MXPA04004908A - Fabricacion de medidor de flujo coriolis que consiste principalmente de perfluroroalcoxi. - Google Patents

Fabricacion de medidor de flujo coriolis que consiste principalmente de perfluroroalcoxi.

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Abstract

La presente invencion se refiere a un medidor de flujo de masa Coriolis (100) para la medicion de un material de proceso que requiere un nivel de pureza ultra alto. Esto se logra formando el medidor de flujo de masa Coriolis completo de un material de plastico PFA que no transfiere iones del medidor de flujo de masa Coriolis al material de proceso que fluye a traves del medidor de flujo.

Description

FABRICACION DE MEDIDOR DE FLUJO CORIOLIS QUE CONSISTE PRINCIPALMENTE DE PERFLUOROALCOXI Campo de la Invención Esta invención se refiere a un medidor de flujo de masa Coriolis que mide un flujo de material de proceso que tiene un nivel de pureza ultra alto. Problema Es conocido usar medidores de flujo de masa de efecto Coriolis para medir flujo de masa y otra información perteneciente a material que fluyen a través de un conducto como se describe en las Patentes U.S. Nos. 4,491,025 emitida por J. E. Smith, et al. de Enero 1, 1985 y Re. 31,450 por J. E. Smith de Febrero 11, 1982. Los medidores de flujo tienen uno o más tubos de flujo de una configuración recta, curvada o irregular. Cada tubo de flujo tiene un conjunto de modos de vibración naturales los cuales pueden ser de un tipo de flexión, torsional, o rotación simple. Cada tubo de flujo lleno de material se impulsa para oscilar en resonancia en uno de estos modos naturales. Los modos de vibración naturales se definen en parte por la masa combinada de los tubos de flujo y el material dentro de los tubos de flujo. Si se desea, un medidor de flujo no necesita ser impulsado a un modo natural . El material fluye en el medidor de flujo desde una Ref. 156034 fuente de material conectada en el lado de entrada. El material pasa a través del tubo de flujo o tubos de flujo y sale al lado de salida del medidor de flujo. Un impulsor aplica fuerza para oscilar el tubo de flujo. Cuando no hay flujo de material todos los puntos a lo largo de un tubo de flujo oscilan con una fase idéntica en el primer modo de flexión del tubo de flujo. Las aceleraciones de coriolis originan que cada punto en el tubo de flujo tenga una fase diferente con respecto a otros puntos en el tubo de flujo. La fase en el lado de entrada del tubo de flujo retrasa el impulsor; la fase en el lado de salida conduce el impulsor. Los detectores se colocan en el tubo de flujo para producir señales sinusoidales representativas del movimiento del tubo de flujo. La diferencia de fase entre dos señales de sensor se divide por la frecuencia de oscilación para obtener un retraso el cual es proporcional a la velocidad de flujo de masa del flujo de material. Es conocido usar medidores de flujo que tienen diferentes configuraciones de tubo de flujo. Entre estas configuraciones están tubo único, tubo dual, tubo recto, tubo curvado, y tubos de flujo de configuración irregular. La mayoría de los medidores de flujo se hacen de metal tal como aluminio, acero, acero inoxidable y titanio. Los tubos de flujo de vidrio también son conocidos. Los atributos positivos del titanio en medidores de flujo son su alta resistencia y bajo coeficiente de expansión térmica (CET) . Los atributos negativos del titanio son sus propiedades metálicas y costo de fabricación. En el procesamiento de plaquita semiconductora, los iones metálicos son un contaminante. Los iones metálicos en contacto con las áreas de la plaquita de un circuito integrado pueden originar un cortocircuito y arruinar el dispositivo. Además, un medidor de flujo de titanio es difícil y costoso de producir. La técnica previa también sugiere tubos de flujo de plástico y medidores de flujo de plástico. Esto incluye la técnica previa en la cual la totalidad del medidor de flujo es plástico así como en la cual solamente el tubo de flujo está formado de plástico. Mucho de esta técnica previa solamente contiene una afirmación que un medidor de flujo se puede hacer de varios metales tal como acero, acero inoxidable, titanio o plástico. Esta técnica previa no es instructiva en cuanto a lo que concierne a la descripción de un medidor de flujo de masa Coriolis de plástico que puede producir de forma exacta información sobre un intervalo en las condiciones de operaciones incluyendo la temperatura. La simple sustitución de un tubo de flujo de plástico por un tubo de flujo metálico producirá una estructura que se parece a un medidor de flujo. Sin embargo, la estructura no funcionará como un medidor de flujo para generar información de salida exacta sobre un intervalo- útil de condiciones de operación. La simple afirmación de que un medidor de flujo podrá ser hecho de plástico no es más que la abstracción de que el plástico se puede sustituir por metal. Esto no enseña cómo un medidor de flujo de plástico se puede fabricar para generar información exacta sobre un intervalo útil de condiciones de operación. Un problema en algunas aplicaciones es que el medidor de flujo de masa Coriolis típico puede contaminar el material de proceso. Esto es indeseable para sistemas en los cuales el material de un nivel de pureza ultra alto se debe suministrar por el medidor de flujo a una aplicación del usuario. Este es el caso en la fabricación de plaquitas semiconductoras las cuales requieren el uso de un material de proceso que está libre de contaminantes incluyendo iones que migran de los tubos de la trayectoria de flujo del material de proceso. En tales aplicaciones, el tubo de flujo puede ser una fuente de contaminantes. Las paredes de metal de un tubo de flujo pueden liberar iones en el flujo de material de proceso. Los iones liberados pueden originar que los circuitos integrados en una plaquita semiconductora sean defectuosos. Lo mismo es cierto para un tubo de flujo de vidrio el cual puede liberar los iones de plomo del vidrio en el flujo de material de proceso. Lo mismo también es cierto para los tubos de flujo formados de plásticos convencionales. Un plástico llamado PFA está libre de esta obj-eción puesto que el material del cual está compuesto no libera iones nocivos en el flujo de material. El uso de PFA para un tubo de flujo se sugiere en la Patente U.S. No. 5,918,285 de Vanderpol . Esta sugerencia es incidental a la descripción de Vanderpol puesto que la patente no describe información respecto de cómo un medidor de flujo que tiene un tubo de flujo de PFA se podría fabricar para generar información de flujo exacta. Los tubos de flujo revestidos con PFA, como se describe en la Patente U.S. No. 5,403,533 de Dieter Meier, probaron combinar los atributos positivos tanto de tecnologías de metal como plástico pero encontraron nuevos retos que podrían no ser resueltos hasta la presente invención. Los tubos de flujo metálicos revestidos con PFA permiten que los iones metálicos migren a través de la capa de revestimiento de PFA delgada y entren a la corriente de flujo para originar contaminación. Además, el material del tubo de flujo metálico y el forro de PFA tienen diferentes propiedades térmicas . Esto origina que el forro de PFA se separe del tubo de flujo para crear fugas y hacer problemas. El proceso de fabricación para revestir tubos de flujo metálicos con PFA también es extremadamente costoso. Solución El anterior y otros problemas se resuelven y un avance de la técnica se logra por la presente invención la cual describe un medidor de flujo de masa Coriolis que tiene al menos un tubo de flujo formado de plástico de copolímero de perfluoroalcoxi . El tubo de flujo se acopla a un impulsor y a al menos un sensor de detector para hacer posible que el tubo de flujo de PFA funcione como parte del medidor de flujo de masa Coriolis que puede proporcionar información de salida exacta sobre intervalo de condiciones de operación para un flujo de material de proceso de pureza ultra alta adecuado para el uso en aplicaciones tal como fabricación de semiconductores y similares que requiere que el flujo de material esté libre de contaminantes por debajo del nivel iónico. Una trayectoria de flujo completamente construida de PFA tiene muchos de los beneficios de los tubos de flujo revestidos con PFA y titanio sin las desventajas. El PFA es un fluoropolímero con resistencia química superior, poca liberación de ion metálico, baja generación de partículas, y se puede fabricar sin gastar grandes cantidades de capital . El material PFA es fuerte y se puede extruir en entubación de pared delgada de alta calidad. La entubación de PFA de pared delgada tiene baja rigidez flexible que permite una sensibilidad mayor a velocidad de flujo de masa e inmunidad mejorada a interacción dinámica elástica entre el tubo de flujo y el conducto de proceso. El material y las propiedades físicas de PFA permiten amplitudes de vibración de - tubo mayores a niveles de tensión inferiores y resultan en vida útil de fatiga casi infinita. Además la amplitud de vibración más alta permite el uso de pequeños transductores de masa inferior, lo cual a su vez mejora la sensibilidad de densidad e inmunidad para subir la variación. Una primera modalidad ejemplar preferida de la invención comprende un medidor de flujo que tiene un tubo de flujo de plástico PFA único acoplado a una. base de metal sólida la cual equilibra la vibración de nodo de extremo del tubo de flujo. La base es en forma de U y el tubo de flujo de plástico se extiende a través de los agujeros coaxiales en los dos soportes de la U. El tubo de flujo de plástico se fija a los agujeros en la base por medio de un adhesivo apropiado tal como cianoacrilato también llamado Loctite 420. El centro longitudinal del tubo de flujo se fija a un impulsor electromagnético el cual recibe una señal de impulso desde un medidor electrónico para hacer vibrar el tubo de flujo transversalmente al eje longitudinal del tubo de flujo. Esta vibración puede ser en la primera frecuencia resonante de flexión del tubo de flujo. El tubo de flujo se acopla a detectores los cuales detectan la respuesta Coriolis del tubo de flujo vibrante con flujo de material. En la primera modalidad, los detectores pueden ser una combinación de electroimán convencional con imanes fijos al tubo de flujo y un serpentín fijo á la base. En una modalidad alternativa, los detectores son dispositivos ópticos los cuales generan un haz de luz y que se modula por las vibraciones del tubo de flujo. La modalidad de detección óptica ofrece la ventaja que el peso de los imanes del detector se remueve del tubo de flujo vibrante. Esto incrementa la sensibilidad de densidad. El impulsor es una fuente de calor que puede elevar la temperatura del plástico; térmicamente expande el plástico y reduce la exactitud de la información de salida generada. En esta modalidad, el impulsor se fija ventajosamente en la parte superior del tubo de flujo cuando está en uso. Este arreglo de montaje tiene la ventaja de que el calor generado por el impulsor se irradia ascendentemente lejos del tubo de flu o. De acuerdo con otra modalidad, los imanes asociados con el impulsor y detectores de sensor tienen baja masa puesto que son pequeños y no tienen contactos o masas polares. Los imanes y serpentines se han optimizado para hacer los imanes tan pequeños (baja masa) como sea posible. El material de imán se ha elegido para tener el mayor campo magnético por unidad de masa como sea posible. La geometría del tubo se ha diseñado para lograr el movimiento deseado con tan poca fuerza de impulso como sea posible. El PFA tiene amortiguamiento naturalmente bajo, así la fuerza de impulso es inherentemente baja debido a la selección de este material para el tubo de flujo. Todos estos factores contribuyen a lograr partes de transductor de baja masa en el tubo de flujo. Esto es ventajoso puesto que reduce la carga física del tubo de flujo y mejora la producción exacta del medidor de flujo. El tubo de flujo único comprende una estructura no equilibrada cuya vibración se minimiza por la base sólida. La relación de la masa de la base a masa del tubo de flujo de plástico único conjuntamente con su masa de material magnético está en el orden de 3, 000 a 1. Esto resulta en una estructura de base pesada que tiene un peso de aproximadamente 13 libras (59.02 kg) para un tubo de flujo, más la masa de los imanes y material que tiene un peso total de aproximadamente 2 gramos. Aunque el peso de 13 libras (59.02 kg) minimiza las vibraciones en los nodos del tubo de flujo, tiene una desventaja de incrementar el peso del equipo del cual el medidor de flujo es una parte. Estas vibraciones se pueden minimizar por el uso de un equilibrador dinámico o un equilibrador dinámico activo. El equilibrador dinámico activo transmite señales al medidor electrónico el cual analiza las señales y regresa una señal de control al equilibrador dinámico activo para reducir las vibraciones indeseadas. Esto tiene la ventaja de que el peso completo de la estructura de base se puede reducir de 13 libras (59.02 kg) por debajo de aproximadamente 2 libras (0.908 kg) . Como se mencionó, la primera modalidad preferida I comprende un medidor de flujo de masa Coriolis que tiene un tubo recto único que opera en un modo no equilibrado en cooperación con una base sólida. Otras configuraciones de tubo de flujo se proporcionan por otras modalidades de la invención. La invención se puede practicar con el uso de tubos de flujo duales que vibran en la oposición de fase. Estos tubos duales pueden ya sea ser rectos, pueden ser en forma de U, o pueden ser de una configuración irregular. El uso de tubos de flujo duales es ventajoso porque proporciona una estructura dinámicamente equilibrad que reduce la masa de la base requerida para montar los tubos de flujo. Una modalidad adicional que se puede asociar con cualquier configuración de tubo es la provisión de un dispositivo de medición de temperatura. Una modalidad preferida es el uso de un Dispositivo de Temperatura Resistivo (DTR) unido a un tubo de flujo. Si se desea, la temperatura se puede medir usando un dispositivo de medición de temperatura infrarrojo. Los beneficios de este dispositivo es que no está en contacto y se puede ubicar fuera del tubo, por lo cual se reduce la masa en el tubo. Además, el DTR se puede montar a otro tubo que transporta flujo en el sensor el cual no es el tubo de flujo vibrante. Otra modalidad comprende una base sólida que tiene paredes laterales que se extienden ascendentemente y un tubo de flujo único que se extiende a través de los agujeros coaxiales en las paredes laterales. La base tiene un par interno y externo de paredes que se extienden ascendentemente. Las paredes internas contiene los nodos vibracionales estacionarios de la porción activa del tubo de flujo; las paredes externas montan los conectores a los cuales una entrada del tubo de flujo se conecta en un extremo y una salida del tubo de flujo se conecta al otro extremo. El arreglo proporciona una estructura dinámicamente no equilibrada que comprende un tubo de flujo único con cualquiera de las vibraciones en los nodos de la porción activa del tubo de flujo que se suprime por el par interno de paredes que se extienden ascendentemente. Aún otra modalidad de la invención comprende una base sólida que tiene paredes laterales que se extienden ascendentemente y un par de tubos de flujo que se extienden a través de los agujeros en las paredes laterales. Los dos tubos de flujo se conectan en serie en cuanto a lo que concierne al flujo de material de proceso. Esta conexión se realiza por medio de la longitud corta en forma de U de la tubería de PFA en un extremo de la base. Esta longitud corta en forma de U de la tubería conecta un extremo de salida del primer tubo de flujo a un extremo de entrada del segundo tubo de flujo el cual se coloca en la base paralela al primer tubo de flujo. Con este arreglo, un extremo de entrada del primer tubo de flujo y un extremo de salida del segundo tubo de flujo se colocan en la misma pared que se extiende ascendentemente de la base sólida. Los dos tubos de flujo se hacen vibrar por impulsores separados en la oposición de fase. Cada tubo de flujo también tiene su par de detectores para detectar la respuesta Coriolis de su tubo de flujo con flujo de material. En resumen, el medidor de flujo de masa Coriolis que incluye la presente invención es ventajoso porque proporciona la medición y suministro de un material de proceso que tiene un nivel de pureza ultra alto. Este nivel de pureza se proporciona por el uso de un tubo de flujo de plástico TFA el cual es superior a metales, vidrio y plásticos ordinarios todos los cuales permiten la transferencia de iones del material de tubo de flujo al material procesado. El material procesado puede comprender típicamente una pasta aguada la cual es un compuesto orgánico usado como un agente de pulido en la fabricación de plaquitas en la industria de semiconductores. Esta operación de pulido proporciona una superficie plana para las plaquitas. La operación de pulido puede tomar aproximadamente una hora durante este tiempo la pasta aguada debe estar libre de cualquiera de los contaminantes . La sedimentación de un ion no deseado único sobre la plaquita semiconductora puede producir cortocircuito en toda o una porción de la plaquita y la vuelve inservible.
Un aspecto de la invención es un medidor de flujo de masa Coriolis para medir un flujo de material de proceso que tiene un nivel de pureza ultra alto, el medidor de flujo de masa Coriolis comprende: una base; medio de tubo de flujo adaptado para recibir el flujo de material de proceso; porciones de extremos del medio de tubo de flujo se acoplan a la base para crear nodos sustancialmente estacionarios en las porciones de extremos; un impulsor acoplado al medio de tubo de flujo para hacer vibrar el medio de tubo de flujo que contiene el flujo de material de proceso; aparato detector acoplado al medio de tubo de flujo para generar señales que representan las deflexiones Coriolis inducidas del medio de tubo de flujo vibrante que contiene el flujo de material de proceso; medidor electrónico que recibe las señales del medio detector y genera la información de salida perteneciente al flujo de material de proceso; y caracterizado porque la totalidad de la trayectoria humectada del medidor de flujo Coriolis que incluye el medio de tubo de flujo se forma de un material, tal como copolímero de perfluoroalcoxi (PFA) , que tiene poco o nada transferencia de iones del medio de tubo de flujo al material de proceao.
Preferiblemente, . el medio de tubo de flujo comprende un tubo de flujo único substancialmente recto que comprende una estructura dinámicamente desequilibrada; y la base tiene una masa suficientemente mayor para comunicarse vibracionalmente con el tubo de flujo para definir una estructura dinámicamente equilibrada equilibrando las vibraciones de nodo de extremo del tubo de flujo. Preferiblemente, el aparato detector comprende una fuente de luz que emite un haz y un detector óptico que recibe el haz; la fuente de luz y el detector óptico se separan aparte del tubo de flujo y se colocan en lados opuestos del tubo de flujo; el tubo de flujo de vibración se coloca entre la fuente de luz y el óptico para alterar las características de un haz de luz recibido por el detector óptico de la fuente de luz, el detector óptico es responsable de la alteración para generar las señales que representan las deflexiones Coriolis. Preferiblemente, la base está en forma de U y tiene una superficie inferior y un par de paredes laterales que se extienden ascendentemente ; y agujeros en cada una de las paredes que se extienden ascendentemente se alinean coaxialmente para recibir el tubo de flujo. Preferiblemente, la base es un elemento rectangular sólido que define un paralelepípedo; el tubo de flujo se conecta a postes fijos a una superficie superior de la base. Preferiblemente, una entrada del tubo de flujo recibe el flujo de material de proceso de un tubo de suministro; una salida del tubo de flujo se acopla a una entrada de un tubo de retorno; el tubo de retorno se acopla a la base y se extiende a través de las paredes de la base, y el tubo de retorno se adopta para ser conectado a un tubo de salida para extender el flujo de material de proceso hacia una aplicación de usuario. Preferiblemente, la masa de la base es al menos 100 a 1000 veces la masa del tubo de flujo único con material de proceso . Preferiblemente, un medio de equilibrador dinámico se fija a la base próxima a los nodos para mantener los nodos a un nivel de vibración reducido. Preferiblemente, el medio de equilibrador dinámico es un equilibrador dinámico activo controlado por el intercambio de señales con el medidor electrónico. Preferiblemente, el medio de tubo de flujo comprende un primer y un segundo tubo de flujo acoplados a la base y colocados paralelos entre si, los primer y segundo tubos de flujo se adaptan para que vibren en la oposición de fase por el impulsor. Preferiblemente los primer y segundo tubos de flujo se conectan en serie con respecto al flujo de material. Preferiblemente, los primer y segundo tubos de flujo se conectan en paralelo con respecto al flujo de material . Preferiblemente, un tubo de retorno se acopla a la base orientada paralela a los primer y segundo tubos de flujo,- el tubo de retorno recibe el flujo de material de proceso desde los primer y segundo tubos de flujo y extiende el flujo de material hacia una aplicación de usuario. Preferiblemente, el medio de tubo de flujo comprende un tubo de flujo único; el medidor de flujo de masa Coriolis comprende adicionalmente : una base sólida fija a los extremos del tubo de flujo único para reducir las vibraciones indeseadas creando nodos estacionarios en los extremos; un conector de entrada conectado a la base sólida y adaptado para recibir un flujo del material de proceso de un tubo de suministro; una entrada del tubo de flujo único se fija al conector de entrada, el conector de entrada conecta de -forma sellante la entrada del tubo de flujo único a una salida del tubo de suministro para efectuar la extensión del flujo de material de proceso en el tubo de suministro al tubo de flujo único; un primer tornillo de presión en el conector de entrada mantiene el conector de entrada fijo con respecto a la base sólida; un impulsor se fija al tubo de flujo único para hacer vibrar el tubo dé flujo único que contiene el flujo de material de proceso; una salida del tubo de flujo único se fija a un segundo conector para extender el flujo de material de proceso vía un tubo de salida hacia un destino de usuario; un par de detectores se acopla al tubo de flujo único en los lados opuestos del impulsor para generar señales que representan las deflexiones inducidas Coriolis del tubo de flujo único lleno de material vibrante; medidor electrónico; conductores que se extienden de los detectores al medidor electrónico para extender las señales del detector al medidor electrónico; y el medidor electrónico recibe las señales de salida del detector y genera la información de salida perteneciente al flujo de material de proceso. Preferiblemente, un tubo de retorno se conecta- a la base sólida paralela al tubo de flujo único; porciones de extremo del tubo de flujo único y el tubo de retorno se pegan a la base sólida para mantener el tubo de flujo único y el tubo de retorno inmóviles con respecto a la base sólida; una entrada del tubo de retorno; un tubo intermedio que conecta la salida del tubo de flujo único y la entrada del tubo de retorno vía el segundo conector para extender el flujo de material de proceso desde la salida del tubo de flujo único al tubo de retorno; un conector de salida conectado a la base sólida para recibir el flujo del material de proceso desde una salida del tubo de retorno; la salida del tubo de retorno se fija al conector de salida, el conector de salida conecta de forma sellante la salida del tubo de retorno a una entrada de un tubo de salida para efectuar la extensión del flujo de material de proceso en el tubo de retorno al tubo de salida; un segundo tornillo de presión en el conector de salida mantiene el conector de salida fijo con respecto a la base ; el tubo de salida se adapta para extender el flujo de material de proceso a un destino de usuario. Preferiblemente, el medio de tubo de flujo tiene alta flexibilidad y también tiene una rigidez sustancialmente inferior que un tubo de flujo formado de metal o vidrio. Preferiblemente, el medio de tubo de flujo tiene paredes sustancialmente más delgadas que el diámetro de la porción interna del medio de tubo de flujo a través del cual el material fluye. Preferiblemente, el medio de tubo de flujo tiene un diámetro sustancialmente constante. Preferiblemente, el medio de tubo de flujo tiene: una deflexión de frecuencia de impulso que se extiende sobre la totalidad de la longitud axial de la porción activa del medio de tubo de flujo; y adicionalmente tiene una deflexión Coriolis que se extiende sobre la totalidad de la longitud axial de la porción activa del medio de tubo de flujo. Descripción de las Figuras Estas y otras ventajas y características de la presente invención se pueden entender mejor en conexión con una lectura de la siguiente descripción detallada de la misma en conexión de las figuras en las cuales: La figura 1 describe una vista en perspectiva de una primera modalidad ejemplar de la invención. La figura 2 es una vista superior de la modalidad de la figura 1. La figura 3 es una vista frontal de la modalidad de la figura 1. La figura 4 es una vista en sección transversal tomada a lo largo de las líneas 4-4 de la figura 2. La figura 5 es una vista en perspectiva de una modalidad alternativa que tiene un par de elementos de base. La figura 6 describe un medidor de flujo dinámicamente equilibrado que tiene una base en forma de U. Las figuras 7 y 8 describen un medidor de flujo que tiene detectores ópticos. Las figuras 9 y 10 describen medidores de flujo que tienen equilibradores dinámicos. La figura 11 describe un medidor de flujo que tiene un par de tubos de flujo sustancialmente en forma de U. Las figuras 12 y 13 describen otra modalidad de un medidor de flujo que tiene un par de tubos de flujo rectos dinámicamente equilibrados. La figura 14 describe una modalidad alternativa que tiene un tubo de flujo único y no tubo de retorno. La figura 15 describe una modalidad alternativa que tiene dos tubos de flujo hechos vibrar en oposición de fase. La figura 16 describe una modalidad alternativa que tiene un tubo de flujo único. Descripción Detallada de la Invención DESCRPCION DE LA FIGURA 1 La figura 1 es una vista en perspectiva de una primera modalidad ejemplar posible de la invención y describe un medidor de flujo 100 que tiene un tubo de flujo 102 insertado a través de los soportes 117, 118 de la base 101. Los detectores LPO y RPO y el impulsor D se acoplan al tubo de flujo 102. El medidor de flujo 100 recibe un flujo de material de proceso del tubo de suministro 104 y extiende el flujo a través del conector 108 al tubo de flujo 102. El medidor de flujo 100 tiene una base 101, paredes laterales 119 y 120, pared frontal 116 y soportes superiores 117 y 118. El tubo de flujo 102 se puede hacer vibrar en su frecuencia resonante con flujo de material por el impulsor D. También se puede hacer vibrar a una frecuencia no resonante. Las deflexiones Coriolis resultantes se detectan por los detectores LPO y RPO los cuales aplican señales sobre los conductores 112 y 114 al medidor electrónico 121. El medidor electrónico 121 recibe las señales del detector, determina la diferencia de fase entre los mismos, determina la frecuencia de oscilación y aplica la información de salida perteneciente al flujo de material sobre la trayectoria de salida 122 a un circuito de utilización no mostrado. El flujo de material pasa del tubo de flujo 102 y a través del tubo 106 el cual dirige el flujo' de material a través del tubo de retorno 103 a través del conector 107 al tubo de salida 105 el cual administra el flujo de material a una aplicación de usuario. Esta aplicación de usuario puede ser una instalación de procesamiento de semiconductores. El material de proceso puede ser una pasta agua semiconductora la cual se aplica a la superficie de una plaquita semiconductora para formar una superficie plana. EL material dé PFA usado en los tubos de flujo mostrado en la figura 1 asegura que el material de proceso esté libre de impurezas tales como iones los cuales se podrán transferir de las paredes de tubos de flujo de metal o vidrio. Los agujeros de cierre 130 reciben los tornillos de presión 411 para conectar de forma fija el elemento 111 a la base 101 como se muestra en la figura 4. La estructura vibrante completa del medidor de flujo de masa Coriolis de la figura 1 se puede formar de material de PFA. En uso, el tubo de flujo 102 es de un diámetro estrecho aproximadamente una mitad de aquel de una paja de soda, pero con paredes más gruesas y de peso despreciable tal como, por ejemplo, 8 gramos más .5 gramos para el material de proceso. Esto excluye el peso de los imanes. Los imanes asociados con los detectores e impulsor tienen una masa de .2 gramos cada uno de modo que la masa combinada del tubo de flujo 102, los imanes fijos y el material de proceso es aproximadamente 2 gramos. El tubo de flujo vibrante 102 es una estructura dinámicamente no equilibrada. La base 102 es sólida y pesa aproximadamente 12 libras (5.44 kg) . Esto proporciona una relación de la masa de la base a aquella de un tubo de flujo lleno de material de aproximadamente -3000.
Una base de esta masa es suficiente para absorber las vibraciones generadas por el tubo de flujo dinámicamente no equilibrado 102 con flujo de material. Los conectores 107, 108, 109 y 110 conectan los tubos 104, 105 y el tubo intermedio 106 a los extremos del tubo de flujo 102 y tubo de retorno 103. Estos conectores se muestran con detalle en la figura 4. Los conectores tienen una porción fija 111 que incluye roscas 124. La porción movible de los conectores 107 a 110 se enrosca sobre las roscas macho 124 para conectar sus tubos respectivos al cuerpo fijo del conector del cual la porción fija 111 es una parte. Estos conectores funcionan de una manera similar a los conectores abocardados de tubería de cobre bien conocidos para conectar los tubos 104, 105 y 106 a extremos de tubo de flujo 102 y tubo de retorno 103. Los detalles con respecto a los conectores se muestran adicionalmente en la figura 4. El DTR es un sensor de temperatura que detecta la temperatura del tubo de retorno 103 y transmite las señales que representan la temperatura detectada sobre la trayectoria 125 al medidor electrónico. DESCRIPCION DE LA FIGURA 2 La figura 2 es una vista superior de un medidor de flujo 100 de la figura 1. Los detectores LPO y RPO y el impulsor D cada uno incluye un serpentín C. Cada uno de estos elementos incluye adicionalmente un imán el cual se fija- a la porción inferior del tubo de flujo 102 como se muestra en la figura 3. Cada uno de estos elementos incluye adicionalmente una base, tal como 143 para el impulsor D, así como una tira delgada de material, tal como 133 para el impulsor D. La tira delgada de material puede comprender un tablero de conexiones impreso al cual el serpentín C y sus terminales de bobina se fijan. Los detectores LPO y RPO también tienen un elemento de base correspondiente y una tira delgada fija a la parte superior del elemento de base. Este arreglo facilita el montaje de un impulsor o un detector para ser realizado por las etapas de pegado de un imán M al lado inferior del tubo de flujo de PFA, el pegado del serpentín C a un tablero de conexiones impreso 133 (para el impulsor D) , la colocación de la abertura en el serpentín C alrededor del imán M, el movimiento del serpentín C ascendentemente de modo que el imán M completamente entra a la abertura en el serpentín C, luego el posicionamiento del elemento de base 143 por debajo del tablero de conexiones impreso 133 y el pegado o atornillado de estos elementos conjuntamente de modo que la parte inferior de la base 143 se fija por pegamento a la superficie de la base sólida 101. Las roscas macho 124 de los conectores 107-110 se muestran en la figura 2. Los detalles internos de cada uno de estos elementos se muestran en la figura 4. La abertura 132 recibe los conductores 112, 113 y 144. El medidor electrónico 121 de la figura 1 no se muestra en la figura 2 para minimizar la complejidad del dibujo. Sin embargo, se entenderá que los conductores 112, 113 y 114 se extienden a través de la abertura 126 y se extienden adicionalmente sobre la trayectoria 123 de la figura 1 al medidor electrónico 121 de la figura 1. DESCRIPCION DE LA FIGURA 3 La figura 3 muestra detectores LPO, RPO e impulsor D como que comprenden un imán M fijo a la porción inferior del tubo de flujo 102 y un serpentín C fijo a la base de cada uno de los elementos LPO, RPO e impulsor D. DESCRIPCION DE LA FIGURA 4 La figura 4 es una sección tomada a lo largo de la línea 4-4 de la figura 2. La figura 4 describe todos los elementos de la figura 3 y detalles adicionales de los conectores 108 y 109, La figura 4 describe adicionalmente las aberturas 402, 403 y 404 en la base 101. La parte superior de cada una de estas aberturas se extiende a la superficie inferior de la base de los detectores LPO, RPO y el impulsor D. El serpentín C y el imán M asociados con cada uno de estos elementos también se muestra en la figura 4. El medidor electrónico 121 de la figura 1 no se muestra en las figuras 3 y 4 para minimizar la complejidad del dibujo. El elemento 405 en el conector 108 es la entrada del tubo de flujo 102; el elemento 406 en el conector 109 es la salida del tubo de flujo 102.
La porción fija 111 del conector 108 incluye roscas macho 409 las cuales se enroscan en roscas coincidentes en la base 401 para unir la porción de conector fija 111 al segmento 401 de la base 101. El cuerpo fijo del conector 109 a la derecha está equipado de manera similar y unido por las roscas 409 al elemento 401 de la base 101. La porción fija 111 del conector 108 incluye adicionalmente una porción roscada 124 cuyas roscas reciben la porción movible 415 del conector 108. El conector 109 está equipado de manera similar. La porción fija 111 del conector 108 incluye adicionalmente a su izquierda un adaptador cónico 413 el cual conjuntamente con el elemento movible 415 actúa como una pieza abocardada para forzar el extremo derecho del tubo de entrada 104 sobre el cónico 413 de la porción fija 111. Esto crea un ajuste de compresión que fija de forma sellante la abertura abocardada del tubo de suministro 104 sobre la porción de adaptador cónico 413 de la porción fija 111 del conector. La entrada del tubo de flujo 102 se coloca en la porción fija de conector 111 y se nivela con la superficie externa del adaptador 413. Por este medio, el material de proceso administrado por el tubo de suministro 104 se recibe por la entrada 405 del tubo de flujo 102. El material de proceso fluye a la derecha a través del tubo de flujo 102 a la porción fija 111 del conector 109 donde la salida 406 del tubo de flujo 102 se nivela con el extremo del adaptador conector 413. Este fija dé forma sellante la salida del tubo 102 al conector 109. Los otros conectores 107 y 110 de la . figura 1 son idénticos a aquellos descritos por los detalles de los conectores 108 y 109 en la figura 4. DESCRIPCION DE LA FIGURA 5 La figura 5 describe el medidor de flujo 500 como una modalidad alternativa de la invención similar a aquel de la figura 1 excepto que la base del medidor de flujo 500 no es un elemento único y comprende estructuras separadas 517 y 518. El tubo de flujo 502 y el tubo de retorno 503 se extienden a través de los elementos 517, 518 a los conectores 507 a 510 los cuales son comparables en cada respecto a los conectores 107 a 110 de la figura 1. Los elementos de base de medidor de flujo 517, 518 están separados y cada uno es de suficiente masa para minimizar las vibraciones impartidas por el impulsor D a la estructura dinámicamente no equilibrada que comprende el tubo de flujo 502. Los elementos de base 517 y 518 descansan sobre la superficie 515 del elemento 516 el cual soporta los elementos de base 517 y 518. Todos los elementos mostrados en la figura 5 operan de la misma manera como lo hacen los elementos correspondientes en la figura 1. Esta correspondencia se muestra por la designación de cada elemento la cual difiere solamente porque el primer dígito de la parte de designación del elemento. Por consiguiente, el tubo de suministro 1?4 en la figura 1 corresponde al tubo de suministro 504 en la figura 5. DESCRIPCION DE LA FIGURA 6 La figura 6 describe todavía otra modalidad alternativa de la invención que comprende el medidor de flujo 600 el cual es diferente de la modalidad de la figura 1 porque el medidor de flujo 600 tiene dos tubos de flujo activos 602 y 603 los cuales comprenden una estructura dinámicamente equilibrada que no requiere la base sólida tal como la base 101 de la figura 1. La base 601 puede tener significativamente menos masa que aquella de la figura 1. El medidor de flujo 600 tiene conectores 607 a 610 comparables con los conectores 107-110 de la figura 1. Además, tiene conectores 611, 612. El material de proceso se recibe por el medidor de flujo 600 desde un tubo de suministro 604. El material se extiende vía un conector 608 al extremo izquierdo del tubo de flujo 602. El tubo de flujo 602 se extiende a través del soporte 618 de la base 601 y el conector 60 por medios donde se conecta al tubo 615 el da vuelta de nuevo vía el conector 607 al tubo de flujo 603. El tubo de flujo 603 se hace vibrar en oposición de fase al tubo de flujo 602 por el impulsor D. La respuesta Coriolis de los tubos de flujo vibrantes 602 y 603 se detecta por los detectores LPO y RPO y se transmite vía los conductores no mostrados al elemento medidor electrónico también no mostrado para minimizar la complejidad del dibujo. El flujo de material a través del tubo 603 procede a la derecha y se extiende vía el conector 610 al tubo 606 el cual da vuelta de nuevo a través del conector 611 y tubo 616, el conector 612 al tubo de flujo de retorno 605 el cual suministra el flujo de material al proceso de aplicación del usuario final . El medidor de flujo 600 es ventajoso porque comprende una estructura dinámicamente equilibrada de tubos de flujo 602 y 603 formados de material de PFA. La estructura dinámicamente equilibrada es ventajosa porque la base sólida 101 de la figura 1 no se requiere. La base 601 puede ser de masa convencional y los tubos de PFA vibrantes 602 y 603 para proporcionar la información de salida perteneciente al flujo de material. Los tubos de flujo de PFA aseguran que el flujo de material tiene un nivel de pureza ultra alto. DESCRIPCION DE LAS FIGURAS 7 Y 8 La figura 7 describe una vista superior de un medidor de flujo 700 comparable con el medidor de flujo 100 de la figura 1. La diferencia entre las dos modalidades es que el medidor de flujo 700 usa un detector óptico para los detectores LPO y RPO. Los detalles de los detectores ópticos se muestran en la figura 8 comprendiendo una fuente de luz LED y foto-diodo conjuntamente con un tubo de flujo 702 interpuesto entre la LED y el foto-diodo. En la posición de ! apoyo del tubo de flujo, una cantidad nominal de luz pasa de la LED al foto-diodo para generar una señal de salida nominal. Un movimiento descendente del tubo de flujo incrementa la cantidad de luz recibida por el foto-diodo; un movimiento ascendente del tubo de flujo disminuye la cantidad de luz recibida por el foto-diodo. La cantidad de luz recibida por el foto-diodo se traslada a una corriente de salida indicativa de la magnitud de la vibración de Coriolis para la porción del tubo de flujo 702 asociada con la LED y la fuente de luz. La salida de los foto-diodos se extiende sobre los conductores 730 y 732 al medidor electrónico no mostrado en la figura 7 para minimizar la complejidad del dibujo. La modalidad de la figura 7 es de otra forma idéntica en cada respecto a la modalidad de la figura 1 e incluye tubos de suministro 704, el tubo de salida 705 conjuntamente con los conectores 707 a 710, tubos de flujo 702 y tubo de retorno 703. Las partes del medidor de flujo 700 y sus contrapartes en la figura 1 y se designan para facilitar la correspondencia con la única diferencia que es el primer dígito de la designación de cada elemento. DESCRIPCION DE LA FIGURA 9 La figura 9 describe el medidor de flujo 900 el cual corresponde al medidor de flujo 100 de la figura 1 excepto que el medidor de flujo 900 está equipado con equilibradores dinámicos 932 y 933. La base 901 es más pequeña y de menor masa que la 101 de la figura 1. Los equilibradores dinámicos funcionan para contrarrestar las vibraciones impartidas a los soportes 917 y 918 de la base 901 por la estructura dinámicamente no equilibrada que comprende el tubo de flujo vibrante 902 lleno de material. En la modalidad de la figura 1, e'stas vibraciones se absorben por la base sólida 101. En esta modalidad, el tubo de flujo lleno de material con los imanes unidos pesa aproximadamente 2 gramos mientras que la base pesa aproximadamente 12 libras (5.44 kg) . Esto limita el intervalo de aplicaciones comerciales para el tubo de flujo de la figura 1 puesto que el limite superior en el tamaño y masa del tubo de flujo vibrante 102 lleno de material se limita por la masa de la base que se debe proporcionar para adsorber las vibraciones no equilibradas. Usando la relación de 3,000 a 1 entre la masa de la base y la masa del tubo de flujo vibrante lleno de material, un incremento de una libra (.454 kg) en la masa del tubo de flujo lleno de material podría requerir un incremento de masa de 3,000 libras (136.2 kg) para la base 101. Esto claramente limita el intervalo de aplicaciones comerciales en el tubo de flujo 100 de la figura 1. El medidor de flujo 900 de la figura 9 tiene un amplio intervalo de aplicaciones comerciales puesto que los equilibradores dinámicos 932 y 933 se fijan a los soportes 917 y 918 para absorber muchas de las vibraciones impartidas a los soportes por el tubo de flujo vibrante 902 dinámicamente no equilibrado. En la práctica, los equilibradores dinámicos (ED) pueden ser de cualquier tipo incluyendo la masa convencional y configuración de resorte como es bien conocido e la técnica de equilibradores dinámicos . DESCRIPCION DE LA FIGURA 10 La figura 10 describe un medidor dé flujo 1000 que es idéntico al medidor de flujo 900 excepto que los equilibradores dinámicos de la figura 10 son del tipo activo (EDA) y se designan 1032 y 1033. Estos equilibradores dinámicos activos se controlan por un intercambio de señales con el medidor electrónico 1021 sobre las trayectorias 1023, 1024, 1025 y 1026. El medidor electrónico 1021 recibe señales sobre la trayectoria 1003 del equilibrador dinámico activo 1032 que representa las vibraciones aplicadas por el tubo de flujo vibrante 1002 dinámicamente no equilibrado al soporte 117. El medidor electrónico recibe estas señales y genera una señal de control que se aplica sobre la trayectoria 1024 para activar el equilibrador dinámico activo 1032 para contrarrestar las vibraciones del tubo de flujo. Operando de esta manera, el equilibrador dinámico activo 1032 se puede controlar para reducir las vibraciones del soporte 1017 a cualquier magnitud, de modo que puede ser deseado que la masa resultante de la base 1001 pueda ser de un nivel aceptable para el uso comercial del medidor de flujo 1000. El equilibrador dinámico activo 1033 montado encima del sopbrte 1018 de la base 1001 opera de la misma manera como se describe para el equilibrador dinámico activo montado al soporte 1017. DESCRIPCION DE LA FIGURA 11 La figura 11 describe todavía otra modalidad alternativa que comprende un medidor de flujo 1100 que tiene tubos de flujo duales 1101, 1102 los cuales son sustancialmente en forma de U y tienen soportes laterales derechos 1103, 1104 y soportes laterales izquierdos 1105, 1106. La porción inferior de los soportes laterales se conecta para formar secciones en forma de "Y" 1107 y 1108 las cuales se pueden conectar a una base adecuada no mostrada para minimizar la complejidad del dibujo. Los tubos de flujo duales del medidor de flujo 1100 vibran como los elementos dinámicamente equilibrados alrededor de los ejes W-W y W'-W de las barras tensoras 1009 y 1010. Los tubos de flujo 1101, 1102 se impulsan en oposición de fase por el impulsor D fijo a la porción superior de los tubos de flujo en forma de U. Las deflexiones Coriolis impartidas por los tubos de flujo vibrantes llenos de material se detectan por el detector derecho RPO y el detector izquierdo LPO. El medidor electrónico 1121 funciona para aplicar las señales sobre la trayectoria 1123 para originar que el impulsor D haga v-ibrar los tubos de flujo 1101, 1102 en oposición de fase. La respuesta Coriolis detectada por los detectores LPO y RPO se transmite sobre las trayectorias 1122, 1124 al medidor electrónico 1121 el cual procesa las señales y deriva la información de flujo de material la cual se transmite sobre la trayectoria de salida 1124 a un circuito de utilización no mostrado. DESCRIPCION DE LAS FIGURAS 12 Y 13 Las figuras 12 y 13 describen un medidor de flujo dinámicamente equilibrado 1200 que tiene un par de tubos de flujo 1201 y 1202 los cuales se hacen vibrar en oposición de fase por el impulsor D. Los tubos de flujo reciben un flujo de material; el impulsor D hace vibrar los tubos de flujo en oposición de fase en respuesta a una señal de impulso recibida sobre la trayectoria 1223 desde el medidor electrónico 1221. La respuesta Coriolis de los tubos de flujo vibrantes llenos de material se detecta por los detectores LPO y RPO con su salida que se aplica sobre los conductores 1221 y 1224 al medidor electrónico el cual procesa las señales recibidas para generar la información de flujo de material que se aplica sobre la trayectoria de salida 1225 a un circuito de utilización no mostrado. DESCRIPCION DE LA FIGURA 14 La figura 14 describe una modalidad alternativa 1400 de la invención que comprende una base sólida 1401 que i i tiene un par externo de paredes laterales 1443 y 1445 que se extienden ascendentemente así como un par interno de paredes laterales 1417 y 1418 que se extienden ascendentemente. Un tubo de flujo único 1402 se extiende desde un conector de entrada 1408 a la izquierda a través de las cuatro paredes laterales que se extienden ascendentemente a un conector de salida 1409 a la derecha. El tubo de flujo 1402 se hace vibrar por el impulsor D con las deflexiones Coriolis resultantes del tubo de flujo vibrante con flujo de material que se detecta por los detectores LPO y RPO los cuales transmiten las señales sobre las trayectorias indicadas al medidor electrónico 1421 el cual funciona de la misma manera como se describió previamente en la figura 1. El elemento de detección de temperatura DTR detecta la temperatura del tubo de flujo lleno de material y transmite esta información sobre la trayectoria 1425 al medidor electrónico 1421. El medidor de flujo de la figura 14 difiere de aquel de la figura 1 en dos aspectos notables. El primero es que la modalidad de la figura 14 solamente es un tubo de flujo único 1402. El flujo de material se extiende a través de este tubo de flujo desde el conector de entrada 1408; la salida del tubo de flujo se aplica vía el conector de salida 1409 al tubo de salida 1406 para suministrar a un usuario. La modalidad de la figura 14 no tiene tubo de flujo de retorno comparable con el elemento 103 de la figura 1.
Además, la base sólida 1401 tiene dos pares de paredes qué se extienden ascendentemente mientras que en la modalidad de la figura 1 la base sólida 101 tiene solamente el par único de paredes 117 y 118 que se extienden ascendentemente. El par único de paredes en la figura 1 realiza la función de ser un nodo vibracional de cero movimiento así como un montaje para los conectores 107 a 110. En la figura 14, el par interno de paredes 1417 y 1418 funciona como un nodo vibracional de cero movimiento para los extremos de la porción activa del tubo de flujo 102. El par externo de las paredes 1443 y 1444 que se extienden ascendentemente montan los conectores 1408 a la izquierda y 1409 a la derecha. Cuando está en uso, el material de proceso se recibe del tubo 1404 conectado al conector 1408. La entrada del tubo de flujo 1402 también se conecta al conector 1408. El tubo de flujo 1402 extiende el flujo de material de proceso a la derecha a través de los dos pares de paredes laterales al conector de salida 1409 al cual se conecta el tubo de salida 1406. Los números de parte en la figura 14 no mencionados específicamente inmedi tamente antes son análogos y realizan las funciones idénticas a sus elementos correspondientes en las figuras previas incluyendo la figura 1.
I DESCRIPCION DE LA FIGURA 15 La figura 15 describe una modalidad alternativa 1500 la cual es similar en la mayoría de los aspectos a la modalidad de la figura 1. La diferencia primaria es que en la modalidad de 1500, el tubo de flujo posterior 1503 no es inactivo como lo es el tubo de retorno 103 de la modalidad de la figura 1. En su lugar, en la figura 15, el tubo posterior 1503 se hace vibrar por su impulsor DA con las deflexiones Coriolis resultantes de esta tubo vibrante con el flujo de material siendo detectado por sus detectores LPOA y RPOA. Sus señales de salida se transmiten sobre las trayectorias 1542 y 1544 al medidor electrónico 1521 el cual recibe estas señales así como las señales de los detectores LPO y RPO del tubo de flujo 1502 para generar la información de flujo de material . El material de proceso fluye a la derecha en la figura 15 a través del tubo de flujo 1502, a través del tubo 1550 y fluye a la izquierda a través del tubo de flujo 1503. La inversión de fase de los detectores igualados se puede compensar invirtiendo las conexiones de los detectores LPOA y RPOA de modo que las señales Coriolis de todos los detectores recibidas por el medidor electrónico 1521 son aditivas para mejorar la sensibilidad del medidor. Las partes mostradas en la figura 15 no mencionadas específicamente antes son idénticas en función a sus elementos correspondientes en la figura 15.
DESCRIPCION DE LA FIGURA 16 La figura 16 describé una modalidad alternativa 1600 que es similar a la modalidad de la figura 14. Tiene una base 1601, superficie frontal 161, paredes laterales 1444 y superficie de pared frontal 1642. Las diferencia son que estos postes de montaje internos 1617 y 1618 que se extienden ascendentemente reemplazan las paredes 1417 y 1418 de la figura 14. Además, los postes de montaje externos 1643 y 1645 que se extienden ascendentemente reemplazan las paredes 1443 y 1445 de la figura 14. Los postes externos 1643 y 1645 previenen al tubo de flujo 1602 de girar alrededor del poste 1617 y 1671 como un eje. Los conectores 1608 y 1609 son opcionales y si se desea el tubo de flujo 1602 puede extenderse externamente a través de los postes 1643 y 1645 y reemplazar el tubo de entrada 1604 y tubo de salida 1402. El tubo de flujo extendido se puede conectar corriente abajo y corriente arriba por un usuario al equipo del usuario. Los postes 1443 y 1445 sirven como un montaje para el conector 1608 y 1609 cuando se proporcionan. Se entenderá expresamente que la invención reivindicada no se limitará a la descripción de la modalidad preferida pero incluye otras modificaciones y alteraciones. Por ejemplo, las modalidades de medidor de flujo mostradas en la presente se pueden operar en una orientación invertida si se desea tener el impulsor D colocado en la parte superior de un tubo de flujo vibrante para permitir que el calor del impulsor se mueva hacia arriba lejos del tubo de flujo. Esto puede aislar mejor el tubo de flujo de la tensión térmica que puede reducir la exactitud o los datos de salida del medidor de flujo. Además, el medidor de flujo de masa Coriolis descrito en la presente tiene aplicaciones diferentes de aquellos descritos en la presente. Por ejemplo, el medidor de flujo de masa Coriolis descrito se puede usar en aplicaciones en las cuales el material de proceso que fluye es corrosivo, tal como ácido cítrico, e incompatible para el uso con medidores de flujo que tienen una trayectoria de flujo humedecida de metal. Todas las modalidades del medidor de flujo de masa Coriolis descritas en la presente pueden tener la totalidad de su estructura vibrante formada de una sustancia de plástico tal como PFA. Se hace constar que con relación a esta fecha, el mejor método conocido por la solicitante para llevar a la práctica la citada invención, es el convencional para la manufactura de los objetos a que la misma se refiere.

Claims (19)

  1. REIVINDICACIONES
  2. Habiéndose descrito la invención como antecede se reclama como propiedad lo contenido en las siguientes reivindicaciones: 1. Medidor de flujo de masa Coriolis para medir un flujo de material de proceso que tiene un nivel de pureza ultra alto, el medidor de flujo de masa Coriolis comprende: una base; medio de tubo de flujo adaptado para recibir el flujo de material de proceso; las porciones de extremo del medio de tubo de flujo se acoplan a la base para crear nodos sustancialmente estacionarios en las porciones de extremo; un impulsor acoplado al medio de tubo de flujo para hacer vibrar el medio de tubo de flujo que contiene el flujo de material de proceso; aparato detector acoplado al medio de tubo de flujo para generar las señales que representan las deflexiones Coriolis inducidas del medio de tubo de flujo vibrante que contiene el flujo de material de proceso; medidor electrónico que recibe las señales del medio detector y genera la información de salida perteneciente al flujo de material de proceso, y caracterizado porque la totalidad de la trayectoria humedecida del medidor de flujo Coriolis que incluye el medio de tubo de flujo se forma de un material, tal como copolímero de perfluoroalcoxi (PFA) , que tiene poco o nada transferencia de iones del medio de tubo de flujo al material de proceso. 2. Medidor de flujo Coriolis de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque el medio de tubo de flujo comprende un tubo de flujo único sustancialmente recto que comprende una estructura dinámicamente no equilibrada; y la base tiene una masa lo suficiente grande para comunicarse de forma vibratoria con el tubo de flujo para definir una estructura dinámicamente equilibrada equilibrando las vibraciones de nodo de extremo del tubo de flujo.
  3. 3. Medidor de flujo Coriolis de conformidad con las reivindicaciones 1 ó 2, caracterizado porque el aparato detector comprende una fuente de luz que emite un haz y un detector óptico que recibe el haz; la fuente de luz y el detector óptico se separan aparte del tubo de flujo y se colocan en lados opuestos del de tubo de flujo; el tubo de flujo vibrante se coloca entre la fuente de luz y el óptico para alterar las características de un haz de luz recibido por el detector óptico de la fuente de luz, el detector óptico es responsable de la alteración para generar las señales que representan las deflexiones Coriolis.
  4. 4. Medidor de flujo de masa Coriolis de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 1-3, caracterizado porque la base es en forma de u y tiene una superficie inferior y un par de paredes laterales que se extienden ascendentemente; y los agujeros en cada una de las paredes que se extienden ascendentemente se alinean coaxialmente para recibir el tubo de flujo.
  5. 5. Medidor de flujo de masa Coriolis de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 1-4, caracterizado porque la base es un elemento rectangular sólido que define un paralelepípedo; el tubo de flujo se conecta a los postes fijos a una superficie superior de la base.
  6. 6. Medidor de flujo Coriolis de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 1-5, caracterizado porque: una entrada del tubo de flujo recibe el flujo de material de proceso de un tubo de suministro; una salida del tubo de flujo se acopla a una entrada de un tubo de retorno; el tubo de retorno se acopla a la base y se extiende a través de las paredes de la base; y el tubo de retorno se adopta para ser conectado a un tubo de salida para extender el flujo de material de proceso hacia una aplicación de usuario.
  7. 7. Medidor de flujo de masa Coriolis de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 2-6, caracterizado porque la masa de la base es al menos 100 a 1000 veces la masa del tubo de flujo único con material de proceso.
  8. 8. Medidor de flujo de masa Coriolis de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 1-7, caracterizado porque comprende adicionalmente : un medio de equilibrador dinámico fijo a la base próxima a los nodos para mantener los nodos a un nivel reducido de vibración.
  9. 9. Medidor de flujo de masa Coriolis de conformidad con la reivindicación 8, caracterizado porque el medio de equilibrador dinámico es un equilibrador dinámico activo controlado por el intercambio de señales con el medidor electrónico.
  10. 10. Medidor de flujo de masa Coriolis de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque el medio de tubo de flujo comprende un primer y un segundo tubo de flujo acoplados a la base y colocados paralelos entre si, los primer y segundo tubos de flujo se adaptan para ser vibrados en oposición de fase por el impulsor.
  11. 11. Medidor de flujo de masa Coriolis de conformidad con la reivindicación 10, caracterizado porque los primer y segundo tubos de flujo se conectan en serie con respecto al flujo de material.
  12. 12. Medidor de flujo de masa Coriolis de conformidad con la reivindicación 10, caracterizado porque los primer y segundo tubos de flujo se conectan en paralelo con respecto al flujo de material.
  13. 13. Medidor de flujo de masa Coriolis de conformidad con la reivindicación 10, caracterizado porque comprende adicionalmente : un tubo de retorno acoplado a la base orientada paralela a los primer y segundo tubos de flújeel tubo de retorno recibe el flujo de material de proceso de los primer y segundo tubos de flujo y extiende el flujo de material hacia una aplicación de usuario.
  14. 14. Medidor de flujo de masa Coriolis de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque el medio de tubo de flujo comprende un tubo de flujo único; el medidor de flujo de masa Coriolis comprende adicionalmente ; una base sólida fija a los extremos del tubo de flujo único para reducir las vibraciones no deseadas creando nodos estacionarios en los extremos; un conector de entrada se conecta a la base sólida y se adapta para recibir un flujo del material de proceso de un tubo de suministro; una entrada del tubo de flujo único se fija al conector de entrada, el conector de entrada conecta de -forma sellante la entrada del tubo de flujo único a una salida del tubo de suministro para efectuar la extensión del flujo de material de proceso en el tubo de suministro al tubo de flujo único; un primer tornillo de presión en el conector de entrada mantiene el conector de entrada fijo con respecto a la base sólida; un impulsor se fija al tubo de flujo único para hacer vibrar el tubo de flujo único que contiene el flujo de material de proceso; una salida del tubo de flujo único se fija a un segundo conector para extender el flujo de material de proceso vía un tubo de salida hacia un destino de usuario; un par de detectores se acoplan al tubo de flujo único en lados opuestos del impulsor para generar señales que representan las deflexiones inducidas Coriolis del tubo de flujo único, vibrante, lleno de material; medidor electrónico; los conductores se extienden de los detectores al medidor electrónico para extender las señales del detector al medidor electrónico; y el medidor electrónico recibe las señales de salida del detector y genera la información de salida perteneciente al flujo de material de proceso.
  15. 15. Medidor de flujo de masa Coriolis de conformidad con la reivindicación 14, caracterizado porque adicionalmente : un tubo de retorno conectado a la base sólida paralela al tubo de flujo único; las porciones de extremo del tubo de flujo único y el tubo de retorno se pegan a la base sólida para mantener el tubo de flujo único y el tubo de retorno inmóviles con respecto a la base sólida; una entrada del tubo de retorno; u tubo intermedio conecta la salida del tubo de flujo único y la entrada del tubo de retorno vía el segundo conector para extender el flujo de material de proceso desde la salida del tubo de flujo único al tubo de retorno; un conector de salida se conecta a la base sólida para recibir el flujo del material de proceso desde una salida del tubo de retorno; la salida del tubo de retorno se fija al conector de salida, el conector de salida conecta de forma sellante la salida del tubo de retorno á una entrada de un tubo de salida para efectuar la extensión del flujo de material de proceso en el tubo de retorno al tubo de salida; un segundo tornillo de presión en el conector de salida mantiene el conector de salida fijo con respecto a la base; el tubo de salida se adapta para extender el flujo de material de proceso a un destino de usuario.
  16. 16. Medidor de flujo Coriolis de conformidad con las reivindicaciones 1 ó 2, caracterizado porque el medio de tubo de flujo tiene alta flexibilidad y además tiene una rigidez sustancialmente inferior que un tubo de flujo formado de metal o vidrio.
  17. 17. Medidor de flujo Coriolis de conformidad con las reivindicaciones 1 ó 2, caracterizado porque el medio de tubo de flujo tiene paredes sustancialmente más delgadas que el diámetro de la porción interna del medio de tubo de flujo a través del cuál el material fluye.
  18. 18. Medidor de flujo Coriolis de conformidad con las reivindicaciones 1 ó 2, caracterizado porque el medio de tubo de flujo tiene un diámetro sustancialmente constante.
  19. 19. Medidor de flujo Coriolis de conformidad con las reivindicaciones 1 ó 2, caracterizado porque el medio de tubo de flujo tiene: una deflexión de frecuencia de impulso que se extiende sobre la totalidad de la longitud axial de la porción activa del medio de tubo de flujo; y adicionalmente tiene una deflexión Coriolis que se extiende sobre la totalidad de la longitud axial de la porción activa del medio de tubo de flujo.
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