NL8102964A - DEVICE FOR CONTINUOUSLY TREATMENT OF LONG-TERM FILM MATERIAL WITH LOW TEMPERATURE PLASMA. - Google Patents

DEVICE FOR CONTINUOUSLY TREATMENT OF LONG-TERM FILM MATERIAL WITH LOW TEMPERATURE PLASMA. Download PDF

Info

Publication number
NL8102964A
NL8102964A NL8102964A NL8102964A NL8102964A NL 8102964 A NL8102964 A NL 8102964A NL 8102964 A NL8102964 A NL 8102964A NL 8102964 A NL8102964 A NL 8102964A NL 8102964 A NL8102964 A NL 8102964A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
plasma chamber
plasma
cathode
chamber
chambers
Prior art date
Application number
NL8102964A
Other languages
Dutch (nl)
Original Assignee
Shinetsu Chemical Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinetsu Chemical Co filed Critical Shinetsu Chemical Co
Publication of NL8102964A publication Critical patent/NL8102964A/en

Links

Classifications

    • DTEXTILES; PAPER
    • D06TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D06MTREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
    • D06M10/00Physical treatment of fibres, threads, yarns, fabrics, or fibrous goods made from such materials, e.g. ultrasonic, corona discharge, irradiation, electric currents, or magnetic fields; Physical treatment combined with treatment with chemical compounds or elements
    • D06M10/02Physical treatment of fibres, threads, yarns, fabrics, or fibrous goods made from such materials, e.g. ultrasonic, corona discharge, irradiation, electric currents, or magnetic fields; Physical treatment combined with treatment with chemical compounds or elements ultrasonic or sonic; Corona discharge
    • D06M10/025Corona discharge or low temperature plasma
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/14Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/002Sealings comprising at least two sealings in succession
    • F16J15/006Sealings comprising at least two sealings in succession with division of the pressure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/16Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/168Sealings between relatively-moving surfaces which permits material to be continuously conveyed
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J37/185Means for transferring objects between different enclosures of different pressure or atmosphere
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/14Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
    • B29C2059/147Low pressure plasma; Glow discharge plasma
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2001/00Use of cellulose, modified cellulose or cellulose derivatives, e.g. viscose, as moulding material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2001/00Use of cellulose, modified cellulose or cellulose derivatives, e.g. viscose, as moulding material
    • B29K2001/08Cellulose derivatives
    • B29K2001/12Cellulose acetate
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2007/00Use of natural rubber as moulding material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2027/00Use of polyvinylhalogenides or derivatives thereof as moulding material
    • B29K2027/06PVC, i.e. polyvinylchloride
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2313/00Use of textile products or fabrics as reinforcement
    • DTEXTILES; PAPER
    • D06TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D06MTREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
    • D06M2101/00Chemical constitution of the fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, to be treated
    • D06M2101/16Synthetic fibres, other than mineral fibres
    • D06M2101/18Synthetic fibres consisting of macromolecular compounds obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
    • D06M2101/22Polymers or copolymers of halogenated mono-olefins
    • DTEXTILES; PAPER
    • D06TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D06MTREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
    • D06M2200/00Functionality of the treatment composition and/or properties imparted to the textile material
    • DTEXTILES; PAPER
    • D06TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D06MTREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
    • D06M2200/00Functionality of the treatment composition and/or properties imparted to the textile material
    • D06M2200/35Abrasion, pilling or fibrillation resistance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Treatment Of Fiber Materials (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Description

-1--1-

Inrichting voor het continu behandelen van langwerpig filmmateriaal met lage temperatuurplasmaDevice for continuous treatment of elongated film material with low temperature plasma

De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het continu behandelen van een continue baan materiaal zoals een film van een kunststof, bijvoorbeeld polyvinylchloridehars, met lage ! temperatuurplasma.The invention relates to an apparatus for continuously treating a continuous web of material such as a film of a plastic, for example polyvinyl chloride resin, with low! temperature plasma.

5 Bekend is dat wanneer een gevormd voorwerp van kunststof, in het bijzonder polyvinylchloridehars, wordt onderworpen aan een j i behandeling met of wordt blootgesteld aan lage temperatuurplasma J van bepaalde gassen, verscheidene voordelige verbeteringen worden j verkregen van de oppervlakte—eigenschappen van het gevormde voor-10 werp. Verscheidene van de door de plasmabehandeling verbeterde eigenschappen omvatten de verminderde migratie en uitstromen van eerj plastificeerder aanwezig in het gevormde artikel,verhoogde.bevochtig-1j ! baarheid van het oppervlak met water, dat wil zeggen affiniteit met j water, verminderde accumulatie van statische electriciteit op het j 15 oppervlak, minder neiging tot blokkeren of plakken van de oppervlakken, verhoogde drukbaarheid, weerstand tegen slijtage, weerstand ! | tegen verweren, verminderde lelijke plekken aan het oppervlak en j dergelijke. jIt is known that when a molded plastic article, in particular polyvinyl chloride resin, is subjected to a treatment or exposed to low temperature plasma of certain gases, several advantageous improvements are obtained in the surface properties of the molded precursor. 10 throw. Several of the properties improved by the plasma treatment include the reduced migration and outflow of plasticizer present in the molded article, increased wetting. surface surface with water, ie affinity with water, reduced static electricity accumulation on the surface, less tendency to block or stick the surfaces, increased printability, wear resistance, resistance! | against weathering, reduced ugly spots on the surface and the like. j

Aangezien het effect van de plasmabehandeling beperkt is tot 20 de oppervlakte—eigenschappen, worden de meest belangrijke voordelen verkregen wanneer het met plasma behandelde gevormde voorwerp dun en langwerpig is zoals filmmateriaal met continue lengte behandeld ; dient te worden met lage temperatuurplasma op industriële schaal, is echter geen practisch bruikbare inrichting beschikbaar vanwege 25 de moeilijkheden bij het opwekken van plasma doordat lage temperatuurplasma kan worden opgewekt door het toepassen van hoogfrequente i electrische stroom slechts in een atmosfeer met verminderde druk vari bijvoorbeeld 0,01 tot 10 Torr.Since the effect of the plasma treatment is limited to the surface properties, the most important advantages are obtained when the plasma treated molded article is thin and elongated like continuous length film material treated; should be used with low temperature plasma on an industrial scale, however, no practically useful device is available due to the difficulties in generating plasma because low temperature plasma can be generated by applying high-frequency electric current only in an atmosphere of reduced pressure, for example, 0 , 01 to 10 Torr.

Vanzelfsprekend dijn verscheidene inrichtingen voorgesteld j 30 voor het met plasma behandelen van langwerpig materiaal, niet alleeri in de vorm van een gesneden vel maar ook als filmrol in een ladings-; ! , i I gewijs proces. Wanneer langwerpig materiaal zoals een film in de i I | 8102964 - 2 - vorm van een rol in zulk een inrichting wordt behandeld, wordt de gehele rol opgesteld in een plasmakamer en de kamer wordt geevacueerd tot de gewenste verminderde druk welke bruikbaar is voor het opwekken van plasma. Daardoor kan een film van kunststof welke een plasti-5 ficeerder, een stabilisator of andere betrékkelijk luchtige toegevoegde ingrediënten bevat, niet vrij zijn van denaturatie in de plasmakamer als gevolg van het ontsnappen van de vluchtige ingrediënten. Bovendien wordt de lucht, welke in de diepte van de filmrol is opge- i sloten, beetje voor beetje vrijgelaten naar de atmosfeer met ver- j 10 minderde druk in de plastairikamer zodat een aanzienlijk .langere tijds-: duur noodzakelijk is voordat de gewenste verlaagde druk wordt verkre-H gen in de plasmakamer, bij voorkeur beneden 0,1 Torr. Bovendien is i het geleidelijk vrijlaten van lucht uit de filmrol bijzonder schadelijk wanneer de zuurstof in de lucht de doelmatigheid van de plasma-15 behandeling nadelig beïnvloedt, hetgeen aanleiding geeft tot een zeer moeilijk, en fataal probleem welke nauwelijks opgelost is.Of course, various devices have been proposed for plasma-treating elongated material, not only in the form of a cut sheet, but also as a film roll in a batch; ! , i I wise process. When elongated material such as a film in the i I | 8102964-2 - In the form of a roll in such a device, the entire roll is placed in a plasma chamber and the chamber is evacuated to the desired reduced pressure useful for plasma generation. Therefore, a plastic film containing a plasticizer, a stabilizer or other relatively airy added ingredients cannot be free from denaturation in the plasma chamber due to the escape of the volatile ingredients. In addition, the air trapped in the depth of the film roll is released bit by bit into the atmosphere with reduced pressure in the plastic chamber so that a considerably longer period of time is required before the desired reduced pressure is obtained in the plasma chamber, preferably below 0.1 Torr. In addition, the gradual release of air from the film roll is particularly harmful when the oxygen in the air adversely affects the efficiency of the plasma treatment, giving rise to a very difficult and fatal problem which is hardly solved.

Om reproduceerbare effecten te verkrijgen door de behandeling van een langwerpig materiaal zoals een kunststoffilm met lage tempe-ratuurplasma opgewekt door het toepassen van een hoog frequente elec-20 trische stroom, aangevoerd bij een frequentie van verscheidene kHz tot verscheidene honderden MHz in een bepaald plasmagas onder een druk van 0,01 tot 10 Torr, is het essentiéel dat de druk van de plasma-atmosfeer constant wordt gehouden gedurende de behandeling en dat gassen andere dan de gekozen plasmagas worden ..buitengesloten van 25 de plasma-aimos f eer: zo volledig als mogelijk is. Een in een plasmakamer opgestelde filmrol wordt noodzakelijkerwijs begeleid door deze i | zeer moeilijke problemen.To obtain reproducible effects by treating an elongated material such as a low temperature plasma plastic film generated by applying a high frequency electric current supplied at a frequency of several kHz to several hundred MHz in a given plasma gas under a pressure of 0.01 to 10 Torr, it is essential that the pressure of the plasma atmosphere is kept constant during the treatment and that gases other than the selected plasma gas are excluded from the plasma aimos: so complete if possible. A film roll disposed in a plasma chamber is necessarily accompanied by this i | very difficult problems.

Daarom beoogt de uitvinding te voorzien in.een inrichting voor | het continu behandelen van een langwerpig materiaal zoals een rol van 30 film'van een; kunststof met lage temperatuurplasma welke vrij is van.de bovenbeschreven problemen bij békende inrichtingen en processen. j Bij de uitgevonden inrichting wordt geen rol van langwerpig materiaal in de plasmakamer geplaatst. De inrichting maakt gebruik van lucht j tot luchtoverdracht van het langwerpige materiaal dat in ontrolde 35 toestand wordt overgedragen in en vervolgens uit een plasmakamer en 81 02 9 6 4 r 3 - j het materiaal wordt na de plasmabéhandeling in de plasmakamer continu opgerold tot een rol. jIt is therefore an object of the invention to provide an apparatus for continuously treating an elongated material such as a roll of film of one; plastic with low temperature plasma which is free from the above-described problems with known devices and processes. j In the invented device, no roll of elongated material is placed in the plasma chamber. The device uses air j to transfer air from the elongated material which is transferred in uncoiled condition into and then out of a plasma chamber and 81 02 9 6 4 r 3 - j the material is continuously rolled up into a roll after the plasma treatment in the plasma chamber . j

De uitgevonden inrichting voor het continu behandelen van een j continue film met lage temperatuurplasma van een plasmagas bij ver- i 5 laagde druk omvat a) tenminste één plasmakamer met een vooropening en een achter-; opening in de voor- en achterwanden voor het hierdoorheen voeren van | het filmmateriaal, | b) een kathode of geaarde electrode in de vorm van een trommel 10 opgesteld in de plasmakamer en gedragen door een as en roteerbaar om de hartlijn daarvan, waarbij de hartlijn loodrecht staat op de richting tussen de voor- en achteropeningen van de plasmakamer, j c) „ tenminste êën staaf vormige anode of s troom-elec trode aange^ bracht in de plasmakamer axiaal evenwijdig met de kathode in de vorm 15 van de trommel, d) een voorste voorbereidende vacuümkamer welke aan één einde Verbonden is met de voorste opening van de plasmakamer op luchtdichte wijze en aan het andere einde uitmonden in de atmosfeer zodat het langwerpige materiaal hierdoorheen kan worden gevoerd in de plasma- 20 kamer en verdeeld in tenminste twee af dichtkamers, waarbij elke afdichtkamer is voorzien van een paar vertikaal ten opzichte van elkaar opgestelde afdichtrollen, e) een achterste voorbereidende vacuümkamer welke aan één einde aangesloten is op de achteropening van de plasmakamer op luchtdichte j 25 wijze en welke aan het andere einde aan de atmosfeer uitmondt zodat het langwerpige materiaal hierdoorheen kan worden gevoerd uit de plasmakamer en verdeeld in tenminste twee afdichtkamers waarbij elke | afdichtkamer voorzien is van een paar vertikaal tegenover elkaar ge- j legen afdichtrollen, j 30 fi middelen voor het evacueren van de plasmakamer en de j voorbereidende vacuümkamers, j g) middelen voor het leveren van hoogfrequente electrische j stroom aan de anode en de kathode, en j | hj middelen voor het synchroon roterende van de kathode in de i 35 vorm van een trommel en de afdichtrollen. j 81 02 9 6 4 -4-The invented apparatus for continuously treating a low temperature plasma continuous film of a plasma gas at reduced pressure comprises a) at least one plasma chamber having a front opening and a rear; opening in the front and back walls for the passage of | the film material, | b) a cathode or grounded electrode in the form of a drum 10 disposed in the plasma chamber and supported by an axis and rotatable about its axis, the axis being perpendicular to the direction between the front and rear openings of the plasma chamber, jc) At least one rod-shaped anode or current electrode disposed in the plasma chamber axially parallel to the cathode in the form of the drum, d) a front preparatory vacuum chamber connected at one end to the front opening of the plasma chamber airtight and at the other end into the atmosphere so that the elongated material can be passed therethrough in the plasma chamber and divided into at least two sealing chambers, each sealing chamber having a pair of sealing rollers arranged vertically with respect to each other, e) a rear preparatory vacuum chamber which is connected at one end to the rear opening of the plasma chamber in an airtight manner and each opens to the atmosphere at the other end so that the elongated material can be passed therethrough from the plasma chamber and divided into at least two sealing chambers with each | sealing chamber is provided with a pair of vertically opposite sealing rollers, means for evacuating the plasma chamber and the preparatory vacuum chambers, means for supplying high-frequency electric current to the anode and cathode, and j | The means for synchronously rotating the cathode in the form of a drum and the sealing rollers. j 81 02 9 6 4 -4-

De figuren 1 en 2 tonen elk schematisch in dwarsdoorsnede j een zijaanzicht en een bovenaanzicht van de inrichting.Figures 1 and 2 each schematically show, in cross section j, a side view and a top view of the device.

! Fig. 3 toont schematisch een vergrote doorsnede langs I i j de hartlijn van de plasmakamer.! Fig. 3 schematically shows an enlarged cross-section along the axis of the plasma chamber.

5 Fig. 4 toont schematisch het zijaanzicht van de uitgevonden j I | | inrichting welk gewijzigd is door verhogen van het aantal plasma- j kamers tot twee in serie geschakeld.FIG. 4 schematically shows the side view of the invented j | | device which has been modified by increasing the number of plasma chambers to two connected in series.

In het volgende wordt de uitgevonden inrichting beschreven met betrekking tot de bijgaande tekening. j 10 De fig. 1 en 2 tonen schematisch een zijaanzicht en j een bovenaanzicht van een kenmerkende uitvoeringsvorm van de j inrichting.In the following, the invented device is described with respect to the accompanying drawing. Figures 1 and 2 schematically show a side view and j a top view of a typical embodiment of the device.

Volgens deze fig. is de plasmakamer 1, welke zelve trartmelvormig is cm inwendige evacuatie te kunnen weerstaan, 15 voorzien van een vooropening 2 en een achteropening 3 aan de voor- en achterzijwanden van de trarrmelvormige plasmakamer 1.According to this figure, the plasma chamber 1, which itself is truss-shaped to withstand internal evacuation, is provided with a front opening 2 and a rear opening 3 on the front and rear side walls of the truncated plasma chamber 1.

Deze openingen 2 en 3 hebben elk de vorm van een nauwe spleet met een voldoende breedte en hoogte om niet in aanraking te komen met het voortbewegende langwerpige materiaal F.These openings 2 and 3 each have the shape of a narrow slit of sufficient width and height not to come into contact with the traveling elongated material F.

20 In de plasmakamer 1 wordt lage temperatuurplasma opgewekt door het toepassen van een hoogfrequente elektrische stroom tussen de kathode 4 en de anoden 5 welke indien gewenst kunnen zijn voorzien van koelmiddelen. De katohode 4 heeft de vorm van een troirmel gedragen door een horizontale as 6 volgens | 25 figuur 3 welke een axiale doorsnede is van de plasmakamer 1, | waarbij de trommëL roteerbaar is om zijn hartlijn. De kathode 4 is bij voorkeur gemaakt van een metaalmateriaal.In the plasma chamber 1, low temperature plasma is generated by applying a high-frequency electric current between the cathode 4 and the anodes 5, which can be provided with cooling means if desired. The cathode 4 has the shape of a truss drum carried by a horizontal axis 6 according to | Figure 3 which is an axial section of the plasma chamber 1, | the drum being rotatable about its axis. The cathode 4 is preferably made of a metal material.

De inrichting volgens figuur 1 en 2 is voorzien van een groot aantal anoden 5, maar soms kan een enkelvoudige anode 5 30 voldoende zijn om het gewenste effect van de plasmabéhandeling te verkrijgen. Elke anode 5 heeft de vorm van een staaf en is | vast bevestigd op de zijwand 30 van de plasmakamer 1. In een stand axiaal evenwijdig met de troirmelvormige, roteerbare kathode 4 om gelijkmatige afstand vanaf het oppervlak van de kathode over 35 zijn lengte behouden. Wanneer een groot aantal anoden 5 wordt op- f 81 02 9 6 4 -5- I gesteld in de kamer1, hebben alle anoden 5 ongeveer dezelfde | afstand van de oppervlakken van de kathode 4 zodat de gelijkmatig-The device of Figures 1 and 2 is provided with a large number of anodes 5, but sometimes a single anode 5 may be sufficient to obtain the desired effect of the plasma treatment. Each anode 5 has the shape of a bar and is | fixedly attached to the side wall 30 of the plasma chamber 1. In a position axially parallel to the truss-shaped, rotatable cathode 4 to maintain an even distance from the surface of the cathode over its length. When a large number of anodes 5 are set up in chamber 1, all anodes 5 have approximately the same | distance from the surfaces of the cathode 4 so that the

j Ij I

I heid van het electrische veld of, als gevolg daarvan, gelijkmatig- j i i I heid van de intensheid van de lagere temperatuurplasma wordt j 5 verzekerd door de ruimte gevormd door het oppervlak van de kathode 4 en het kooivormige stelsel van de anode 4. Deze anoden 5 | zijn verbonden met een gemeenschappelijk aansluitorgaan van een I hoogfrequente generator (niet getékend) en de kathode 4 is aangesloten op de geaarde aansluiting van de generator.The electric field or, as a result, uniformity of the intensity of the lower temperature plasma is ensured by the space formed by the surface of the cathode 4 and the cage-shaped system of the anode 4. These anodes 5 | are connected to a common terminal of an I high frequency generator (not shown) and the cathode 4 is connected to the ground terminal of the generator.

10 Het langwerpige materiaal F, welke in de plasmakamer 1 i bij de vooropening 2 is binnengébracht, wordt in directe aanraking gébracht met het oppervlak van de roterende kathode 4 door geleiding door een stelsel leirollen 7 en gevoerd naar de achteropening 3 door eveneens geleiden door een ander stelsel leirollen 7 zodat 15 het oppervlak van het materiaal F dat niet in aanraking komt jThe elongated material F, which has been introduced into the plasma chamber 11 at the front opening 2, is brought into direct contact with the surface of the rotating cathode 4 by guiding through a set of guide rollers 7 and passed to the rear opening 3 by also guiding through a other set of guide rollers 7 so that the surface of the material F that does not come into contact j

met het oppervlak van de kathode 4 wordt blootgesteld aan de lage temperatuurplasma opgewekt in de ruimte tussen de kathode 4 en de. anode 5 en wel continu terwijl de kathode 4 wordt geroteerd.. Iwith the surface of the cathode 4 being exposed to the low temperature plasma generated in the space between the cathode 4 and the. anode 5 continuously while the cathode 4 is being rotated. I.

20 Cm vacuumdichtheid van de plasmakamer 1 te verzekeren aan de vooropening 2 en de achteropening 3, is elk van deze openingen verbonden met een voorste voorbereidende vacuümkamer 8 dan wel een achterste voorbereidende vacuümkamer 9, welke respectievelijk, dienen voor het binnenbrengen van het materiaal F 25 in de plasmakamer 1 of het filmmateriaal F uit de plasmakamer 1 te brengen zonder dat toegestaan wordt dat atmosferische lucht in j de plasmakamer 1 binnenkomt. De voorste en achterste voorbereidende' i i | vacuümkamers 8 en 9 zijn luchtdicht verbonden met de vooropening j | 2 en de achteropening 3 van de plasmakarter 1 en elk van de voorbe- j | 30 reidende vacuümkamers 8 en 9 is verdeeld door schotten in tenminste1 j. twee afdichtkamers 8a, 8b, 8c enz. of 9a,9b,9e_ enz.Het model volgens! de figuren 1 en 2 is voorzien van vier afdichtkamers in elk van de | . voorbereidende vacuümkamers 8 en 9.To ensure 20 cm vacuum tightness of the plasma chamber 1 to the front opening 2 and the rear opening 3, each of these openings is connected to a front preparatory vacuum chamber 8 or a rear preparatory vacuum chamber 9, which respectively serve to introduce the material F 25 into the plasma chamber 1 or the film material F from the plasma chamber 1 without allowing atmospheric air to enter the plasma chamber 1. The front and rear preparatory 'i i | vacuum chambers 8 and 9 are airtightly connected to the front opening j | 2 and the rear opening 3 of the plasma sump 1 and each of the front j | 30 cleaning vacuum chambers 8 and 9 are divided by partitions in at least 1 y. Two sealing chambers 8a, 8b, 8c etc. or 9a, 9b, 9e_ etc. The model according to! Figures 1 and 2 have four sealing chambers in each of the | . preparatory vacuum chambers 8 and 9.

! . . . Elk van de afdichtkamers 8a, 8b enz. of 9a, 9b enz. is ! I ' :! . . . Each of the sealing chambers 8a, 8b etc. or 9a, 9b etc. is! I ':

j. 35 voorzien van een paar afdichtrollen 10a, 10b enz. en 11a, 11b enz. Ij. 35 provided with a pair of sealing rollers 10a, 10b, etc. and 11a, 11b, etc. I

en het filmmateriaal F wordt in de plasmakamer 1 binnengebracht en 81 02 9 64 i -6- geknepen door de paren afdichtrollen 10, 10b enz. in de voorste voorbereidende vacuümkamer 8 en, na te zijn onderworpen aan j de plasmabehandeling in de plasmakamer 1 uit de plasmakamer 1 ! | gevoerd in de atmosferische lucht via de achterste voorbereidende j i 5 vacuümkamer 9 waarbij de film ook wordt geknepen door de paren I i I afdichtrollen 11a, 11b enz. Het spreekt vanzelf dat de afdicht- j i , - i | kamers zijn ontworpen om niet toe te staan dat lucht in de plasma kamer 1 komt hoewel de druk in een afdichtkamer hoger is dan in de naburige afdichtkamer welke dichter bij de plasmakamer 1 is 10 gelegen. In de tekening zijn de drukken van de buitenste afdichtkamers 8a en 9d ongeveer gelijk aan de atmosferische druk en de drukken in de binnenste afdichtkamers lOd en 11a zijn ook ongeveer gelijk, aan de druk in de plasmakamer 1. Op deze wijze wordt het materiaal F welke van de rol 12 wordt getrokken, continu 15 behandeld met lage tenperatuurplasma in de plasmakamer 1 en daarna opgerold op de rol 13 bij continu verplaatsen van de buitenlucht naar de buitenlucht.and the film material F is introduced into the plasma chamber 1 and squeezed by the pairs of sealing rollers 10, 10b etc. into the front preparatory vacuum chamber 8 and, after being subjected to the plasma treatment in the plasma chamber 1 the plasma chamber 1! | fed into the atmospheric air through the rear preparatory vacuum chamber 9, the film also being squeezed by the pairs of sealing rollers 11a, 11b, etc. It goes without saying that the sealing ji, - i | chambers are designed not to allow air to enter the plasma chamber 1 although the pressure in a sealing chamber is higher than in the neighboring sealing chamber which is located closer to the plasma chamber 1. In the drawing, the pressures of the outer sealing chambers 8a and 9d are approximately equal to the atmospheric pressure and the pressures in the inner sealing chambers 10d and 11a are also approximately equal to the pressure in the plasma chamber 1. In this way, the material F is pulled from the roll 12, continuously treated with low temperature plasma in the plasma chamber 1 and then rolled up on the roll 13 with continuous movement of the outside air to the outside air.

Het spreekt vanzelf dat de plasmakamer 1 en de afdichtkamers in de voorbereidende vacuümkamers 8 en 9 elk worden geëvacueerd 20 met een afzonderlijke vacuumpomp. Een gemakkelijke wijze in dit geval is echter dat de afdichtkamers in de voorste en de achterste voorbereidende vacuümkamers 8 en 9, welke op enige afstand of in dezelfde orde zijn gelegen van de pla|makamei:^l, bijvoorbeeld de afdichtkamers 8a en 9d of 8b en 9c-en 9b met 'zijn tweeen worden 25 gecombineerd en de afdichtkamers van elk van de aldus gecombineerde paren worden aangesloten op één en dezelfde vacuumpomp aangezien dé drukken in de symmetrisch ten opzichte van de plasmakamer 1 gelegen afdichtkamers ongeveer gelijk zijn. Zoals aangegeven in figuur 2 worden' de plasmakamer 1, de afdichtkamers 8c en 9b paarsgewijs, 8b I 30 en 9c paarsgewijs en 8a en 9d paarsgewijs geëvacueerd met de j vacuumpompen 14, 15, 16 en 17 via vacuumleidingen 18, 19, 20 en 21.| Als hierboven opgemerkt wordt het langwerpige materiaal F afgetrokken van de uitgaande rol 12 en opgerold in de rol j 13 bij van de buitenlucht overdragen naar de buitenlucht via 35 de voorste voorbereidende vacuümkamer 8, de plasmakamer 1 en de 81 02 9 6 4 -7- achterste voorbereidende vacuümkamer 9 met spanrollen 22 en 23. j Het transport van de filmmateriaal F door de inrichting wordt I geregeld door synchrone rotatie van de trommelvormige kathode 4 ! j en de afdichtrollen 10a, 11a enz. in de voorbereidende vacuum- j 5 kamers 8 en 9. De gesynchroniseerde rotatie van de kathode en j ; deze rollen is zeer essentieel voor het gelijkmatige transport j I van het filmmateriaal F door de inrichting. Om de synchrone j rotatie te verzekeren van de kathode en de afdichtrollen 10a, \ 11a enz. alsmede de oprolhaspel 13, worden zij aangedreven door 10 een gemeenschappelijke aandrijfas 24 door een motor 25 met aan- j drijvingen 26 voor de afdichtrollen in de voorste voorbereidende vacuümkamer 8, aandrijvingen 27 voor de kathode 4 in de plasma-kamer 1 en aandrijvingen 28 voor de afdichtrollen in de achterste voorbereidende vacuümkamer 9 en aandrijvingen 29 voor de oprol-15 haspel 13, Geen aandrijfkracht wordt geleverd aan de uitgaande rol 12 en de spanrollen 22 en 23 aangezien zij passief worden geroteerd. Het spreekt vanzelf dat de aanvangrol 12 weggelaten kan worden wanneer de uitgevonden inrichting voor plasmabéhande-ling zich onmiddellijk benedenstrooms bevindt van inrichtingen 20 voor vervaardigen van films zoals een kalendermachine, extru- deermachine en dergelijke voor kunststoffilm en een weefstoel voor weefsel, waarbij het in de machine vervaardigde materiaal onmiddellijk wordt gevoerd in de voorste voorbereidende vacuümkamer 8.It goes without saying that the plasma chamber 1 and the sealing chambers in the preparatory vacuum chambers 8 and 9 are each evacuated with a separate vacuum pump. An easy way in this case, however, is that the sealing chambers in the front and rear preparatory vacuum chambers 8 and 9, which are spaced or in the same order from the plasma, for example, the sealing chambers 8a and 9d or 8b and 9c-9b with its twos are combined and the sealing chambers of each of the pairs thus combined are connected to one and the same vacuum pump since the pressures in the sealing chambers located symmetrically with respect to the plasma chamber 1 are approximately equal. As shown in Figure 2, the plasma chamber 1, the sealing chambers 8c and 9b are paired, 8b I 30 and 9c paired and 8a and 9d are evacuated in pairs with the vacuum pumps 14, 15, 16 and 17 via vacuum lines 18, 19, 20 and 21 . | As noted above, the elongated material F is subtracted from the outgoing roll 12 and rolled up in the roll j 13 when transferring from the outside air to the outside air through the front preparatory vacuum chamber 8, the plasma chamber 1 and the 81 02 9 6 4 -7- rear preparatory vacuum chamber 9 with tension rollers 22 and 23. j The transport of the film material F through the device is controlled by synchronous rotation of the drum-shaped cathode 4! j and the sealing rollers 10a, 11a, etc. in the preparatory vacuum chambers 8 and 9. The synchronized rotation of the cathode and j; these rollers are very essential for the uniform transport of the film material F through the device. To ensure synchronous rotation of the cathode and the sealing rollers 10a, 11a, etc., as well as the take-up reel 13, they are driven by a common drive shaft 24 by a motor 25 with drive rollers 26 in the front preparatory rollers. vacuum chamber 8, drives 27 for the cathode 4 in the plasma chamber 1 and drives 28 for the sealing rollers in the rear preparatory vacuum chamber 9 and drives 29 for the take-up reel 15, No driving force is supplied to the output roller 12 and the tension rollers 22 and 23 as they are rotated passively. It goes without saying that the initial roll 12 can be omitted when the invented plasma treatment device is immediately downstream of film making devices 20 such as a calender machine, extruder, and the like, for a plastic film and a fabric weaving chair. machine-made material is immediately fed into the front preparatory vacuum chamber 8.

25 Figuur 3 toont schematisch op vergrote schaal een j axiale dwarsdoorsnede van de plasmakarrer 1 met de trommelvormige kathode 4, de anoden 5 en de leirollen 7 hierin opgesteld. De as 6 welke de kathode 4 draagt, is vrijdragend in één van de zij- | wanden 30 aangébracht met behulp van een mechanische afdichting i i 30 31 en elk van de anoden 5 steekt in de zijwand 30 en is electrisch j geïsoleerd door de isolator 32 terwijl de leirollen 7 binnen de | kamer kunnen zijn opgesteld. Opgemerkt wordt dat volgens figuur 3 | de kathode 4, de anoden 5 en de leirollen 7 allen zijn bevestigd | op de ene zijwand 30 op vrijdragende wijze en de andere zijwand I 35 33 is vrij van de taak van het dragen van de kathode 4 enz. In ; 8102964 -8- plaats daarvan is de zijwand 33 uitgevoerd als een verwijderbare ; deksel met een vacuumafdichtende flens 33a. Een vacuumleiding 18 j voor het evacueren van de plasmakamer 1 voert vanaf de bodem j van de kamer 1. j 5 De bovenbeschreven werkverdeling van de zijwanden j | 30 en 33 is van groot voordeel aangezien de zijwand of !Figure 3 schematically shows on an enlarged scale an axial cross-section of the plasma cutter 1 with the drum-shaped cathode 4, the anodes 5 and the guide rollers 7 arranged therein. The shaft 6 carrying the cathode 4 is cantilevered in one of the side walls 30 fitted by means of a mechanical seal 31 and each of the anodes 5 protrudes into the side wall 30 and is electrically insulated by the insulator 32 while the guide rollers 7 are within the room. It is noted that according to figure 3 | the cathode 4, the anodes 5 and the guide rollers 7 are all attached on one side wall 30 in a cantilevered manner and the other side wall I 35 33 is free from the task of carrying the cathode 4 etc. In; Instead, side wall 33 is constructed as a removable one; lid with a vacuum sealing flange 33a. A vacuum line 18 j for evacuating the plasma chamber 1 leads from the bottom j of the chamber 1. j 5 The above-described work distribution of the side walls j | 30 and 33 is of great advantage since the sidewall or!

het verwijderbare deksel 33 kan worden verwijderd om de aanvangen- j de instelling te vergemakkelijken van het vooreinde van het Ithe removable cover 33 can be removed to facilitate initial adjustment of the front end of the I

materiaal F door de plasmakamer 1 alsmede voor het inspecteren en 10 reinigen van de binnenzijde van de plasmakamer 1 met inbegrip van de elektroden 4 en 5 en de leirollen 7 zodat een zeer hoge werk-doelmatigheid wordt verkregen bij de uitgevonden inrichting.material F through the plasma chamber 1 as well as for inspecting and cleaning the inside of the plasma chamber 1 including the electrodes 4 and 5 and the guide rollers 7 so that a very high working efficiency is obtained in the invented device.

Bovendien is de zijwand 30 welke de elektroden 4 en 5 en de leirollen 7 draagt, zodanig ontworpen dat deze zijwand 15 ondersteboven kan worden aangebracht op het lichaam van de plasmakamer 1, dat wil zeggen over 180° geroteerd, waarbij de onderlinge opstelling van de elektroden en de leirollen ongewijzigd is. Deze uitvoering van de zijwand 30 is van voordeel wanneer achtereenvolgens behandelen van de bovenzijde en onder-20 zijde van een materiaal door lage temperatuurplasma gewenst is. door het toepassen van twee plasmakamers van hetzelfde ont- i werp en in serie opgesteld.In addition, the side wall 30 carrying the electrodes 4 and 5 and the guide rollers 7 is designed such that this side wall 15 can be mounted upside down on the body of the plasma chamber 1, i.e. rotated through 180 °, with the mutual arrangement of the electrodes and the guide rollers are unchanged. This embodiment of side wall 30 is advantageous when successive treatment of the top and bottom of a material by low temperature plasma is desired. by using two plasma chambers of the same design and arranged in series.

Figuur 4 toont schematisch zulk een opstelling van de uitgevonden inrichting in zijaanzicht, waarbij twee plasmakamers 25 la en lb in serie zijn opgesteld waarbij de achteropening 3a van de eerste plasmakamer la en de vooropening 2b van de tweede plasmakamer lb met elkaar zijn verbonden en waarbij de voorste en achterste voorbereidende vacuümkamers 8 en 9 zijn respectievelijk verbonden met de voorste plasmakamer la en de achterste plasmakamer 30 Ib. De plasmakamers la en lb kunnen volgens hetzelfde ontwerp ; zijn geconstrueerd, maar de zijwanden van deze kamers voor het dragen van de betrokken electroden en leirollen zijn aan de respectieve lichamen van de kamers in omgekeerde stand ten opzichte van elkaar aangebracht. In andere woorden, de zijwand van de 35 tweede plasmakamer lb staat ondersteboven ten opzichte van de ! 8102964 -9- zijwand van de eerste plasmakamer la zodat het materiaal F welke j door deze kamers la en lb wordt gevoerd, eerst in de plasma-atmos- j feer aan één oppervlak wordt blootgesteld in de eerste kamer la en vervolgens wordt gevoerd in de tweede kamer lb waar het andere 5 oppervlak van het materiaal F wordt blootgesteld aan de plasma-atmosfeer. Op deze wijze kan het materiaal F worden behandeld aan beide oppervlakken met lage temperatuurplasma in een enkelvoudige continue bewerking zodat een grote verbetering in werkdoelmatigheid wordt verkregen. j 10 Wanneer het effect van de plasmabéhandeling slechts | gewenst is op één oppervlak van het materiaal, is het vanzelfsprekend Hogelijk dat de zijwanden van de beide plasmakamers la en lb op dezelfde wijze zijn aangebracht op de lichamen van de betrokken kamers zodat het filmmateriaal F wordt blootgesteld 15 aan de plasma-atmosfeer aan het ene oppervlak in de eerste plasmakamer la en wordt blootgesteld aan de plasma-atmosfeer op hetzelfde oppervlak in de tweede plasmakamer lb met als gevolg ; een dubbele tijdsduur van blootstellen aan de plasma-atmosfeer. Omgekeerd, kan de snelheid van filmtransport door de plasmakamers j 20 worden verdubbeld wanneer het effect van het blootstellen aan | plasma,, welke proportioneel wordt aangenomen ten aanzien van de tijd van blootstellen aan de plasma-atmosfeer, als gewenst in j een enkele doorgang dezelfde is. Daardoor kan de doelmatigheid van ; de plasmabéhandeling worden verhoogd door slechts het aantal j 25 plasmakamers te verhogen, waarbij slechts een paar voorste en achterste voorbereidende vacuümkamers zijn aangesloten op de i voorste en .de achterste van een combinatie in serie van plasma- i | kamers. Het aantal plasmakamers is vanzelfsprekend niet beperkt j | tot twee maar kan drie of meer zijn naargelang de gewenste I 30 werkdoelmatigheid bij overeenkomstig verhoogde snelheid van materiaal transport door de plasmakamers.Figure 4 schematically shows such an arrangement of the invented device in side view, in which two plasma chambers 25a and 1b are arranged in series, the rear opening 3a of the first plasma chamber 1a and the front opening 2b of the second plasma chamber 1b being connected to each other and wherein the front and rear preparatory vacuum chambers 8 and 9 are respectively connected to the front plasma chamber 1a and the rear plasma chamber 30 Ib. The plasma chambers 1a and 1b can be of the same design; are constructed, but the side walls of these chambers for carrying the electrodes and guide rollers involved are mounted on the respective bodies of the chambers in inverse position to each other. In other words, the side wall of the second plasma chamber 1b is upside down relative to the! 8102964 -9- side wall of the first plasma chamber 1a so that the material F which is passed through these chambers 1a and 1b is first exposed in the plasma atmosphere to one surface in the first chamber 1a and then is fed into the second chamber 1b where the other surface of material F is exposed to the plasma atmosphere. In this way, the material F can be treated on both surfaces with low temperature plasma in a single continuous operation so that a great improvement in working efficiency is obtained. j 10 When the effect of the plasma treatment is only | is desired on one surface of the material, it is obvious that the sidewalls of both plasma chambers 1a and 1b are similarly applied to the bodies of the chambers concerned so that the film material F is exposed to the plasma atmosphere on the one surface in the first plasma chamber 1a and is exposed to the plasma atmosphere on the same surface in the second plasma chamber 1b resulting in; a double duration of exposure to the plasma atmosphere. Conversely, the speed of film transport through the plasma chambers j 20 can be doubled when the effect of exposure to | plasma, which is assumed to be proportional to the time of exposure to the plasma atmosphere, if desired in a single pass is the same. As a result, the efficiency of; the plasma treatment are increased by only increasing the number of plasma chambers, with only a few anterior and posterior preparatory vacuum chambers connected to the anterior and posterior of a combination in series of plasma i | Rooms. The number of plasma chambers is of course not limited j | up to two but may be three or more depending on the desired operating efficiency at a correspondingly increased rate of material transport through the plasma chambers.

i j | De uitvinding is toepasbaar op verschillende, in hoofdzaak i organische, langwerpige materialen zoals films van kunststof j i | zoals polivenylchloride, polyethyleen, nylon, polyester,i j | The invention is applicable to various, mainly organic, elongated materials, such as plastic films such as polivenyl chloride, polyethylene, nylon, polyester,

i 35 cellulose-acetate of vellen van natuurlijke of synthetische rubber I en geweven, niet-geweven en gebreide weefsels van natuurlijke of Ii 35 Cellulose acetate or sheets of natural or synthetic rubber I and woven, non-woven and knitted fabrics of natural or I

8102964 -10- synthetische vezels of houtvizeer, papier en combinaties hiervan. | Zoals uit het voorgaande blijkt is de uitgevonden inrichting voor het continu behandelen van langwerpig materiaal met j lage temperatuurplasma van groot voordeel door de hoge doel- j 5 matigheid van de plasmabehandeling alsmede door de grote aanpas-j baarheid van de inrichting welke in staat is om te voldoen aan i verschillende eisen naargelang het materiaal van het te behandelen i materiaal en de gewenste aard van de effecten van de plasmabehande-i ling. | 10 j i i t j j j 1 8102964 i8102964 -10- synthetic fibers or wood visor, paper and combinations thereof. | As can be seen from the foregoing, the invented device for the continuous treatment of elongated material with low temperature plasma is of great advantage due to the high efficiency of the plasma treatment as well as due to the great adaptability of the device which is capable of meet different requirements according to the material of the material to be treated and the desired nature of the effects of the plasma treatment. | 10 j i i t j j j 1 8102964 i

Claims (7)

1. Inrichting voor het continu behandelen van een continue strook materiaal met lage temperatuurplasma van een plasmagas j bij verlaagde druk, gekenmerkt door: | I a) tenminste één plasmakamer met een vooropening en ! 5 een achteropening in de voorwand respectievelijk achterwand I vxrhet transport van de strook hierdoorheen, j · | b) een kathode in de vorm van een trommel opgesteld i ! in de plasmakamer en gedragen door een as en roteerbaar om de j hartlijn daarvan waarbij de as loodrecht staat op de lijn 10 tussen de vooropening en de achteropening van de plasmakamer, c) tenminste ëén staafvormige anode opgesteld in de plasmakamer axiaal evenwijdig aan de trommelvormige kathode, d) een voorste voorbereidende vacuümkamer welke aan ëén einde luchtdicht is aangesloten op de vooropening van de 15 plasmakamer en welke aan het andere einde uitmondt in de atmosfeer zodat de strook, hierdoorheen kan worden gevoerd in de plasmakamer, waarbij de. vacuümkamer verdeeld is in tenminste twee afdichtkamers welke elk, zijn voorzien van twee verticaal tegenover elkaar gelegen af dichtrollen, 20 e), een achterste voorbereidende vacuümkamer welke aan ëên einde op luchtdichte wijze is aangesloten op de achteropening van de plasmakamer en welke uitmondt aan het andere einde op de atmosfeer zodat de strook hierdoorheen uit de plasmakamer kan worden gevoerd, waarbij de achterste vacuümkamer verdeeld is 25 in tenminste afdichtkamers welke elk zijn voorzien van één paar Verticaal tegenover elkaar gelegen afdichtrollen, f i middelen voor het evacueren, van de plasmakamer en de voorbereidende vacuümkamers, ! g) middelen voor het leveren van hoogfrequente electrische i 30 stroom aan de kathode en anode en hl middelen voor het synchroon roteren van de troinnelvormige kathode en de afdichtrollen en de oprolhaspel. 'A device for continuously treating a continuous strip of low temperature plasma material of a plasma gas at reduced pressure, characterized by: | I a) at least one plasma chamber with a front opening and! 5 a rear opening in the front wall and rear wall I for transporting the strip therethrough, b) a cathode in the form of a drum arranged i! in the plasma chamber and carried by an axis and rotatable about its axis, the axis being perpendicular to the line 10 between the front opening and the rear opening of the plasma chamber, c) at least one rod-shaped anode arranged in the plasma chamber axially parallel to the drum-shaped cathode , d) a front preparatory vacuum chamber which is hermetically connected at one end to the front opening of the plasma chamber and which opens at the other end into the atmosphere so that the strip can be passed through it in the plasma chamber, wherein the. vacuum chamber is divided into at least two sealing chambers, each of which is provided with two vertically opposite sealing rollers, 20 e), a rear preparatory vacuum chamber which is air-tight at one end to the rear opening of the plasma chamber and which opens at the other end to the atmosphere so that the strip can be passed therethrough from the plasma chamber, the rear vacuum chamber being divided into at least sealing chambers each comprising one pair of vertically opposed sealing rollers, means for evacuation, of the plasma chamber and the preparatory vacuum chambers! g) means for supplying high-frequency electric current to the cathode and anode and means for synchronously rotating the trunnion-shaped cathode and the sealing rollers and the take-up reel. ' 2. Inrichting volgens conclusie 1 gekenmerkt door tenminste 1 ! één leirol aangebracht in de plasmakamer voor het leiden van de j : ' i I ................................................................._ _....... ..................................................................j 81 02 9 6 4 -12- •4 * strook welke ±n aanraking dient te komen met het oppervlak van de kathode.Device according to claim 1, characterized by at least 1! one guide roller fitted in the plasma chamber to guide the j: 'i I .................................. ..............................._ _....... .......... .................................................. ...... j 81 02 9 6 4 -12- • 4 * strip which should come into contact with the cathode surface for ± one. 3. Inrichting volgens conclusie 2, gekenmerkt doordat de kathode, de anode en de leirol tezamen zijn aangebracht 5 op ëën van de zijwanden van de plasmakamer op vrijïragende wijze, waarbij de andere zijwand van de plasmakamer een ver- ! wijderbare deksel is van de plasmakamer.3. Device according to claim 2, characterized in that the cathode, the anode and the guide roller are arranged together on one of the side walls of the plasma chamber in a cantilevered manner, the other side wall of the plasma chamber being in a cantilevered manner. removable lid is from the plasma chamber. 4. Inrichting volgens conclusie 3, gekenmerkt doordat de \ - | zijwand van de plasmakamer welke de kathode, de anode en de I ! | 1. leirol draagt, demonteerbaar en ondersteboven bevestigbaar is. | i :Device according to claim 3, characterized in that the - side wall of the plasma chamber containing the cathode, the anode and the I! | 1. Carrying guide roller, can be dismantled and mounted upside down. | i: 5. Inrichting volgens conclusie 1, gekenmerkt doordat j de middelen voor het evacueren van de plasmakamer en de j voorbereidende vacuümkamers bestaan uit een aantal vacuumleidingen j | welke elk zijn verbonden met hetzij de plasmakamer of ëën van ! 15 de paren afdichtkamers, waarbij elk paar afdichtkamers een combinatie is van de afdichtkamers en de voorste en achterste voorbereidende vacuümkamers gelegen op symmetrische wijze ! ten opzichte van de plasmakamer en een betrokken vacuumpomp. | iDevice as claimed in claim 1, characterized in that the means for evacuating the plasma chamber and the vacuum chamber preparatory j consist of a number of vacuum lines j | each of which is connected to either the plasma chamber or one of! 15 the pairs of sealing chambers, each pair of sealing chambers being a combination of the sealing chambers and the front and rear preparatory vacuum chambers located symmetrically! relative to the plasma chamber and a concerned vacuum pump. | i 6. Inrichting volgens conclusie 1, gekenmerkt doordat j i 20 de middelen voor het synchroon roteren van de kathode, de afdichtrollen en de oprolhaspel bestaan uit een motor, een j aandrijfas aangedreven door de motor en aandrijvingen voor het j overdragen van aandrijvênde kracht vanaf de aandrijfas op j de kathode en de afdichtrollen en de oprolhaspel. 256. Device according to claim 1, characterized in that the means for synchronous rotation of the cathode, the sealing rollers and the take-up reel consist of a motor, a drive shaft driven by the motor and drives for transferring driving force from the drive shaft on the cathode and the sealing rollers and the take-up reel. 25 7. Inrichting volgens conclusie 4, gekenmerkt door twee in serie met elkaar verbonden plasmakamers, waarbij de kathode, anode en leirollen in de tweede plasmakamers ondersteboven ! | zijn opgesteld ten opzichte van de kathode, anode en leirollen | in de eerste plasmakamer. I 30 I 1 | I 81 02 9 6 4 ! ;Device according to claim 4, characterized by two plasma chambers connected in series, the cathode, anode and guide rollers in the second plasma chambers upside down! | are arranged with respect to the cathode, anode and guide rollers | in the first plasma chamber. I 30 I 1 | I 81 02 9 6 4! ;
NL8102964A 1980-06-21 1981-06-19 DEVICE FOR CONTINUOUSLY TREATMENT OF LONG-TERM FILM MATERIAL WITH LOW TEMPERATURE PLASMA. NL8102964A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8492380 1980-06-21
JP8492380A JPS5718737A (en) 1980-06-21 1980-06-21 Apparatus for continuous plasma treatment

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL8102964A true NL8102964A (en) 1982-01-18

Family

ID=13844216

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL8102964A NL8102964A (en) 1980-06-21 1981-06-19 DEVICE FOR CONTINUOUSLY TREATMENT OF LONG-TERM FILM MATERIAL WITH LOW TEMPERATURE PLASMA.

Country Status (12)

Country Link
JP (1) JPS5718737A (en)
KR (1) KR840000727B1 (en)
AU (1) AU547901B2 (en)
BE (1) BE889306A (en)
DE (1) DE3124280A1 (en)
DK (1) DK270081A (en)
FR (1) FR2485319A1 (en)
GB (1) GB2080611B (en)
IT (1) IT1136887B (en)
NL (1) NL8102964A (en)
NO (1) NO155990C (en)
SU (1) SU1039438A3 (en)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5773026A (en) * 1980-10-27 1982-05-07 Shin Etsu Chem Co Ltd Apparatus for continuous plasma treatment
JPS57195742A (en) * 1981-05-29 1982-12-01 Shin Etsu Chem Co Ltd Vacuum treatment apparatus
JPS57195750A (en) * 1981-05-29 1982-12-01 Shin Etsu Chem Co Ltd Vacuum treatment apparatus
JPS58120860A (en) * 1982-01-06 1983-07-18 株式会社山東鉄工所 Low temperature plasma treating apparatus of sheet-like substance
US4511419A (en) * 1982-04-23 1985-04-16 Firma Erwin Kampf Gmbh & Co. Method and device for laminating foils
JPS58210844A (en) * 1982-06-01 1983-12-08 Sando Iron Works Co Ltd Method and device for controlling temperature of material to be treated in low temperature plasma atmosphere
JPS5953541A (en) * 1982-09-20 1984-03-28 Shin Etsu Chem Co Ltd Surface improvement of organic polymer formed product
JPS6040235A (en) * 1983-08-15 1985-03-02 Idemitsu Petrochem Co Ltd Continuous plasma processing method and apparatus for thermoplastic resin
EP0130444B1 (en) * 1983-06-17 1987-09-23 Hitachi, Ltd. Continuous vacuum treating apparatus
JPS6019073A (en) * 1983-07-11 1985-01-31 Nippon Kokan Kk <Nkk> Preparation of modified precoated steel plate
JPS62274080A (en) * 1986-05-21 1987-11-28 Hitachi Ltd Plasma treatment
IT1223074B (en) * 1986-11-19 1990-09-12 Martin Processing Co Inc SAFETY WINDSHIELD AND METHOD TO MANUFACTURE IT
KR910005158B1 (en) * 1987-06-05 1991-07-23 가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼 Apparatus for vacuum continuous treatment
EP0527859B1 (en) * 1990-05-10 1995-07-19 Eastman Kodak Company Apparatus for-plasma treatment of continuous material
AU644177B2 (en) * 1990-05-10 1993-12-02 Eastman Kodak Company Apparatus for-plasma treatment of continuous material
DE29600991U1 (en) * 1996-01-20 1997-05-22 Strämke, Siegfried, Dr.-Ing., 52538 Selfkant Plasma reactor
WO1999058755A1 (en) * 1998-05-08 1999-11-18 Asten, Inc. Structures and components thereof having a desired surface characteristic together with methods and apparatuses for producing the same
AU3892899A (en) * 1998-05-08 1999-11-29 Asten, Inc. Structures and components thereof having a desired surface characteristic together with methods and apparatuses for producing the same
US6287687B1 (en) 1998-05-08 2001-09-11 Asten, Inc. Structures and components thereof having a desired surface characteristic together with methods and apparatuses for producing the same
WO2004101891A1 (en) * 2003-05-13 2004-11-25 Universitá Degli Studi Di Milano-Bicocca Method for plasma treating paper and cardboards
AT504466B1 (en) * 2006-10-25 2009-05-15 Eiselt Primoz METHOD AND DEVICE FOR DEGASSING OBJECTS OR MATERIALS USING THE OXIDATIVE RADICALS
JP2009082796A (en) * 2007-09-28 2009-04-23 Tokyo Institute Of Technology Plasma treatment device/method
CN108655115A (en) * 2018-06-01 2018-10-16 江阴瑞兴科技有限公司 A kind of continuous feeding/discharging type plasma cleaning equipment
CN110139457B (en) * 2018-11-06 2024-05-24 南京苏曼等离子科技有限公司 Sub-vacuum low-temperature plasma on-line continuous material processing device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1135112B (en) * 1956-04-10 1962-08-23 Hoerder Huettenunion Ag Glow discharge vessel with alternating current supply for high-current discharges for the treatment of bodies placed in the vessel
DE2028862A1 (en) * 1970-06-11 1971-12-16 Steigerwald K Pressure lock system for a chamber in which the pressure is different from the ambient pressure
US3870610A (en) * 1972-03-09 1975-03-11 Grace W R & Co Cold plasma treatment of materials
JPS50161475A (en) * 1974-06-20 1975-12-27
JPS5385741A (en) * 1977-01-07 1978-07-28 Nippon Steel Corp Continuous evaporation plating method of steel band
FR2420401A1 (en) * 1978-03-20 1979-10-19 Wentgate Engineers 1976 Ltd Continuous feeding of workpieces through sealed chamber - esp. for electron beam welding, brazing, evapn., leak detection, and all other operations conducted in vacuo (DK 15.10.79)

Also Published As

Publication number Publication date
BE889306A (en) 1981-10-16
NO155990B (en) 1987-03-23
GB2080611B (en) 1984-06-20
KR840000727B1 (en) 1984-05-24
FR2485319A1 (en) 1981-12-24
NO812087L (en) 1981-12-22
NO155990C (en) 1987-07-01
KR830006025A (en) 1983-09-17
FR2485319B1 (en) 1985-01-04
JPS5718737A (en) 1982-01-30
AU547901B2 (en) 1985-11-14
IT1136887B (en) 1986-09-03
IT8122492A0 (en) 1981-06-22
GB2080611A (en) 1982-02-03
DE3124280A1 (en) 1982-05-27
SU1039438A3 (en) 1983-08-30
JPH0341496B2 (en) 1991-06-24
AU7204681A (en) 1982-01-07
DK270081A (en) 1981-12-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL8102964A (en) DEVICE FOR CONTINUOUSLY TREATMENT OF LONG-TERM FILM MATERIAL WITH LOW TEMPERATURE PLASMA.
JPS62274080A (en) Plasma treatment
US894070A (en) Extraction of water or other liquid from mineral, vegetable, and animal substances.
RU2496703C2 (en) Device and method of coiled material transfer
JP3292924B2 (en) Continuous plasma grafting method
CN215713963U (en) Multistage dyeing padding device of cloth
DK155699B (en) METHOD AND APPARATUS FOR SURFACE TREATMENT OF FILM COATS BY ELECTRIC CORONA DISPOSAL
US3288465A (en) Pneumatic conveyor for synthetic plastic wrapping sheets
JPS59120637A (en) Low-temperature plasma treatment of sheet-form material
SU1386477A1 (en) Apparatus for continuous imregnation of elongated material
US3605226A (en) Method for treating tubular fabrics
JPH034571B2 (en)
JPH0334777B2 (en)
JPS61271335A (en) Plasma treating apparatus for sheet
JPS62174235A (en) Plasma treatment apparatus for long object
US2134172A (en) Apparatus for manufacturing rubber hydrochloride films
JPS62172034A (en) Plasma treating apparatus
JPS60226533A (en) Apparatus for continuous plasma treatment
SU720081A1 (en) Apparatus for drying continuously moving porous material
SU826176A1 (en) Apparatus for drying clothes
JPS62294436A (en) Low plasma treatment system
JPS61207445A (en) Plasma treating apparatus for sheet
JPS636030A (en) Apparatus for treating sheet material with plasma
JPS61157535A (en) Apparatus for continuous treatment in vacuum
JP2004319223A (en) Atmospheric pressure plasma treatment device

Legal Events

Date Code Title Description
A85 Still pending on 85-01-01
BV The patent application has lapsed