NL172214B - Werkwijze voor het opwekken van een hoogvacuuem in een recipient. - Google Patents

Werkwijze voor het opwekken van een hoogvacuuem in een recipient.

Info

Publication number
NL172214B
NL172214B NL7800199A NL7800199A NL172214B NL 172214 B NL172214 B NL 172214B NL 7800199 A NL7800199 A NL 7800199A NL 7800199 A NL7800199 A NL 7800199A NL 172214 B NL172214 B NL 172214B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
recipient
generating
high vacuum
vacuum
Prior art date
Application number
NL7800199A
Other languages
English (en)
Other versions
NL7800199A (nl
NL172214C (nl
Original Assignee
Balzers Hochvakuum
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers Hochvakuum filed Critical Balzers Hochvakuum
Publication of NL7800199A publication Critical patent/NL7800199A/nl
Publication of NL172214B publication Critical patent/NL172214B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL172214C publication Critical patent/NL172214C/nl

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
NL7800199A 1977-10-20 1978-01-06 Werkwijze voor het opwekken van een hoogvacuuem in een recipient. NL172214C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1278077A CH634606A5 (de) 1977-10-20 1977-10-20 Verfahren zur erzeugung von hochvakuum zur durchfuehrung von beschichtungsprozessen.

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7800199A NL7800199A (nl) 1979-04-24
NL172214B true NL172214B (nl) 1983-03-01
NL172214C NL172214C (nl) 1983-08-01

Family

ID=4386322

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7800199A NL172214C (nl) 1977-10-20 1978-01-06 Werkwijze voor het opwekken van een hoogvacuuem in een recipient.

Country Status (5)

Country Link
CH (1) CH634606A5 (nl)
DE (1) DE2838212C2 (nl)
FR (1) FR2406673A1 (nl)
GB (1) GB2006344B (nl)
NL (1) NL172214C (nl)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6056431B2 (ja) * 1980-10-09 1985-12-10 三菱電機株式会社 プラズマエツチング装置
DE3512614A1 (de) * 1985-04-06 1986-10-16 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Verfahren zur inbetriebnahme und/oder regenerierung einer kryopumpe und fuer dieses verfahren geeignete kryopumpe
DE3516933A1 (de) * 1985-05-10 1986-11-13 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5300 Bonn Verfahren zum aufbringen einer mos(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-beschichtung auf ein substrat

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH621714A5 (nl) * 1976-06-08 1981-02-27 Balzers Hochvakuum

Also Published As

Publication number Publication date
CH634606A5 (de) 1983-02-15
NL7800199A (nl) 1979-04-24
GB2006344B (en) 1982-04-07
DE2838212A1 (de) 1979-04-26
NL172214C (nl) 1983-08-01
DE2838212C2 (de) 1983-03-17
FR2406673B1 (nl) 1982-10-29
FR2406673A1 (fr) 1979-05-18
GB2006344A (en) 1979-05-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7613472A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een brij.
NL7810614A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een instantpasta.
NL7707659A (nl) Werkwijze voor het verdampen van materiaal in een inrichting voor het opdampen in vakuuem.
NL7613969A (nl) Apparatuur voor het in vacuum uitvoeren van een bewerking.
NL7602760A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7812009A (nl) Werkwijze en inrichting voor het transporteren van af- valwater met behulp van een vacuum.
NL169751C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een losmiddel.
NL7608111A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7702869A (nl) Inrichting voor neerslag in vacuum.
NL7714492A (nl) Werkwijze voor de bereiding van een elektrokatalysator.
NL7707023A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7709705A (nl) In hoofdzaak dubbelwandige, luchtdichte verpak- king en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke verpakking.
NL172462B (nl) Werkwijze voor het bereiden van een di-, tri- of tetrapeptide.
NL189708C (nl) Werkwijze voor het bereiden van canthaxanthine en werkwijze voor het bereiden van een daarvoor geschikt tussenprodukt.
NL7601485A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel- versterker en een wasmiddel.
NL179350C (nl) Werkwijze voor het omzetten van gesmolten metaal in een halffabrikaat produkt.
NL163534C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een kleefmiddel.
NL7601487A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7614423A (nl) Werkwijze voor het in de oorspronkelijke toe- stand terugbrengen van een boorslibput.
NL169903C (nl) Werkwijze voor het opwekken van hoogvacuuem in een recipient.
NL7903856A (nl) Werkwijze voor het bereiden van metalen in een hoogoven.
NL7508430A (nl) Inrichting voor het opwekken van een vacuum.
NL186524C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL185805C (nl) Werkwijze voor het afbeelden van een voorwerp met geringe vergroting met behulp van een corpusculair straalapparaat, in het bijzonder een electronenmicroscoop.
NL172214C (nl) Werkwijze voor het opwekken van een hoogvacuuem in een recipient.

Legal Events

Date Code Title Description
A1C A request for examination has been filed
TNT Modifications of names of proprietors of patents or applicants of examined patent applications

Owner name: BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT

V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee