KR910013581A - 비어홀 형성장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 비어홀 형성장치를 나타낸 개략도.
Claims (1)
- 진공 챔버, 상기 진공 챔버내의 하부에 에칭해야할 소자를 고정시키기 위해 설치된 기판 홀더, 상기 기판 홀더 상부에 진자를 방출하기 위하여 설치된 필라멘트 전극, 상기 필라멘트 전극의 좌·우에 전극에서 방출되는 전자 비임을 집속시키기 위해 설치된 접속기, 상기 진공 챔버 외부에 상기 필리멘트 전극의 전자 방출을 위한 전원을 공급하는 전원 공급부, 그리고 상기 전원 공급부로 부터의 전원을 조절하여 상기 필라멘트 전극에 가해주는 컴퓨터 조작부를 구비하여 형성되는 것을 특징으로 하는 비어홀 형성장치.※ 참고사항 : 최초출된 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019890019799A KR910013581A (ko) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 비어홀 형성장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019890019799A KR910013581A (ko) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 비어홀 형성장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR910013581A true KR910013581A (ko) | 1991-08-08 |
Family
ID=67662310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019890019799A KR910013581A (ko) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 비어홀 형성장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR910013581A (ko) |
-
1989
- 1989-12-28 KR KR1019890019799A patent/KR910013581A/ko not_active IP Right Cessation
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Legal Events
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