KR980005318A - 반도체 제조 공정용 코터의 웨이퍼 플랫존 감광제 제거 장치 - Google Patents
반도체 제조 공정용 코터의 웨이퍼 플랫존 감광제 제거 장치 Download PDFInfo
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 플랫존 주변부에 도포된 감광제 제거시 별도의 노광 장비없이 코팅 장비 내에서 신너(Thinner)를 이용하여 웨이퍼 플랫존 주변부에 도포된 감광제를 직접 제거할 수 있도록 하여 별도의 플랫존 노광 장비 설치에 따른 비용을 절감할 수 있도록 한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 웨이퍼(1)표면에 감광제(3)를 도포하는 코터 장비 내에 웨이퍼(1)의 플랫존(2) 주변부에 도포된 감광제(3)를 세정하여 제거할 수 있는 플랫존 세정수단이 구비되는 반도체 제조 공정용 코터의 웨이퍼 플랫존 감광제 제거 장치이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명이 설치된 상태를 나타낸 사시도.
Claims (4)
- 웨이퍼 표면에 감광제를 도포하는 코터 장비 내에 웨이퍼의 플랫존 주변부에 도포된 감광제를 세정하여 제거할 수 있는 플랫존 세정수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 코터의 웨이퍼 플랫존 감광제 제거 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 플랫존 세정수단은 웨이퍼의 플랫존을 따라 웨이퍼의 플랫존 주변부에 세정액을 분사하는 세정액 분사노즐과, 상기 세정액 분사노즐을 플랫존을 따라 직선운동하도록 하는 세정액 분사노즐 구동수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 코터의 웨이퍼 플랫존 감광제 제거 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 세정액 분사노즐 구동수단은 상기 세정액 분사노즐이 일측에 장착되는 볼스크류 블록과, 상기 볼스크류 블록이 결합되며 상기 볼스크류 블록의 직선운동을 안내하는 볼스크류측과, 상기 볼스크류 블록이 구동축을 따라 전·후진하도록 상기 볼스크류 축을 회전시키는 구동모터로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 코터의 웨이퍼 플랫존 감광제 제거 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 세정액 분사노즐은 플랫존 주변의 원하는 영역에 도포된 감광제만을 제거할 수 있도록 분사구가 웨이퍼 외측을 향하는 한편, 선단부가 일정각으로 경시지게 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정용 코터의 웨이퍼 플랫존 감광제 제거 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960024700A KR980005318A (ko) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | 반도체 제조 공정용 코터의 웨이퍼 플랫존 감광제 제거 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960024700A KR980005318A (ko) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | 반도체 제조 공정용 코터의 웨이퍼 플랫존 감광제 제거 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005318A true KR980005318A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66241218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960024700A KR980005318A (ko) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | 반도체 제조 공정용 코터의 웨이퍼 플랫존 감광제 제거 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005318A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486214B1 (ko) * | 1997-10-22 | 2005-09-30 | 삼성전자주식회사 | 솔벤트공급시스템및이를이용한레지스트스트립방법 |
-
1996
- 1996-06-27 KR KR1019960024700A patent/KR980005318A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486214B1 (ko) * | 1997-10-22 | 2005-09-30 | 삼성전자주식회사 | 솔벤트공급시스템및이를이용한레지스트스트립방법 |
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