NL8000898A - Weergeefstift voor informatiesignaalregistreermedium van elektrostatisch capacitieve soort. - Google Patents

Description

Weergeefstift voor informatiesignaalregistreermedium van elektrostatisch capacitieve soort.

De uitvinding heeft in het algemeen betrekking op een weergeefstift voor een informatiesignaalregistreermedium van de elektrostatisch capacitieve soort.

In het bijzonder heeft de uitvinding betrekking op 5 een weergeefstift voor het weergeven, als variaties van elektrostatische capaciteit, van een informatiesignaal geregistreerd als variaties in geometrische configuraties op een schijfvormig registreer-medium, welke stift een elektrodedeel heeft, gevormd op het stift-lichaam daarvan door een ionen-implantatieproces.

10 In het algemeen heeft een informatiesignaalregistreer- medium van elektrostatisch capacitieve soort bij een voorbeeld daarvan een constructie, bestaande uit een registreermediumstructuur, gemaakt uit synthetische hars en met op het oppervlak daarvan gevormd, variaties van geometrische vormen, gemaakt uit een aantal putten in 15 overeenstemming met een informatiesignaal, een dunne film van elektrisch geleidend metaal gevormd door neerslag met verdamping op het oppervlak van de registreermediumstructuur, en een dunne film van dielektrisch materiaal gevormd in hechtende toestand op de dunne metalen film. Een weergeefstift voor het relatief volgen van dit 20 informatiesignaalregistreermedium van elektrostatisch capacitieve soort en voor het weergeven van een informatiesignaal, daarop geregistreerd, heeft een elektrode.

Wanneer een weergeefstift met een elektrode loopt over het oppervlak van een registreermedium, vervaardigt op deze 25 wijze, varieert de elektrostatische capaciteit tussen de elektrode van de weergeefstift en de dunne metalen film van het registreermedium via de dielektrische dunne film of via de dielektrische dunne film en 80 0 0 8 98 Γ * 2 een luchtspleet, in overeenstemming met de variatie van geometrische vorm van het registreermedium. Het geregistreerde signaal wordt weergegeven op een bekende wij ze in overeenstemming met deze variatie van de elektrostatische capaciteit.

5 De elektrode van een weergeefstift van de tot nu toe bekende soort is gevormd als een hechtende laag door het neerslaan van een metaal, zoals tantalium, hafnium of titanium door neerslag door vacuumverdamping of verstuiving op een specifiek oppervlak van een weergeefstiftlichaam, gemaakt van safier of 10 diamant. Aangezien de elektrode van een bekende weergeef-stift van deze aard is gevormd als een hechtende laag door vacuumverdamping of verstuiving van een metaal op het oppervlak van het weergeefstiftlichaam, wordt deze gemakkelijk afgetrokken van het stiftlichaam gedurende het gebruik.· Om deze reden is de levensduur van een bekende 15 weergeefstift van deze soort nadelig kort, en wel in de orde van verscheidene uren tot honderd uren ten hoogste.

Aangezien verder de slijtagebestendigheid van het weergeefstiftlichaam en de elektrode kennelijk verschillend zijn, bij de werking van slijtage van de stifttop wanneer deze 20 het registreermedium aanraakt, dat roteert met hoge snelheid, ondergaan het stiftlichaam en de elektrode geen wederzijds uniforme slijtage. Dit is een andere reden, waarom, de bekende weergeefstift geen goede signaalweergave kan uitvoeren bij een stabiele conditie gedurende een lange tijdsperiode. Nog een ander probleem is de 25 moeilijkheid bij de vervaardiging, om metalen lagen neer te slaan door verdamping of verstuiving en wel allemaal met dezelfde dikte op een groot aantal weergeefstiftlichamen, waardoor onregelmatigheden in de eigenschappen van de weergeefstiften op nadelige wijze optreden.

30 In het bijzonder in het geval waar diamant, dat een hoge slijtagebestendigheid heeft, wordt gebruik voor het stiftlichaam, is het moeilijk een metaal daarop neer te slaan door verdamping en zelfs wanneer een metalen laag elektrode aldus wordt gevormd, kan deze gemakkelijk worden weggetrokken. Wanneer anderzijds 35 safier wordt gebruikt voor het stiftlichaam, is de neerslag van een 800 0 8 98 3 Γ 4 metalen laag daarop door verdamping gemakkelijker dan op diamant, maar safier heeft geringere slijtagebestendigheid dan diamant, waardoor de levensduur van de safierstift kort is.

Bij het vervaardigen van een weergeefstift volgens 5 de uitvinding wordt de elektrode van de stift niet gevormd door het neerslaan van een metalen laag volgens een gebruikelijke techniek zoals verdamping of verstuiving, maar gevormd als een elektrodedeel op een specifiek vlak van het stiftlichaam door een ionen-implantatie-proces.

10 Het is aldus een algemeen doel van de uitvinding te voorzien in een geschikte weergeefstift voor een informatiesignaal-registreermedium van elektrostatisch capacitieve soort, waarbij bovengeschreven moeilijkheden van bekende weergeefstiften worden overwonnen.

15 Een specifiek doel van de uitvinding is te voorzien in een weergeefstift voor een informatiesignaalregistreermedium van elektrostatisch capacitieve soort, welke een elektrodedeel heeft, gevormd door ionen-implantatie van ionen van een stof zoals een metaal, een metalloide of een halfmetaal, of een halfgeleider. Volgens 20 de uitvinding wordt een elektrodedeel gevormd op een speciaal vlak van een weergeefstiftlichaam door het leveren van elektrische geleidbaarheid aan het stiftlichaam over dat oppervlak tot een specifieke diepte vanaf het buitenoppervlak door ionen-implantatie.

Om deze reden is er geen mogelijkheid het elektrode-25 deel los te trekken. Aangezien verder het elektrodedeel gelijkmatig slijt met het stiftlichaam, kan de weergeefstift goede signaalweergave uitvoeren op een stabiele wijze gedurende een lange gebruiksperiode.

Nog een ander geschikt kenmerk van de uitvinding is, dat bij het vervaardigen van een groot aantal weergeefstiftlichamen, hun elektrode-30 delen uniform kunnen worden gemaakt tot nauwkeurig dezelfde diepte, waardoor weergeefstiften van uniforme eigenschappen kunnen worden vervaardigd bij geringe kosten.

De uitvinding zal aan de hand van de tekening in het volgende nader worden toegelicht.

35 Fig. 1 toont het onderaanzicht van een voorbeeld van 80 0 0 8 98 4 een opneempatroon, waarin de weergeefstift volgens de uitvinding kan worden toegepast.

Fig. 2 toont sterk vergroot in perspectief het uiterste einddeel van een uitvoeringsvorm van de weergeefstift 5 volgens de uitvinding voor een informatiesignaalregistreermedium. van elektrostatisch capacitieve soort.

Een voorbeeld van een opneempatroon voor weergave, waarin een weergeefstift volgens de uitvinding kan worden toegepast, zal worden beschreven aan de hand van fig. 1. Het patroon-10 stelsel 10 heeft een steunplaat 11, aan het onderoppervlak waarvan een hoekstuk 12 van ferromagnetisch materiaal is bevestigd. Een magnetische plaat 13 is aangebracht op een neerwaarts uitstrekkend oppervlak van het hoekstuk 12. Een vrijdragende tweepoot 14 draagt op zijn uiterste of vrije einde een weergeefstift 15, die hierna 15 wordt beschreven, vast gemonteerd daarop. De poten van deze vrijdragende tweepoot passeren bij het nabije einde of basiseinde door een dwarsbrugorgaan 16 en zijn daaraan bevestigd. Een magnetische plaat 17 is bevestigd aan het achtervlak van dit brugorgaan 16.

De vrijdragende hefboom 14 wordt stabiel gedragen met betrekking 20 tot de steunplaat 11 door de magnetische aantrekking door de magnetische plaat 17 tegen de magnetische plaat 13. De weergeefstift 15 heeft op een specifiek oppervlak daarvan een elektrode-oppervlak.

Een einde van een geleidende draad 18 is verbonden met dit elektrode-oppervlak door een elektrisch geleidend hechtmiddel, terwijl het 25 andere einde van de draad 18 is verbonden met een aansluitklem 19, aangebracht op het ondervlak van de steunplaat 11.

Op het tijdstip van het gebruik van het patroon wordt.het patroon 10 aangebracht in een bedieningssectie, voorzien op een roterende deksel (allebei niet getekend) van een wagen.

30 Wanneer de roterende deksel wordt gesloten, wordt de aansluitklem 19 verbonden met de kerngeleider van een coaxiale resonator, aangebracht in de wagen, waarna het patroon wordt gebracht in de toestand waarin signaalweergave kan worden uitgevoerd.

Een weergeefpatroon van deze soort is in 35 detail beschreven in de Nederlandse octrooiaanvrage 78.03443 van 80 0 0 8 98 * 5 aanvrager.

De toestand van het nalopen door de weergeef-stift 15 van het informatiesignaalregistreermedium van elektrostatisch capacitieve soort van schijfvorm, (hierna eenvoudig aangegeven met 5 "schijf") is aangegeven in fig. 2. Deze schijf 21 is niet voorzien van een geleidingsgroef, maar heeft een groot aantal putten, gevormd op zijn oppervlak tengevolge van het geregistreerde signaal. De putten 22 zijn gevormd in de schijf 21 in overeenstemming met het bovengenoemde hoofdinformatiesignaal. Slechts een deel van de spoor-10 omlopen van het hoofdinformatiesignaal, elk bestaande uit een opeenvolging van putten 22, is getekend. De sporen zijn die van een enkel spiraalvormig spoor en zijn respectievelijk delen overeenkomend met de omwentelingen van de schijf 21. Bij de onderhavige uitvoering van de uitvinding is een informatiesignaal van vier velden van een video-15 signaal geregistreerd lang de baan. Bij de onderhavige uitvoeringsvorm zijn de putten zo gevormd, dat een van de randlijnen van elke baan praktisch samenvalt met de nabij gelegen randlijn van de naburige baan. Dit betekent, dat de naburige baan zo is gevormd, dat zij opvolgend aangrenzend zijn. Aldus is de baanspoed praktisch 20 gelijk aan de baanbreedte.

Op centrale posities (samenvallend met de randlijnen van de banen bij de onderhavige uitvoeringsvorm) praktisch midden tussen de hartlijnen van de wederzijds aangrenzende banen zijn hulpsignaalputten 23 en 24 overeenkomend met de hulpsignalen 25 van de verschillende frequenties, gevormd.

’ Een uitvoeringsvorm van de putten van deze soort is beschreven in detail in de Nederlandse octrooiaanvrage 77.03865 van aanvrager.

De schijf 21 omvat een schijfstructuur 25 van 30 polyvinylchloridehars op het bovenoppervlak waarvan de putten 22, 23 en 23 zijn gevormd, een aluminiumfolielaag 26 hechtend op het bovenoppervlak van de schijfstructuur 25 en een dielektrische film 27 hechtend aan het buitenoppervlak van de aluminiumfolielaag 26.

Het ondervlak. 32 van het stiftlichaam 31 35 bestaande uit diamant van de stift 15, heeft een deel met maximum- 80 0 0 8 98 6 breedte, welke groter is dan de baan-spoed van de schijf 21 en heeft een elektrodedeel 33 met een dikte van 500-3000 i?, gevormd door ionen-implantatie op het achtervlak van de stift bij de achterrand 5 van het ondervlak 32. Wanneer schijf 21 roteert volgens de pijlrich-ting A, volgt de baanstift 15 relatief langs het oppervlak van de schijf 21, terwijl de elektrostatische capaciteit tussen het elektrodedeel 33 en een aluminiumfolielaag 26 als een elektrisch geleidende laag welke het gehele oppervlak van de schijf bedekt, tengevolge 10 van de putten 22, waardoor het hoofdinformatiesignaal, geregistreerd door de putten 22, wordt weergegeven.

Te-zelfdertijd worden de hulpsignalen, geregistreerd door de putten 23 en 24, ook weergegeven door het elektrodedeel 33.

In het geval dat het midden van het elektrodedeel 33 afwijkt van 15 de hartlijn van de baan, treedt een niveauverschil op in de weergegeven hulpsignalen. Een stuursignaal gevormd ten gevolge van het niveauverschil wordt toegevoerd naar een bedieningsdeel van de weergeef-inrichting, waardoor baanservowerking wordt uitgevoerd.

Hierna zal het elektrodedeel 33, dat een essen-20 tieel deel vormt van de weergeefstift volgens de uitvinding, worden beschreven.

Als het materiaal voor het stiftlichaam 31 wordt safier gebruikt voor het vormen van een weergeefstift van lage prijs, maar het gebruik van een diamant met een grotere hardheid is wenselijk 25 voor een lange levensduur van de stift. Wat betreft de soort van de te gebruiken diamant zijn er geen speciale bijzonderheden.

Op het tijdstip van het vormen van het elektrodedeel 33 is het stiftlichaam van prismatische vorm van zijn toestand voorafgaand aan het slijpen tot een specifieke stiftvorm, geplaatst, 30 in een toestand waarin het wordt gedragen door een steungereedschap, in de monsterkamer van een ionen-implantatie-inrichting, welke van elke geschikte soort kan zijn. Bij een gewenste uitvoering van ionen-implantatie worden hafniumionen,(Hf) geïmplanteerd in een specifiek oppervlak van een diamantenstiftlichaam met een ionenver-35 snellingsspanning van de orde van 30-100 KeV. Door dit proces worden de hafniumatomen gedreven in de tussenruimten tussen de koolstofatoom- 800 0 8 98 Γ *· 7 roosters van het diamentkristal en de elektrische weerstand van het ionengeimplanteerde deel wordt verminderd tot een mate, waardoor het deel kan worden gebruikt als een elektrode. De diepte (dus de dikte) van de ionengeimplanteerde laag aldus verkregen, is bijvoorbeeld 5 0,3 p en de elektrische weerstand van het deel (elektrodedeel) ge vormd door deze ionenimplantatie, is ongeveer 1 ΚΩ/cm (een voorbeeld van een waarde gemeten door een meetinrichting voor elektrische weerstand). De elektrische weerstand van een diamant is bijvoorbeeld 16 10 Ω/cm, terwijl het elektrodedeel dat is onderworpen aan ionen-10 implantatie, een elektrische geleidbaarheid vertoont.

De aldus geïmplanteerde ionen voor het leveren van elektrische geleidbaarheid aan de diamant, zijn niet beperkt tot die van hafnium en ionen van halfmetalen, halfgeleiders en metalen zoals aluminium (Al), molybdeen (Mo), titanium (Ti), 15 tantalium (Ta), chroom (Cr), nikkel (Ni), koper (Cu), goud (Au), zilver (Ag) en koolstof (C) zijn ook bruikbaar.

Buitendien kan de diepte van ionenimplantatie worden geregeld door op geschikte wijze de iónenimplan-tatie-energie in te stellen. Terwijl de optimumionenversnellings-20 spanning varieert afhankelijk van de soort ionen en de diepte van implantatie, is een geschikte waarde daarvoor gelegen in het gebied van 20-300 KeV, bijvoorbeeld een waarde in de orde van 100 KeV. De reden hiervoor is, dat een ionenversnellingsspanning lager dan 20 KeV zal resulteren in een onvoldoende implantatiediepte, terwijl een 25 ionenversnellingsspanning boven 300 KeV aanleiding zal geven tot verstoring van het kristalrooster van de diamant.

De hoeveelheid van geïmplanteerde ionen 15 25 2 wordt gekozen in een gebied van 10 tot 10 ionen/cm , bijvoorkeur 23 2 bij een waarde van de orde van 1 x 10 ionen/cm . De ionenimplantatie-30 diepte wordt gekozen in een gebied van 0,01 tot 0,5 ym, bijvoorkeur op een waarde van de orde van 0,3 ym.

Wanneer de ionenimplantatiedikte, dat wil zeggen de dikte van het elektrodedeel 33 onvoldoende is, zal de ionengeimplanteerde laag niet werken als een elektrode. Anderzijds 35 kan wanneer deze dikte buitensporig is, afdoende signaalweergave niet 80 0 0 8 98 ♦ 8 worden uitgevoerd vanwege het verband met de dimensie van de putten 22 in de langsrichting van de baan. Aldus wordt met overweging van deze condities, de dikte van het elektrodedeel gekozen op een waarde binnen de bovengenoemde gebieden.

5 De ionenimplantatiedikte, de ionenimplantatie- hoeveelheid en andere grootheden worden zo gekozen in overeenstemming met de soort van ionen, dat de elektrische weerstand van het elektrodedeel zal liggen in een gebied van 1 tot 10^ Ω/cm.

Het stiftlichaam, dat is onderworpen aan het 10 bovenbeschreven ionenimplantatieproces en daardoor een elektrodedeel heeft gekregen, gevormd door de ionenimplantatie op een speciaal oppervlak daarvan, wordt dan gevormd door slijpen tot een speciale vorm. Door deze machinale bewerking wordt een weergeef-stift 15, zoals gedeeltelijk in fig. 2 aangegeven, met een elektrodedeel 33 15 van een vorm met een breedte over een bepaalde afstand opwaarts vanaf de uiterste top, welke kleiner is dan de dwarse baanbreedte van een put 22, verkregen. Het is wenselijk, dat de twee zijranden van het elektrodedeel 33 evenwijdig zijn, maar een divergerende hoek van de orde van 3° tot 8° tussen de twee zijranden, resulterend 20 uit de noodzaak het slijpproces te vergemakkelijken, is niet nadelig bij de huidige praktijk.

Het proces van het slijpen van een weergeefstift van een vorm volgens fig. 2 is in detail beschreven in de Nederlandse octrooiaanvrage 77.12557 van aanvrager.

25 Bij de weergeefstift volgens de uitvinding is het elektrodedeel gevormd door ionenimplantatie in een diamantenstift-lichaam en is niet gevormd als een laag op het oppervlak van het stiftlichaam door verdamping, verstuiving of andere gebruikelijke methode. Om deze reden is er geen mogelijkheid dat het elektrode-30 deel wordt losgetrokken van het stiftlichaam, zelfs na een lang gebruik van het volgen van de schijf 21. Daarom wordt, in het geval dat de tegengestelde zijranden van het elektrodedeel 33 een divergerende hoek hebben, het levenseinde van de stift slechts bereikt wanneer het elektrodedeel 33 is afgesleten samen met het stiftlichaam 35 31 en de elektrodebreedte bij de top van de stift groter wordt dan 80 0 0 8 98 9 baanbreedte. Bij een bekende weergeefstift van dergelijke soort zal de elektrode kunnen worden losgetrokken van het stiftlichaam waardoor de levensduur wordt bereikt in ongeveer 100 uur. In tegenstelling hiertoe is de levensduur van de weergeefstift volgens de 5 onderhavige uitvinding zeer groot, van de orde van 2000 uur.

Een verder voordelige eigenschap van het ionen-implantatieproces in vergelijking met neerslaan door vacuumverdamping of verstuiving, zoals toegepast bij het vervaardigen van bekende weergeefstiften van de onderhavige soort, is dan een groot aantal 10 stiftlichamen kan worden vervaardigd op een betrekkelijk eenvoudige wijze met nauwkeurige regeling van de dikte van het elektrodedeel. Aldus kunnen weergeefstiften van constante kwaliteit met weinig afwijking worden vervaardigd bij lage kosten.

Bij de bovenbeschreven uitvoering van de 15 uitvinding wordt een specifiek oppervlak van het uitgangsprisma voor het stiftlichaam onderworpen aan een ionenimplantatieproces en daarna wordt het uitgangslichaam geslepen tot de speciale stiftvorm, waarbij het elektrodedeel 33 aanwezig blijft. Alternatief kan echter ionenimplantatie worden uitgevoerd met betrekking tot een specifiek 20 oppervlak van een stiftlichaam, dat vooraf is geslepen tot een specifieke stiftvorm. In dit geval is het stiftlichaam zo gericht, dat het oppervlak, waarop het elektrodedeel 3 moet worden gevormd, loodrecht is op de richting van de ionenbundel. De tegengestelde zijwaartse flankoppervlakken van het oppervlak, waarop het elektrode-25 deel wordt gevormd, hellen ten opzichte van de richting van de ionenbundel en de hoeveelheid implantatie verschilt sterk afhankelijk van de implantatiehoek. Om deze reden is er bijna geen ionenimplantatie in deze flankoppervlakken en zelfs indien er enige ionenimplantatie is, zal deze niet voldoende zijn voor het vormen van een ionen-30 implantatiedikte, welke zal werken als een elektrode. Aldus wordt het elektrodedeel 33 als effectief resultaat gevormd op praktisch slechts het oppervlak aangegeven in fig. 2.

Bij het bovenbeschreven ionenimplantatieproces zullen, wanneer de ionenimplantatiewerking wordt voortgezet na dat 35 ionenimplantatie is uitgevoerd tot een diepte bepaald door factoren 800 0 8 98 ♦ -V- 10 als de soort ionen en de ionenversnellingsspanning, atomen van de ionen hechten aan en neerslaan op het ionengeimplanteerde oppervlak van het stiftlichaam. In dit geval is het deel, waar de atomen zijn gehecht en neergeslagen op het oppervlak, ook effectief als een 5 elektrode, en de bovengenoemde ionenimplantatiedikte is inclusief de ionenimplantatiedikte en de dikte van dit hechtende en neergeslagen deel.

Bij het ionenimplantatieproces wordt verder de regeling van de ionenversnellingsspanning niet beperkt tot het 10 regelen van deze spanning bij een constante waarde, maar een variabele regeling kan nodig zijn afhankelijk van de eisen. In dit geval zullen wanneer het proces wordt uitgevoerd met de ionenversnellingsspanning op een lage waarde, atomen van ionen hechten aan en worden neergeslagen op het ionengeimplanteerde oppervlak over-15 eenkomstig als in het boven beschreven geval.

De schijf 21 heeft op het bovenoppervlak van de schijfstructuur 25 van polyvinylchloridehars in het voorbeeld van fig. 2, de dunne alumuniumfolielaag 26 om te werken als de andere elektrode met het doel een elektrostatische capaciteit 20 te vormen tussen deze laag en het elektrodedeel 3 van de weergeef stift 15, maar deze laag kan alternatief een laag zijn, gevormd uit een synthetische hars waarin een elektrisch geleidend materiaal zoals koolstofpoeder is gemengd. In dit geval werkt het elektrisch geleidende materiaal gemengd in de schijf, zelf als een elektrode 25 en wordt bovendien bedekt tot een geschikte mate door de synthetische hars aan het oppervlak. Om deze reden zijn de dunne film 26 en de film 27 van het bovenbeschreven voorbeeld niet noodzakelijk.

Hoewel; de schijf 21 bij het bovenbeschreven voorbeeld niet een geleidingsgroef voor de weergeefstift heeft, 30 kan deze zijn voorzien van een groef voor geleiding van de weer-geefstift. In dit geval is natuurlijk de vorm van de top van de stift zo uitgevoerd, dat deze bij benadering zal passen op de geleidingsgroef.

Buitendien kan het hoofdinformatiesignaal, 35 800 0 8 98 11 geregistreerd in de putten 22 van de schijf 21, een televisievideo-signaal zijn of een impulscodemodulatie-geluidssignaal zijn.

Aldus is de uitvinding niet beperkt wat betreft de soort van signaal met betrekking tot de weergeefstift.

5 Overigens de uitvinding niet beperkt tot de beschreven uitvoeringsvormen, zodat variaties en wijzigingen binnen het kader van de uitvinding mogelijk zijn.

80 0 0 8 98

Claims (10)

1. Weergeefstift voor het weergeven van een informatiesignaal vanaf een registreermedium waarop dat informatie-signaal is geregistreerd als variaties in geometrische configuraties 5 terwijl de weergeefstift bestaat uit een weergeefstiftlichaam en een elektrodedeel gevormd op een specifiek oppervlak van het weergeef-stiftlichaam en werkend voor het weergeven van het informatiesignaal geregistreerd op het registreermedium als variaties in elektrostatische capaciteit aansprekend op de variaties in geometrische configuraties, 10 met het kenmerk, dat het elektrodedeel (33) is voorzien van een deel van het weergeefstiftlichaam (31) elektrisch geleidend gemaakt door het uitvoeren van een ionenimplantatieproces over dat speciale oppervlak tot een speciale diepte vanaf het buitenoppervlak.

2. Inrichting volgens conclusie 1, 15 met het kenmerk, dat het elektrodedeel (33) is gevormd door ionenimplantatie met ionen van een stof uit de groep bestaande uit metalen, halfmetalen en halfgeleiders in het weergeefstiftlichaam.

3. Inrichting volgens conclusie 2, 'met het kenmerk, dat de ionen zijn gekozen uit de groep bestaande 20 uit ionen van hafnium, aluminium, molybdeen, titanium, tantalium, chroom, nikkel, koper, goud, zilver en koolstof.

4. Inrichting volgens conclusie 1, met'het kenmerk, dat het ionenimplantatieproces is uitgevoerd met een versnellingsspanning van 20-300 KeV.voor het implanteren van ionen 25 in dat oppervlak van het stiftlichaam.

5. Inrichting volgens conclusie 1, mét‘hét kenmerk, dat ionen zijn geïmplanteerd in een hoeveelheid van 15 25 2 10 tot 10 ionen/cm in het oppervlak door het ionenimplantatie-próces.

6. Weergeefstift volgens conclusie 1, met hébikenmérk, dat ionen zijn geïmplanteerd tot een diepte van 0,01 tot C,5 ym in dat oppervlak door het ionenimplantatieproces.

7. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het elektrodedeel (33) een elektrische weerstand ^ 35 heeft van een waarde binnen het gebied van 1 tot 10 Ω/cm. 80 0 0 8 98 <r~ -

8. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de ionen hafniumionen zijn en zijn geïmplanteerd tot een diepte van ongeveer 0,3 ym in de stiftstructuur bij het genoemde tenminste ene oppervlak door het ionenimplantatieproces 5 uitgevoerd bij ongeveer 30-100 KeV.

9. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat een ionenversnellingsspanning gebruikt bij het ionenimplantatieproces variabel wordt geregeld.

10. Inrichting in hoofdzaak zoals beschreven 10 in de beschrijving en/of weergegeven in de tekening. 80 0 0 8 98