NL157062B - Werkwijze voor het etsen van een of meer dunne laagjes. - Google Patents
Werkwijze voor het etsen van een of meer dunne laagjes.Info
- Publication number
- NL157062B NL157062B NL7314162.A NL7314162A NL157062B NL 157062 B NL157062 B NL 157062B NL 7314162 A NL7314162 A NL 7314162A NL 157062 B NL157062 B NL 157062B
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- etching
- thin coats
- coats
- thin
- Prior art date
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 title 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
- H05K3/07—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process being removed electrolytically
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
- C25F3/02—Etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Weting (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US29885672A | 1972-10-19 | 1972-10-19 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL7314162A NL7314162A (xx) | 1974-04-23 |
NL157062B true NL157062B (nl) | 1978-06-15 |
Family
ID=23152265
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL7314162.A NL157062B (nl) | 1972-10-19 | 1973-10-15 | Werkwijze voor het etsen van een of meer dunne laagjes. |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3798141A (xx) |
JP (1) | JPS4974140A (xx) |
BE (1) | BE806230A (xx) |
CA (1) | CA1026704A (xx) |
DE (1) | DE2351664B2 (xx) |
FR (1) | FR2203890B1 (xx) |
GB (1) | GB1408352A (xx) |
IT (1) | IT999661B (xx) |
NL (1) | NL157062B (xx) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3898141A (en) * | 1974-02-08 | 1975-08-05 | Bell Telephone Labor Inc | Electrolytic oxidation and etching of III-V compound semiconductors |
NL7609816A (nl) * | 1976-09-03 | 1978-03-07 | Philips Nv | Werkwijze voor het vervaardigen van een lichaam voorzien met een goudpatroon en lichaam ver- vaardigd volgens de werkwijze. |
US4206028A (en) * | 1976-12-14 | 1980-06-03 | Inoue-Japax Research Incorporated | Electrochemical polishing system |
GB1539309A (en) * | 1976-12-14 | 1979-01-31 | Inoue Japax Res | Electrochemical polishing |
DE3029277C2 (de) * | 1980-08-01 | 1983-10-20 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Aufbau von Metallschichten |
AU2002224453A1 (en) | 2000-10-11 | 2002-04-22 | Microchips, Inc. | Microchip reservoir devices and facilitated corrosion of electrodes |
US6875208B2 (en) | 2001-05-31 | 2005-04-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Microchip devices with improved reservoir opening |
US7175752B2 (en) * | 2002-05-24 | 2007-02-13 | Federal-Mogul Worldwide, Inc. | Method and apparatus for electrochemical machining |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3566358A (en) * | 1968-03-19 | 1971-02-23 | Bevier Hasbrouck | Integrated multi-computer system |
-
1972
- 1972-10-19 US US00298856A patent/US3798141A/en not_active Expired - Lifetime
-
1973
- 1973-05-09 CA CA170,822A patent/CA1026704A/en not_active Expired
- 1973-10-15 DE DE2351664A patent/DE2351664B2/de not_active Withdrawn
- 1973-10-15 NL NL7314162.A patent/NL157062B/xx unknown
- 1973-10-18 BE BE136820A patent/BE806230A/xx unknown
- 1973-10-18 FR FR7337216A patent/FR2203890B1/fr not_active Expired
- 1973-10-18 IT IT70089/73A patent/IT999661B/it active
- 1973-10-19 GB GB4878373A patent/GB1408352A/en not_active Expired
- 1973-10-19 JP JP48116978A patent/JPS4974140A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA1026704A (en) | 1978-02-21 |
FR2203890A1 (xx) | 1974-05-17 |
BE806230A (fr) | 1974-02-15 |
US3798141A (en) | 1974-03-19 |
GB1408352A (en) | 1975-10-01 |
IT999661B (it) | 1976-03-10 |
DE2351664A1 (de) | 1974-05-02 |
NL7314162A (xx) | 1974-04-23 |
JPS4974140A (xx) | 1974-07-17 |
DE2351664B2 (de) | 1975-09-18 |
FR2203890B1 (xx) | 1976-07-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL179364C (nl) | Werkwijze voor het vormen van een oxydebekleding. | |
NL7316952A (nl) | Werkwijze voor het bekleden van doorgangen. | |
NL181199C (nl) | Werkwijze voor het polymeriseren van alkenen. | |
NL7406579A (nl) | Werkwijze voor het optisch bepalen van een voorwerp en inrichting voor het toepassen van deze werkwijze. | |
NL155842B (nl) | Werkwijze voor het polymeriseren van een alkeen. | |
NL7410943A (nl) | Werkwijze voor het etsen van een polyimidefilm. | |
NL165845C (nl) | Werkwijze voor de enzymatische bepaling van triglyce- riden. | |
NL171010B (nl) | Werkwijze voor het conserveren van champignons. | |
NL7501831A (nl) | Werkwijze voor de hydroformylering van alkenen. | |
NL175672C (nl) | Werkwijze voor het onderscheiden van leukocyten. | |
NL163334C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een elektrostatische ontwikkelaar of ontwikkelaarconcentraat. | |
NL151366B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een aralkanoylaminopyridine. | |
NL157062B (nl) | Werkwijze voor het etsen van een of meer dunne laagjes. | |
NL167145B (nl) | Werkwijze voor het stabiliseren van methyleenchloride. | |
NL160863C (nl) | Werkwijze voor het markeren van wegen. | |
BE795499A (fr) | Stelsel voor het besturen van een langs een baan beweegbaar voertuig of voorwerp. | |
NL175953C (nl) | Werkwijze voor het verbeteren van de sensitometrie. | |
NL179132B (nl) | Werkwijze voor het stabiliseren van kleefstoffen. | |
NL162313B (nl) | Werkwijze voor het behandelen van een substraat van galliumarsenide. | |
NL175165C (nl) | Werkwijze voor de natte verbranding van onoplosbare vloeibare of vaste stoffen. | |
NL173661C (nl) | Werkwijze voor het fosfateren van staal. | |
NL172438C (nl) | Werkwijze voor het sulfoneren en/of sulfateren van vloeibaar organisch materiaal. | |
NL7508955A (nl) | Werkwijze voor het struktureren van dunne lagen. | |
NL174174C (nl) | Werkwijze voor het vormen van een gewelf of dergelijke, en voor het uitvoeren daarvan bestemd schaalonderdeel. | |
NL170504C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van gietvormen of gietkernen. |