KR980005174A - 필드 에미터의 방출전자 측정장치 - Google Patents
필드 에미터의 방출전자 측정장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 필드 에미터의 전자방출 특성을 측정하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히, 종래의 방출전자 측정장치의 양극을 이루는 탐침과 탐침의 위치를 조정하기 위한 미세조정자의 연결부위에 압전소자를 설치하여 압전소자에 의해 탐침과 미세소정자를 연결함으로써, 압전소자에 의해 필드 에미터와 양극역할을 하는 탐침의 높이를 정밀하게 제어하여 필드 에미터의 전자방출 특성을 정확하게 측정할 수 있는 측정장치를 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 압전소자를 이용한 필드 에미터의 방출전자 측정장치를 나타낸 단면도.
Claims (2)
- 고진공의 환경을 제공하는 고진공 챔버와, 상기 고진공 챔버의 내부 밑면에 설치되며 외부전원과 연결되는 전원 공급로가 설치되어 있으며 시편을 장착하기 위한 시편 홀더와, 상기 고진공 챔버의 일측면에 설치되어 있는 탐침과 압전소자 그리고 미세조정자로 이루어진 탐침 및 조정장치와, 상기 압전소자와 탐침에 전원을 공급하기 위한 전원공급로를 포함하는 필드 에미터의 방출전자 측정장치.
- 제1항에 있어서, 상기 압전소자는 탐침과 미세조정자를 연결하는 부분에 설치되는 것을 특징으로 하는 필드 에미터의 방출전자 측정장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960021497A KR980005174A (ko) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 필드 에미터의 방출전자 측정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960021497A KR980005174A (ko) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 필드 에미터의 방출전자 측정장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005174A true KR980005174A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960021497A KR980005174A (ko) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 필드 에미터의 방출전자 측정장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005174A (ko) |
-
1996
- 1996-06-14 KR KR1019960021497A patent/KR980005174A/ko not_active Application Discontinuation
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