NL1019637C2 - Inrichting en werkwijze voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider, inrichting en werkwijze voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider, en werkwijzen voor het vervaardigen van dergelijke inrichtingen. - Google Patents
Inrichting en werkwijze voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider, inrichting en werkwijze voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider, en werkwijzen voor het vervaardigen van dergelijke inrichtingen. Download PDFInfo
- Publication number
- NL1019637C2 NL1019637C2 NL1019637A NL1019637A NL1019637C2 NL 1019637 C2 NL1019637 C2 NL 1019637C2 NL 1019637 A NL1019637 A NL 1019637A NL 1019637 A NL1019637 A NL 1019637A NL 1019637 C2 NL1019637 C2 NL 1019637C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- reflector
- material layer
- waveguide
- partially
- light
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4202—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
- G02B6/4214—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device
Description
Inrichting en werkwijze voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider, inrichting en werkwijze voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider, en werkwijzen voor het vervaardigen van dergelijke inrichtingen 5 De uitvinding betreft een inrichting voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider, welke inrichting omvat: een lichtbron, bij voorkeur een elektro-optische omzetter, bij nadere voorkeur een VCSEL, voor het genereren van een lichtstroom, en een reflector voor het opvangen van ten minste een deel van de lichtstroom en voor het 10 reflecteren van ten minste een deel van het opgevangen deel.
De uitvinding heeft tevens betrekking op een inrichting voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider, welke inrichting omvat: een lichtontvanger, bij voorkeur een opto-elektrische omzetter, bij nadere voorkeur een fotodiode, voor het ontvangen van een lichtstroom, en 15 - een reflector voor het opvangen van ten minste een deel van een uit de vlakke golfgeleider uitgekoppelde lichtstroom en voor het reflecteren van ten minste een deel van het opgevangen deel.
De uitvinding betreft voorts een werkwijze voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider, omvattende de stappen: 20 A. het middels een lichtbron, bij voorkeur een elektro-optische omzetter, bij nadere voorkeur een VCSEL, genereren van een lichtstroom; B. het middels een reflector opvangen van ten minste een deel van de lichtstroom en reflecteren van ten minste een deel van het opgevangen deel, en C. het inkoppelen in de vlakke golfgeleider van ten minste een deel van het gereflecteerde 25 deel.
De uitvinding betreft voorts een werkwijze voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider, omvattende de stappen: K. het uit de vlakke golfgeleider uitkoppelen van een lichtstroom; L. het middels een reflector opvangen van ten minste een deel van de uitgekoppelde 30 lichtstroom en reflecteren van ten minste een deel van het opgevangen deel, en M. het middels een lichtontvanger, bij voorkeur een opto-elektrische omzetter, bij nadere voorkeur een fotodiode, ontvangen van ten minste een deel van het gereflecteerde deel.
101 9637gf 2
De uitvinding betreft voorts een werkwijze voor het vervaardigen van een inrichting volgens de uitvinding voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider.
De uitvinding betreft voorts een werkwijze voor het vervaardigen van een inrichting volgens de uitvinding voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider.
5
Bekend zijn inrichtingen voor het optisch koppelen van een glasvezel met een op een drager rustende vlakke golfgeleider. Daarbij kan de glasvezel in een in de drager aangebrachte V-vormige groef zijn geplaatst. Ook kan de vlakke-golfgeleiderstructuur met drager dwars worden doorgezaagd, gebroken of gekliefd waarna het uiteinde van de 10 glasvezel tegen de zaagsnede, breukvlak of kliefvlak wordt bevestigd.
Bekend zijn ook inrichtingen voor het optisch koppelen van een op een drager rustende vlakke golfgeleider met een optisch element, zoals een actieve lichtbron, bijvoorbeeld een VCSEL of een laserdiode, of een lichtontvanger, bijvoorbeeld een PIN of fotodiode. Daarbij kan het betreffende optisch element weer tegen een zaagsnede, breukvlak of 15 kliefvlak worden bevestigd.
Deze bekende inrichtingen zijn relatief complex en het aantal stappen voor de vervaardiging ervan is relatief groot, met name het uitetsen van de V-vormige groef of het zagen, breken of klieven en het positioneren en bevestigen van de glasvezel of het optisch element op de zaagsnede, breukvlak of kliefvlak is lastig en omslachtig.
20
Doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een inrichting voor het inkoppelen, respectievelijk uitkoppelen van licht in, respectievelijk uit een vlakke golfgeleider welke inrichting bovengenoemde nadelen niet kent. De uitvinding heeft voorts als doel het verschaffen van een relatief eenvoudige, doeltreffende en efficiënte werkwijze 25 voor het inkoppelen, respectievelijk uitkoppelen van licht in, respectievelijk uit een vlakke golfgeleider. Voorts heeft de uitvinding als doel het verschaffen van een werkwijze voor de vervaardiging van een dergelijke inrichting.
De uitvinding verschaft daartoe een inrichting voor het inkoppelen van licht in een vlakke 30 golfgeleider van het in aanhef genoemde type, waarbij: de vlakke golfgeleider ten minste gedeeltelijk rust op een in hoofdzaak vlakke drager; T019637* 3 de lichtbron en de reflector zodanig zijn gepositioneerd ten opzichte van de vlakke golfgeleider dat ten minste een deel van het gereflecteerde deel wordt ingekoppeld in de vlakke golfgeleider; de reflector een reflecterend vlak omvat; 5 - de hoofdrichting van het gereflecteerde deel in hoofdzaak loodrecht staat op de hoofdrichting van het opgevangen deel; de reflector ten minste een deel van een eindvlak van een materiaallaag omvat, en de materiaallaag ten minste gedeeltelijk rust op de in hoofdzaak vlakke drager. Opgemerkt wordt dat de term ‘licht’ in dit verband alle elektromagnetische verschijnselen 10 omvat en derhalve frequenties buiten het zichtbare gebied niet uitsluit. De materiaallaag kan uit meerdere (sub)lagen zijn opgebouwd. De vlakke lichtgeleider kan een, in de breedte beperkt, lichtgeleidend kanaal omvatten of een, zich in de breedte in beginsel onbeperkt uitstrekkende, lichtgeleidende ‘slab’.
Omdat ze op dezelfde vlakke drager rusten en daardoor in beginsel op dezelfde hoogte 15 liggen, zijn de reflector c.q. het reflecterend vlak en de vlakke golfgeleider in principe goed ten opzichte van elkaar uitgericht waardoor het in de vlakke golfgeleider ingekoppelde deel van het gereflecteerde deel in beginsel groot zal zijn.
Bij voorkeur omvat de lichtbron een VCSEL. Een VCSEL is klein en compact, geredelijk verkrijgbaar, kan relatief eenvoudig op de vlakke drager worden aangebracht, en blijkt in de 20 praktijk goed te voldoen. Maar ook bijvoorbeeld een LED of een laserdiode kan als lichtbron dienen, of een passief element zoals een glasvezel of een reflector.
De uitvinding verschaft tevens een inrichting voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider van het in aanhef genoemde type, waarbij: 25 - de vlakke golfgeleider ten minste gedeeltelijk rust op een in hoofdzaak vlakke drager; de vlakke golfgeleider en de reflector zodanig zijn gepositioneerd ten opzichte van de lichtontvanger dat ten minste een deel van het gereflecteerde deel wordt opgevangen door de lichtontvanger; de reflector een reflecterend vlak omvat; 30 - de hoofdrichting van het gereflecteerde deel in hoofdzaak loodrecht staat op de hoofdrichting van het opgevangen deel; - de reflector ten minste een deel van een eindvlak van een materiaallaag omvat, en - de materiaallaag ten minste gedeeltelijk rust op de in hoofdzaak vlakke drager.
1019637· 4
Ook nu zijn de reflector c.q. het reflecterend vlak en de vlakke golfgeleider in principe goed ten opzichte van elkaar uitgericht omdat ze op dezelfde vlakke drager rusten en daardoor in beginsel op dezelfde hoogte liggen, waardoor het door de reflector opgevangen deel van de uit de vlakke golfgeleider uitgekoppelde lichtstroom in beginsel groot zal zijn.
5 Bij voorkeur omvat de lichtontvanger een fotodiode. Een fotodiode is klein en compact, geredelijk verkrijgbaar, kan relatief eenvoudig op de vlakke drager worden aangebracht, en blijkt in de praktijk goed te voldoen. Maar ook bijvoorbeeld een PIN kan als lichtontvanger dienen, of een passief element zoals een glasvezel of een reflector.
10 Bij voorkeur is daarbij het eindvlak van de materiaallaag ten minste gedeeltelijk voorzien van een eerste deel van een metaallaag. De metaallaag geeft het reflecterend vlak een grotere reflectiecoëfficiënt zodat het gereflecteerde deel van het door de reflector opgevangen deel groter zal zijn hetgeen de totale efficiëntie zal doen toenemen.
Bij voorkeur vormt daarbij een tweede deel van de metaallaag een elektrode voor de 15 lichtbron respectievelijk de lichtontvanger. De metaallaag kan dan tevens dienst doen als elektrische aansluiting, bijvoorbeeld van de VCSEL of de fotodiode.
Daarbij kan het reflecterend vlak ten minste gedeeltelijk gekromd zijn. Door de kromming wordt het gereflecteerde deel min of meer gebundeld en gericht waardoor het in de vlakke 20 golfgeleider ingekoppelde deel, respectievelijk het door de lichtontvanger ontvangen deel wordt vergroot hetgeen de totale efficiëntie zal doen toenemen.
Het reflecterend vlak kan ook ten minste één facet omvatten. Met ‘facet’ wordt hier bedoeld een in hoofdzaak vlak deel van een oppervlak. Het reflecterend vlak kan bijvoorbeeld een, onder een hoek met de hoofdrichting van de vlakke golfgeleider staand, anisotroop geëtst 25 etsvlak zijn, of bijvoorbeeld zijn opgebouwd uit een aantal facetten in een ‘hoekige komvorm’.
Afhankelijk van het type en de vorm van de lichtgeleider en lichtbron of lichtontvanger, kan het profiel van het reflecterend vlak worden gekozen.
30 Bij voorkeur bestaat de drager daarbij in hoofdzaak uit silicium. Silicium wordt veel gebruikt als uitgangsmateriaal voor geïïitegreerde en geminiaturiseerde inrichtingen. Ten minste een deel van de benodigde lagen en structuren kan dan worden aangebracht in en/of op de drager middels dunne-film technieken, etstechnieken en fotolithografische technieken 1Q19637Ü 5 bekend uit het vakgebied ‘microsysteemtechnologie’; ook wel ‘microstructural technology’ geheten.
Bij voorkeur omvat de vlakke golfgeleider daarbij ten minste één siliciumoxinitride-houdende lichtgeleidende laag. De term ‘siliciumoxinitride’ omvat in dit verband ook 5 siliciumoxide en silicium(rijk)nitride. Structuren opgebouwd uit dergelijke lagen zijn gangbaar en worden veel toegepast als vlakke golfgeleiders.
Bij voorkeur is de materiaallaag daarbij ten minste gedeeltelijk opgebouwd uit in hoofdzaak dezelfde lagen als de lagen waaruit de vlakke golfgeleider is opgebouwd. Dit houdt een belangrijke vereenvoudiging van het productieproces in omdat het aantal benodigde lagen 10 en processtappen daarmee aanzienlijk kan worden beperkt.
De uitvinding verschaft verder een werkwijze voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider omvattende de in aanhef genoemde stappen, waarbij: de vlakke golfgeleider ten minste gedeeltelijk rust op een in hoofdzaak vlakke drager; 15 - de reflector een reflecterend vlak omvat; de hoofdrichting van het gereflecteerd deel in hoofdzaak loodrecht staat op de hoofdrichting van het opgevangen deel; de reflector ten minste een deel van een eindvlak van een materiaallaag omvat, en de materiaallaag ten minste gedeeltelijk rust op de in hoofdzaak vlakke drager.
20 Een dergelijke werkwijze blijkt in de praktijk doeltreffend met een hoog rendement, dat wil zeggen dat de verhouding tussen het uiteindelijk in de vlakke golfgeleider ingekoppeld deel en de oorspronkelijke door de lichtbron gegenereerde lichtstroom, relatief groot is.
De uitvinding verschaft verder een werkwijze voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke 25 golfgeleider omvattende de in aanhef genoemde stappen, waarbij: de vlakke golfgeleider ten minste gedeeltelijk rust op een in hoofdzaak vlakke drager; de reflector een reflecterend vlak omvat; de hoofdrichting van het gereflecteerde deel in hoofdzaak loodrecht staat op de hoofdrichting van het opgevangen deel; 30 - de reflector ten minste een deel van een eindvlak van een materiaallaag omvat, en de materiaallaag ten minste gedeeltelijk rust op de in hoofdzaak vlakke drager.
1019637* 6
Een dergelijke werkwijze blijkt in de praktijk doeltreffend met een hoog rendement, dat wil zeggen dat de verhouding tussen het uiteindelijk door de lichtontvanger ontvangen deel en de oorspronkelijke uit de vlakke golfgeleider uitgekoppelde lichtstroom, relatief groot is.
5 Voorts verschaft de uitvinding een werkwijze voor het vervaardigen van een inrichting volgens de uitvinding, met het kenmerk, dat de werkwijze omvat de stap: X;X’. het vormen van ten minste een deel van het eindvlak middels plaatsselectief etsen van de materiaallaag.
Het plaatsselectief etsen is een gangbare en goed uitontwikkelde technologie waarmee het 10 mogelijk is met grote precisie een goed gedefinieerd eindvlak c.q. reflecterend vlak te realiseren.
Daarbij kan het plaatsselectief etsen in hoofdzaak isotroop etsen omvatten. Bij isotroop, richtingsonafhankelijk, etsen zal het gevormde eindvlak c.q. reflecterend vlak gekromd zijn waardoor het gereflecteerde deel min of meer gebundeld en gericht wordt waarmee het 15 gereflecteerde deel van het opgevangen deel zal worden vergroot.
Het plaatsselectief etsen kan ook in hoofdzaak anisotroop etsen omvatten. Daarmee is het mogelijk een etsvlak c.q. reflecterend vlak met één of meer facetten te realiseren.
Bij voorkeur omvat de werkwijze daarbij tevens de stap: 20 Y. het aanbrengen van een metaallaag op ten minste een deel van het eindvlak van de materiaallaag.
Het aanbrengen van een metaalfilm en het patroneren daarvan is een gangbare en goed uitontwikkelde technologie waarmee het mogelijk is relatief eenvoudig en met grote precisie een goed gedefinieerd metaalpatroon te realiseren.
25
Daarbij kan de werkwijze tevens omvatten de stap: Z. het aanbrengen van een lichtgeleidend medium zoals een gel, lijm of polymeer met een geschikte brekingsindex ter verbetering van de optische koppeling tussen de lichtbron of de lichtontvanger en de vlakke golfgeleider.
30 Zo kan de totale efficiëntie van de optische koppeling worden vergroot.
1019637* 7
De uitvinding wordt in het navolgende toegelicht aan de hand van drie inrichtingen volgens de stand der techniek en twee niet-beperkende uitvoeringsvoorbeelden van een inrichting volgens de uitvinding.
Daartoe toont: 5 - figuur 1 een schematische doorsnede van een eerste bekende inrichting voor het optisch koppelen van een glasvezel met een vlakke golfgeleider; figuur 2 een schematische doorsnede van een tweede bekende inrichting voor het optisch koppelen van een glasvezel met een vlakke golfgeleider; figuur 3 een schematische doorsnede van een derde bekende inrichting voor het optisch 10 koppelen van een actieve lichtbron met een vlakke golfgeleider; figuur 4 een schematische doorsnede van een eerste voorkeursuitvoering van een inrichting volgens de uitvinding voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider, en figuur 5 een schematische doorsnede van een tweede voorkeursuitvoering van een 15 inrichting volgens de uitvinding voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider.
Figuur 1 toont een eerste bekende inrichting 101 voor het optisch koppelen van een vlakke golfgeleider 102 met een glasvezel 121. Een door de glasvezel 121 aangevoerde lichtstroom 20 122 wordt ten minste voor een deel 109 ingekoppeld in de vlakke golfgeleider 102. De glasvezel 121 rust in een V-vormige groef 123 welke is uitgeëtst in een drager 108, meestal een silicium wafer. Voor een betere optische koppeling is tussen de glasvezel 121 en de vlakke golfgeleider 102 veelal een gel of lijm 124 aangebracht.
Daar de glasvezel 121 in het algemeen veel dikker is dan de vlakke golfgeleider 102, ligt de 25 glasvezel 121 deels verzonken in de V-vormige groef 123. Dit is noodzakelijk voor een goede uitrichting ten opzichte van elkaar van de lichtgeleidende glasvezelkem 125 en een lichtgeleidende laag 117 welke onderdeel uitmaakt van de vlakke golfgeleider 102.
Deze eerste bekende inrichting 101 is relatief complex en het aantal stappen voor de vervaardiging ervan is relatief groot, met name het uitetsen van de V-vormige groef 123 is 30 lastig en omslachtig.
Figuur 2 toont een tweede bekende inrichting 201 voor het optisch koppelen van een vlakke golfgeleider 202 met een glasvezel 221. Een door de glasvezel 221 aangevoerde lichtstroom 1019637* 8 222 wordt ten minste voor een deel 209 ingekoppeld in de vlakke golfgeleider 202. De vlakke golfgeleider 202 met drager 208 is doorgezaagd en de glasvezel 221 is met een uiteinde 225 bevestigd tegen het zaagvlak 226.
Ook deze tweede bekende inrichting 201 is relatief complex en het aantal stappen voor de 5 vervaardiging ervan is relatief groot, met name het aanbrengen en positioneren van het uiteinde 225 van de glasvezel 221 tegen de zaagsnede 226 is lastig en omslachtig.
Figuur 3 toont een derde bekende inrichting 301 voor het optisch koppelen van een vlakke golfgeleider 302 met een actieve lichtbron 303, bijvoorbeeld een VCSEL 313. De vlakke 10 golfgeleider 302 met drager 308 is weer doorgezaagd en het optisch element 303 is bevestigd tegen het zaagvlak 326.
Ook deze derde bekende inrichting 301 is relatief complex en het aantal stappen voor de vervaardiging ervan is relatief groot, met name het aanbrengen en positioneren van de actieve lichtbron 303 tegen de zaagsnede 326 is lastig en omslachtig.
15
Figuur 4 toont een eerste voorkeursuitvoering 1 van een inrichting volgens de uitvinding voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider 2, waarbij een lichtstroom 4 wordt gegenereerd door een VCSEL (vertical cavity surface emitting laser) 13. Een deel 6 van de lichtstroom 4 wordt opgevangen door een reflecterend vlak 10. Van het opgevangen deel 6 20 wordt een deel 7 gereflecteerd, van welk gereflecteerd 7 een deel 9 wordt ingekoppeld in de vlakke golfgeleider 2. c.q. een lichtgeleidende laag 17 welke deel uitmaakt van de vlakke golfgeleider 2. De vlakke golfgeleider 2 is opgebouwd uit een aantal lagen 17,2a,2b aangebracht op een drager 8, in dit geval een silicium wafer. De VCSEL 13 is in ‘flip-chip’ montage aangebracht op de drager 8 met lagenstructuur 12,12a,12b;14,15,16;2,2a,2b,17.
25 Het reflecterend vlak 10 is vervaardigd middels plaatsselectief isotroop etsen van een op de drager 8 aangebrachte materiaallaag 12. Zo ontstaat een gekromd eindvlak 11 waarop een eerste deel 14 van een metaallaag 15 is aangebracht. De materiaallaag 12 is opgebouwd uit twee (sub)lagen 12a,12b die in één procesgang met de lagen 17,2a,2b, waaruit de vlakke golfgeleider 2 is opgebouwd, kunnen worden gedeponeerd.
30 Voordelen van deze eerste voorkeursuitvoering 1 zijn: de reflector 5 c.q. het reflecterend vlak 10 en de vlakke golfgeleider 2 rusten op dezelfde drager 8 en liggen derhalve in beginsel op dezelfde hoogte waardoor ze in 1019637« 9 principe goed ten opzichte van elkaar zijn uitgericht en het in de vlakke golfgeleider 2 ingekoppelde deel 9 in beginsel groot zal zijn; de inrichting 1 is compact; de YCSEL 13 is klein en compact, geredelijk verkrijgbaar, kan relatief eenvoudig op 5 de drager 8 worden aangebracht, en blijkt in de praktijk goed te voldoen; door de kromming van het reflecterend vlak 10 wordt het gereflecteerde deel 7 min of meer gebundeld en gericht waarmee het in de vlakke golfgeleider 2 ingekoppelde deel 9 zal worden vergroot; de metaallaag 15 geeft het reflecterend vlak 10 een grote reflectiecoëfficiënt zodat het 10 gereflecteerde deel 7 van het invallend deel 6 groot zal zijn; een tweede deel 16 van de metaallaag 15 kan tevens dienst doen als elektrische aansluiting voor de VCSEL 13; de gehele lagenstructuur 12,12a,12b;14,15,16;2,2a,2b,17 kan worden aangebracht in en/of op de drager 8 middels dunne-film technieken, etstechnieken en 15 fotolithografische technieken bekend uit het vakgebied ‘microsysteemtechnologie’, ook wel ‘microstructural technology’ geheten, en door het min of meer direct koppelen van de lichtbron 3 c.q. VCSEL 13 met de vlakke golfgeleider 2 is geen intermediaire glasvezel 121,221 meer nodig.
20 Figuur 5 toont een tweede voorkeursuitvoering 1 ’ van een inrichting volgens de uitvinding voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider 2’, waarbij een uit de vlakke golfgeleider 2’ uitgekoppelde lichtstroom 9’ wordt opgevangen en gereflecteerd door een reflector 5’, waarna een deel 4’ van het gereflecteerde deel 6’ wordt ontvangen door een lichtontvanger 3’, bijvoorbeeld een fotodiode 13’.
25 Voordelen van deze tweede voorkeursuitvoering Γ zijn mutatis mutandis gelijk aan genoemde voordelen van de eerste voorkeursuitvoering 1.
Het zal duidelijk zijn voor een in het betreffende vakgebied geschoold persoon dat de uitvinding geenszins is beperkt tot de beschreven en getoonde uitvoeringsvoorbeelden en 30 dat binnen het kader van de uitvinding nog vele variaties mogelijk zijn.
f01963?·
Claims (21)
1. Inrichting (1) voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider (2), welke inrichting (1) omvat: 5. een lichtbron (3), bij voorkeur een elektro-optische omzetter (13), bij nadere voorkeur een VCSEL, voor het genereren van een lichtstroom (4), en een reflector (5) voor het opvangen van ten minste een deel (6) van de lichtstroom (4) en voor het reflecteren van ten minste een deel (7) van het opgevangen deel (6), waarbij: 10. de vlakke golfgeleider (2) ten minste gedeeltelijk rust op een in hoofdzaak vlakke drager (8); de lichtbron (3) en de reflector (5) zodanig zijn gepositioneerd ten opzichte van de vlakke golfgeleider (2) dat ten minste een deel (9) van het gereflecteerde deel (7) wordt ingekoppeld in de vlakke golfgeleider (2); 15. de reflector (5) een reflecterend vlak (10) omvat; - de hoofdrichting van het gereflecteerde deel (7) in hoofdzaak loodrecht staat op de hoofdrichting van het opgevangen deel (6); - de reflector (5) ten minste een deel van een eindvlak (11) van een materiaallaag (12) omvat, en 20. de materiaallaag (12) ten minste gedeeltelijk rust op de in hoofdzaak vlakke drager (8)·
2. Inrichting (Γ) voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider (2’), welke inrichting (Γ) omvat: een lichtontvanger (3’), bij voorkeur een opto-elektrische omzetter (13’), bij nadere 25 voorkeur een fotodiode, voor het ontvangen van een lichtstroom (4’), en een reflector (5’) voor het opvangen van ten minste een deel (7’) van een uit de vlakke golfgeleider (2’) uitgekoppelde lichtstroom (9’) en voor het reflecteren van ten minste een deel (6’) van het opgevangen deel (7’), waarbij: 30. de vlakke golfgeleider (2’) ten minste gedeeltelijk rust op een in hoofdzaak vlakke drager (8’); 1019537* de vlakke golfgeleider (2’) en de reflector (5) zodanig zijn gepositioneerd ten opzichte van de lichtontvanger (3’) dat ten minste een deel (4’) van het gereflecteerde deel (6’) wordt opgevangen door de lichtontvanger (3’); de reflector (5’) een reflecterend vlak (10’) omvat; 5. de hoofdrichting van het gereflecteerde deel (6’) in hoofdzaak loodrecht staat op de hoofdrichting van het opgevangen deel (7’); - de reflector (5’) ten minste een deel van een eindvlak (1Γ) van een materiaallaag (12’) omvat, en - de materiaallaag (12’) ten minste gedeeltelijk rust op de in hoofdzaak vlakke 10 drager (8’)·
3. Inrichting (1) volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het eindvlak (11) van de materiaallaag (12) ten minste gedeeltelijk is voorzien van een eerste deel (14) van een metaallaag (15).
4. Inrichting (1) volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat een tweede deel (16) van de 15 metaallaag (15) een elektrode voor de lichtbron (3) vormt.
5. Inrichting (Γ) volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat het eindvlak (1Γ) van de materiaallaag (12’) ten minste gedeeltelijk is voorzien van een eerste deel (14’) van een metaallaag (15’).
6. Inrichting (Γ) volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat een tweede deel (16’) van de 20 metaallaag (15’) een elektrode voor de lichtontvanger (3’) vormt.
7. Inrichting (1,1’) volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het reflecterende vlak (10,10’) ten minste gedeeltelijk gekromd is.
8. Inrichting (1;Γ) volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het reflecterende vlak (10;10’) ten minste één facet omvat.
9. Inrichting (1;Γ) volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de drager (8;8’) in hoofdzaak bestaat uit silicium.
10. Inrichting (1;Γ) volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de vlakke golfgeleider (2;2’) ten minste één siliciumoxinitride-houdende lichtgeleidende laag (17,2a,2b;17’,2a’,2b’) omvat.
11. Inrichting (1;Γ) volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de materiaallaag (12; 12’) ten minste gedeeltelijk is opgebouwd uit in hoofdzaak dezelfde lagen (12a, 12b, 12a’, 12b’) als de lagen (17,2a,2b;17’,2a’,2b’) waaruit de vlakke golfgeleider (2,2’) is opgebouwd. 1019637«
12. Werkwijze voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider (2), omvattende de stappen: A. het middels een lichtbron (3), bij voorkeur een elektro-optische omzetter (13), bij nadere voorkeur een VCSEL, genereren van een lichtstroom (4);
5 B. het middels een reflector (5) opvangen van ten minste een deel (6) van de lichtstroom (4) en reflecteren van ten minste een deel (7) van het opgevangen deel (6), en C. het inkoppelen in de vlakke golfgeleider (2) van ten minste een deel (9) van het gereflecteerde deel (7), 10 waarbij: de vlakke golfgeleider (2) ten minste gedeeltelijk rust op een in hoofdzaak vlakke drager (8); de reflector (5) een reflecterend vlak (10) omvat; de hoofdrichting van het gereflecteerde deel (7) in hoofdzaak loodrecht staat op de 15 hoofdrichting van het opgevangen deel (6); - de reflector (5) ten minste een deel van een eindvlak (11) van een materiaallaag (12) omvat, en - de materiaallaag (12) ten minste gedeeltelijk rust op de in hoofdzaak vlakke drager (8).
13. Werkwijze voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider (2’), omvattende de stappen: K. het uit de vlakke golfgeleider (2’) uitkoppelen van een lichtstroom (9’); L. het middels een reflector (5’) opvangen van ten minste een deel (7’) van de uitgekoppelde lichtstroom (9’) en reflecteren van ten minste een deel (6’) van het 25 opgevangen deel (7’), en M. het middels een lichtontvanger (3’), bij voorkeur een opto-elektrische omzetter (13’), bij nadere voorkeur een fotodiode, ontvangen van ten minste een deel (4’) van het gereflecteerde deel (7’); waarbij: 30. de vlakke golfgeleider (2’) ten minste gedeeltelijk rust op een in hoofdzaak vlakke drager (8’); de reflector (5’) een reflecterend vlak (10’) omvat; 1019637« de hoofdrichting van het gereflecteerde deel (6’) in hoofdzaak loodrecht staat op de hoofdrichting van het opgevangen deel (7’); - de reflector (5’) ten minste een deel van een eindvlak (11 ’) van een materiaallaag (12’) omvat, en 5. de materiaallaag (12’) ten minste gedeeltelijk rust op de in hoofdzaak vlakke drager (8’).
14. Werkwijze voor het vervaardigen van een inrichting (1) voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider (2), welke inrichting (1) omvat: een lichtbron (3), bij voorkeur een elektro-optische omzetter (13), bij nadere 10 voorkeur een VCSEL, voor het genereren van een lichtstroom (4), en - een reflector (5) voor het opvangen van ten minste een deel (6) van de lichtstroom (4) en voor het reflecteren van ten minste een deel (7) van het opgevangen deel (6), waarbij: de vlakke golfgeleider (2) ten minste gedeeltelijk rust op een in hoofdzaak vlakke 15 drager (8); - de lichtbron (3) en de reflector (5) zodanig zijn gepositioneerd ten opzichte van de vlakke golfgeleider (2) dat ten minste een deel (9) van het gereflecteerde deel (7) wordt ingekoppeld in de vlakke golfgeleider (2); de reflector (5) een reflecterend vlak (10) omvat, 20. de hoofdrichting van het gereflecteerde deel (7) in hoofdzaak loodrecht staat op de hoofdrichting van het opgevangen deel (6); - de reflector (5) ten minste een deel van een eindvlak (11) van een materiaallaag (12) omvat, en - de materiaallaag (12) ten minste gedeeltelijk rust op de in hoofdzaak vlakke drager 25 (8), met het kenmerk, dat de werkwijze omvat de stap: X. het vormen van ten minste een deel van het eindvlak (11) middels plaatsselectief etsen van de materiaallaag (12).
15. Werkwijze voor het vervaardigen van een inrichting (Γ) voor het uitkoppelen van licht 30 uit een vlakke golfgeleider (2’), welke inrichting (1 ’) omvat: een lichtontvanger (3’), bij voorkeur een opto-elektrische omzetter (13’), bij nadere voorkeur een fotodiode, voor het ontvangen van een lichtstroom (4’), en 1019637· een reflector (5’) voor het opvangen van ten minste een deel (7') van een uit de vlakke golfgeleider (2’) uitgekoppelde lichtstroom (9’) en voor het reflecteren van ten minste een deel (6’) van het opgevangen deel (7’), waarbij: 5. de vlakke golfgeleider (2’) ten minste gedeeltelijk rust op een in hoofdzaak vlakke drager (8’); de vlakke golfgeleider (2’) en de reflector (5) (3’) zodanig zijn gepositioneerd ten opzichte van de lichtontvanger dat ten minste een deel (4’) van het gereflecteerde deel (6’) wordt opgevangen door de lichtontvanger (3’); 10. de reflector (5’) een reflecterend vlak (10’) omvat; de hoofdrichting van het gereflecteerde deel (6’) in hoofdzaak loodrecht staat op de hoofdrichting van het opgevangen deel (7’); - de reflector (5’) ten minste een deel van een eindvlak (1Γ) van een materiaallaag (12’) omvat, en 15. de materiaallaag (12’) ten minste gedeeltelijk rust op de in hoofdzaak vlakke drager (8’), met het kenmerk, dat de werkwijze omvat de stap: X’ het vormen van ten minste een deel van het eindvlak (11 ’) middels plaatsselectief etsen van de materiaallaag (12’).
16. Werkwijze volgens conclusie 14 of 15, met het kenmerk dat het plaatsselectief etsen isotroop etsen omvat.
17. Werkwijze volgens conclusie 14 of 15, met het kenmerk dat het plaatsselectief etsen anisotroop etsen omvat.
18. Werkwijze volgens één der conclusies 14 tot en met 17, met het kenmerk dat de 25 werkwijze tevens omvat de stap: Y. het aanbrengen van een metaallaag (15;15’) op ten minste een deel van het eindvlak (11 ;11 ’) van de materiaallaag (12;12’).
19. Werkwijze volgens één der conclusies 14 tot en met 18, met het kenmerk dat de werkwijze tevens omvat de stap:
30 Z. het aanbrengen van een lichtgeleidend medium zoals een gel, lijm of polymeer met een geschikte brekingsindex ter verbetering van de optische koppeling tussen de lichtbron (3) of de lichtontvanger (3’) en de vlakke golfgeleider (2,2’). it® 193 37w!
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1019637A NL1019637C2 (nl) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | Inrichting en werkwijze voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider, inrichting en werkwijze voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider, en werkwijzen voor het vervaardigen van dergelijke inrichtingen. |
| AU2002362170A AU2002362170A1 (en) | 2001-12-21 | 2002-12-20 | Device for coupling radiation into or out of a waveguide and method for manufacturing such devices |
| PCT/NL2002/000860 WO2003056374A2 (en) | 2001-12-21 | 2002-12-20 | Device for coupling radiation into or out of a waveguide and method for manufacturing such devices |
| US10/499,579 US7250317B2 (en) | 2001-12-21 | 2002-12-20 | Method of fabricating optical waveguide reflectors |
| EP02792108A EP1459119A2 (en) | 2001-12-21 | 2002-12-20 | Device for coupling radiation into or out of a waveguide and method for manufacturing such device |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1019637A NL1019637C2 (nl) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | Inrichting en werkwijze voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider, inrichting en werkwijze voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider, en werkwijzen voor het vervaardigen van dergelijke inrichtingen. |
| NL1019637 | 2001-12-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL1019637C2 true NL1019637C2 (nl) | 2003-07-09 |
Family
ID=19774421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL1019637A NL1019637C2 (nl) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | Inrichting en werkwijze voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider, inrichting en werkwijze voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider, en werkwijzen voor het vervaardigen van dergelijke inrichtingen. |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7250317B2 (nl) |
| EP (1) | EP1459119A2 (nl) |
| AU (1) | AU2002362170A1 (nl) |
| NL (1) | NL1019637C2 (nl) |
| WO (1) | WO2003056374A2 (nl) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112097754A (zh) * | 2020-09-14 | 2020-12-18 | 浙江大学 | 一种铌酸锂和su-8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺 |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT503027B1 (de) * | 2006-05-08 | 2007-07-15 | Austria Tech & System Tech | Leiterplattenelement mit optoelektronischem bauelement und licht-wellenleiter |
| ITMI20070060A1 (it) * | 2007-01-18 | 2008-07-19 | St Microelectronics Srl | Processo di fabbricazione di un dispositivo integrato |
| US20100195952A1 (en) * | 2009-02-03 | 2010-08-05 | Nitto Denko Corporation | Multi-layer structure |
| US20100196588A1 (en) * | 2009-02-03 | 2010-08-05 | Nitto Denko Corporation | Method of manufacturing a multi-layer structure |
| US7974508B2 (en) | 2009-02-03 | 2011-07-05 | Nitto Denko Corporation | Multi-layer structure and method for manufacturing the same |
| EP2434321A1 (en) | 2010-09-27 | 2012-03-28 | U2t Photonics Ag | Optical module |
| US9164231B2 (en) * | 2011-08-08 | 2015-10-20 | Oracle International Corporation | Ultra-compact photodetector on an optical waveguide |
| US20140272315A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Tyco Electronics Corporation | Method for fabricating negative photoresist etched pits and trenches as controlled optical path and a device fabricated thereby |
| US9094135B2 (en) | 2013-06-10 | 2015-07-28 | Freescale Semiconductor, Inc. | Die stack with optical TSVs |
| US9442254B2 (en) | 2013-06-10 | 2016-09-13 | Freescale Semiconductor, Inc. | Method and apparatus for beam control with optical MEMS beam waveguide |
| US9435952B2 (en) | 2013-06-10 | 2016-09-06 | Freescale Semiconductor, Inc. | Integration of a MEMS beam with optical waveguide and deflection in two dimensions |
| US10230458B2 (en) | 2013-06-10 | 2019-03-12 | Nxp Usa, Inc. | Optical die test interface with separate voltages for adjacent electrodes |
| US9766409B2 (en) | 2013-06-10 | 2017-09-19 | Nxp Usa, Inc. | Optical redundancy |
| US9810843B2 (en) * | 2013-06-10 | 2017-11-07 | Nxp Usa, Inc. | Optical backplane mirror |
| US9261556B2 (en) | 2013-06-10 | 2016-02-16 | Freescale Semiconductor, Inc. | Optical wafer and die probe testing |
| US9091820B2 (en) | 2013-06-10 | 2015-07-28 | Freescale Semiconductor, Inc. | Communication system die stack |
| WO2018106834A1 (en) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | Finisar Corporation | Surface coupled laser with optical interposer |
| CN106707411B (zh) * | 2017-02-13 | 2019-08-06 | 上海大学 | 一种基于激光环形刻蚀在光波导上制备球形凹面镜的方法 |
| US10162119B1 (en) * | 2017-09-15 | 2018-12-25 | Northrop Grumman Systems Corporation | Micro-beam shaping optics (MBSO) |
| DE102018108283A1 (de) | 2018-04-09 | 2019-10-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Elektro-optische Leiterplatte zur Kontaktierung von photonischen integrierten Schaltungen |
| US11644618B2 (en) | 2018-06-22 | 2023-05-09 | Apple Inc. | Discrete optical unit on a substrate of an integrated photonics chip |
| US10823912B1 (en) * | 2018-09-27 | 2020-11-03 | Apple Inc. | Silicon photonics using off-cut wafer having top-side vertical outcoupler from etched cavity |
| CN110216383B (zh) * | 2019-03-27 | 2021-08-10 | 上海大学 | 一种基于激光冷加工在光波导上制备球形凹面镜的方法 |
| US11525958B1 (en) | 2019-09-09 | 2022-12-13 | Apple Inc. | Off-cut wafer with a supported outcoupler |
| CN115605803A (zh) | 2019-12-11 | 2023-01-13 | 洛克利光子有限公司（Gb） | 光学感测模块 |
| US11960128B2 (en) | 2020-10-23 | 2024-04-16 | Apple Inc. | Fast-axis collimator with hanging connector |
| US20230077633A1 (en) * | 2021-09-15 | 2023-03-16 | Intel Corporation | Photonic integrated circuit to glass substrate alignment through integrated cylindrical lens and waveguide structure |
| US20230077939A1 (en) * | 2021-09-15 | 2023-03-16 | Changhua Liu | Photonic integrated circuit to glass substrate alignment through dual cylindrical lens |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4735677A (en) * | 1984-08-10 | 1988-04-05 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Method for fabricating hybrid optical integrated circuit |
| WO1990002349A1 (en) * | 1988-08-31 | 1990-03-08 | Raynet Corporation | Method of deforming a polymer optical fiber to form taps |
| EP0652454A1 (en) * | 1993-11-05 | 1995-05-10 | Motorola, Inc. | Optical module having a reflective optical waveguide |
| US5416861A (en) * | 1994-04-29 | 1995-05-16 | University Of Cincinnati | Optical synchronous clock distribution network and high-speed signal distribution network |
| EP0816878A2 (de) * | 1996-06-19 | 1998-01-07 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Spiegeln für Wellenreiter in integriert-optischen Bauelementen |
| US6108472A (en) * | 1997-02-07 | 2000-08-22 | Bookham Technology Plc. | Device for re-directing light from optical waveguide |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5369529A (en) * | 1993-07-19 | 1994-11-29 | Motorola, Inc. | Reflective optoelectronic interface device and method of making |
| CA2139086C (en) * | 1993-12-27 | 2000-06-13 | Kiyoto Matsumoto | Light-receiving structure for waveguide type optical devices |
| US6271049B1 (en) * | 1998-09-14 | 2001-08-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for producing an optoelectronic component |
| US6507044B1 (en) * | 1999-03-25 | 2003-01-14 | Advanced Micro Devices, Inc. | Position-selective and material-selective silicon etching to form measurement structures for semiconductor fabrication |
| TW449797B (en) * | 2000-09-22 | 2001-08-11 | Ind Tech Res Inst | Integrated surface-emitting type electro-optical module and the fabrication method thereof |
| EP1334390B1 (en) * | 2000-11-01 | 2008-07-30 | Intel Corporation | System and method for collimating and redirecting beams |
| WO2002057821A1 (en) * | 2001-01-19 | 2002-07-25 | Primarion, Inc. | Optical interconnect with integral reflective surface and lens, system including the interconnect and method of forming the same |
| JP3791394B2 (ja) * | 2001-11-01 | 2006-06-28 | 日本電気株式会社 | 光導波路基板 |
| JP2003167175A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光実装基板及び光デバイス |
| JP2005523466A (ja) * | 2002-04-16 | 2005-08-04 | エクスルーム フォトニクス リミテッド | 集積コネクタを有する電気光学回路およびその製造方法 |
-
2001
- 2001-12-21 NL NL1019637A patent/NL1019637C2/nl not_active IP Right Cessation
-
2002
- 2002-12-20 EP EP02792108A patent/EP1459119A2/en not_active Withdrawn
- 2002-12-20 WO PCT/NL2002/000860 patent/WO2003056374A2/en not_active Application Discontinuation
- 2002-12-20 US US10/499,579 patent/US7250317B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-12-20 AU AU2002362170A patent/AU2002362170A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4735677A (en) * | 1984-08-10 | 1988-04-05 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Method for fabricating hybrid optical integrated circuit |
| WO1990002349A1 (en) * | 1988-08-31 | 1990-03-08 | Raynet Corporation | Method of deforming a polymer optical fiber to form taps |
| EP0652454A1 (en) * | 1993-11-05 | 1995-05-10 | Motorola, Inc. | Optical module having a reflective optical waveguide |
| US5416861A (en) * | 1994-04-29 | 1995-05-16 | University Of Cincinnati | Optical synchronous clock distribution network and high-speed signal distribution network |
| EP0816878A2 (de) * | 1996-06-19 | 1998-01-07 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Spiegeln für Wellenreiter in integriert-optischen Bauelementen |
| US6108472A (en) * | 1997-02-07 | 2000-08-22 | Bookham Technology Plc. | Device for re-directing light from optical waveguide |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112097754A (zh) * | 2020-09-14 | 2020-12-18 | 浙江大学 | 一种铌酸锂和su-8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2003056374A2 (en) | 2003-07-10 |
| US20050069253A1 (en) | 2005-03-31 |
| EP1459119A2 (en) | 2004-09-22 |
| US7250317B2 (en) | 2007-07-31 |
| AU2002362170A1 (en) | 2003-07-15 |
| AU2002362170A8 (en) | 2003-07-15 |
| WO2003056374A3 (en) | 2003-12-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| NL1019637C2 (nl) | Inrichting en werkwijze voor het inkoppelen van licht in een vlakke golfgeleider, inrichting en werkwijze voor het uitkoppelen van licht uit een vlakke golfgeleider, en werkwijzen voor het vervaardigen van dergelijke inrichtingen. | |
| JP3782126B2 (ja) | 二方向光通信及び信号伝送用送信及び受信モジュール | |
| US6511235B2 (en) | Integrated surface-emitting optoelectronic module and the method for making the same | |
| US6316281B1 (en) | Method for fabricating a hybrid optical integrated circuit employing SOI optical waveguide | |
| EP0466134B1 (en) | Method for passive alignment of diode laser arrays and optical fibers | |
| US6406196B1 (en) | Optical device and method for producing the same | |
| KR101258725B1 (ko) | 얇은 ｓｏｉ ｃｍｏｓ 광 집적회로의 광대역 광 커플링 | |
| JP3878231B2 (ja) | オプトエレクトロニクスデバイス及びその製造方法 | |
| KR101453136B1 (ko) | 광 스플리터 장치 | |
| US20110075965A1 (en) | Channeled Substrates For Integrated Optical Devices Employing Optical Fibers | |
| US20040114869A1 (en) | Mode converter including tapered waveguide for optically coupling photonic devices | |
| WO2002073256A1 (fr) | Circuit optique et son procede de production, circuit optique en reseau, et dispositif a circuit optique l'utilisant | |
| EP0375251B1 (en) | Optoelectronic device package method and apparatus | |
| CN1222800C (zh) | 使波导与元件耦合的方法和装置 | |
| KR100630804B1 (ko) | 박막필터를 이용한 다파장 광 송수신 모듈, 다중 및 역다중화기 | |
| CA2507270C (en) | Optical via for three dimensional interconnection | |
| US20150331212A1 (en) | Method for forming optoelectronic modules connectable to optical fibers and optoelectronic module connectable to at least one optical fiber | |
| JP2004054003A (ja) | 光電子基板 | |
| JP2001501378A (ja) | 双方向光データ伝送のためのオプトエレクトロニックモジュール | |
| JP2003004992A (ja) | 光送受信モジュールとその製造方法 | |
| EP2762936B1 (en) | Method for forming optoelectronic modules connectable to optical fibers | |
| Nakagawa et al. | Lens-coupled laser diode module integrated on silicon platform | |
| JP3803575B2 (ja) | 光波回路モジュールおよびその製造方法 | |
| TW200408841A (en) | Optical waveguide apparatus | |
| JPH11231174A (ja) | 光半導体結合装置及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PD2B | A search report has been drawn up | ||
| SD | Assignments of patents |
Owner name: OCTROLIX B.V. Effective date: 20080827 |
|
| PD | Change of ownership |
Owner name: LIONIX INTERNATIONAL B.V.; NL Free format text: DETAILS ASSIGNMENT: CHANGE OF OWNER(S), MERGE; FORMER OWNER NAME: OCTROLIX B.V. Effective date: 20180314 |
|
| MM | Lapsed because of non-payment of the annual fee |
Effective date: 20210101 |