NL185805B - Werkwijze en inrichting voor het afbeelden van een voorwerp met geringe vergroting met behulp van een corpusculair straalapparaat, in het bijzonder een electronenmicroscoop. - Google Patents

Werkwijze en inrichting voor het afbeelden van een voorwerp met geringe vergroting met behulp van een corpusculair straalapparaat, in het bijzonder een electronenmicroscoop.

Info

Publication number
NL185805B
NL185805B NLAANVRAGE7809584,A NL7809584A NL185805B NL 185805 B NL185805 B NL 185805B NL 7809584 A NL7809584 A NL 7809584A NL 185805 B NL185805 B NL 185805B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
corpuscular
imageing
low
electron microscope
enlarged article
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE7809584,A
Other languages
English (en)
Other versions
NL7809584A (nl
NL185805C (nl
Original Assignee
Zeiss Carl Fa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zeiss Carl Fa filed Critical Zeiss Carl Fa
Publication of NL7809584A publication Critical patent/NL7809584A/nl
Publication of NL185805B publication Critical patent/NL185805B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL185805C publication Critical patent/NL185805C/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
NLAANVRAGE7809584,A 1977-09-20 1978-09-20 Werkwijze voor het afbeelden van een voorwerp met geringe vergroting met behulp van een corpusculair straalapparaat, in het bijzonder een electronenmicroscoop. NL185805C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2742264A DE2742264C3 (de) 1977-09-20 1977-09-20 Verfahren zur Abbildung eines Objektes mit geringer Vergrößerung mittels eines Korpuskularstrahlgeräts, insbesondere eines Elektronen-Mikroskops und Korpuskularstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7809584A NL7809584A (nl) 1979-03-22
NL185805B true NL185805B (nl) 1990-02-16
NL185805C NL185805C (nl) 1992-07-16

Family

ID=6019414

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE7809584,A NL185805C (nl) 1977-09-20 1978-09-20 Werkwijze voor het afbeelden van een voorwerp met geringe vergroting met behulp van een corpusculair straalapparaat, in het bijzonder een electronenmicroscoop.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4194116A (nl)
JP (1) JPS5847826B2 (nl)
DE (1) DE2742264C3 (nl)
GB (1) GB2005065B (nl)
NL (1) NL185805C (nl)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5825055A (ja) * 1981-07-16 1983-02-15 Jeol Ltd 電子顕微鏡
JPS614142A (ja) * 1984-06-16 1986-01-10 Jeol Ltd 電子顕微鏡
DE3423149A1 (de) * 1984-06-22 1986-01-02 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Verfahren und anordnung zur elektronenenergiegefilterten abbildung eines objektes oder eines objektbeugungsdiagrammes mit einem transmissions-elektronenmikroskop
JP2685603B2 (ja) * 1989-10-20 1997-12-03 日本電子株式会社 電子線装置
US5414261A (en) * 1993-07-01 1995-05-09 The Regents Of The University Of California Enhanced imaging mode for transmission electron microscopy
JP6951123B2 (ja) * 2017-05-23 2021-10-20 株式会社ニューフレアテクノロジー 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置
US20220297178A1 (en) * 2019-10-17 2022-09-22 Wheels India Limited A process for manufacturing tubeless vehicle wheel made from a single piece input material
CN111024739B (zh) * 2019-12-31 2023-03-21 长江存储科技有限责任公司 透射电子显微镜图像畸变的表征方法及表征装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB646019A (en) * 1946-01-05 1950-11-15 Philips Nv Improvements in or relating to electron microscopes

Also Published As

Publication number Publication date
NL7809584A (nl) 1979-03-22
DE2742264A1 (de) 1979-03-29
DE2742264C3 (de) 1981-04-30
DE2742264B2 (de) 1980-08-21
JPS5847826B2 (ja) 1983-10-25
GB2005065A (en) 1979-04-11
NL185805C (nl) 1992-07-16
US4194116A (en) 1980-03-18
GB2005065B (en) 1982-11-17
JPS5456003A (en) 1979-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7812283A (nl) Werkwijze en inrichting voor het uitvoeren van een elektrolyseproces.
NL7707659A (nl) Werkwijze voor het verdampen van materiaal in een inrichting voor het opdampen in vakuuem.
NL7811183A (nl) Werkwijze en gas voor het behandelen van halfgeleiders.
NL7613969A (nl) Apparatuur voor het in vacuum uitvoeren van een bewerking.
NL7802646A (nl) Werkwijze en apparaat voor het met plasma be- handelen van halfgeleidermaterialen.
NL7807366A (nl) Werkwijze en inrichting voor het indetificeren van de vorm, waarop een voorwerp is vervaardigd.
NL7710708A (nl) Werkwijze en inrichting voor het regelen van een asynchrone machine.
NL7809697A (nl) Werkwijze en inrichting voor het strijken van houders.
NL7710132A (nl) Werkwijze voor het besturen van een in de ver- zadigingstoestand bedreven transistor en in- richting voor het uitvoeren van de werkwijze.
NL7806848A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een alkalimetaalhy- droxyde en inrichting voor het uitvoeren van de werk- wijze.
NL7810362A (nl) Werkwijze en inrichting voor het uitvoeren van behande- lingsprocessen voor stortmaterialen en dergelijke.
NL7902718A (nl) Werkwijze en inrichting voor het regelen van het ontladingsproces in een kathodeverstuivingsinrichting.
NL7801900A (nl) Entpolymeren, werkwijze voor het bereiden daar- van en apparaat voor het uitvoeren van deze werkwijze.
NL189708C (nl) Werkwijze voor het bereiden van canthaxanthine en werkwijze voor het bereiden van een daarvoor geschikt tussenprodukt.
NL168043C (nl) Werkwijze voor het bereiden van superfluide helium, en inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze.
NL185805B (nl) Werkwijze en inrichting voor het afbeelden van een voorwerp met geringe vergroting met behulp van een corpusculair straalapparaat, in het bijzonder een electronenmicroscoop.
NL173080C (nl) Werkwijze voor het verstevigen van de bodem, alsmede inrichting voor het uitvoeren van deze werkwijze.
NL184888C (nl) Werkwijze en inrichting voor het combineren van meerdere strengen.
NL7804191A (nl) Werkwijze voor het binden van de rug van een boekwerk en inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze.
NL7806517A (nl) Werkwijze en inrichting voor het maken van een doek aan een stuk.
NL7806133A (nl) Werkwijze en inrichting voor het behandelen van een buisvormig breisel.
NL185814C (nl) Werkwijze voor het opeenvolgend een voor een planten van in potlichamen opgekweekte zaailingen en samenstel van potlichamen bestemd voor gebruik bij het uitvoeren van de werkwijze.
NL7612903A (nl) Werkwijze en inrichting voor het verhitten van een werkstuk, alsmede het door de werkwijze verkregen werkstuk.
NL7809855A (nl) Werkwijze en inrichting voor het indentificeren van voorwerpen.
NL169903C (nl) Werkwijze voor het opwekken van hoogvacuuem in een recipient.

Legal Events

Date Code Title Description
BB A search report has been drawn up
A85 Still pending on 85-01-01
BC A request for examination has been filed
R1B Notice of opposition during period of laying open
NP1G Not automatically granted patents, but text of patent specification modified with respect to the text of examined patent application
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 19980401