KR880002033A - 백열광 방전 시스템이 구비된 광 cvd 장치 - Google Patents

백열광 방전 시스템이 구비된 광 cvd 장치 Download PDF

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KR880002033A
KR880002033A KR1019870007968A KR870007968A KR880002033A KR 880002033 A KR880002033 A KR 880002033A KR 1019870007968 A KR1019870007968 A KR 1019870007968A KR 870007968 A KR870007968 A KR 870007968A KR 880002033 A KR880002033 A KR 880002033A
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순페이 야마자끼
시게노리 하야시
타카시 이누지마
나오키 히로세
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순페이 야마자끼
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    • H01L21/205—
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics

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Abstract

내용 없음

Description

백열광 방전 시스템이 구비된 광 CVD 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도 : 수은 원자의 전자 에너지 수준을 나타낸 그래프,
제 3 도 : 본 발명에 따른 광 CVD장치를 설명한 블록다이어 그램,
제 5 도(A) : 본 발명에 따른 수은램프의 단면도.

Claims (10)

  1. 반응실 : 반응실용 진공펌프 : 반응성 가스를 반응실에 도입시키기 위한 반응성 가스 도입 시스템 : 반응실 내에 기판을 유지시키기 위한 홀더 : 반응실용 광원 : 반응실 내에 설치된 한 쌍의 전극 : 및 고주파수의 전력을 광원과 전극에 공급하기 위한 전력 공급기로 구성된 광-증가 CVD 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 전력의 주파수를 10 KHz 보다 높게 선택한 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 광원과 한쌍의 전극중 한쪽에 전력공급기로부터 전력을 선택적으로 공급하여 광 CVD 오는 플라즈마 에칭을 반응실에서 수행될 수 있도록 하는 기구로 추가로 구성된 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 광원이 수은램프인 장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 수은램프가 거의 수은 가스로만 충진된 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 자외선이 수은램프에서 반응실의 내부로 복사될 때 통하는 라이트 윈도우가 갖추어진 반응실 내에 형성된 광원실에 수은램프가 장착되어 있는 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 전극중의 하나가 라이트 윈도우 상에 있는 전도성 망인 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 전극중의 다른 하나가 홀더와 기판인 장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 전원이 광원과 전극에 각각 공급될때 통하는 매칭 트랜스포머로 추가로 구성된 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 전원을 트랜스포머중의 하나에 선택적으로 접속시키는 스위치로 추가로 구성된 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019870007968A 1986-07-23 1987-07-22 백열광 방전 시스템이 구비된 광 cvd장치 KR910007537B1 (ko)

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JP174275 1986-07-23
JP226447 1986-09-24
JP61226447A JPS6380526A (ja) 1986-09-24 1986-09-24 光処理装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000053858A (ko) * 2000-04-28 2000-09-05 차상용 금속 킬레이트의 제조방법 및 이를 함유하는 가축용 사료
KR100484529B1 (ko) * 2002-03-21 2005-04-27 서희동 가축의 사료첨가제를 제조하는 방법
KR100509141B1 (ko) * 2001-07-12 2005-08-17 백인기 메티오닌-Ｆｅ 킬레이트 제조방법

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