NL2007861A - Radiation source and lithographic apparatus. - Google Patents

Radiation source and lithographic apparatus. Download PDF

Info

Publication number
NL2007861A
NL2007861A NL2007861A NL2007861A NL2007861A NL 2007861 A NL2007861 A NL 2007861A NL 2007861 A NL2007861 A NL 2007861A NL 2007861 A NL2007861 A NL 2007861A NL 2007861 A NL2007861 A NL 2007861A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
radiation
laser
fuel
plasma
radiation source
Prior art date
Application number
NL2007861A
Other languages
English (en)
Inventor
Christian Wagner
Erik Loopstra
Original Assignee
Asml Netherlands Bv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asml Netherlands Bv filed Critical Asml Netherlands Bv
Priority to NL2007861A priority Critical patent/NL2007861A/en
Publication of NL2007861A publication Critical patent/NL2007861A/en

Links

Claims (1)

1. Een lithografieinrichting omvattende: een belichtinginrichting ingericht voor het leveren van een stralingsbundel; een drager geconstrueerd voor het dragen van een patroneerinrichting, welke patroneerinrichting in staat is een patroon aan te brengen in een doorsnede van de stralingsbundel ter vorming van een gepatroneerde stralingsbundel; een substraattafel geconstrueerd om een substraat te dragen; en een projectieinrichting ingericht voor het projecteren van de gepatroneerde stralingsbundel op een doelgebied van het substraat, met het kenmerk, dat de substraattafel is ingericht voor het positioneren van het doelgebied van het substraat in een brandpuntsvlak van de projectieinrichting.
NL2007861A 2011-11-24 2011-11-24 Radiation source and lithographic apparatus. NL2007861A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL2007861A NL2007861A (en) 2011-11-24 2011-11-24 Radiation source and lithographic apparatus.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL2007861A NL2007861A (en) 2011-11-24 2011-11-24 Radiation source and lithographic apparatus.
NL2007861 2011-11-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL2007861A true NL2007861A (en) 2011-12-19

Family

ID=45557094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL2007861A NL2007861A (en) 2011-11-24 2011-11-24 Radiation source and lithographic apparatus.

Country Status (1)

Country Link
NL (1) NL2007861A (nl)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5717761B2 (ja) Ｅｕｖ放射源およびリソグラフィ装置
TWI534553B (zh) 收集器鏡總成及產生極紫外光輻射之方法
KR102072064B1 (ko) 방사선 소스
JP4966342B2 (ja) 放射源、放射を生成する方法およびリソグラフィ装置
US20130015373A1 (en) EUV Radiation Source and EUV Radiation Generation Method
US8368040B2 (en) Radiation system and lithographic apparatus
US20150264791A1 (en) Method and Apparatus for Generating Radiation
JP6305426B2 (ja) Ｅｕｖリソグラフィ装置用ビーム搬送装置
US20140218706A1 (en) Radiation source and lithographic apparatus
WO2013041323A1 (en) Radiation source
JP6047573B2 (ja) 放射源
JP2006140470A (ja) 放射システム、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、及び、それらにより製造されたデバイス
US9645500B2 (en) Radiation source and lithographic apparatus
NL2007861A (en) Radiation source and lithographic apparatus.
NL2005750A (en) Euv radiation source and euv radiation generation method.
NL2004977A (en) Euv radiation source and lithographic apparatus.
NL2010232A (en) Method and apparatus for generating radiation.
NL2007863A (en) Radiation source.
NL2010236A (en) Lithographic apparatus and method.
NL2009061A (en) Radiation source.
NL2006550A (en) Lithographic apparatus, euv radiation generation apparatus and device manufacturing method.