MX338351B - Aparatos de medición de flujo. - Google Patents

Aparatos de medición de flujo.

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Shinobu Tashiro
Ryosuke Doi
Takeshi Morino
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Hitachi Automotive Systems Ltd
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Abstract

Se proporciona un aparato medidor de flujo de aire con buena precisión de medición. Un aparato medidor de flujo de aire que incluye: conducto en derivación que lleva una parte de un flujo de fluido que fluye a través de una tubería de entrada; un elemento sensor que está dispuesto en el conducto en derivación para medir el flujo de fluido; una parte de circuito que convierte el flujo de fluido detectado por el elemento sensor en una señal eléctrica; una parte del conector que tiene un conector que está conectado eléctricamente a la parte del circuito a la salida de una señal externa; y una carcasa que soporta el elemento del sensor y la parte del circuito, el elemento sensor está dispuesto en la tubería de entrada. El elemento sensor incluye una cavidad que está dispuesta en un sustrato del semiconductor, y un diafragma que incluye una parte de película delgada que cubre la cavidad. El elemento sensor está montado en un montaje de conector. El elemento sensor y el montaje de conector tienen superficies que son encapsuladas con resina de manera que una parte del diafragma del elemento del sensor y una parte del montaje de conector están expuestos. Al menos un orificio está dispuesto en el montaje de conector para la comunicación entre la cavidad y el exterior del encapsulado.
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