NL7610327A - Werkwijze voor het focusseren van de objectief- lens van een deeltjesstraal-rastermicroscoop en inrichting voor het automatisch uitvoeren van deze werkwijze. - Google Patents

Werkwijze voor het focusseren van de objectief- lens van een deeltjesstraal-rastermicroscoop en inrichting voor het automatisch uitvoeren van deze werkwijze.

Info

Publication number
NL7610327A
NL7610327A NL7610327A NL7610327A NL7610327A NL 7610327 A NL7610327 A NL 7610327A NL 7610327 A NL7610327 A NL 7610327A NL 7610327 A NL7610327 A NL 7610327A NL 7610327 A NL7610327 A NL 7610327A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
procedure
focusing
particle
automatically performing
beam grid
Prior art date
Application number
NL7610327A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of NL7610327A publication Critical patent/NL7610327A/xx

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/21—Means for adjusting the focus
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
NL7610327A 1975-09-19 1976-09-16 Werkwijze voor het focusseren van de objectief- lens van een deeltjesstraal-rastermicroscoop en inrichting voor het automatisch uitvoeren van deze werkwijze. NL7610327A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752542356 DE2542356C2 (de) 1975-09-19 1975-09-19 Verfahren zur Fokussierung der Objektivlinse eines Korpuskular-Durchstrahlungs-Rastermikroskops und Einrichtung zur selbsttätigen Durchführung des Verfahrens, sowie Anwendung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7610327A true NL7610327A (nl) 1977-03-22

Family

ID=5957168

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7610327A NL7610327A (nl) 1975-09-19 1976-09-16 Werkwijze voor het focusseren van de objectief- lens van een deeltjesstraal-rastermicroscoop en inrichting voor het automatisch uitvoeren van deze werkwijze.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4097740A (ja)
JP (1) JPS5238878A (ja)
DE (1) DE2542356C2 (ja)
GB (1) GB1567021A (ja)
NL (1) NL7610327A (ja)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5492050A (en) * 1977-12-29 1979-07-20 Jeol Ltd Method and apparatus for astigmatic correction of scanning electronic microscope and others
DD134582A1 (de) * 1978-01-19 1979-03-07 Eberhard Hahn Verfahren und einrichtung zur justierung einer elektronenstrahlbearbeitungsanlage
NL7804039A (nl) * 1978-04-17 1979-10-19 Philips Nv Elektronenmikroskoop met stigmator.
NL7906632A (nl) * 1979-09-05 1981-03-09 Philips Nv Automatische bundelcorrektie in stem.
NL8304217A (nl) * 1983-12-07 1985-07-01 Philips Nv Automatisch instelbare electronenmicroscoop.
US4680469A (en) * 1984-08-17 1987-07-14 Hitachi, Ltd. Focusing device for a television electron microscope
JPS61168852A (ja) * 1985-01-23 1986-07-30 Hitachi Ltd 透過形電子顕微鏡の焦点合せ装置
JPS61233950A (ja) * 1985-04-10 1986-10-18 Hitachi Ltd 電子顕微鏡
JPH073774B2 (ja) * 1986-10-08 1995-01-18 株式会社日立製作所 電子顕微鏡
DE3825103A1 (de) * 1988-07-23 1990-01-25 Zeiss Carl Fa Verfahren zum beleuchten eines objektes in einem transmissions-elektronenmikroskop
US4948971A (en) * 1988-11-14 1990-08-14 Amray Inc. Vibration cancellation system for scanning electron microscopes
JP2686492B2 (ja) * 1988-12-12 1997-12-08 株式会社日立製作所 透過形電子顕微鏡の照射位置決め方法
US6278114B1 (en) 1997-12-19 2001-08-21 Kabushiki Kaisha Toshiba Method and apparatus for measuring dimensions of a feature of a specimen
JP4959149B2 (ja) * 2005-05-02 2012-06-20 株式会社荏原製作所 試料検査装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB990239A (en) * 1961-08-17 1965-04-28 Christopher William Baisley Gr Improvements in measuring systems for electron diffraction patterns
US3146335A (en) * 1962-03-29 1964-08-25 United Aircraft Corp Focusing device for electron beams
US3626184A (en) * 1970-03-05 1971-12-07 Atomic Energy Commission Detector system for a scanning electron microscope
JPS5126227B2 (ja) * 1971-09-21 1976-08-05
JPS521869B2 (ja) * 1972-07-11 1977-01-18
GB1435143A (en) * 1973-06-16 1976-05-12 Ass Elect Ind Scanning electron microscopes
US3908124A (en) * 1974-07-01 1975-09-23 Us Energy Phase contrast in high resolution electron microscopy

Also Published As

Publication number Publication date
US4097740A (en) 1978-06-27
JPS5238878A (en) 1977-03-25
DE2542356C2 (de) 1977-10-20
DE2542356B1 (de) 1977-03-10
GB1567021A (en) 1980-05-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL184589C (nl) Halfgeleiderinrichting voor het opwekken van een elektronenbundel en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke halfgeleiderinrichting.
NL183554C (nl) Werkwijze voor het bedrijven van een ionenbron.
NL7611122A (nl) Werkwijze en inrichting voor het voorbereiden en verbranden van afval.
NL7602783A (nl) Inrichting en werkwijze voor het vervaardigen van hechtomslagen.
NL7502803A (nl) Optische focusseerinrichting voor het focusseren van een stralingsbundel.
NL7610327A (nl) Werkwijze voor het focusseren van de objectief- lens van een deeltjesstraal-rastermicroscoop en inrichting voor het automatisch uitvoeren van deze werkwijze.
NL7900165A (nl) Werkwijze voor het aftakken en een inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze.
NL7608315A (nl) Werkwijze voor het desoxygeneren van secundaire alcoholen.
NL7700799A (nl) Inrichting voor het met een ionenstraal behandelen van substraten.
NL190589B (nl) Voor de eindopslag van radioactieve afvalstoffen bruikbaar houderaggregaat.
NL7810693A (nl) Inrichting voor het opto-elektrisch aftasten van een origineel.
NL173898B (nl) Inrichting voor lithografie met behulp van een elektronenbundel.
NL7603294A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van geleiderplaten.
NL7613663A (nl) Bicyclische onverzadigde thia-azaverbindingen alsmede werkwijze voor het bereiden daarvan.
NL7611158A (nl) Inrichting en werkwijze voor het moduleren van lichtstraling.
NL7607507A (nl) Deeltjesstraalmicroscoop met een raster voor doorstraling.
NL7708951A (nl) Werkwijze voor de behandeling van vast radio- aktief afval.
NL167515C (nl) Inrichting voor het repareren van de bekleding van een oven.
NL7608632A (nl) Werkwijze voor het zone-trekken en inrichting voor het uitvoeren van deze werkwijze.
NL7606010A (nl) Inrichting voor het herstellen van beschadigde pijpleidingen.
NL7607715A (nl) Inrichting voor het afbuigen van een elektro- nenbundel.
NL7610396A (nl) Werkwijze voor het ontkleuren van een waterige oplossing.
NL161105B (nl) Vaartuig voor het buitengaats verrichten van werkzaamheden.
NL7605091A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een electro- -mechanische omzetter.
NL7605557A (nl) Werkwijze voor de fluordehydroxylering van alcoholen.

Legal Events

Date Code Title Description
BV The patent application has lapsed