoing Claims, characterized in that a branch conveying path is located laterally of the support piece with the passage included therein, 12. Inrichting volgens de Conclusie 11, met het kenmerk, dat de com-15 binatie van hoofdtransportbaan en aftak-transportbaan verder zodanig is, dat daarbij de passage-ingang van deze aftak-transportbaan correspondeert met de afvoerpassage van de hoofdtransportbaan, welke in êên van de draagstukken ervan is gelegen.12. Device as claimed in claim 11, characterized in that the combination of the main conveyor track and branch conveyor track is further such that the passage entrance of this branch conveyor track corresponds to the discharge passage of the main conveyor track, which in one of its supports is located. 13. Inrichting volgens êên der voorgaande Conclusies, met het ken-20 merk, dat daarbij de transporteurs van deze tweede transportbaan tenminste plaatselijk nagenoeg gelijk zijn aan de transporteurs van de hoofdtransportbaan.13. Device as claimed in any of the foregoing Claims, characterized in that the conveyors of this second conveyor track are at least virtually identical locally to the conveyors of the main conveyor track. 14. Inrichting volgens de Conclusie 13, met het kenmerk, dat daarbij de opsluitplaten aan weerszijde van de draagstukken van de hoofdtransport- 25 baan zich zodanig in dwarsrichting tot buiten het draagstuk met de erin opgenomen afvoerpassage uitstrekken, dat deze tenminste een gedeelte van de draagstukken van de aftak-transportbaan insluiten.14. Device as claimed in claim 13, characterized in that the retaining plates on both sides of the supports of the main conveyor track extend transversely outside the support with the discharge passage included therein, such that they comprise at least a part of the supports. of the branch conveyor. 15. Inrichting volgens de Conclusie 13, met het kenmerk, dat de ligplaats van de eerste transporteur ervan zich bevindt in de opening, welke 30 in het draagstuk van de hoofdtransportbaan is opgenomen.15. Device as claimed in claim 13, characterized in that the position of its first conveyor is located in the opening, which is received in the support piece of the main conveyor track. 16. Inrichting volgens de Conclusie 15, met het kenmerk, dat daarbij deze transporteur met zijn ene wandgedeelte tenminste nagenoeg grenst aan het daarmede corresponderende einde van tenminste een tweetal transporteurs van de hoofdtransportbaan,Device according to Claim 15, characterized in that this conveyor with its one wall section is substantially adjacent to the corresponding end of at least two conveyors of the main conveyor track, 17. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken merk, dat daarbij de aftaktransportbaan als aansluitend tweede hoofdtransportbaan zich aan het einde van de eerste hoofdtransportbaan bevindt ten behoeve van het verkrijgen van een transportsysteem met een niet-rechtlijnige verplaatsing van de substraten. 8300648 _ - 7 -Device according to any one of the preceding Claims, characterized in that the branch conveyor track as a second main conveyor track is located at the end of the first main conveyor track for the purpose of obtaining a conveying system with a non-rectilinear displacement of the substrates. 8300648 _ - 7 - 18. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de aftak—transportbaan tenminste ter plaatse van de aansluiting ervan op de hoofdtransportbaan een grotere passage-breedte heeft dan die van deze houfdtransportbaan.18. Device as claimed in any of the foregoing Claims, characterized in that the branch conveyor track has a greater passage width at least at the location of its connection to the main conveyor track than that of this main conveyor track. 19. inrichting volgens de Conclusie 18, met het kenmerk, dat daarbij de breedte van de passage in deze aftak-transportbaan zodanig groot is, dat tenminste een tweetal substraten naast elkaar liggend er door heen kunnen worden gevoerd.Device according to Claim 18, characterized in that the width of the passage in this branch conveyor path is such that at least two substrates can be passed through it side by side. 20. Inrichting volgens de Conclusie 19, met het kenmerk, dat daarbij 10 in de hoofdtransportbaan tenminste een tweetal transporteurs en middelen zijn apgenomen ten behoeve van het in zijwaartse richting verplaatsen van tenminste een tweetal substraten in tenminste nagenoeg dezelfde tijd.20. Device as claimed in claim 19, characterized in that at least two conveyors and means are removed in the main conveyor track for the purpose of displacing at least two substrates sideways in substantially the same time. 21. Inrichting volgens de Conclusie 20, met het kenmerk, dat daarbij de constructieve opbouw ervan zodanig is, dat in tenminste een aantal van "5 deze aftaktransportbaan een twee-zijdige "floating" transport van de substraten kan plaats vinden.21. Device as claimed in claim 20, characterized in that the constructional structure thereof is such that in at least a number of said branch transport track a two-sided "floating" transport of the substrates can take place. 22. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij de opbauw en middelen tot regeling van het transportmedium ervoor zodanig zijn, dat substraten via zulk een aftak-transportkanaal naar de 20 hoofdtransportbaan kunnen worden gevoerd voor verdere verplaatsing ervan.22. Device as claimed in any of the foregoing Claims, characterized in that the build-up and means for controlling the transport medium are such that substrates can be conveyed via such a branch transport channel to the main transport path for further displacement thereof. 23. Inrichting volgens de Conclusie 22, met het kenmerk, dat daarin verder zodanige middelen zijn opgenomen, dat de substraat—snelheid in het einde van da verplaatsing voor de verandering van bewegingsrichting groter is dan de verplaatsingsnelheid er voor.Device according to Claim 22, characterized in that it further comprises means such that the substrate speed at the end of the displacement for the change of direction of movement is greater than the displacement speed before it. 24. Inrichting volgans de Conclusie 23, met het kenmerk, dat daarbij in de hoofdtransportbaan middelen zijn opgenomen voor een zodanige buffering van de aankomende substraten, dat deze geen mechanisch contact kunnen maken met deze baan.Device according to Claim 23, characterized in that means are included in the main conveyor track for buffering the arriving substrates in such a way that they cannot make mechanical contact with this track. 25. Inrichting volgens de Conclusie 23, mat het kenmerk, dat daarbij 30 de opbauw ervan verder zodanig is, dat de verplaatsingsnelheid van de substraten in de overname-sactie van de hoofdtransportbaan hoger is dan de verplaatsingsnelheid na deze overname-sectie.25. A device according to claim 23, characterized in that the build-up thereof is further such that the displacement speed of the substrates in the take-over action of the main conveyor track is higher than the move speed after this take-over section. 26. Methode van de inrichting volgens de Conclusie 25, met het kenmerk, dat daarbij gedurende het transport van d8 substraten opvolgend ten- 35 minste een tweetal naast elkaar liggende substraten vanuit de aftak-trans— portbaan naar de overname-sectie van de hoofdtranspartbaan worden gevoerd en de snelheid tijdens de overname zodanig groot is, dat zulke substraten aansluiten op substraten, welke zich uit de overname-sectie van deze hoofd— transportbaan verplaatsen. 8 3 0 0 S 4 8 - 8 -26. Method of the device according to Claim 25, characterized in that during the transport of d8 substrates successively at least two adjacent substrates are transferred from the branch conveyor track to the take-over section of the main conveyor track. and the speed during the take-over is so great that such substrates connect to substrates which move out of the take-over section of this main conveyor track. 8 3 0 0 S 4 8 - 8 - 27. Methode volgens de Conclusie 26, mst het kenmerk, dat deze substraten zich in de overname-sectie invoegen tussen substraten, welke zich in de hoofdtransportbaan verplaatsen.Method according to Claim 26, characterized in that these substrates insert in the take-over section between substrates moving in the main conveyor track. 28. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken-5 merk, dat daarbij in de hoofdtransportbaan sensoren ten behoeve van snel- heidsregeling in combinatie met regelmiddelen in de toevoer van transportmedium zijn opgenomen voor het zodanig verplaatsen van de substraten, dat in deze baan tenslotte opvolgende substraten zich zelfstandig en op enige 10 afstand van elkaar verwijderd kunnen verplaatsen.28. An apparatus according to any one of the preceding Claims, characterized in that sensors for speed control in combination with control means are included in the main conveyor track in the supply of transport medium for displacing the substrates in such a way that Finally, subsequent substrates can move independently and some distance from each other. 29. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de opbouw van zulk een aftak-transportbaan zodanig is, dat daarop een cassette voor opzameling van substraten aansluitbaar is met een transport van opvolgende substraten naar hun respectievelijke ligplaatsen 15 in deze cassette.29. Device according to any one of the preceding Claims, characterized in that the construction of such a branch conveyor track is such that a cassette for collecting substrates can be connected thereto with a transport of successive substrates to their respective berths in this cassette. 30. Inrichting volgens de Conclusie 29, met het kenmerk, dat daartoe het laatste gedeelte van deze aftakbaan slechts bestaat uit transporteurs, welke aan de onderzijde van de passage zijn opgenomen.30. Device according to Claim 29, characterized in that the last part of this branching path only consists of conveyors which are accommodated at the bottom of the passage. 31. Inrichting volgens de Conclusie 30, met het kenmerk, dat deze 20 verder zodanig is uitgevoerd, dat deze cassette met behulp van een stepper-motor telkenmale na ontvangst van een substraat in opwaartse richting wordt verplaatst voor het ontvangen van een volgende substraat.31. Device according to Claim 30, characterized in that it is further designed in such a manner that this cassette is moved upwardly each time after receiving a substrate, with the aid of a stepper motor, to receive a subsequent substrate. 32. Inrichting volgens de Conclusie 30, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat bij zulk een aftak-transportbaan een toe- 25 voer van substraten vanuit een cassette plaats vindt en deze cassette met behulp van een stepper-motor telkenmale na afvoer van een substraat zich over enige afstand in benedenwaartse richting verplaatst voor het afvoeren Van de volgende substraat.32. Device according to Claim 30, characterized in that it is further designed in such a way that a supply of substrates from a cassette takes place in such a branch conveyor track and after each cassette the cassette is supplied after a stepper motor. discharge of a substrate moves downward for some distance to discharge the next substrate. 33.Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken- 30 merk, dat zulk een aftak-transportbaan is aangesloten op één of meerdere substraat-verzamelbanen voor het opzamelen van een groot aantal substraten.33. Device according to any one of the preceding Claims, characterized in that such a branch conveying path is connected to one or more substrate collecting paths for collecting a large number of substrates. 34. Inrichting volgens de Conclusie 33, met het kenmerk, dat daarbij meerdere opzamel-baansecties boven elkaar zijn gelegen met een geleidelijk oplopende opzamelbaan.34. An apparatus according to claim 33, characterized in that a plurality of storage lane sections are situated one above the other with a gradually increasing storage lane. 35. Inrichting volgens de Conclusie 33, met het kenmerk, dat daarbij zulk een baan zodanig is uitgevoerd, dat de verplaatsing van substraten daarin geschiedt met behulp van tenminste een plaatselijk één-zijdige "floating" transport.Device according to Claim 33, characterized in that such a path is designed in such a way that the displacement of substrates therein takes place by means of at least one locally one-sided "floating" transport. 36. Substraat-verzamelbaan, welke is opgenomen in de inrichting vol- 8300648 gens Conclusie 33, met het kenmerk, dat deze is aangesloten op tenminste een toevoer en een afvoer van substraten·Substrate collection path, which is included in the device according to Claim 33, characterized in that it is connected to at least one inlet and one outlet of substrates 37· Substraat—verzamelbaan volgens de Conclusie 36, met het kenmerk, dat deze als gemeenschappelijke substraat—verzamelbaan via aftak-transport-5 banen is aangesloten op tenminste een twetal modules voor processing, testen, meten, sorteren of belichten.Substrate collection path according to Claim 36, characterized in that it is connected as a common substrate collection path via at least two transport modules to processing, testing, measuring, sorting or exposure. 38* Substraat-verzamelbaan volgens de Conclusie 37, met het kenmerk, dat daarbij zulk een baan verder zodanig is uitgevoerd, dat deze als ruimte deel uitmaakt van de ,,clean-ΓOoml, ruimte van de inrichting ter plaatse van 10 tenminste de hoofdtransportbaan.Substrate collection track according to Claim 37, characterized in that such a track is further designed such that it forms part of the clean-room area of the device at least at the main conveyor track as a space. 39. Inrichting volgens één de voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarin zodanige middelen zijn opgenomen, dat daarin tenminste Dlaatselijk met behulp van het transportmedium een sub-micro ,,clean-room,r wordt onderhouden.39. An apparatus according to any one of the preceding Claims, characterized in that it comprises means such that a sub-micro clean room is maintained there at least locally using the transport medium. 40. Inrichting volgens de Conclusie 39, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat deze "clean-room" conditie wordt onderhouden in de gehele installatie—sectie tussen tenminste een tweetal modules.40. Device according to Claim 39, characterized in that it is further designed in such a way that this clean-room condition is maintained in the entire installation section between at least two modules. 41. Inrichting volgens de Conclusie 40, met het kenmerk, dat deze 20 verdBr zodanig is uitgevoerd, dat deze "clean-roam" conditie eveneens wordt onderhouden in de op deze sectie aangesloten substraat-verzamelbaan. 830034841. Device according to Claim 40, characterized in that it is designed in such a way that this "clean-roam" condition is also maintained in the substrate collection path connected to this section. 8300348
NL8300648A 1983-02-21 1983-02-21 FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES. NL8300648A (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8300648A NL8300648A (en) 1983-02-21 1983-02-21 FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES.
EP19840900893 EP0135548A1 (en) 1983-02-21 1984-02-20 Track for floating transport of substrates
PCT/NL1984/000004 WO1984003412A1 (en) 1983-02-21 1984-02-20 Track for floating transport of substrates
JP50094084A JPS60500907A (en) 1983-02-21 1984-02-20 Substrate conveyance device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8300648 1983-02-21
NL8300648A NL8300648A (en) 1983-02-21 1983-02-21 FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL8300648A true NL8300648A (en) 1984-09-17

Family

ID=19841450

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL8300648A NL8300648A (en) 1983-02-21 1983-02-21 FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES.

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP0135548A1 (en)
JP (1) JPS60500907A (en)
NL (1) NL8300648A (en)
WO (1) WO1984003412A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3514825B1 (en) * 2018-01-22 2023-11-29 Meyer Burger GmbH Wafer sorting

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3918706A (en) * 1974-06-24 1975-11-11 Ibm Pneumatic sheet transport and alignment mechanism
US4211505A (en) * 1975-10-01 1980-07-08 International Business Machines Corporation Fluidic transport intersection
US3976330A (en) * 1975-10-01 1976-08-24 International Business Machines Corporation Transport system for semiconductor wafer multiprocessing station system
CA1097770A (en) * 1977-02-28 1981-03-17 Robert L. Judge Controls for semiconductor wafer orientor
US4278366A (en) * 1977-03-18 1981-07-14 Gca Corporation Automatic wafer processing system and method

Also Published As

Publication number Publication date
EP0135548A1 (en) 1985-04-03
JPS60500907A (en) 1985-06-20
WO1984003412A1 (en) 1984-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6209703B1 (en) Method and apparatus for the sorting of objects
US5638938A (en) Apparatus and method for handling flow of packages
US3592329A (en) Differential pressure conveyors
US4468165A (en) Apparatus for transporting sorted stacked matter
US5366063A (en) Accumulator for conveyor system
EP0480436A2 (en) Distributing and collecting device for products to be conveyed
KR100456998B1 (en) Apparatus and method for inspecting objects, in particular beverage containers
US6158566A (en) Transfer system for a conveyor
JPS58135025A (en) Method and device for arranging and transferring bottle
JP3256751B2 (en) Solid material transfer device
JP2763181B2 (en) Manufacturing equipment for large unit products in the form of handles in the group of small packs of tissue paper
US4465417A (en) System for handling vehicles of a revolving cableway in a parking station
FI98619C (en) Method and apparatus for intermediate storage of a stream of newspapers or similar
JPH10509094A (en) Equipment for sorting conveyed articles
NL8300648A (en) FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES.
ITRM940652A1 (en) SYSTEM FOR THE STORAGE OF PACKAGES WAITING IN AIRPORTS
US6029800A (en) Conveyor for articles with wave-shaped rollers
SI9400125A (en) Process and device for conveying articles, particulary for automatic packaging plants
KR900006016B1 (en) Insulating for vaccum processing of substrates
EP2161226B1 (en) Device for buffering of rectangular objects
CH695732A5 (en) Means for conveying similar objects.
SU1745117A3 (en) Belt conveyer
SU1553483A1 (en) Device for moving hollow articles through bath with liquid
US3451547A (en) Sorting conveyor control
US20230271790A1 (en) Temporary store

Legal Events

Date Code Title Description
A85 Still pending on 85-01-01
BV The patent application has lapsed