NL7604652A - Werkwijze voor de vervaardiging van halfgelei- ders. - Google Patents

Werkwijze voor de vervaardiging van halfgelei- ders.

Info

Publication number
NL7604652A
NL7604652A NL7604652A NL7604652A NL7604652A NL 7604652 A NL7604652 A NL 7604652A NL 7604652 A NL7604652 A NL 7604652A NL 7604652 A NL7604652 A NL 7604652A NL 7604652 A NL7604652 A NL 7604652A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
semiconductors
manufacture
Prior art date
Application number
NL7604652A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of NL7604652A publication Critical patent/NL7604652A/xx

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W20/00—Interconnections in chips, wafers or substrates
    • H10W20/01—Manufacture or treatment
    • H10W20/071—Manufacture or treatment of dielectric parts thereof
    • H10W20/081—Manufacture or treatment of dielectric parts thereof by forming openings in the dielectric parts
    • H10W20/082—Manufacture or treatment of dielectric parts thereof by forming openings in the dielectric parts the openings being tapered via holes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P14/00—Formation of materials, e.g. in the shape of layers or pillars
    • H10P14/60—Formation of materials, e.g. in the shape of layers or pillars of insulating materials
    • H10P14/68—Organic materials, e.g. photoresists
    • H10P14/683—Organic materials, e.g. photoresists carbon-based polymeric organic materials, e.g. polyimides, poly cyclobutene or PVC
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P50/00—Etching of wafers, substrates or parts of devices
    • H10P50/20—Dry etching; Plasma etching; Reactive-ion etching
    • H10P50/28—Dry etching; Plasma etching; Reactive-ion etching of insulating materials
    • H10P50/286—Dry etching; Plasma etching; Reactive-ion etching of insulating materials of organic materials
    • H10P50/287—Dry etching; Plasma etching; Reactive-ion etching of insulating materials of organic materials by chemical means
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00—Printed circuits
    • H05K1/02—Details
    • H05K1/03—Use of materials for the substrate
    • H05K1/0313—Organic insulating material
    • H05K1/032—Organic insulating material consisting of one material
    • H05K1/0346—Organic insulating material consisting of one material containing N
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
    • H05K3/0017—Etching of the substrate by chemical or physical means
NL7604652A 1975-08-13 1976-04-29 Werkwijze voor de vervaardiging van halfgelei- ders. NL7604652A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP50098179A JPS5222071A (en) 1975-08-13 1975-08-13 Method of selective etching of film of polyamide resin

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7604652A true NL7604652A (nl) 1977-02-15

Family

ID=14212791

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7604652A NL7604652A (nl) 1975-08-13 1976-04-29 Werkwijze voor de vervaardiging van halfgelei- ders.

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPS5222071A (https=)
DE (1) DE2618937C3 (https=)
FR (1) FR2321190A1 (https=)
GB (1) GB1510944A (https=)
NL (1) NL7604652A (https=)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54106599A (en) * 1978-02-09 1979-08-21 Hitachi Chem Co Ltd Preparation of polyamide intermediate for semiconductor processing
JPS54179102U (https=) * 1978-06-07 1979-12-18
JPS5515502A (en) * 1978-07-18 1980-02-02 Hitachi Ltd Running control system for manless wagon
JPS557880A (en) * 1979-04-27 1980-01-21 Hitachi Ltd Etching solution for organic resin
JPS58108229A (ja) * 1981-12-21 1983-06-28 Hitachi Ltd ポリイミド系樹脂膜の選択エツチング方法
FR2550660B2 (fr) * 1982-04-14 1987-11-06 Commissariat Energie Atomique Perfectionnement au procede de positionnement d'une ligne d'interconnexion sur un trou de contact electrique d'un circuit integre
FR2525389A1 (fr) * 1982-04-14 1983-10-21 Commissariat Energie Atomique Procede de positionnement d'une ligne d'interconnexion sur un trou de contact electrique d'un circuit integre
FR2537779B1 (fr) * 1982-12-10 1986-03-14 Commissariat Energie Atomique Procede de positionnement d'un trou de contact electrique entre deux lignes d'interconnexion d'un circuit integre
DE3475856D1 (en) * 1983-08-12 1989-02-02 Commissariat Energie Atomique Method for aligning a connecting line above an electrical contact hole of an integrated circuit
EP0511691A3 (en) * 1988-07-13 1993-03-03 International Business Machines Corporation Wet etching of cured polyimide
US6303230B1 (en) 1995-01-17 2001-10-16 Nippon Steel Chemical Co., Ltd. Laminates

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49120504A (https=) * 1973-03-16 1974-11-18

Also Published As

Publication number Publication date
DE2618937A1 (de) 1977-02-17
FR2321190A1 (fr) 1977-03-11
FR2321190B1 (https=) 1979-08-17
JPS5222071A (en) 1977-02-19
JPS5328342B2 (https=) 1978-08-14
DE2618937B2 (de) 1978-06-29
GB1510944A (en) 1978-05-17
DE2618937C3 (de) 1979-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7603679A (nl) Werkwijze voor de bereiding van dialkylcarbonaten.
NL7613431A (nl) Werkwijze voor de bereiding van o-hydroxybenzal- dehyden.
NL7608674A (nl) Werkwijze voor de bereiding van canthaxanthine.
NL7609889A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van eenkris- talsiliciumstaven.
NL7610066A (nl) Werkwijze voor de bereiding van amidoxim deri- vaten.
NL7607074A (nl) Werkwijze ter vervaardiging van sluiervrije halfgeleideroppervlakken.
NL7606994A (nl) Werkwijze voor de bereiding van acylcyaniden.
NL7602195A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van gelaagde stoffen.
NL7604652A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van halfgelei- ders.
NL7511224A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van elektroband.
NL7609939A (nl) Werkwijze voor de bereiding van n-acylhydroxyaryl- glycinen.
NL7611424A (nl) Werkwijze voor de bereiding van ethylvanadaat.
NL7600512A (nl) Werkwijze voor de bereiding van 2-aminobutanol-1.
NL7611354A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van compound- -foelies.
NL184952C (nl) Werkwijze voor de bereiding van cyclohexanonoxim.
NL7611271A (nl) Werkwijze voor de bereiding van 4-alkylthio- semicarbaziden.
NL7607505A (nl) Werkwijze voor de bereiding van sulfamylbenzyl- aminen.
NL7602640A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van polyamide- -6-draden met de gamma-modificatie.
NL7602269A (nl) Werkwijze voor de bereiding van entpolymeren.
NL7602674A (nl) Werkwijze voor de oxychlorering van ethaan.
NL186160C (nl) Werkwijze voor de bereiding van theaspiran.
NL7601001A (nl) Werkwijze voor de bereiding van alkylchloor- aromatische verbindingen.
NL7607581A (nl) Werkwijze voor de bereiding van polyenen.
NL185838C (nl) Werkwijze voor de continue bereiding van di-tert-butylcresolen.
NL7600649A (nl) Werkwijze voor de bereiding van sulfonylureumver- bindingen.

Legal Events

Date Code Title Description
BC A request for examination has been filed
A85 Still pending on 85-01-01
BV The patent application has lapsed