CN102680018A - 多功能组合传感器 - Google Patents
多功能组合传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102680018A CN102680018A CN2011100554954A CN201110055495A CN102680018A CN 102680018 A CN102680018 A CN 102680018A CN 2011100554954 A CN2011100554954 A CN 2011100554954A CN 201110055495 A CN201110055495 A CN 201110055495A CN 102680018 A CN102680018 A CN 102680018A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sensor
- substrate
- chip
- humidity
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Abstract
一种多功能组合传感器,包括:压力传感器、流量传感器、湿度传感器、温度传感器、基板,其特征在于基板上设有ASIC芯片,温度传感器集成在ASIC芯片上,压力传感器、流量传感器、湿度传感器分别被设置在基板上,基板上设有带插针引脚,测量的输出信号经插针引脚引出。本发明的优点是单个传感器测量单元具有互换性,可以同时实现压力、流量、湿度与温度的实时测量。
Description
技术领域
本发明涉及一种传感器,特别是一种多功能组合传感器。
背景技术
多功能组合传感器在医疗、工业控制等领域的应用较为广泛,特别是在医疗领域,应用市场正在快速增长。例如呼吸机与睡眠仪在国内外的销量是非常可观的,而多功能组合传感器就是呼吸机与睡眠仪的不可缺少的部分。
目前国内在多功能传感器方面的报道较少,申请号为200510038840.8的专利公开了温度、风速、风向与气压集成传感器。申请号为200610134820.5的专利公开了差压/绝压/温度集成传感器芯片的制作工艺。申请号为200510042729.6的专利也公开了多功能集成传感器芯片的制作工艺。这些传感器虽然也称作多功能集成传感器,但是这些传感器是芯片级的集成,即在同一芯片上集成多种敏感元件。
发明内容
本发明的目的是针对已有技术中存在的缺陷,提供了一种多功能组合传感器,该传感器可以同时实现压力、流量、湿度与温度的实时测量的。本发明包括:压力传感器、流量传感器、湿度传感器、温度传感器、传感器基板,其特征在于传感器基板上设有专用集成电路(ASIC)芯片,温度传感器集成在ASIC芯片上,压力传感器、流量传感器、湿度传感器分别被设置传感器基板的不同的部位,基板上设有带插针引脚,测量的信号经插针引脚引出。所述基板为陶瓷基板或塑料基板或为聚合物(BT)基板。
本发明的优点是单个传感器测量单元具有互换性,多功能组合传感器采用COB(Chip on Board,板上芯片)封装工艺封装。
附图说明
图1本发明的平面结构示意图;
图2本发明的剖视结构示意图。
图中:1.压力传感器、2.插针引脚、3.ASIC芯片、4.湿度传感器、5.流量传感器、6.基板
具体实施方式
下面结合附图进一步说明本发明的实施例。
参见图1、图2,基板6上设有ASIC芯片3,温度传感器集成在ASIC芯片3上,压力传感器1、流量传感器5、湿度传感器4分别被设置在基板6上的相应位置,基板6上设有带插针引脚2,测量的输出信号经插针引脚2引出。基板6为陶瓷基板或塑料基板或为BT(聚合物)基板。多功能传感器采用COB-封装工艺封装。
Claims (2)
1.一种多功能组合传感器,包括:压力传感器、流量传感器、湿度传感器、温度传感器、基板,其特征在于基板上设有专用集成电路(ASIC)芯片,温度传感器集成在ASIC芯片上,压力传感器、流量传感器、湿度传感器分别被设置在基板上,基板上设有带插针引脚,测量的输出信号经插针引脚引出。
2.根据权利要求1所述的多功能组合传感器,其特征在于所述基板为陶瓷基板或塑料基板或为聚合物(BT)基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011100554954A CN102680018A (zh) | 2011-03-09 | 2011-03-09 | 多功能组合传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011100554954A CN102680018A (zh) | 2011-03-09 | 2011-03-09 | 多功能组合传感器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102680018A true CN102680018A (zh) | 2012-09-19 |
Family
ID=46812295
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2011100554954A Pending CN102680018A (zh) | 2011-03-09 | 2011-03-09 | 多功能组合传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102680018A (zh) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103278196A (zh) * | 2013-05-30 | 2013-09-04 | 苏州中崟传感股份有限公司 | 一种集成传感器 |
CN103852105A (zh) * | 2012-12-04 | 2014-06-11 | 昆山平成电子科技有限公司 | 一种多功能测试仪 |
CN104034454A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-09-10 | 江苏多维科技有限公司 | 一种用于多物理量测量的传感器芯片及其制备方法 |
US20140294046A1 (en) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Microelectronic environmental sensing module |
US9598278B2 (en) | 2013-05-31 | 2017-03-21 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Method of making a suspended membrane device |
US9689824B2 (en) | 2013-03-29 | 2017-06-27 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Integrated multi-sensor module |
US10254261B2 (en) | 2016-07-18 | 2019-04-09 | Stmicroelectronics Pte Ltd | Integrated air quality sensor that detects multiple gas species |
US10429330B2 (en) | 2016-07-18 | 2019-10-01 | Stmicroelectronics Pte Ltd | Gas analyzer that detects gases, humidity, and temperature |
US10557812B2 (en) | 2016-12-01 | 2020-02-11 | Stmicroelectronics Pte Ltd | Gas sensors |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1845327A (zh) * | 2005-04-07 | 2006-10-11 | 中国科学院电子学研究所 | 基于聚合物材料的单片集成温度、湿度、压力传感器芯片 |
CN1865864A (zh) * | 2005-05-20 | 2006-11-22 | 上海飞恩微电子有限公司 | 胎压温度监测系统的多功能传感器集成芯片 |
US20080028863A1 (en) * | 2005-09-23 | 2008-02-07 | Kurtz Anthony D | High temperature pressure sensing system |
CN101329187A (zh) * | 2007-06-22 | 2008-12-24 | 霍尼韦尔国际公司 | 用于测量多个被测对象的组合传感器系统 |
-
2011
- 2011-03-09 CN CN2011100554954A patent/CN102680018A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1845327A (zh) * | 2005-04-07 | 2006-10-11 | 中国科学院电子学研究所 | 基于聚合物材料的单片集成温度、湿度、压力传感器芯片 |
CN1865864A (zh) * | 2005-05-20 | 2006-11-22 | 上海飞恩微电子有限公司 | 胎压温度监测系统的多功能传感器集成芯片 |
US20080028863A1 (en) * | 2005-09-23 | 2008-02-07 | Kurtz Anthony D | High temperature pressure sensing system |
CN101329187A (zh) * | 2007-06-22 | 2008-12-24 | 霍尼韦尔国际公司 | 用于测量多个被测对象的组合传感器系统 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103852105A (zh) * | 2012-12-04 | 2014-06-11 | 昆山平成电子科技有限公司 | 一种多功能测试仪 |
US10317357B2 (en) | 2013-03-29 | 2019-06-11 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Integrated multi-sensor module |
US11009477B2 (en) | 2013-03-29 | 2021-05-18 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Integrated multi-sensor module |
US20140294046A1 (en) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Microelectronic environmental sensing module |
US9618653B2 (en) * | 2013-03-29 | 2017-04-11 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Microelectronic environmental sensing module |
US9689824B2 (en) | 2013-03-29 | 2017-06-27 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Integrated multi-sensor module |
US10094797B2 (en) | 2013-03-29 | 2018-10-09 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Integrated multi-sensor module |
CN103278196A (zh) * | 2013-05-30 | 2013-09-04 | 苏州中崟传感股份有限公司 | 一种集成传感器 |
US9598278B2 (en) | 2013-05-31 | 2017-03-21 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Method of making a suspended membrane device |
WO2015188772A1 (zh) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | 江苏多维科技有限公司 | 一种用于多物理量测量的传感器芯片及其制备方法 |
US10942048B2 (en) | 2014-06-13 | 2021-03-09 | MultiDimension Technology Co., Ltd. | Sensor chip used for multi-physical quantity measurement and preparation method thereof |
CN104034454A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-09-10 | 江苏多维科技有限公司 | 一种用于多物理量测量的传感器芯片及其制备方法 |
US10254261B2 (en) | 2016-07-18 | 2019-04-09 | Stmicroelectronics Pte Ltd | Integrated air quality sensor that detects multiple gas species |
US10429330B2 (en) | 2016-07-18 | 2019-10-01 | Stmicroelectronics Pte Ltd | Gas analyzer that detects gases, humidity, and temperature |
US10557812B2 (en) | 2016-12-01 | 2020-02-11 | Stmicroelectronics Pte Ltd | Gas sensors |
US11543378B2 (en) | 2016-12-01 | 2023-01-03 | Stmicroelectronics Pte Ltd | Gas sensors |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102680018A (zh) | 多功能组合传感器 | |
CN102980711B (zh) | 具有多个传感器元件的封装的传感器 | |
CN103344377B (zh) | 一种微电子机械系统的电容式气压传感器 | |
CN205785644U (zh) | Mems微压压力传感器 | |
CN101750170B (zh) | 温度传感器芯片的校准系统及校准方法 | |
ATE534023T1 (de) | Integrierte gesamtlufttemperatursonde und elektronik | |
MX2014006661A (es) | Aparatos de medición de flujo. | |
CN203178006U (zh) | 压力传感器封装结构 | |
WO2017012251A1 (zh) | 一种环境传感器 | |
CN102680159B (zh) | 一种传感器 | |
WO2017012250A1 (zh) | 一种环境传感器 | |
CN203587140U (zh) | 高湿环境温湿度变送器 | |
CN209417074U (zh) | 一种压电速度传感器 | |
CN204839495U (zh) | 一种高精度集成式手环血压计 | |
CN107014438A (zh) | 基于陶瓷封装的高温高压液体压力、温度测量传感器 | |
WO2024067023A1 (zh) | 组合传感器及便携式可穿戴设备 | |
CN207908088U (zh) | 陶瓷mems压力传感器 | |
CN107014551A (zh) | 一种利用热电阻原理的压力传感器及其工作方法 | |
CN202267563U (zh) | 复合型温度压力传感器 | |
CN107976274A (zh) | 一种基于同步共振的压力检测装置及检测方法 | |
CN201867368U (zh) | 一种内置信号处理电路的气体传感探头 | |
CN102401675A (zh) | 含温度压力补偿的燃气表计数装置 | |
CN202191292U (zh) | 一种数字肺活量测定装置 | |
CN203053475U (zh) | 一种多功能测试仪 | |
CN108267259A (zh) | 陶瓷mems压力传感器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20120919 |