MD2859C2 - Nanotehnologie de obţinere a materialelor nanostructurate şi nanocompozite (variante) - Google Patents

Nanotehnologie de obţinere a materialelor nanostructurate şi nanocompozite (variante) Download PDF

Info

Publication number
MD2859C2
MD2859C2 MDA20040198A MD20040198A MD2859C2 MD 2859 C2 MD2859 C2 MD 2859C2 MD A20040198 A MDA20040198 A MD A20040198A MD 20040198 A MD20040198 A MD 20040198A MD 2859 C2 MD2859 C2 MD 2859C2
Authority
MD
Moldova
Prior art keywords
materials
nanocomposites
obtaining
carried out
nanostructurized
Prior art date
Application number
MDA20040198A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Other versions
MD2859B1 (ro
Inventor
Сержиу ШИШЯНУ
Теодор ШИШЯНУ
Олег ЛУПАН
Original Assignee
ШИШЯНУ Серджиу
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ШИШЯНУ Серджиу filed Critical ШИШЯНУ Серджиу
Priority to MDA20040198A priority Critical patent/MD2859C2/ro
Publication of MD2859B1 publication Critical patent/MD2859B1/ro
Publication of MD2859C2 publication Critical patent/MD2859C2/ro

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)

Abstract

Invenţia se referă la electronică, în particular la nanotehnologiile de obţinere a materialelor nanostructurate şi nanocompozitelor.Nanotehnologia de obţinere a materialelor nanostructurate şi nanocompozitelor, conform primei variante, include depunerea componenţilor chimici pe un substrat în prezenţa razelor ultraviolete. Apoi are loc procesarea fototermică rapidă a materialelor obţinute in vid sau în aer, sau în camera cu gaze, de exemplu, cu oxigen.Nanotehnologia de obţinere a materialelor nanostructurate şi nanocompozitelor, conform variantei a doua, include depunerea componenţilor chimici pe un substrat în prezenţa razelor ultraviolete, iar odată cu depunerea componenţilor chimici are loc doparea materialelor obţinute cu cel puţin o impuritate donoare sau acceptoare. Apoi se înfăptuieşte procesarea fototermică rapidă a materialelor obţinute in vid sau în aer, sau în camera cu gaze, de exemplu, cu oxigen.Nanotehnologia de obţinere a materialelor nanostructurate şi nanocompozitelor, conform variantei a treia, include depunerea componenţilor chimici pe un substrat în prezenţa razelor ultraviolete, apoi se efectuiază doparea prin difuzie cu cel puţin o impuritate donoare sau acceptoare odată cu procesarea fototermică rapidă a materialelor obţinute in vid sau în aer, sau în camera cu gaze, de exemplu, cu oxigen.Nanotehnologia de obţinere a materialelor nanostructurate şi nanocompozitelor, conform variantei patru, include depunerea componenţilor chimici pe un substrat în prezenţa razelor ultraviolete, apoi se efectuiază doparea prin difuzie cu cel puţin o impuritate. Concentraţia impurităţilor fiind maxim posibilă pentru materialul obţinut. Ulterior are loc procesarea fototermică rapidă a materialelor obţinute în condiţiile micşorării de la temperatura dopării până la temperatura mediului înconjurător in vid sau în aer, sau în camera cu gaze, de exemplu, cu oxigen.
MDA20040198A 2004-08-12 2004-08-12 Nanotehnologie de obţinere a materialelor nanostructurate şi nanocompozite (variante) MD2859C2 (ro)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MDA20040198A MD2859C2 (ro) 2004-08-12 2004-08-12 Nanotehnologie de obţinere a materialelor nanostructurate şi nanocompozite (variante)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MDA20040198A MD2859C2 (ro) 2004-08-12 2004-08-12 Nanotehnologie de obţinere a materialelor nanostructurate şi nanocompozite (variante)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
MD2859B1 MD2859B1 (ro) 2005-09-30
MD2859C2 true MD2859C2 (ro) 2006-07-31

Family

ID=35057534

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
MDA20040198A MD2859C2 (ro) 2004-08-12 2004-08-12 Nanotehnologie de obţinere a materialelor nanostructurate şi nanocompozite (variante)

Country Status (1)

Country Link
MD (1) MD2859C2 (ro)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MD4294C1 (ro) * 2013-02-06 2015-02-28 Государственный Университет Молд0 Procedeu de obţinere a nanocompozitelor pe bază de nanotuburi din dioxid de titan şi instalaţie pentru realizarea acestuia

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999001895A1 (en) * 1997-07-01 1999-01-14 Steag Rtp Systems Gmbh Method for rapid thermal processing (rtp) of a silicon substrate
US6471848B1 (en) * 1998-02-17 2002-10-29 Canon Kabushiki Kaisha Electrodeposition method of forming an oxide film
US6569518B2 (en) * 1998-11-06 2003-05-27 Nanoproducts Corporation Nanotechnology for electrochemical and energy devices

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999001895A1 (en) * 1997-07-01 1999-01-14 Steag Rtp Systems Gmbh Method for rapid thermal processing (rtp) of a silicon substrate
US6471848B1 (en) * 1998-02-17 2002-10-29 Canon Kabushiki Kaisha Electrodeposition method of forming an oxide film
US6569518B2 (en) * 1998-11-06 2003-05-27 Nanoproducts Corporation Nanotechnology for electrochemical and energy devices
US6576355B2 (en) * 1998-11-06 2003-06-10 Nanoproducts Corporation Nanotechnology for electronic and opto-electronic devices
US6607821B2 (en) * 1998-11-06 2003-08-19 Nanoproducts Corporation Applications and devices based on nanostructured non-stoichiometric substances
US6607779B2 (en) * 1998-11-06 2003-08-19 Nanoproducts Corporation Nanotechnology for photonic and optical components

Also Published As

Publication number Publication date
MD2859B1 (ro) 2005-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2006091588A3 (en) Etching chamber with subchamber
TW200501222A (en) Processing apparatus, manufacturing apparatus, processing method, and manufacturing method of electronic device
TW200704819A (en) Method for silicon based dielectric chemical vapor deposition
TW200601482A (en) Load port
TW200516168A (en) Chemical vapor deposition reactor
BR9901287A (pt) Aparelho de deposição por vapor quìmico para deposso de deposição por vapor quìmico.
MY148631A (en) Apparatus and methods for transporting and processing substrates
MY158201A (en) Multilayered material and method of producing the same
TW200630504A (en) Chemical vapor deposition reactor having multiple inlets
EP1195450A3 (en) Semiconductor processing system and method for controlling moisture level therein
TW200704834A (en) Silicon wafer and manufacturing method for same
CN1218370C (zh) 热处理装置
TW200746297A (en) Method of fabrication semiconductor device
KR890012378A (ko) 실리콘계 보호막을 사용한 반도체 장치의 제조방법
Himmerlich et al. Morphology and surface electronic structure of MBE grown InN
TW200833886A (en) Method for manufacture of III-V family chemical compound semiconductor
WO2007048963A3 (fr) Procede de traitement d'un substrat
MD2859C2 (ro) Nanotehnologie de obţinere a materialelor nanostructurate şi nanocompozite (variante)
TW200634927A (en) Method of manufacturing semiconductor device
MD3029B1 (ro) Procedeu de obtinere a senzorilor (variante)
MD3894G2 (ro) Sesizor de gaze în baza semiconductorilor halcogenici sticloşi
Nakayama et al. Super H2O-barrier film using Cat-CVD (HWCVD)-grown SiCN for film-based electronics
WO2005019797A3 (en) Colorimetric gas detector and windowed process chamber
WO2008010949A3 (en) Method and apparatus for forming an oxide layer on semiconductors
Abdullin et al. Effect of annealing and hydrogen plasma treatment on the luminescence and persistent photoconductivity of polycrystalline ZnO films

Legal Events

Date Code Title Description
FG4A Patent for invention issued
KA4A Patent for invention lapsed due to non-payment of fees (with right of restoration)
MM4A Patent for invention definitely lapsed due to non-payment of fees