KR980005903A - 웨이퍼 건조 장치 및 그를 이용한 웨이퍼 건조방법 - Google Patents
웨이퍼 건조 장치 및 그를 이용한 웨이퍼 건조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR980005903A KR980005903A KR1019960024961A KR19960024961A KR980005903A KR 980005903 A KR980005903 A KR 980005903A KR 1019960024961 A KR1019960024961 A KR 1019960024961A KR 19960024961 A KR19960024961 A KR 19960024961A KR 980005903 A KR980005903 A KR 980005903A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- wafer
- dryer
- moisture
- drying
- mounting
- Prior art date
Links
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
본 발명은 웨이퍼 건조 장치 및 그를 이용한 웨이퍼 건조 방법에 관한 것으로, 회전 건조 또는 열풍 건조 방법을 이용하는 경우 발생되는 문제점을 개선하기 위하여 진공 펌프를 이용하여 건조기 내부의 압력을 단계적으로 감압시키며 웨이퍼의 표면을 건조시키고 상기 건조기로부터 방출되는 수분은 수분 제거 장치에 의해 제거되도록 한다. 따라서 웨이퍼 표면에 잔류되는 수분의 제거 효율이 향상되며 파티클의 흡착, 건조기에 의한 2차적 오염 및 웨이퍼의 손상이 방지되므로 불량의 발생률이 감소되며 후속 공정을 용이하게 실시할 수 있는 웨이퍼 건조 장치 및 그를 이용한 웨이퍼 건조 방법에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명에 따른 웨이퍼 건조 장치의 구조도.
Claims (6)
- 웨이퍼 건조 장치에 있어서, 웨이퍼를 장착하기 위한 지지대가 내부에 설치되며 밀폐된 건조기와, 상기 건조기의 저면에 일측 종단부가 접속된 배기관과, 상기 배기관의 다른 일측 종단부에 접속되며 상기 건조기 내부의 압력을 감소시키기 위한 진공 펌프와, 상기 건조기와 상기 진공 펌프 사이의 상기 배기관에 설치되며 상기 건조기로부터 배출되는 수분을 제거하기 위한 수분 제거 장치로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 수분 제거 장치는 다수의 나선형 관에 각기 다른 온도의 냉매가 각각 공급되며 상기 건조기로 부터 방출되는 수분이 상기 각 나선형 관의 중앙부를 통과하면서 상기 냉매에 의해 건조되도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치.
- 웨이퍼 건조 방법에 있어서, 웨이퍼를 장착하기 위한 지지대가 내부에 설치되며 밀페된 건조기와, 상기 건조기의 저면에 일측 종단부가 접속된 배기관과, 상기 배기관의 다른 일측 종단부에 접속되며 상기 건조기 내부의 압력을 감소시키기 위한 진공 펌프와, 상기 건조기와 상기 진공 펌프 사이의 상기 배기관에 설치되며 상기 건조기로부터 배출되는 수분을 제거하기 위한 수분 제거 장치로 이루어지는 웨이퍼 건조 장치의 상기 지지대에 웨이퍼를 장착하는 단계와, 상기 단계로부터 상기 진공 펌프를 동작시켜 상기 건조기 내부의 압력을 감소시키는 동시에 상기 수분제거 장치를 동작시켜 상기 건조기로부터 배출되는 수분이 제거되도록 하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조 방법.
- 제 3 항에 있어서, 상기 건조기 내부의 압력은 소정 시간동안 단계적으로 감소되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조 방법.
- 제 3 항에 있어서, 상기 건조시 내부의 압력은 5 내지 10 mTorr까지 감소되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조 방법.
- 제 3 항에 있어서, 상기 수분 제거 장치는 다수의 나선형 관에 각기 다른 온도의 냉매가 각각 공급되며 상기 건조기로부터 방출되는 수분이 상기 각 나선형 관의 중앙부를 통과하면서 상기 냉매에 의해 건조되도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960024961A KR980005903A (ko) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 웨이퍼 건조 장치 및 그를 이용한 웨이퍼 건조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960024961A KR980005903A (ko) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 웨이퍼 건조 장치 및 그를 이용한 웨이퍼 건조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005903A true KR980005903A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66240744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960024961A KR980005903A (ko) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 웨이퍼 건조 장치 및 그를 이용한 웨이퍼 건조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005903A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101411645B1 (ko) * | 2013-12-19 | 2014-06-24 | (주)명치기계공업 | 에어베어링 방식의 터보진공펌프를 구비한 진공 형성 장치 |
| KR101977658B1 (ko) * | 2019-02-22 | 2019-05-13 | 주식회사 신성이엔티 | 변압기용 권선조립체의 건조장치 |
-
1996
- 1996-06-28 KR KR1019960024961A patent/KR980005903A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101411645B1 (ko) * | 2013-12-19 | 2014-06-24 | (주)명치기계공업 | 에어베어링 방식의 터보진공펌프를 구비한 진공 형성 장치 |
| KR101977658B1 (ko) * | 2019-02-22 | 2019-05-13 | 주식회사 신성이엔티 | 변압기용 권선조립체의 건조장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH04505577A (ja) | 乾燥剤ガス乾燥システム | |
| KR980005903A (ko) | 웨이퍼 건조 장치 및 그를 이용한 웨이퍼 건조방법 | |
| US20020046475A1 (en) | Drying process with vortex tube | |
| EP0170347A2 (en) | A dehumidifier for a compressed gas | |
| CN111156798A (zh) | 一种高效烘干室 | |
| CN218853926U (zh) | 一种便于清洁的冷干机 | |
| JP3236953B2 (ja) | 減圧スピン乾燥装置 | |
| SU1631240A1 (ru) | Сушилка дл волокнистых материалов | |
| KR0180344B1 (ko) | 반도체 웨이퍼의 건조장치 | |
| JPS599500A (ja) | 管内残留水除去装置 | |
| US4477351A (en) | Filtering apparatus | |
| CN215027516U (zh) | 一种氦气冷冻式干燥机装置 | |
| SU1191053A1 (ru) | Устройство дл термообработки чайного листа | |
| JPH0521416A (ja) | 半導体ウエハ用遠心乾燥装置 | |
| JP2012533174A (ja) | 真空乾燥機およびこれを用いた乾燥方法 | |
| KR19980040060A (ko) | 반도체장치의 습식 세정 스핀 건조기 | |
| KR200233117Y1 (ko) | 가열식 감압 건조장치 | |
| JPS63104426A (ja) | 半導体ウエハ乾燥装置 | |
| JPH0250071A (ja) | 真空オーブン装置 | |
| JP2004211953A (ja) | 乾燥装置及び減圧乾燥方法 | |
| KR870004047Y1 (ko) | 연료건조기의 응축수 배수장치 | |
| JPS59161826A (ja) | リンサ・ドライヤ | |
| JPH0669180A (ja) | 真空乾燥装置 | |
| JP2523812Y2 (ja) | ロータリーキルン | |
| JPS5983559A (ja) | 水素冷却回転電機用ガス乾燥器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |