MD3934C2 - Способ получения подложки BaF2 с совершенной поверхностью - Google Patents
Способ получения подложки BaF2 с совершенной поверхностью Download PDFInfo
- Publication number
- MD3934C2 MD3934C2 MDA20080235A MD20080235A MD3934C2 MD 3934 C2 MD3934 C2 MD 3934C2 MD A20080235 A MDA20080235 A MD A20080235A MD 20080235 A MD20080235 A MD 20080235A MD 3934 C2 MD3934 C2 MD 3934C2
- Authority
- MD
- Moldova
- Prior art keywords
- substrate
- baf2
- obtaining
- during
- perfect surface
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title abstract 5
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract 4
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 title abstract 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 abstract 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 238000002003 electron diffraction Methods 0.000 abstract 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract 1
- 238000004901 spalling Methods 0.000 abstract 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области планарной технологии получения полупроводниковых слоев типа А4В6, в частности к способу получения подложки BaF2 с совершенной поверхностью.Способ включает скалывание или резку исходной подложки вдоль выбранных кристаллографических направлений, химико-механическую полировку поверхности, вакуумный отжиг подложки при температуре 973° К, в течение 30 мин, затем нанесение дополнительного слоя BaF2 в сверхвысоком вакууме при температуре подложки 1023° К в течение 3…5 мин, с непрерывным контролем качества поверхности методом дифракции быстрых электронов.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| MDA20080235A MD3934C2 (ru) | 2008-09-08 | 2008-09-08 | Способ получения подложки BaF2 с совершенной поверхностью |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| MDA20080235A MD3934C2 (ru) | 2008-09-08 | 2008-09-08 | Способ получения подложки BaF2 с совершенной поверхностью |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| MD3934B1 MD3934B1 (en) | 2009-06-30 |
| MD3934C2 true MD3934C2 (ru) | 2010-01-31 |
Family
ID=40942300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| MDA20080235A MD3934C2 (ru) | 2008-09-08 | 2008-09-08 | Способ получения подложки BaF2 с совершенной поверхностью |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| MD (1) | MD3934C2 (ru) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MD249Z (ru) * | 2009-04-29 | 2011-02-28 | Институт Электронной Инженерии И Промышленных Технологий Академии Наук Молдовы | Способ изготовления термоэлектрического охладителя для подложки ЧИПа |
| MD241Z (ru) * | 2009-12-29 | 2011-03-31 | Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы | Способ получения наночастиц PbS стабилизированных желатином |
| MD242Z (ru) * | 2010-01-26 | 2011-03-31 | Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы | Способ получения гидрофильных нанокристаллов PbS |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2005122937A (ru) * | 2002-12-20 | 2006-01-20 | Новалюкс, Инк. (Us) | Способ изготовления опорной структуры для полупроводникового устройства |
| MD3327G2 (ru) * | 2006-09-27 | 2007-12-31 | Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы | Способ получения фоточувствительного композита из аморфного халькогенидного полупроводника и органического полимера |
| RU2347741C1 (ru) * | 2007-08-27 | 2009-02-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский государственный технический университет - УПИ имени первого Президента России Б.Н.Ельцина" | Способ получения нанокристаллических покрытий на основе нанокристаллов фторида лития или фторида натрия |
| MD3652G2 (ru) * | 2007-04-20 | 2009-02-28 | Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы | Фотолюминесцентный нанокомпозит на основе оксидного полупроводника и органического полимера (варианты) |
-
2008
- 2008-09-08 MD MDA20080235A patent/MD3934C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2005122937A (ru) * | 2002-12-20 | 2006-01-20 | Новалюкс, Инк. (Us) | Способ изготовления опорной структуры для полупроводникового устройства |
| MD3327G2 (ru) * | 2006-09-27 | 2007-12-31 | Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы | Способ получения фоточувствительного композита из аморфного халькогенидного полупроводника и органического полимера |
| MD3652G2 (ru) * | 2007-04-20 | 2009-02-28 | Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы | Фотолюминесцентный нанокомпозит на основе оксидного полупроводника и органического полимера (варианты) |
| RU2347741C1 (ru) * | 2007-08-27 | 2009-02-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский государственный технический университет - УПИ имени первого Президента России Б.Н.Ельцина" | Способ получения нанокристаллических покрытий на основе нанокристаллов фторида лития или фторида натрия |
Non-Patent Citations (4)
| Title |
|---|
| Bis R. F., Farabaugh E. N., Muth E. P. Preparation of polished substrates of BaF2 // J. Appl. Phys. – 1976. – Vol.47, Nr.2. – P.736-740. * |
| Bis R. F., Farabaugh E. N., Muth E. P. Preparation of polished substrates of BaF2, J. Appl. Phys., 1976, Vol. 47, Nr. 2, P.736-740 * |
| gгsitг 07.02.2009 <http://www.fnm.ru/documents/18/Novoselova.pdf gгsitг 07.02.2009>) * |
| Новоселова А.С. Выращивание эпитаксиальных слоев PbSe на рассогласованных подложках (www.fnm.ru/documents/18/Novoselova.pdf * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| MD3934B1 (en) | 2009-06-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2012102809A3 (en) | Polysilicon films by hdp-cvd | |
| WO2009013914A1 (ja) | SiCエピタキシャル基板およびその製造方法 | |
| WO2011090704A3 (en) | Method for producing microstructured templates and their use in providing pinning enhancements in superconducting films deposited thereon | |
| SG10201802228YA (en) | Selective growth of silicon nitride | |
| WO2010090903A3 (en) | Method for forming trench isolation using a gas cluster ion beam growth process | |
| WO2011126612A3 (en) | Nitrogen doped amorphous carbon hardmask | |
| WO2013019565A3 (en) | Inductive plasma sources for wafer processing and chamber cleaning | |
| TW200729343A (en) | Method for fabricating controlled stress silicon nitride films | |
| SG136030A1 (en) | Method for manufacturing compound material wafers and method for recycling a used donor substrate | |
| GB201113244D0 (en) | A diamond optical element | |
| WO2012118947A3 (en) | Apparatus and process for atomic layer deposition | |
| GB2467935B (en) | Formation of thin layers of GaAs and germanium materials | |
| WO2008016650A3 (en) | Methods of forming carbon-containing silicon epitaxial layers | |
| WO2015027080A3 (en) | Selective deposition of diamond in thermal vias | |
| WO2007021692A3 (en) | Method and apparatus to control semiconductor film deposition characteristics | |
| WO2010120669A3 (en) | Polishing a thin metallic substrate for a solar cell | |
| GB2534675A8 (en) | Compound semiconductor device structures comprising polycrystalline CVD diamond | |
| WO2012003341A3 (en) | Methods for forming tungsten-containing layers | |
| WO2009016794A1 (ja) | エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハ | |
| TW200720474A (en) | Method of preparing a film layer-by-layer using plasma enhanced atomic layer deposition | |
| TW200614560A (en) | Method for producing a layer of a doped semiconductor material, and apparatus | |
| WO2010088348A3 (en) | Methods for forming conformal oxide layers on semiconductor devices | |
| WO2012123741A3 (en) | Oxide removal from semiconductor surfaces | |
| MD3934C2 (ru) | Способ получения подложки BaF2 с совершенной поверхностью | |
| FI20115321A0 (fi) | Menetelmä yhden tai useamman monikiteisen piikerroksen kerrrostamiseksi substraatille |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FG4A | Patent for invention issued | ||
| KA4A | Patent for invention lapsed due to non-payment of fees (with right of restoration) | ||
| MM4A | Patent for invention definitely lapsed due to non-payment of fees |