NL141582B - Werkwijze en inrichting voor het afzetten van een dunne laag op een oppervlak. - Google Patents

Werkwijze en inrichting voor het afzetten van een dunne laag op een oppervlak.

Info

Publication number
NL141582B
NL141582B NL7013403A NL7013403A NL141582B NL 141582 B NL141582 B NL 141582B NL 7013403 A NL7013403 A NL 7013403A NL 7013403 A NL7013403 A NL 7013403A NL 141582 B NL141582 B NL 141582B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
depositing
thin layer
thin
layer
Prior art date
Application number
NL7013403A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Other versions
NL7013403A (de
Original Assignee
Barr & Stroud Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Barr & Stroud Ltd filed Critical Barr & Stroud Ltd
Publication of NL7013403A publication Critical patent/NL7013403A/xx
Publication of NL141582B publication Critical patent/NL141582B/xx

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
    • H01J37/321—Radio frequency generated discharge the radio frequency energy being inductively coupled to the plasma
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/021—Cleaning or etching treatments
    • C23C14/022—Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
    • H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
    • H01J2237/332—Coating

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
NL7013403A 1969-09-19 1970-09-10 Werkwijze en inrichting voor het afzetten van een dunne laag op een oppervlak. NL141582B (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB4618569A GB1263582A (en) 1969-09-19 1969-09-19 Improvements in or relating to thin film deposition

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL7013403A NL7013403A (de) 1971-03-23
NL141582B true NL141582B (nl) 1974-03-15

Family

ID=10440203

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7013403A NL141582B (nl) 1969-09-19 1970-09-10 Werkwijze en inrichting voor het afzetten van een dunne laag op een oppervlak.

Country Status (5)

Country Link
CH (1) CH532128A (de)
DE (1) DE2045198B2 (de)
FR (1) FR2062402A5 (de)
GB (1) GB1263582A (de)
NL (1) NL141582B (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4061800A (en) * 1975-02-06 1977-12-06 Applied Materials, Inc. Vapor desposition method
DE3518197A1 (de) * 1985-05-21 1986-11-27 Heinrich 7413 Gomaringen Grünwald Verfahren zur entfernung von metallionen aus koerpern aus glas, keramischen werkstoffen und sonstigen amorphen werkstoffen sowie kristallinen werkstoffen
EP0845151A1 (de) * 1996-05-09 1998-06-03 Applied Materials, Inc. Versenkte spule zur plasmaerzeugung
US6254746B1 (en) 1996-05-09 2001-07-03 Applied Materials, Inc. Recessed coil for generating a plasma

Also Published As

Publication number Publication date
GB1263582A (en) 1972-02-09
NL7013403A (de) 1971-03-23
DE2045198A1 (de) 1971-04-01
FR2062402A5 (de) 1971-06-25
DE2045198B2 (de) 1972-06-22
CH532128A (de) 1972-12-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL165938C (nl) Inrichting voor het behandelen van een dunne laag mate- riaal.
NL178173C (nl) Inrichting voor het aanbrengen van een dunne laag op het oppervlak van een voorwerp.
NL159040B (nl) Werkwijze en inrichting voor het aanbrengen van een relief in een oppervlak.
NL175324C (nl) Werkwijze voor het metalliseren van een polair en microporeus kunststofoppervlak.
NL178700C (nl) Inrichting voor het neerslaan van een dunne laag op een substraat.
NL7412748A (nl) Werkwijze en inrichting voor het neerslaan van n in dunne, hechtende lagen op een kunst- rager.
NL148575B (nl) Werkwijze en inrichting voor het inbrengen van een metalloxyde in de oppervlaktelaag van een glazen voorwerp en glazen voorwerp, verkregen door toepassing van deze werkwijze.
NL175533C (nl) Werkwijze voor het activeren van in het bijzonder niet-geleidende oppervlakken voor een aansluitende stroomloze bekleding.
NL7612913A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een schijf met integrale schoepen.
NL7613893A (nl) Halfgeleiderinrichting met gepassiveerd opper- vlak, en werkwijze voor het vervaardigen van de inrichting.
NL161084B (nl) Werkwijze en inrichting voor het machinaal ver- vaardigen van stenen met een handvormsteenachtig oppervlak.
NL7603785A (nl) Werkwijze voor het bepalen van een oppervlakteaf- meting in een vlak en inrichting voor het toepas- sen van deze werkwijze.
NL161619B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting.
NL7601480A (nl) Inrichting en werkwijze voor het afremmen van een draaiend element.
NL162753C (nl) Werkwijze voor het opbrengen van een bekledingslaag op een draagband, alsmede inrichting voor het toepassen van deze werkwijze.
NL7511873A (nl) Inrichting voor het vormen van een dunne laag.
NL161679B (nl) Werkwijze voor het bereiden van een mengsel geschikt voor het aanbrengen van een afdekkende laag op een verdampbare vloeistof.
NL154860B (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een kunststoflaag op een metalen draad, en metalen draad voorzien van een kunststoflaag aangebracht volgens deze werkwijze.
NL7611408A (nl) Werkwijze en inrichting voor het aanbrengen van een decoratie of versiering op een gevormd voorwerp.
NL168252C (nl) Werkwijze voor het uitvoeren van een oppervlaktebehandeling op een velvormig substraat.
NL7604769A (nl) Inrichting en werkwijze voor het aanbrengen van een kunststoflaagje op een schroefonderdeel.
NL147693B (nl) Inrichting voor het van elkaar verwijderen van twee op elkaar liggende dunne lagen.
NL139689B (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een dunne kunststofbekledingslaag op een onderlaag.
NL141582B (nl) Werkwijze en inrichting voor het afzetten van een dunne laag op een oppervlak.
NL154290B (nl) Inrichting voor het hydromechanisch terugwinnen van een vloeistof die zich in een dunne laag op het oppervlak van een andere vloeistoflaag bevindt.