NL172214C - Werkwijze voor het opwekken van een hoogvacuuem in een recipient. - Google Patents
Werkwijze voor het opwekken van een hoogvacuuem in een recipient.Info
- Publication number
- NL172214C NL172214C NL7800199A NL7800199A NL172214C NL 172214 C NL172214 C NL 172214C NL 7800199 A NL7800199 A NL 7800199A NL 7800199 A NL7800199 A NL 7800199A NL 172214 C NL172214 C NL 172214C
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- recipient
- generating
- high vacuum
- vacuum
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH1278077A CH634606A5 (de) | 1977-10-20 | 1977-10-20 | Verfahren zur erzeugung von hochvakuum zur durchfuehrung von beschichtungsprozessen. |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL7800199A NL7800199A (nl) | 1979-04-24 |
NL172214B NL172214B (nl) | 1983-03-01 |
NL172214C true NL172214C (nl) | 1983-08-01 |
Family
ID=4386322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL7800199A NL172214C (nl) | 1977-10-20 | 1978-01-06 | Werkwijze voor het opwekken van een hoogvacuuem in een recipient. |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
CH (1) | CH634606A5 (de) |
DE (1) | DE2838212C2 (de) |
FR (1) | FR2406673A1 (de) |
GB (1) | GB2006344B (de) |
NL (1) | NL172214C (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6056431B2 (ja) * | 1980-10-09 | 1985-12-10 | 三菱電機株式会社 | プラズマエツチング装置 |
DE3512614A1 (de) * | 1985-04-06 | 1986-10-16 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zur inbetriebnahme und/oder regenerierung einer kryopumpe und fuer dieses verfahren geeignete kryopumpe |
DE3516933A1 (de) * | 1985-05-10 | 1986-11-13 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5300 Bonn | Verfahren zum aufbringen einer mos(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-beschichtung auf ein substrat |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH621714A5 (de) * | 1976-06-08 | 1981-02-27 | Balzers Hochvakuum |
-
1977
- 1977-10-20 CH CH1278077A patent/CH634606A5/de not_active IP Right Cessation
-
1978
- 1978-01-06 NL NL7800199A patent/NL172214C/xx not_active IP Right Cessation
- 1978-09-01 DE DE19782838212 patent/DE2838212C2/de not_active Expired
- 1978-09-14 GB GB7836912A patent/GB2006344B/en not_active Expired
- 1978-10-19 FR FR7829740A patent/FR2406673A1/fr active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2838212A1 (de) | 1979-04-26 |
CH634606A5 (de) | 1983-02-15 |
NL172214B (nl) | 1983-03-01 |
FR2406673A1 (fr) | 1979-05-18 |
DE2838212C2 (de) | 1983-03-17 |
GB2006344B (en) | 1982-04-07 |
GB2006344A (en) | 1979-05-02 |
FR2406673B1 (de) | 1982-10-29 |
NL7800199A (nl) | 1979-04-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL7613472A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een brij. | |
NL7810614A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een instantpasta. | |
NL7707659A (nl) | Werkwijze voor het verdampen van materiaal in een inrichting voor het opdampen in vakuuem. | |
NL7613969A (nl) | Apparatuur voor het in vacuum uitvoeren van een bewerking. | |
NL7602760A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel. | |
NL7812009A (nl) | Werkwijze en inrichting voor het transporteren van af- valwater met behulp van een vacuum. | |
NL169751C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een losmiddel. | |
NL7603446A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel. | |
NL184694B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel. | |
NL182818B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel. | |
NL7714492A (nl) | Werkwijze voor de bereiding van een elektrokatalysator. | |
NL7707023A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel. | |
NL7709705A (nl) | In hoofdzaak dubbelwandige, luchtdichte verpak- king en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke verpakking. | |
NL172462C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een di-, tri- of tetrapeptide. | |
NL189708C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van canthaxanthine en werkwijze voor het bereiden van een daarvoor geschikt tussenprodukt. | |
NL7601485A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel- versterker en een wasmiddel. | |
NL179350B (nl) | Werkwijze voor het omzetten van gesmolten metaal in een halffabrikaat produkt. | |
NL7614423A (nl) | Werkwijze voor het in de oorspronkelijke toe- stand terugbrengen van een boorslibput. | |
NL169903C (nl) | Werkwijze voor het opwekken van hoogvacuuem in een recipient. | |
NL7903856A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van metalen in een hoogoven. | |
NL7508430A (nl) | Inrichting voor het opwekken van een vacuum. | |
NL186524C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel. | |
NL185805C (nl) | Werkwijze voor het afbeelden van een voorwerp met geringe vergroting met behulp van een corpusculair straalapparaat, in het bijzonder een electronenmicroscoop. | |
NL172214C (nl) | Werkwijze voor het opwekken van een hoogvacuuem in een recipient. | |
NL7804729A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een fotopolymeersamen- stelling. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A1C | A request for examination has been filed | ||
TNT | Modifications of names of proprietors of patents or applicants of examined patent applications |
Owner name: BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
|
V1 | Lapsed because of non-payment of the annual fee |