NL1028907C2 - Method and device for supplying and removing carriers with electronic components. - Google Patents

Method and device for supplying and removing carriers with electronic components. Download PDF

Info

Publication number
NL1028907C2
NL1028907C2 NL1028907A NL1028907A NL1028907C2 NL 1028907 C2 NL1028907 C2 NL 1028907C2 NL 1028907 A NL1028907 A NL 1028907A NL 1028907 A NL1028907 A NL 1028907A NL 1028907 C2 NL1028907 C2 NL 1028907C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
electronic components
carrier
processing
storage container
processed
Prior art date
Application number
NL1028907A
Other languages
Dutch (nl)
Inventor
Johannes Lambertus Ge Venrooij
Albertus Franciscus Gera Driel
Original Assignee
Fico Bv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fico Bv filed Critical Fico Bv
Priority to NL1028907A priority Critical patent/NL1028907C2/en
Priority to PCT/NL2006/050101 priority patent/WO2007001179A2/en
Priority to CN2006800140284A priority patent/CN101167172B/en
Priority to KR1020077027573A priority patent/KR101236878B1/en
Priority to MYPI20061950A priority patent/MY162382A/en
Priority to TW095114996A priority patent/TWI453847B/en
Application granted granted Critical
Publication of NL1028907C2 publication Critical patent/NL1028907C2/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/02Feeding of components
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67126Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/14Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67201Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the load-lock chamber
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67236Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations the substrates being processed being not semiconductor wafers, e.g. leadframes or chips
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Description

ΛΛ

Werkwijze en inrichting voor het aanvoeren en het afvoeren van dragers met elektronische componentenMethod and device for supplying and removing carriers with electronic components

De uitvinding heeft betrekking op werkwijzen voor het van een voorraadhouder naar 5 een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten, werkwijzen voor het van een bewerkingstation naar een voorraadhouder verplaatsen van een drager met elektronische componenten, alsook op werkwijzen voor het aan een bewerkingstation toevoeren en van een bewerkingsstation afvoeren van dragers met elektronische componenten. De uitvinding heeft tevens betrekking op een inrichting 10 voor het tussen een voorraadhouder en een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten en op een samenstel van zo een inrichting met een bewerkingsstation voor dragers met elektronische componenten.The invention relates to methods for moving a carrier with electronic components from a storage container to a processing station, methods for moving a carrier with electronic components from a processing station to a storage container, as well as to methods for supplying to a processing station and removal of carriers with electronic components from a processing station. The invention also relates to a device 10 for moving a carrier with electronic components between a storage container and a processing station and to an assembly of such a device with a processing station for carriers with electronic components.

Bij het bewerken van dragers met elektronische componenten, en meer in het bijzonder 15 dragers voorzien van halfgeleiderschakelingen, wordt gebruik gemaakt van volumineuze en complexe apparatuur. Mogelijke bewerkingen van zulke dragers zijn ondermeer: het aanbrengen van verbindingen (“wire bounding, soldering”), het omhullen van de componenten (“molding”), het verwijderen overtollig materiaal (“degating”), het inspecteren van de componenten, en zo voorts. De dragers kunnen 20 bestaan uit een metaallaag (“lead frames”) of een meer complexe gelaagde structuur bezitten (“boards”). Dergelijke drager worden gebruikelijk aangevoerd en afgevoerd in voorraadhouders (“cassettes”) waarin de dragers gestapeld worden opgeborgen zonder dat zij contact maken met elkaar. Gebruikelijk is de drager in een ontlaadinrichting (“off loader”) te plaatsen waarin een drager uit de voorraadhouder wordt genomen en 25 vervolgens op een transportband wordt geplaatst om vervolgens met de transportband richting een bewerkingsstation te worden bewogen. Aangekomen bij het j i bewerkingsstation wordt met een gelijktijdig met de drager verplaatste manipulator de j drager in het bewerkingsstation geplaatst en na het uitvoeren van de bewerking weer uit ! het bewerkingsstation genomen, ten slotte wordt de bewerkte drager afgevoerd naar een | 30 laadinrichting die gebruikelijk aan de tegenovergestelde zijde van de transportbaan dan j de ontlaadinrichting staat opgesteld, alswaar de drager van de transportband wordt ! genomen en in een voorraadhouder voor bewerkte producten wordt geplaatst. Met zo j een bestaand toevoer en afvoersysteem kunnen ook een aantal naast elkaar geplaatste bewerkingsstations worden bediend; de transportbaan voert dan langs alle te bedienen 7 ! j 2 bewerkingsstations. Met een dergelijke bestaand systeem kan de toevoer en afvoer van dragers gebruikszeker worden uitgevoerd en kan de toevoer en afvoer van de dragers (althans in hoofdzaak) worden ontkoppeld van de afzonderlijke bewerkingstations.When processing supports with electronic components, and more particularly supports provided with semiconductor circuits, use is made of bulky and complex equipment. Possible operations of such carriers include: applying connections ("wire-bounding, soldering"), enveloping the components ("molding"), removing excess material ("degating"), inspecting the components, and so on furthermore. The carriers can consist of a metal layer ("lead frames") or have a more complex layered structure ("boards"). Such a carrier is usually supplied and discharged in storage containers ("cassettes") in which the carriers are stored stacked without making contact with each other. It is customary to place the carrier in an off-loading device in which a carrier is taken out of the storage container and is subsequently placed on a conveyor belt to be subsequently moved with the conveyor belt towards a processing station. Arrived at the processing station, with a manipulator moved simultaneously with the carrier, the carrier is placed in the processing station and, after carrying out the processing, out again! taken at the processing station, finally the processed carrier is discharged to a | The loading device is usually arranged on the opposite side of the conveyor track than the unloading device, where the carrier of the conveyor belt becomes! is placed in a storage container for processed products. With such an existing supply and discharge system, a number of processing stations placed next to each other can also be operated; the conveyor track then passes all 7 to be operated! j 2 processing stations. With such an existing system, the supply and removal of carriers can be carried out in a reliable manner and the supply and removal of the carriers can be (at least substantially) disconnected from the individual processing stations.

5 Doel van de onderhavige uitvinding is het ten opzichte van de stand der techniek vereenvoudigen van het beladen en ontladen van bewerkingsstations voor dragers met elektronische componenten en het verschaffen van de daartoe benodigde middelen.The object of the present invention is to simplify, compared to the prior art, the loading and unloading of processing stations for carriers with electronic components and to provide the means required for this purpose.

De uitvinding verschaft daartoe een werkwijze voor het van een voorraadhouder naar 10 een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten omvattende de bewerkingsstappen: A) het op een specifieke hoogte plaatsen van de voorraadhouder met te bewerken drager met elektronische componenten, zodanig dat de te bewerken drager met elektronische componenten althans in hoofdzaak in een vlak is gelegen met een invoerpositie van het bewerkingsstation, B) het vanuit de 15 voorraadhouder in een horizontaal vlak naar de invoerpositie verplaatsen van de te bewerken drager met elektronische componenten, en C) het vanuit de invoerpositie doorzetten van de te bewerken drager met elektronische componenten naar de bewerkingspositie van het bewerkingsstation. Daarbij ondergaat de drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap C) bij voorkeur althans in 20 hoofdzaak een horizontale verplaatsing. Aanvullend is het tevens mogelijk dat de drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap B) in het horizontale vlak wordt geroteerd. Bij het aldus aanvoeren van een drager vindt de verplaatsing hoofdzakelijk in één enkel horizontaal vlak plaatst Dit wil zeggen dat alle manipulatiemiddelen voor de afzonderlijke dragers (dat wil zeggen dragers die uit een 25 voorraadhouder zijn genomen) slecht bewegingsvrijheid in een enkel vlak behoeven te verschaffen. Deze, ten opzichte van de stand der techniek, beperkte bewegingsvrijheid van de manipulatiemiddelen maakt dat deze relatief eenvoudig kunnen worden uitgevoerd en daardoor bovendien ook met grote nauwkeurigheid kunnen werken. Nog een belangrijk voordeel is dat dit het mogelijk maakt de toevoer van de dragers uit te 30 voeren met een zeer beperkt ruimtebeslag terwijl het toch mogelijk blijft een drager over bijvoorbeeld 180° te roteren.To this end, the invention provides a method for moving a carrier with electronic components from a storage container to a processing station, comprising the processing steps: A) placing the storage container with a carrier with electronic components to be processed at a specific height, such that the processing to be processed carrier with electronic components is located at least substantially in a plane with an input position of the processing station, B) moving the carrier with electronic components to be processed from the storage container in a horizontal plane to the input position, and C) moving it from the input position forwarding the carrier to be processed with electronic components to the processing position of the processing station. The carrier with electronic components herein undergoes preferably at least substantially a horizontal displacement during the processing step C). Additionally, it is also possible that the carrier with electronic components is rotated in the horizontal plane during the processing step B). When a carrier is thus supplied, the displacement takes place essentially in a single horizontal plane. This means that all manipulation means for the individual carriers (i.e. carriers taken from a storage container) need to provide poor freedom of movement in a single plane. This freedom of movement of the manipulation means, compared to the state of the art, means that they can be of relatively simple design and, moreover, can also operate with great accuracy. Another important advantage is that this makes it possible to carry out the supply of the carriers with a very limited use of space, while it still remains possible to rotate a carrier through, for example, 180 °.

De uitvinding verschaft tevens een werkwijze voor het van een voorraadhouder naar een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten 1028907 3 omvattende de bewerkingsstappen: D) het aangrenzend een invoerpositie van het bewerkingsstation positioneren van de voorraadhouder met te bewerken drager met elektronische componenten, E) het op zodanige hoogte ten opzichte van de invoerpositie brengen van de voorraadhouder dat de te bewerken drager met 5 elektronische componenten in een vlak is gelegen met de invoerpositie, F) het vanuit de voorraadhouder met een lineaire beweging naar de invoeipositie verplaatsen van de te bewerken drager met elektronische componenten, en G) het vanuit de invoerpositie doorzetten van de te bewerken drager met elektronische componenten naar de bewerkingspositie van het bewerkingsstation. Bij voorkeur vormen daarbij de 10 verplaatsingen van de drager tijdens bewerkingsstappen F) en G) vloeiend aansluitende bewegingen die in een rechte lijn kunnen zijn gelegen. Ook bij deze werkwijze wordt, evenals bij de voorgaand beschreven werkwijze, de te verplaatsen drager samen met de voorraadhouder in een zodanige uitgangspositie gebracht dat het transporttraject van de voorraadhouder naar het bewerkingsstation ten opzichte van de stand der techniek zeer 15 eenvoudig is; de complexiteit van het positioneren ligt veeleer in het voortraject bij het positioneren van de voorraadhouder. Een voordeel hiervan is dat de (kwetsbare) drager grotendeel wordt gemanipuleerd in een afgeschermde toestand (namelijk opgeborgen in de voorraadhouder) zodat de kans op beschadiging van de drager tijdens, of ten gevolge van, transporthandelingen gering is. Nog een voordeel is dat de transporthandelingen 20 worden opgedeeld in deelprocessen die afzonderlijk eenvoudiger zijn dan een geïntegreerde dragermanipulatie volgens de stand der techniek. Deze afzonderlijke deelprocessen zijn relatief eenvoudig te mechaniseren en te automatiseren.The invention also provides a method for moving a carrier with electronic components from a storage container to a processing station, comprising the processing steps: D) adjacent an input position of the processing station for positioning the storage container with a carrier to be processed with electronic components, E) bringing the storage container at such a height relative to the input position that the carrier to be processed with electronic components is situated in a plane with the input position, F) moving the carrier to be processed from the storage container with a linear movement to the infeed position with electronic components, and G) forcing the carrier to be processed with electronic components from the input position to the processing position of the processing station. Preferably, the movements of the carrier during processing steps F) and G) then form contiguous movements which can be situated in a straight line. With this method as well as with the method described above, the carrier to be moved together with the storage container is brought into such a starting position that the transport path from the storage container to the processing station is very simple compared to the prior art; rather, the complexity of positioning lies in the preliminary process when positioning the supply holder. An advantage hereof is that the (vulnerable) carrier is largely manipulated in a shielded state (namely stored in the storage container) so that the chance of damage to the carrier during, or as a result of, transport operations is small. Another advantage is that the transport operations 20 are divided into sub-processes that are individually simpler than an integrated carrier manipulation according to the prior art. These individual sub-processes are relatively easy to mechanize and automate.

In een voorkeursvariant is de voorraadhouder voorzien van een aantal boven elkaar 25 gelegen dragers met elektronische componenten zodanig dat na het doorlopen van de bewerkingsstappen D) - G) ten minste de bewerkingsstappen E) - G) kunnen worden doorlopen voor opvolgend aan te voeren dragers met elektronische componenten. ZO kan een voorraadhouder met meerdere drager worden ontladen terwijl deze tussen twee opvolgend uit de voorraadhouder te verwijderen dragers slecht een zeer kort en zeer 30 eenvoudig (gewoonlijk lineair) transporttraject hoeft te doorlopen. Dit leidt naast de in bovengaande alinea reeds opgesomde voordelen ook tot een kort minimale cyclustijd tussen twee opvolgde toe te voeren dragers.In a preferred variant, the supply container is provided with a number of carriers with electronic components located one above the other, such that after having passed through the processing steps D) - G) at least the processing steps E) - G) can be traversed for carriers to be supplied subsequently electronic components. Thus, a storage container with a plurality of carriers can be discharged, while between two carriers to be subsequently removed from the storage container, it only needs to go through a very short and very simple (usually linear) transport route. In addition to the advantages already listed in the preceding paragraph, this also leads to a short minimum cycle time between two successive carriers to be supplied.

1028 90 7 41028 90 7 4

Voor het doorzetten van een (ten minste gedeeltelijk) uit een voorraadhouder stekende drager kunnen de dragers met elektronische componenten tijdens bewerkingsstap G) vanuit de invoerpositie naar de bewerkingspositie worden verplaatst onder tussenkomst van ten minste één aangedreven rollenpaar. Ook is het mogelijk dat bij het verplaatsen 5 van de dragers tussen de invoer- en de bewerkingspositie de dragers een tussenstation passeren. Zo een bewerkingsstation kan bijvoorbeeld een (voor)verwarming van de dragers bewerkstelligen zodanig dat de dragers in voorverwarmde toestand in bijvoorbeeld een omhulinrichting worden geplaatst.To push through a carrier (at least partially) protruding from a storage container, the carriers with electronic components can be moved during processing step G) from the input position to the processing position through the intervention of at least one driven pair of rollers. It is also possible that when the carriers are moved between the input and processing positions, the carriers pass through an intermediate station. Such a processing station can for instance effect a (pre) heating of the carriers such that the carriers are placed in, for example, an encapsulating device in the pre-heated state.

10 De uitvinding verschaft bovendien een werkwijze voor het van een bewerkingsstation naar een voorraadhouder verplaatsen van een bewerkte drager met elektronische componenten omvattende de bewerkingsstappen: K) het vanuit een bewerkingspositie van het bewerkingsstation naar een uitvoerpositie verplaatsen van de bewerkte drager met elektronische componenten, L) het een specifieke hoogte plaatsen van de 15 voorraadhouder voor een bewerkte drager met elektronische componenten, zodanig dat een opneempositie van de voorraadhouder voor de bewerkte drager met elektronische componenten althans in hoofdzaak in een vlak is gelegen met een uitvoerpositie van het bewerkingsstation, en M) het vanuit de uitvoerpositie in een horizontaal vlak naar opneempositie van de voorraadhouder verplaatsen van de bewerkte drager met 20 elektronische componenten. Bij voorkeur ondergaat de bewerkte drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap K) althans in hoofdzaak een horizontale verplaatsing. Ook is het mogelijk dat de bewerkte drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap M) in het horizontale vlak wordt geroteerd. Met deze werkwijze kan niet alleen het aanvoeren van dragers aan een bewerkingsinrichting 25 maar ook het weer van het bewerkingsstation naar een voorraadhouder afvoeren van bewerkte dragers, althans hoofdzakelijk, in één enkel horizontaal vlak plaatsvinden.The invention furthermore provides a method for moving a processed carrier with electronic components from a processing station to a storage container comprising the processing steps: K) moving the processed carrier with electronic components from a processing position of the processing station to an output position, L) placing the storage container for a processed carrier with electronic components at a specific height, such that a receiving position of the storage container for the processed carrier with electronic components is located at least substantially in a plane with an output position of the processing station, and M) moving the processed carrier with electronic components from the output position in a horizontal plane to the receiving position of the storage container. The processed carrier with electronic components preferably undergoes at least substantially a horizontal displacement during the processing step K). It is also possible that the processed carrier with electronic components is rotated in the horizontal plane during the processing step M). With this method, not only the supply of carriers to a processing device 25 but also the removal of processed carriers from the processing station to a supply container can take place, at least substantially, in a single horizontal plane.

Ook deze afvoerende manipulatiemiddelen behoeven alzo slechts bewegingsvrijheid in een enkel vlak te verschaffen. De reeds eerder genoemde voordelen hiervan zijn de relatief, ten opzichte van de stand der techniek, beperkte bewegingsvrijheid van de 30 manipulatiemiddelen die daardoor eenvoudig kunnen worden uitgevoerd en toch met grote nauwkeurigheid kunnen werken. Een ander bijkomend voordeel is dat ook tijdens de afvoer van bewerkte dragers deze indien gewenst met een zeer beperkt ruimtebeslag geroteerd kunnen worden.These discharging manipulation means, therefore, need only provide freedom of movement in a single plane. The aforementioned advantages of this are the relative freedom of movement of the manipulation means, relative to the state of the art, which as a result can be easily carried out and yet can operate with great accuracy. Another additional advantage is that, even during the removal of processed carriers, these can be rotated with a very limited amount of space if desired.

1 0 2 8 9 0 7 51 0 2 8 9 0 7 5

De onderhavige uitvinding omvat ook nog een werkwijze voor het van een bewerkingstation naar een voorraadhouder verplaatsen van een drager met elektronische componenten, overeenkomstig conclusie 7. Daarbij zijn de verplaatsingen van de drager tijdens bewerkingsstappen P) en Q) bij voorkeur in een rechte lijn gelegen.The present invention also comprises a method for moving a carrier with electronic components from a processing station to a storage container, according to claim 7. The movements of the carrier during processing steps P) and Q) are preferably situated in a straight line.

5 Overeenkomstig de bovengenoemde voordelen van de toevoer van dragers aan een bewerkingsstation kunnen deze voordelen ook worden gerealiseerd bij het van een bewerkingsstation afvoeren van een bewerkte drager. Ook daarbij kan de voorraadhouder zijn ingericht voor het bevatten van een aantal boven elkaar gelegen dragers met elektronische componenten zodanig dat na het doorlopen van de 10 bewerkingsstappen N) - Q) ten minste de bewerkingsstappen O) - Q) kunnen worden doorlopen voor opvolgend aan te voeren dragers met elektronische componenten. Wederom is het mogelijk de dragers aansluitend te verplaatsen onder tussenkomst van ten minste één aangedreven rollenpaar. Ook kunnen de dragers bij het verplaatsen een tussenstation passeren, bijvoorbeeld een tussenstation voor het inklemmen van een 15 bewerkte drager en/of het gecontroleerd uitharden van een van omhulmateriaal voorziene drager. Zo kan ongewenste vervorming van een drager en/of ongewenste spanningsopbouw in een drager worden tegengegaan.According to the above-mentioned advantages of supplying carriers to a processing station, these advantages can also be realized when discharging a processed carrier from a processing station. Here, too, the storage container can be adapted to contain a number of superimposed carriers with electronic components such that after the processing steps N) - Q), at least the processing steps O) - Q) can be traversed for subsequent perform carriers with electronic components. Again, it is possible to subsequently move the carriers through at least one driven pair of rollers. When moving, the carriers can also pass an intermediate station, for instance an intermediate station for clamping a processed carrier and / or for the controlled curing of a carrier provided with encapsulating material. Thus, undesired deformation of a carrier and / or undesired stress build-up in a carrier can be prevented.

De uitvinding ziet bovendien op gecombineerde werkwijzen voor het aansluitend aan 20 een bewerkingstation toevoeren en vervolgens van een bewerkingsstation afvoeren van dragers volgens de toevoer- en afvoerwerkwijzen zoals bovengaand beschreven, waarbij de invoerpositie van het bewerkingsstation samenvalt met de afVoerpositie van het bewerkingsstation. Daarbij kan de voorraadhouder van waaruit een te bewerken drager met elektronische componenten wordt aangevoerd na toevoer van een drager aan het 25 bewerkingsstation worden verwijderd van de invoerpositie van het bewerkingsstation, en wordt opvolgend de voorraadhouder waarin een bewerkte drager met elektronische componenten toegevoerd aangrenzend de uitvoerpositie van het bewerkingsstation gepositioneerd. Deze twee verschillende voorraadhouders, gebruikelijk zijn dit identieke voorraadhouders, kunnen door middel van een gemeenschappelijke 30 draagstructuur worden verplaatst. Daarbij is het ook mogelijk dat met een enkele constructie meerdere bewerkingsstations kunnen worden gevoed en worden ontladen.The invention furthermore relates to combined methods for subsequently supplying carriers to a processing station and then discharging carriers from a processing station according to the feeding and discharging methods as described above, wherein the input position of the processing station coincides with the discharge position of the processing station. Thereby, the supply container from which a carrier to be processed with electronic components is supplied after supply of a carrier to the processing station can be removed from the input position of the processing station, and subsequently the supply container to which a processed carrier with electronic components is supplied is adjacent the output position of positioned at the processing station. These two different storage containers, usually these are identical storage containers, can be moved by means of a common support structure. In addition, it is also possible that several processing stations can be fed and discharged with a single construction.

De uitvinding verschaft bovendien een inrichting voor het tussen een voorraadhouder en een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten 1028907 6 omvattende: een verplaatsbare draagstructuur voor het ten opzichte van het bewerkingsstation positioneren van een voorraadhouder, en een horizontaal verplaatsbare manipulator voor het tussen de voorraadhouder en het bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten. Zo een verplaatsbare 5 draagstructuur bijvoorbeeld (lineair) vertikaal verplaatsbare draagstructuur kan door een intermitterend bewegingspatroon afwisselend steeds een wisselende voorraadhouder ten minste op de hoogte van het bewerkingsstation laten aansluiten. Reeds bovengaand zijn naar aanleiding van de werkwijzen volgens de onderhavige uitvinding de voordelen van een dergelijke inrichting benoemd; eenvoud van constructie, grote 10 positienauwkeurigheid met relatief beperkte investeringen en compacte bouw van de inrichting.The invention furthermore provides a device for moving a carrier with electronic components between a storage container and a processing station, comprising: a movable support structure for positioning a storage container relative to the processing station, and a horizontally movable manipulator for moving between the storage container and moving the processing station of a carrier with electronic components. Such a displaceable support structure, for example (linearly) vertically displaceable support structure, can intermittently allow an intermittent movement pattern to alternately connect an alternating supply container at least at the height of the processing station. The advantages of such a device have already been mentioned above in connection with the methods according to the present invention; simplicity of construction, high positional accuracy with relatively limited investments and compact construction of the device.

In een specifieke uitvoeringsvariant is het mogelijk dat de inrichting (lineair) verplaatsbaar is langs meerdere bewerkingsstations zodanig dat er meerdere 15 bewerkingsstations met een enkele inrichting volgens de onderhavige uitvinding lineair kunnen worden beladen respectievelijk ontladen. Ook een combinatie van de vertikaal verplaatsbare draagstructuur en de langs meerdere bewerkingsstation verplaatsbare inrichting vormt een voordelige uitvoeringsvariant. Voor het voorzien in zowel toevoer als afvoer van dragers met een enkele inrichting is het voordelig indien de verplaatsbare 20 draagstructuur is ingericht voor het ondersteunen van ten minste twee voorraadhouders; een eerste voorraadhouder voor het opnemen van te bewerken dragers met elektronische componenten, en een tweede houder voor het opnemen van bewerkte dragers met elektronische componenten.In a specific embodiment variant, it is possible for the device to be displaced (linearly) along a plurality of processing stations such that a plurality of processing stations can be linearly loaded or unloaded with a single device according to the present invention. A combination of the vertically displaceable support structure and the device displaceable along a plurality of processing stations also forms an advantageous embodiment variant. For providing both supply and discharge of carriers with a single device, it is advantageous if the movable carrier structure is adapted to support at least two supply containers; a first storage container for receiving processed carriers with electronic components, and a second container for receiving processed carriers with electronic components.

25 Indien de horizontaal verplaatsbare manipulator verwarmbaar is wordt het mogelijk het te verplaatsen product zowel tijdens de aanvoer te conditioneren (voor te verwarmen) om zo een verbeterde kwaliteit bij het bewerkingsproces (met name bij het omhullen) te bewerkstelligen. Ook bij het afVoeren van bewerkte producten kan het voordelig zijn om de temperatuur van de bewerkte drager gelijkmatig te verminderen of boven een 30 bepaalde temperatuur te houden. Dit om de kwaliteit van het uiteindelijke product verder te verbeteren. Opgemekrt wordt dat ook als werkwijzen volgens de onderhavige uitvinding extra voordelig kunnen worden toegepast met het voorverwarmen en/of naverwarmen van de drager respectievelijk bij het aanvoeren van nog te bewerken dragers en het afvoeren van bewerkte dragers.If the horizontally displaceable manipulator is heatable, it becomes possible to condition (pre-heat) the product to be displaced during the feed so as to achieve an improved quality in the processing process (in particular during encapsulation). Also when discharging processed products it can be advantageous to uniformly reduce the temperature of the processed carrier or to keep it above a certain temperature. This is to further improve the quality of the final product. It is to be noted that even as methods according to the present invention can be used particularly advantageously with the pre-heating and / or post-heating of the carrier or with the supply of carriers to be processed and the removal of processed carriers.

1028907 71028907 7

De verplaatsbare draagstructuur kan in een uitvoeringsvariant zijn voorzien van ten minste één aangedreven eindloze transporteur voor ververplaatsing van een voorraadhouder. De lineair verplaatsbare manipulator heeft als voordeel dat deze zeer 5 eenvoudig kan zijn uitgevoerd en het voor een goede werking niet nodig is dat de manipulator een productafhankelijke configuratie heeft; met een eenvoudige universele opduwer kunnen er dragers worden opgeduwd onafhankelijk van de specifieke vorm en afmetingen van de drager. Een ander belangrijk voordeel is dat de inrichting overeenkomstig de uitvinding tot een aanzienlijke ruimtebesparing leidt ten opzichte 10 van de bestaande toevoer- en afvoermiddelen voor dragers van elektronische componenten. Bij een opstelling van meerdere aangrenzende bewerkingsstations is het tot op heden gebruikelijk een laadstation en een ontlaadstation aan de overliggende zijden van de rij bewerkingsstations te plaatsen en deze twee stations te verbinden een langs de bewerkingsstation voerende geleiding; dit wil zeggen dat voor de toevoer en 15 afvoer van dragers aan drie zijden van de rij bewerkingsstation ruimte in beslag wordt genomen. Volgens de onderhavige uitvinding is er nog slechts een ruimtebeslag aan één van de zijden van de rij bewerkingsstations. Dit leidt tot een aanzienlijke beperking in het ruimteslag van de bewerkingsapparatuur voor elektronische componenten. Dit voorddeel van ruimtebesparing is daarenboven nog groter in omstandigheden waarin de 20 bewerkingsprocessen in een specifiek geconditioneerde omgeving (bijvoorbeeld een “clean room” omgeving) dient plaats te vinden.In a variant embodiment, the displaceable support structure can be provided with at least one driven endless conveyor for displacement of a storage container. The linearly displaceable manipulator has the advantage that it can be designed in a very simple manner and it is not necessary for a proper operation that the manipulator has a product-dependent configuration; With a simple universal pusher, carriers can be pushed independently of the specific shape and dimensions of the carrier. Another important advantage is that the device according to the invention leads to a considerable saving of space compared to the existing supply and discharge means for carriers of electronic components. With an arrangement of several adjacent processing stations, it has hitherto been customary to place a charging station and a discharge station on the opposite sides of the row of processing stations and to connect these two stations to a guide running along the processing station; this means that space is taken up for the supply and discharge of carriers on three sides of the row of processing station. According to the present invention, there is only one space left on one of the sides of the row of processing stations. This leads to a considerable limitation in the stroke of the processing equipment for electronic components. Moreover, this advantage of saving space is even greater in circumstances in which the processing processes must take place in a specifically conditioned environment (for example a "clean room" environment).

Ter vergroting van de voorraadcapaciteit is het voordelig indien de inrichting is voorzien van ten minste één bufferpositie voor het op voorraad houden van één of 25 meerdere voorraadhouders, welke bufferpositie koppelbaar is met de draagstructuur voor het uitwisselen van een voorraadhouder. Een lege, respectievelijk volle voorraadhouder (in geval van de aanvoer van dragers, respectievelijk de afvoer van dragers) kan met een dergelijke inrichting worden vervangen voor een volle, respectievelijk lege voorraadhouder.To increase the stock capacity it is advantageous if the device is provided with at least one buffer position for keeping one or more stock holders in stock, which buffer position can be coupled to the support structure for exchanging a stock holder. An empty or full supply container (in the case of the supply of carriers or the discharge of carriers) can be replaced with such a device for a full or empty supply container.

3030

In weer een andere uitvoeringsvariant is de inrichting voorzien van verticale verplaatsingsmiddelen voor het gestapeld houden van ten minste één voorraadhouder voor te bewerken dragers met elektronische componenten en ten minste één voorraadhouder voor bewerkte dragers met elektronische componenten. Zo kunnen 1 0 2 8 90 7 8 zowel de aanvoer als de afvoer van de dragers naar een zelfde positie in de inrichting plaatsvinden. Dit maakt dat de inrichting nog verder verkleind kan worden en beperkt de bouwkosten. Opgemerkt zij dat deze variant met verticale verplaatsingsmiddelen voor het gestapeld houden van te legen en te vullen voorraadhouders kan wordne 5 toegepast in combinatie met alle in deze aanvrage beschreven inrichtingen en dat de vinding teven s de werkwijze omvat van het vertikaal verplaatsen van een aantal boven elkaar gelegen voorraadhouders om vervolgens de aanvoer en afvoer van dragers naar een zelfde locatie plaats te laten vinden.In yet another embodiment, the device is provided with vertical displacement means for keeping at least one supply holder for processed carriers with electronic components stacked and at least one supply holder for processed carriers with electronic components. For example, both the supply and the discharge of the carriers can take place to the same position in the device. This means that the device can be reduced even further and limits construction costs. It is to be noted that this variant with vertical displacement means for keeping stock containers to be emptied and filled can be used in combination with all the devices described in this application and that the invention also comprises the method of vertically displacing a number above one another stock holders located in order to subsequently have the supply and removal of carriers taken to the same location.

10 De uitvinding verschaft daarenboven een samenstel van een bewerkingsstation en een inrichting zoals voorgaand beschreven waarbij het bewerkingstation is voorzien van ten minste één transporteur voor het tussen substations voor het verrichten van deelbewerkingen transporteren van een drager met elektronische componenten, en dat de horizontale, respectievelijk lineaire, bewegingsrichting van de manipulator althans in 15 hoofdzaak loodrecht staat op de transportrichting van de transporteur van het bewerkingsstation. Een dergelijk samenstel kent meerdere substations; een voorbeeld hiervan is een omhulinrichting voor het met een omhulmateriaal omgeven van de met een drager verbonden elektronische componenten met een (voor)verwarmingsstation en/of een station waarin een bewerkte drager geconditioneerd wordt afgekoeld zodanig 20 dat vervorming van de drager beheersbaar is.The invention furthermore provides an assembly of a processing station and a device as described above, wherein the processing station is provided with at least one conveyor for transporting a carrier with electronic components between substations for performing part operations, and that the horizontal and linear, respectively, , direction of movement of the manipulator is at least substantially perpendicular to the direction of transport of the conveyor of the processing station. Such an assembly has several substations; an example of this is an encapsulating device for enclosing the electronic components connected to a carrier with a encapsulating material with a (pre) heating station and / or a station in which a processed carrier is conditioned conditioned such that deformation of the carrier is controllable.

In een voorkeursvariant is het bewerkingsstation voorzien van ten minste één rollentransporteur waarvan de transportrichting aansluit op de transportrichting van de lineaire manipulator van de inrichting voor het tussen een voorraadhouder en een 25 bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten. Zo een rollentransporteur vormt een relatief eenvoudige transporteur die bovendien zo kan worden uitgevoerd dat deze is ingericht voor aangrijping op producten met uiteenlopende dimensies.In a preferred variant, the processing station is provided with at least one roller conveyor, the conveying direction of which follows the conveying direction of the linear manipulator of the device for moving a carrier with electronic components between a storage container and a processing station. Such a roller conveyor forms a relatively simple conveyor which, moreover, can be designed in such a way that it is adapted to engage on products with various dimensions.

30 De onderhavige uitvinding zal verder worden verduidelijkt aan de hand van de in navolgende figuren weergegeven niet-limitatieve uitvoeringsvoorbeelden. Hierin toont: figuur 1 een vooraanzicht op een inrichting voor aanvoer en afvoer van dragers met elektronische componenten overeenkomstig de onderhavige uitvinding, 1028907 9 figuur 2 een schematisch bovenaanzicht op een samenstel van een aantal bewerkingsstations en een inrichting voor aanvoer en afvoer van dragers, figuur 3 een zijaanzicht op een inrichting voor aanvoer en afvoer van dragers met elektronische componenten overeenkomstig de onderhavige uitvinding en een 5 bewerkingsstation dat bestaat uit verschillende op elkaar aansluitende substations, figuur 4 een zijaanzicht op een alternatieve uitvoeringsvariant van een inrichting voor aanvoer en afvoer van dragers met elektronische componenten overeenkomstig de onderhavige uitvinding, figuur 5 A een bovenaanzicht op een alternatieve uitvoeringsvariant van een inrichting 10 voor aanvoer en afvoer van dragers met elektronische componenten overeenkomstig de onderhavige uitvinding, en figuren 5B en 5C een schematisch zijaanzicht en een schematisch vooraanzicht op een deel van een inrichting voor aanvoer en afvoer van dragers met elektronische componenten zoals getoond in figuur 5A.The present invention will be further elucidated with reference to the non-limitative exemplary embodiments shown in the following figures. Herein: figure 1 shows a front view of a device for supplying and discharging carriers with electronic components according to the present invention, 1028907 9 figure 2 shows a schematic top view of an assembly of a number of processing stations and a device for supplying and discharging carriers, figure 3 a side view of a device for supplying and discharging carriers with electronic components according to the present invention and a processing station consisting of different mutually connecting substations, figure 4 a side view of an alternative embodiment variant of a device for supplying and discharging carriers with electronic components components according to the present invention, figure 5A shows a top view of an alternative embodiment variant of a device 10 for supplying and discharging carriers with electronic components according to the present invention, and figures 5B and 5C a schematic side view and e and a schematic front view of a part of a device for supplying and discharging carriers with electronic components as shown in figure 5A.

1515

Figuur 1 toont een cassette 1 met een aantal te bewerken dragers 2 en een cassette 3 die is bestemd voor het opnemen van bewerkte dragers. De cassettes 1,3 worden onder tussenkomst van klemmechanismen 4 vastgehouden door een draagstructuur 5. De draagstructuur 5 is vertikaal (zie pijl Pi) verplaatsbaar door bediening van een eindloze j ! 20 transportband 6 die wordt aangedreven door een motor 7. Door het verplaatsen van de draagstructuur 5 kan een cassette 1 in een zodanige positie worden gebracht dat er een drager 2 op een juiste hoogte kan worden uitgeschoven, respectievelijk kan de cassette 3 in een zodanige positie worden gebracht dat er een bewerkte drager in kan worden geschoven. De draagstructuur 5, transportband 6 en de motor 7 zijn verbonden met een 25 gestel 8 welk gestel 8 door een tweede bandtransporteur 9 in een horizontale richting (zie pijl P2) verplaatsbaar is door bediening van een motor 10. Door verplaatsing van hert gestel 8 is het mogelijk de draagstructuur 5 aan te laten sluiten op meerdere naast elkaar opgestelde, en in deze figuur niet getoonde, bewerkingsstations.Figure 1 shows a cassette 1 with a number of carriers 2 to be processed and a cassette 3 intended for receiving processed carriers. The cassettes 1,3 are held by a support structure 5 through the intervention of clamping mechanisms 4. The support structure 5 can be moved vertically (see arrow Pi) by operating an endless j! Conveyor belt 6 which is driven by a motor 7. By moving the support structure 5, a cassette 1 can be brought into such a position that a carrier 2 can be slid out at a correct height, or the cassette 3 can be moved into such a position be brought in that a processed carrier can be inserted. The support structure 5, conveyor belt 6 and the motor 7 are connected to a frame 8, which frame 8 can be moved by a second belt conveyor 9 in a horizontal direction (see arrow P2) by operating a motor 10. By moving the frame 8 it is possible for the support structure 5 to be connected to a plurality of processing stations arranged next to each other and not shown in this figure.

30 Figuur 2 toont een bovenaanzicht op een drietal bewerkingsstations 20 aangrenzend waaraan een bandtransporteur 21 is opgesteld. De bandtransporteur 21 wordt aangedreven door een motor 22 (conform de tweede bandtransporteur 9 en de motor 10 uit figuur 1). Door verplaatsing van de bandtransporteur 21 wordt gelijktijdig een op de bandtransporteur 21 geplaatst gestel 23 bewogen. Het gestel 23 is beladen met cassettes 10 2 8 9 0 7 10 waarvan slechts een bovenste cassette 24 in deze figuur zichtbaar is. Voor het uit de cassette 24 duwen van een drager is het gestel tevens voorzien van een pusher 25 die rechtlijnig intermitterend verplaatsbaar is. Indien de pusher 25 tevens is voorzien van een, niet weergegeven, grijper is het ook mogelijk met de pusher 25 bewerkte dragers 5 vanuit een bewerkingsstation 20 naar een cassette 24 te verplaatsen.Figure 2 shows a top view of three processing stations 20 adjacent to which a belt conveyor 21 is arranged. The belt conveyor 21 is driven by a motor 22 (in accordance with the second belt conveyor 9 and the motor 10 of Figure 1). By moving the belt conveyor 21, a frame 23 placed on the belt conveyor 21 is moved simultaneously. The frame 23 is loaded with cassettes 10 of which only an upper cassette 24 is visible in this figure. For pushing a carrier out of the cassette 24, the frame is also provided with a pusher 25 which can be linearly intermittently displaced. If the pusher 25 is also provided with a gripper, not shown, it is also possible to move carriers 5 processed with the pusher 25 from a processing station 20 to a cassette 24.

Figuur 3 toont een inrichting 30 voor aanvoer en afvoer van dragers met elektronische componenten 32 overeenkomstig de onderhavige uitvinding en een bewerkingsstation i 31 dat bestaat uit verschillende op elkaar aansluitende substations 33, 34. De inrichting 10 30 voert een drager 32 aan uit een bovenste cassette 35 die daartoe met een mechanisme zoals beschreven aan de hand van figuur 1 op zodanige hoogte is gebracht (zie pijl P3) dat de drager 32 zich op de hoogte bevindt van een doorvoeropening 36 in de mantel van het bewerkingsstation 31. Een pusher 37, aangedreven door een rotorarm 38 die in verbinding staat met een elektromotor 39, drukt vervolgens (zie pijl P4) de drager 32 uit 15 de cassette 35. De drager zal daardoor worden aangegrepen door een rollenpaar 40 dat deel uitmaakt van het bewerkingsstation 31. Het rollenpaar 40, aangedreven door een elektromotor 41, voert de drager 32 naar een verwarmingsplaat 42 ter voorverwarming van de drager 32. Na (voor)verwarming wordt de drager 32 doorgezet naar een transferpers 34 alwaar de op de drager 32 aanwezige componenten worden omhuld met 20 epoxyhars behuizingen 43. Voor het transport van de verwarmingsplaat 42 naar de transferpers 34 kan gebruik worden gemaakt van, niet weergegeven, transportmiddelen naar keuze. Na het voltooien van de omhulbewerking voert een tweede pusher 44 de van omhulmateriaal 43 voorziene drager terug naar het eerste substation 33. Het eerste substation 33 in deze figuur is zodanig meervoudig uitgevoerd dat het vertikaal 25 verplaatsbaar is (zie pijl P5). In het onderste deel van het substation 33 kan zo een drager met behuizingen 43 gedurende enige tijd worden ingeklemd om zo vervorming (“warpage”) van de drager met behuizingen 43 te voorkomen. Na voldoende lange verblijftijd van de drager met behuizingen 43 in het substation 33 kan de drager met behuizingen 43, bijvoorbeeld onder tussenkomst van het wielenpaar 40 worden 30 afgevoerd naar een cassette 45 die daartoe uiteraard eerst op zodanige hoogte is gebracht dat deze aansluit op de doorvoeropening 36 in het bewerkingsstation 31.Figure 3 shows a device 30 for supplying and discharging carriers with electronic components 32 according to the present invention and a processing station 31 which consists of various mutually connecting substations 33, 34. The device 10 feeds a carrier 32 from an upper cassette 35 which for this purpose has been brought to such a height with a mechanism as described with reference to figure 1 (see arrow P3) that the carrier 32 is at the height of a passage opening 36 in the casing of the processing station 31. A pusher 37, driven by means of a rotor arm 38 which is connected to an electric motor 39, the carrier 32 from the cassette 35 is then pressed (see arrow P4). The carrier will thereby be engaged by a roller pair 40 which forms part of the processing station 31. The roller pair 40 , driven by an electric motor 41, carries the carrier 32 to a heating plate 42 for preheating the carrier 32. After (pre) heating, the carrier ger 32 is transferred to a transfer press 34 where the components present on the support 32 are encased in 20 epoxy resin housings 43. Transport means of choice (not shown) can be used for transporting the heating plate 42 to the transfer press 34. After completing the encapsulating operation, a second pusher 44 returns the carrier provided with encapsulating material 43 to the first substation 33. The first substation 33 in this figure is of such a multiple design that it is vertically movable (see arrow P5). In this way a carrier with housings 43 can be clamped in the lower part of the substation 33 for some time in order to prevent distortion (warpage) of the carrier with housings 43. After a sufficiently long residence time of the carrier with housings 43 in the substation 33, the carrier with housings 43, for example with the intervention of the pair of wheels 40, can be discharged to a cassette 45 which for this purpose is of course first brought to such an extent that it connects to the passage 36 in the processing station 31.

Figuur 4 toont een inrichting 50 met een stationair liftsysteem 51 voor cassettes 52, 53 dat aansluit op een buffersysteem 54 waarmee respectievelijk lege cassettes 55 en 1 0 2 8 9 0 7 11 cassettes 56 met nog te bewerken dragers 57 aan het liftsysteem 51 kunnen worden toegevoerd (zie respectievelijk pijlen Pé, P7). Met het liftsysteem 51 kunnen respectievelijk ook lege cassettes 58 en cassettes 59 met bewerkte dragers 60 van het liftsysteem 51 worden afgevoerd (zie respectievelijk pijlen Pg, P9). Op het stationair 5 liftsysteem 51 sluit een verplaatsbaar (zie pijl P10) substation 61 aan dat is voorzien van een voorverwarmplaat 62 en een persconstructie 63 ter voorkoming van vervorming van een drager voorzien van omhulmateriaal 64. Het verplaatsbaar substation 61 kan de te bewerken drager 65 naar een in deze figuur niet nader gespecificeerd bewerkingsstation voeren, respectievelijk kan daar een drager voorzien van omhulmateriaal 64 uitnemen 10 en terugvoeren naar het stationair liftsysteem 51.Figure 4 shows a device 50 with a stationary lift system 51 for cassettes 52, 53 which connects to a buffer system 54 with which empty cassettes 55 and cassettes 56 with carriers 57 to be processed 57 can be attached to the lift system 51, respectively. supplied (see arrows Pé, P7, respectively). With the elevator system 51, empty cassettes 58 and cassettes with processed carriers 60 can also be discharged from the elevator system 51 (see arrows Pg, P9, respectively). A movable (see arrow P10) substation 61 connects to the stationary elevator system 51 which is provided with a pre-heating plate 62 and a press construction 63 to prevent deformation of a carrier provided with encapsulating material 64. The movable substation 61 can support the carrier 65 for processing to a processing station not further specified in this figure, or there a carrier provided with encapsulating material 64 can take it out and return it to the stationary elevator system 51.

Figuur 5A toont een inrichting 70 met een tweetal bewerkingsstations 71, 72 waaraan vanuit een voorraadhouder 73 een drager 74 met elektronische componenten 75 kan worden aangevoerd. Daartoe wordt de voorraadhouder 73 door een liftmechanisme 76 15 op een zodanige hoogte geplaatst dat de drager 74 zich bevindt op het niveau waarop de bewerking inde bewerkingsstations 71, 72 plaatsvindt. Door het in een horizontaal vlak verplaatsen van een manipulator 77 overeenkomstig de pijl Z1 is de drager verplaatsbaar tussen een positie aangrenzend de voorraadhouder 73 en de bewerkingsstations 71, 72. Door een lineaire verplaatser 78 (pusher en/of puller) kunnen 20 de drager in de bewerkingsstations 71,72 en de voorraadhouder 73 worden geduwd en eventueel ook uit de bewerkingsstations 71, 72 en de voorraadhouder 73 worden getrokken. Voor deze laatste functies, het uit de bewerkingsstations 71,72 en de voorraadhouder trekken van de dragers, kunnen eventueel ook andere (niet getoonde) pushers worden toegepast die daartoe aan de achterzijde van de bewerkingsstations 71, 25 72 en de voorraadhouder 73 kunnen worden opgesteld.Figure 5A shows a device 70 with two processing stations 71, 72 to which a carrier 74 with electronic components 75 can be supplied from a storage container 73. To that end, the storage container 73 is placed by a lifting mechanism 76 at a height such that the carrier 74 is at the level at which the processing takes place in processing stations 71, 72. By moving a manipulator 77 in the horizontal plane in accordance with the arrow Z1, the carrier can be moved between a position adjacent the storage container 73 and the processing stations 71, 72. The carrier can move into a linear displacer 78 (pusher and / or puller). the processing stations 71,72 and the storage container 73 are pushed and optionally also pulled from the processing stations 71, 72 and the storage container 73. For the latter functions, pulling the carriers out of the processing stations 71,72 and the storage container, other (not shown) pushers can optionally be used which can be arranged for this purpose at the rear of the processing stations 71, 72 and the storage container 73 .

Figuur 5B toont een zijaanzicht op de inrichting 70 waarin naast een viertal voorraadhouders 73 slechts een gestel 79 zichtbaar is. De voorraadhouders 73 worden gedragen door een viertal verdiepingen 80 die deel uitmaken van een liftsysteem. Door 30 nu de hoogte van de verdiepingen 80 te variëren kan een uit een voorraadhouder 73 te verwijderen drager of een vrij positie in een voorraadhouder 73 voor het opnemen van een bewerkte drager juist op de werkhoogte worden gebracht van de schematisch weergegeven transporteur 81 waarmee het transport in de Z\ richting (zie figuur 5A) kan worden gerealiseerd. Figuur 5C ten slotte toont een schematisch vooraanzicht op de 1 0 2 8 9 0 7 12 liftinstallatie met verdiepingen 80 waarop de voorraadhouders 73 zijn geplaatst. Hierbij is zichtbaar dat de voorraadhouders 73 in dit geval dubbel zijn uitgevoerd voor het op een zelfde niveau houden van twee dragers. Opgemerkt wordt bovendien dat op deze wijze voorraadhouders 73 met nog te bewerken dragers en voorraadhouders 73 met 5 reeds bewerkte producten 73 al dan niet in combinatie met lege voorraadhouders 73 allen boven elkaar geplaatst kunnen zijn. Door middel van het beschreven liftmechaniek kunnen zij allen steeds op de gewenste werkhoogte worden gebracht.Figure 5B shows a side view of the device 70 in which, in addition to four storage containers 73, only a frame 79 is visible. The storage containers 73 are carried by four floors 80 that form part of an elevator system. By now varying the height of the recesses 80, a carrier to be removed from a storage container 73 or a free position in a storage container 73 for receiving a processed carrier can be brought precisely to the working height of the conveyor 81 schematically shown with which the transport in the Z \ direction (see Figure 5A). Finally, Figure 5C shows a schematic front view of the elevator installation with floors 80 on which the storage containers 73 are placed. It can be seen here that the storage containers 73 in this case are of double design for keeping two carriers at the same level. It is furthermore noted that in this way storage containers 73 with carriers to be processed and storage containers 73 with already processed products 73, whether or not in combination with empty storage containers 73, can all be placed one above the other. By means of the described lifting mechanism, they can all be brought to the desired working height at any time.

1 028 90 71 028 90 7

Claims (33)

1. Werkwijze voor het van een voorraadhouder naar een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten omvattende de 5 bewerkingsstappen: A) het op een specifieke hoogte plaatsen van de voorraadhouder met te bewerken drager met elektronische componenten, zodanig dat de te bewerken drager met elektronische componenten althans in hoofdzaak in een vlak is gelegen met een invoerpositie van het bewerkingsstation,Method for moving a carrier with electronic components from a storage container to a processing station comprising the processing steps: A) placing the storage container with a carrier to be processed with electronic components at a specific height, such that the carrier to be processed with electronic components components are located at least substantially in a plane with an input position of the processing station, 2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk dat de drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap C) althans in hoofdzaak een horizontale verplaatsing ondergaat. iMethod according to claim 1, characterized in that the carrier with electronic components undergoes at least substantially a horizontal displacement during the processing step C). i 3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk dat de drager met 20 elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap B) in het horizontale vlak wordt geroteerd.3. Method as claimed in claim 1 or 2, characterized in that the carrier with electronic components is rotated in the horizontal plane during the processing step B). 4. Werkwijze voor het van een voorraadhouder naar een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten omvattende de 25 bewerkingsstappen: D) het aangrenzend een invoerpositie van het bewerkingsstation positioneren van de voorraadhouder met te bewerken drager met elektronische componenten, E) het op zodanige hoogte ten opzichte van de invoerpositie brengen van de voorraadhouder dat de te bewerken drager met elektronische componenten in een vlak 30 is gelegen met de invoerpositie, F) het vanuit de voorraadhouder met een lineaire beweging naar de invoerpositie verplaatsen van de te bewerken drager met elektronische componenten, en G) het vanuit de invoerpositie doorzetten van de te bewerken drager met elektronische componenten naar de bewerkingspositie van het bewerkingsstation. 10289074. Method for moving a carrier with electronic components from a storage container to a processing station comprising the processing steps: D) adjacent an input position of the processing station for positioning the storage container with a carrier to be processed with electronic components, E) at such a height relative to the input position bringing the storage container with the electronic component to be processed in a plane 30 with the input position, F) moving the electronic component carrier to be processed from the storage container with a linear movement to the input position, and G) forwarding the carrier to be processed with electronic components from the input position to the processing position of the processing station. 1028907 5. Werkwijze volgens conclusie 4, met het kenmerk dat de verplaatsingen van de ! drager tijdens bewerkingsstappen F) en G) vloeiend aansluitende bewegingen zijn.Method according to claim 4, characterized in that the displacements of the! support during processing steps F) and G) are smooth contiguous movements. 6. Werkwijze volgens conclusie 4 of 5, met het kenmerk dat de verplaatsingen van de drager tijdens bewerkingsstappen F) en G) in een rechte lijn zijn gelegen.Method according to claim 4 or 5, characterized in that the movements of the carrier during processing steps F) and G) are located in a straight line. 7. Werkwijze volgens een der conclusies 4-6, met het kenmerk dat de voorraadhouder is voorzien van een aantal boven elkaar gelegen dragers met 10 elektronische componenten zodanig dat na het doorlopen van de bewerkingsstappen D) - G) ten minste de bewerkingsstappen E) - G) kunnen worden doorlopen voor opvolgend aan te voeren dragers met elektronische componenten.7. Method as claimed in any of the claims 4-6, characterized in that the storage container is provided with a number of carriers located above each other with electronic components such that after passing through the processing steps D) - G) at least the processing steps E) - G) can be traversed for subsequent carriers with electronic components. 8. Werkwijze volgens een der conclusies 4-7, met het kenmerk dat de dragers 15 met elektronische componenten tijdens bewerkingsstap G) vanuit de invoerpositie naar de bewerkingspositie worden verplaatst onder tussenkomst van ten minste één aangedreven rollenpaar.A method according to any one of claims 4-7, characterized in that the carriers 15 with electronic components are moved from the input position to the processing position during processing step G) with the intervention of at least one driven pair of rollers. 9. Werkwijze volgens een der conclusies 4-8, met het kenmerk dat bij het 20 verplaatsen van de dragers met elektronische componenten tussen de invoerpositie en de bewerkingspositie de dragers een tussenstation passeren.9. Method as claimed in any of the claims 4-8, characterized in that when moving the carriers with electronic components between the input position and the processing position the carriers pass through an intermediate station. 10. Werkwijze voor het van een bewerkingsstation naar een voorraadhouder verplaatsen van een bewerkte drager met elektronische componenten omvattende de 25 bewerkingsstappen: K) het vanuit een bewerkingspositie van het bewerkingsstation naar een uitvoerpositie verplaatsen van de bewerkte drager met elektronische componenten, L) het een specifieke hoogte plaatsen van de voorraadhouder voor een bewerkte drager met elektronische componenten, zodanig dat een opneempositie van de voorraadhouder 30 voor de bewerkte drager met elektronische componenten althans in hoofdzaak in een vlak is gelegen met een uitvoerpositie van het bewerkingsstation, en M) het vanuit de uitvoerpositie in een horizontaal vlak naar opneempositie van de voorraadhouder verplaatsen van de bewerkte drager met elektronische componenten. 10 28 90 710. Method for moving a processed carrier with electronic components from a processing station to a storage container comprising the processing steps: K) moving the processed carrier with electronic components from a processing position of the processing station to an output position, L) a specific carrier placing the height of the storage container for a processed carrier with electronic components, such that a receiving position of the storage container 30 for the processed carrier with electronic components is located at least substantially in a plane with an output position of the processing station, and M) it from the output position moving the processed carrier with electronic components in a horizontal plane to the receiving position of the storage container. 10 28 90 7 10 B) het vanuit de voorraadhouder in een horizontaal vlak naar de invoerpositie verplaatsen van de te bewerken drager met elektronische componenten, en C) het vanuit de invoerpositie doorzetten van de te bewerken drager met elektronische componenten naar de bewerkingspositie van het bewerkingsstation.B) moving the carrier for processing with electronic components in a horizontal plane to the input position, and C) forcing the carrier for processing with electronic components from the input position to the processing position of the processing station. 11. Werkwijze volgens conclusie 10, met het kenmerk dat de bewerkte drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap K) althans in hoofdzaak een horizontale verplaatsing ondergaat.11. Method as claimed in claim 10, characterized in that the processed carrier with electronic components undergoes at least substantially a horizontal displacement during the processing step K). 12. Werkwijze volgens conclusie 10 of 11, met het kenmerk dat de bewerkte drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap M) in het horizontale vlak wordt geroteerd.Method according to claim 10 or 11, characterized in that the machined carrier with electronic components is rotated in the horizontal plane during the machining step M). 13. Werkwij ze voor het van een bewerkingstation naar een voorraadhouder i 10 verplaatsen van een drager met elektronische componenten, omvattende de bewerkingsstappen: N) het aangrenzend een uitvoerpositie van het bewerkingsstation positioneren van de voorraadhouder voor het bevatten van een bewerkte drager met elektronische componenten,13. Method for moving a carrier with electronic components from a processing station to a storage container, comprising the processing steps: N) positioning the storage container adjacent an output position of the processing station for containing a processed carrier with electronic components, 14. Werkwijze volgens conclusie 13, met het kenmerk dat de verplaatsingen van de drager tijdens bewerkingsstappen P) en Q) in een rechte lijn zijn gelegen.A method according to claim 13, characterized in that the movements of the carrier during processing steps P) and Q) are located in a straight line. 15. Werkwijze volgens conclusie 13 of 14, met het kenmerk dat de voorraadhouder is ingericht voor het bevatten van een aantal boven elkaar gelegen dragers met 30 elektronische componenten zodanig dat na het doorlopen van de bewerkingsstappen N) - Q) ten minste de bewerkingsstappen O) - Q) kunnen worden doorlopen voor opvolgend aan te voeren dragers met elektronische componenten. 102890715. Method as claimed in claim 13 or 14, characterized in that the storage container is adapted to contain a number of superimposed carriers with electronic components such that at least after the processing steps N) - Q) at least the processing steps O) - Q) can be traversed for subsequent carriers with electronic components. 1028907 15 O) het op zodanige hoogte ten opzichte van de uitvoerpositie brengen van de voorraadhouder dat een vrije opneempositie van de voorraadhouder in een vlak is gelegen met de uitvoerpositie, P) het vanuit een bewerkingspositie van het bewerkingsstation naar de uitvoerpositie verplaatsen van een bewerkte drager met elektronische componenten, en 20 Q) het van de uitvoerpositie met een lineaire beweging naar de voorraadhouder verplaatsen van de bewerkte drager met elektronische componenten, waarbij de verplaatsingen van de drager tijdens bewerkingsstappen P) en Q) vloeiend aansluitende bewegingen zijn.O) bringing the storage container at a height relative to the output position such that a free pick-up position of the storage container is situated in a plane with the output position, P) moving a processed carrier from a processing position of the processing station to the export position electronic components, and Q) moving the processed carrier with electronic components from the output position with a linear movement to the supply container, the movements of the carrier being smoothly contiguous movements during processing steps P) and Q). 16. Werkwijze volgens een der conclusies 13 -15, met het kenmerk dat de dragers met elektronische componenten tijdens bewerkingsstap Q) vanuit de bewerkingspositie naar de uitvoerpositie worden verplaatst onder tussenkomst van ten minste één aangedreven rollenpaar. 5A method according to any one of claims 13-15, characterized in that the carriers with electronic components are moved during processing step Q) from the processing position to the output position with the intervention of at least one driven pair of rollers. 5 17. Werkwijze volgens een der conclusies 13 -16, met het kenmerk dat bij het verplaatsen van de dragers met elektronische componenten tussen de bewerkingspositie en de uitvoerpositie de dragers een tussenstation passeren.A method according to any one of claims 13-16, characterized in that when moving the carriers with electronic components between the processing position and the output position, the carriers pass through an intermediate station. 18. Werkwijze voor het aan een bewerkingstation toevoeren en van een bewerkingsstation afvoeren van dragers met elektronische componenten, waarbij een te bewerken drager met elektronische componenten wordt aangevoerd overeenkomstig een der conclusies 1 - 3 en na het voltooien van de bewerking de bewerkte drager met elektronische componenten wordt afgevoerd volgens een der conclusies 10-12. 1518. Method for supplying carriers with electronic components to a processing station and discharging from a processing station, wherein a carrier with electronic components to be processed is supplied according to any of claims 1 - 3 and after processing has been completed the processed carrier with electronic components is discharged according to any of claims 10-12. 15 19. Werkwijze voor het aan een bewerkingstation toevoeren en van een bewerkingsstation afvoeren van dragers met elektronische componenten, waarbij een te bewerken drager met elektronische componenten wordt aangevoerd overeenkomstig een der conclusies 4 - 9 en na het voltooien van de bewerking de bewerkte drager met 20 elektronische componenten wordt afgevoerd volgens een der conclusies 13-17.19. Method for supplying carriers with electronic components to a processing station and discharging from a processing station, wherein a carrier with electronic components to be processed is supplied according to any of claims 4 - 9 and after processing has been completed the processed carrier with electronic components components is discharged according to any of claims 13-17. 20. Werkwijze volgens conclusie 18 of 19, met het kenmerk dat de invoerpositie van het bewerkingsstation samenvalt met de afvoerpositie van het bewerkingsstation.A method according to claim 18 or 19, characterized in that the input position of the processing station coincides with the discharge position of the processing station. 21. Werkwijze volgens een der conclusie 18-20, met het kenmerk dat de voorraadhouder van waaruit een te bewerken drager met elektronische componenten wordt aangevoerd na toevoer van een drager aan het bewerkingsstation wordt verwijderd van de invoerpositie van het bewerkingsstation, en dat opvolgend de voorraadhouder waarin een bewerkte drager met elektronische componenten wordt 30 toegevoerd aangrenzend de uitvoerpositie van het bewerkingsstation wordt gepositioneerd.A method according to any one of claims 18-20, characterized in that the supply container from which a carrier to be processed with electronic components is supplied after the supply of a carrier to the processing station is removed from the input position of the processing station, and that subsequently the storage container in which a processed carrier with electronic components is supplied adjacent to the output position of the processing station is positioned. 22. Werkwijze volgens een der conclusies 18-21, met het kenmerk dat de voorraadhouder van waaruit een te bewerken drager met elektronische componenten 1 0 2 8 90 7 wordt aangevoerd en de voorraadhouder waarin een bewerkte drager met elektronische componenten wordt toegevoerd door middel van een gemeenschappelijke draagstructuur worden verplaatst.22. Method as claimed in any of the claims 18-21, characterized in that the storage container from which a carrier with electronic components to be processed is supplied and the storage container into which a processed carrier with electronic components is supplied by means of a common bearing structure. 23. Inrichting voor het tussen een voorraadhouder en een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten omvattende: - een verplaatsbare draagstructuur voor het ten opzichte van het bewerkingsstation positioneren van een voorraadhouder, en - een horizontaal verplaatsbare manipulator voor het tussen de voorraadhouder en het 10 bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten.23. Device for moving a carrier with electronic components between a storage container and a processing station, comprising: - a movable support structure for positioning a storage container relative to the processing station, and - a horizontally displaceable manipulator for moving between the storage container and the processing station. moving station of a carrier with electronic components. 24. Inrichting volgens conclusie 23, met het kenmerk dat de horizontaal verplaatsbare manipulator slechts lineair verplaatsbaar is.Device as claimed in claim 23, characterized in that the horizontally displaceable manipulator is only linearly displaceable. 25. Inrichting volgens conclusie 23 of 24, met het kenmerk dat de horizontaal verplaatsbare manipulator verwarmbaar is.Device according to claim 23 or 24, characterized in that the horizontally displaceable manipulator is heatable. 26. Inrichting volgens een der conclusie 23 -25, met het kenmerk dat de verplaatsbare draagstructuur is ingericht voor het ondersteunen van ten minste twee 20 voorraadhouders; een eerste voorraadhouder voor het opnemen van te bewerken dragers met elektronische componenten, en een tweede houder voor het opnemen van bewerkte dragers met elektronische componenten.26. Device as claimed in any of the claims 23-25, characterized in that the displaceable carrying structure is adapted to support at least two storage containers; a first storage container for receiving processed carriers with electronic components, and a second container for receiving processed carriers with electronic components. 27. Inrichting volgens een der conclusie 23 - 26, met het kenmerk dat de 25 verplaatsbare draagstructuur is voorzien van ten minste een aangedreven eindloze transporteur voor ververplaatsing van een voorraadhouder.27. Device as claimed in any of the claims 23-26, characterized in that the displaceable carrying structure is provided with at least one driven endless conveyor for displacement of a storage container. 28. Inrichting volgens een der conclusies 23 - 27, met het kenmerk dat de inrichting is voorzien van ten minste één bufferpositie voor het op voorraad houden van 30 een voorraadhouder, welke bufferpositie koppelbaar is met de draagstructuur voor het uitwisselen van een voorraadhouder.28. Device as claimed in any of the claims 23-27, characterized in that the device is provided with at least one buffer position for keeping a storage container in stock, which buffer position can be coupled to the support structure for exchanging a storage container. 29. Inrichting volgens een der conclusies 23 - 28, met het kenmerk dat de inrichting is voorzien van verticale verplaatsingsmiddelen voor het gestapeld houden 1028907 van ten minste één voorraadhouder voor te bewerken dragers met elektronische componenten en ten minste één voorraadhouder voor bewerkte dragers met elektronische componenten.Device as claimed in any of the claims 23-28, characterized in that the device is provided with vertical displacement means for keeping stacked 1028907 at least one storage container for processed carriers with electronic components and at least one storage container for processed carriers with electronic components . 30. Samenstel van een bewerkingsstation en een inrichting volgens een der conclusies 24 - 29, met het kenmerk dat het bewerkingstation is voorzien van ten minste één transporteur voor het tussen substations voor het verrichten van deelbewerkingen transporteren van een drager met elektronische componenten, en dat de lineaire bewegingsrichting van de manipulator althans in hoofdzaak loodrecht staat 10 op de transportrichting van de transporteur van het bewerkingsstation.An assembly of a processing station and a device as claimed in any one of claims 24 to 29, characterized in that the processing station is provided with at least one conveyor for transporting a carrier with electronic components between substations for performing partial operations, and that the carrier linear direction of movement of the manipulator is at least substantially perpendicular to the direction of transport of the conveyor of the processing station. 31. Samenstel volgens conclusie 30, met het kenmerk dat het bewerkingsstation is voorzien van ten minste één rollentransporteur waarvan de transportrichting aansluit op de transportrichting van de lineaire manipulator van de inrichting voor het tussen een 15 voorraadhouder en een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten.31. Assembly as claimed in claim 30, characterized in that the processing station is provided with at least one roller conveyor, the transport direction of which connects to the transport direction of the linear manipulator of the device for moving a carrier with electronic components between a storage container and a processing station . 32. Samenstel volgens conclusie 30 of 31, met het kenmerk dat het bewerkingsstation een omhulinrichting is voor het met een omhulmateriaal omgeven 20 van de met een drager verbonden elektronische componenten.32. Assembly as claimed in claim 30 or 31, characterized in that the processing station is an encapsulating device for enclosing the electronic components connected to a carrier with an encapsulating material. 33. Samenstel volgens een der conclusies 30 - 32, met het kenmerk dat tussen het bewerkingsstation en de inrichting voor het tussen een voorraadhouder en een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten een 25 inrichting staat opgesteld voor het beperken van vervorming van de drager ten gevolge van de bewerking die de drager heeft ondergaan in het bewerkingsstation. 102*907An assembly according to any one of claims 30 - 32, characterized in that a device is arranged between the processing station and the device for moving a carrier with electronic components between a storage container and a processing station for limiting distortion of the carrier as a result of the processing that the carrier has undergone at the processing station. 102 * 907
NL1028907A 2005-04-29 2005-04-29 Method and device for supplying and removing carriers with electronic components. NL1028907C2 (en)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1028907A NL1028907C2 (en) 2005-04-29 2005-04-29 Method and device for supplying and removing carriers with electronic components.
PCT/NL2006/050101 WO2007001179A2 (en) 2005-04-29 2006-04-25 Method and device for supplying and discharging carriers with electronic components
CN2006800140284A CN101167172B (en) 2005-04-29 2006-04-25 Method and device for supplying and discharging carriers with electronic components
KR1020077027573A KR101236878B1 (en) 2005-04-29 2006-04-25 Method and device for supplying and discharging carriers with electronic components
MYPI20061950A MY162382A (en) 2005-04-29 2006-04-27 Method and device for supplying and discharging carries with elecronic components
TW095114996A TWI453847B (en) 2005-04-29 2006-04-27 Method and device for supplying and discharging carriers with electronic components

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1028907 2005-04-29
NL1028907A NL1028907C2 (en) 2005-04-29 2005-04-29 Method and device for supplying and removing carriers with electronic components.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1028907C2 true NL1028907C2 (en) 2006-10-31

Family

ID=35756366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1028907A NL1028907C2 (en) 2005-04-29 2005-04-29 Method and device for supplying and removing carriers with electronic components.

Country Status (6)

Country Link
KR (1) KR101236878B1 (en)
CN (1) CN101167172B (en)
MY (1) MY162382A (en)
NL (1) NL1028907C2 (en)
TW (1) TWI453847B (en)
WO (1) WO2007001179A2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6804409B2 (en) * 2017-08-04 2020-12-23 Towa株式会社 Resin molding equipment and resin molded product manufacturing method
TWI671847B (en) * 2018-02-09 2019-09-11 鴻勁精密股份有限公司 Electronic component working equipment
DE102018205926B3 (en) * 2018-04-18 2019-08-29 Asm Assembly Systems Gmbh & Co. Kg Loading device, assembly system and method for assembling SMT circuit boards with SMT components
JP7068094B2 (en) * 2018-08-10 2022-05-16 アピックヤマダ株式会社 Work transfer device, resin transfer device and resin molding method
KR20220090156A (en) * 2020-12-22 2022-06-29 (주)테크윙 Apparatus for delivering electronic component and handler for testing electronic components

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0272141A2 (en) * 1986-12-19 1988-06-22 Applied Materials, Inc. Multiple chamber integrated process system
JPS6487016A (en) * 1987-09-30 1989-03-31 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Operating method for roller leveler
NL9401211A (en) * 1993-07-22 1995-02-16 Towa Corp Method and device for molding resin to seal electronic parts.
NL9401930A (en) * 1994-11-18 1996-07-01 Fico Bv Modular enclosure.
NL1003366C2 (en) * 1996-06-18 1997-12-19 Fico Bv Apparatus and method for encapsulating products.
US6069342A (en) * 1996-12-18 2000-05-30 Texas Instruments Incorporated Automated multiple lead frame strip radiant die attach material curing apparatus
US20020170672A1 (en) * 1997-06-04 2002-11-21 Ilya Perlov Method and apparatus for improved substrate handling

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57128940A (en) * 1981-02-04 1982-08-10 Sony Corp Heat treating method for substrate
KR101120497B1 (en) * 2002-11-15 2012-02-29 외를리콘 솔라 아게, 트뤼프바흐 Apparatus for vacuum treating two dimensionally extended substrates and method for manufacturing such substrates
CN100410750C (en) * 2003-06-17 2008-08-13 友达光电股份有限公司 Carrying and inverting platform
NL1028824C2 (en) * 2005-04-20 2006-10-23 Fico Bv Method and device for moving electronic components arranged in a rectangular structure.

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0272141A2 (en) * 1986-12-19 1988-06-22 Applied Materials, Inc. Multiple chamber integrated process system
JPS6487016A (en) * 1987-09-30 1989-03-31 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Operating method for roller leveler
NL9401211A (en) * 1993-07-22 1995-02-16 Towa Corp Method and device for molding resin to seal electronic parts.
NL9401930A (en) * 1994-11-18 1996-07-01 Fico Bv Modular enclosure.
NL1003366C2 (en) * 1996-06-18 1997-12-19 Fico Bv Apparatus and method for encapsulating products.
US6069342A (en) * 1996-12-18 2000-05-30 Texas Instruments Incorporated Automated multiple lead frame strip radiant die attach material curing apparatus
US20020170672A1 (en) * 1997-06-04 2002-11-21 Ilya Perlov Method and apparatus for improved substrate handling

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 013, no. 296 (M - 846) 10 July 1989 (1989-07-10) *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007001179A3 (en) 2007-08-16
KR101236878B1 (en) 2013-02-26
CN101167172A (en) 2008-04-23
WO2007001179A2 (en) 2007-01-04
KR20080005447A (en) 2008-01-11
TWI453847B (en) 2014-09-21
TW200727383A (en) 2007-07-16
CN101167172B (en) 2010-05-19
MY162382A (en) 2017-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106995140B (en) Full-automatic rod sticking unit for sticking crystal rods
NL1028907C2 (en) Method and device for supplying and removing carriers with electronic components.
US20110276174A1 (en) Palletizer machine and method of palletizing
JPH0549422B2 (en)
JPH029788B2 (en)
CN214088630U (en) Automatic wicking device of I-shaped inductance
KR20220051016A (en) Methods and systems for feeding groups of products to processing units
NL9401930A (en) Modular enclosure.
JP7203414B2 (en) Resin supply/take-out device, workpiece transfer device, and resin molding device
TW201701392A (en) Conveying method and device of electronic component carrier trays enabling an efficient conveying of carrier trays
US6848174B2 (en) Apparatus and method for processing electronic components
JPS61252035A (en) Assembly device
CN103415352A (en) Liquid-application device and liquid-application method
CN108605431B (en) Component packaging apparatus and method thereof
CN211365091U (en) Automatic feeding and discharging equipment for power adapter
CN103391819A (en) Liquid-application device and liquid-application method
JP3911402B2 (en) Semiconductor sealing device
KR20160069749A (en) Semiconductor package molding system
KR20070109954A (en) Cassette conveyance method and cassette conveyance apparatus
CN212023987U (en) Full-automatic efficient laser system in SIP packaging process
US20020172580A1 (en) Workpiece-carrier changeover arrangement and the method for changing over workpiece carriers
NL1008018C2 (en) Method and device for separating and transferring electronic components.
US20240150124A1 (en) System, method and use for picking objects for eyeglass manufacturing
JP2522336B2 (en) Product carrier
KR101952749B1 (en) Three part detachable type adhesive applyng apparatus having two row rail structure

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
SD Assignments of patents

Effective date: 20131017

TD Modifications of names of proprietors of patents

Effective date: 20131017