KR980003693A - 반응가스의 집적원을 가진 플라즈마어드레스 액정디스플레이장치 - Google Patents

반응가스의 집적원을 가진 플라즈마어드레스 액정디스플레이장치 Download PDF

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KR980003693A
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KR1019970026406A
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케빈 제이. 일시신
토마스 에스. 부작
폴 씨. 마틴
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윈켈만 죤 디.
텍트로닉스 인코포레이티드
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Abstract

본 발명의 플라즈마어드레스 액정디스플레이패널은, 채널기판과, 채널기판내의 채널을 덮어 채널기판을 밀봉하는 커버시트와, 채널기판과 커버시트에 의하여 형성된 밀봉공간내의 분압이 50mB~350mB인 헬륨과, 수소를 역으로 흡수 및 방출하는 축적물질보디와로 이루어지고, 수소는 밀봉공간내의 분압이 0.02mB~36mB로 존재한다.

Description

반응가스의 집적원을 가진 프라즈마어드레스 액정디스플레이장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1a도는 본 발명에 의한 PALC 디스플레이패널의 부분개략도.
제1b도에 나타낸 PALC 디스플레이패널의 제조단계를 설명하는 플로차트.

Claims (16)

  1. 상호 접속된 채널의 어레이를 형성하는 채널기판과, 채널을 덮어 채널기판을 밀봉하는 커버시트와, 채널기판과 커버시트에 의하여 형성된 밀봉공간내의 이온화가능한 가스와, 각각의 채널내의 가스를 선택적으로 이온화하는 각 채널내의 1쌍의 전극과, 밀봉곤간과 연통하는 도펀트가스소스와로 이루어지고, 상기 소스는 상기도펀트가스를 역으로 흡수 및 방출하는 축적물질보디로 이루어지고, 이로써 물질보디내의 도펀트가스의 농도와 상기 밀봉공강내의 도펀트가스의 분압 사이에 평형을 이루는 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 이온화가능한 가스는 불활성가스이고, 도펀트가스는 수소인 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 이온화가능한 가스는 헬륨이고, 도펀트가스는 수소인 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이장치.
  4. 청구항 1에 있어서, 이온화가능한 가스는 아르곤이고, 도펀트가스는 수소인 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이장치.
  5. 청구항 1에 있어서, 물질보디는 상기 밀봉공간과 연통하는 내부공간을 가지는 콘테이너내에 수용되는 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이장치.
  6. 주변부를 가지고, 병렬로 상호접속된 채널의 어레이를 형성하는 채널기판과, 채널을 덮어 채널기판을 밀봉하는 커버시트와, 채널기판과 커버시트에 의하여 형성된 밀봉공간내의 분압이 50mB~350mB인 헬륨과, 각각의 채널내의 헬륨을 선택적으로 이온화하는 각 채널내의 1쌍의 전극과, 수소를 역으로 흡수 및 방출하는 축적물질보디와로 이루어지고, 수소는 밀봉공간내의 분압이 0.02mB~36mB로 존재하는 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이패널.
  7. 청구항 6에 있어서, 축적물질보디는 채널과 연통하는 내부공간을 가지는 배기튜브내에 수용되는 것을 특정으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이패널.
  8. 청구항 6에 있어서, 축적물질보디는 채널기판에 부착되고, 채널과 연통하는 내부공간을 가지는 배기박스내에 수용되는 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이패널.
  9. 주변부를 가지고, 병렬로 상호접속된 채널의 어레이를 형성하는 채널기판과, 채널을 덮어 채널기판을 밀봉하는 커버시트와, 채널기판과 커버시트에 의하여 형성된 밀봉공간내의 분압이 50mB~350mB인 아르곤과, 각각의 채널내의 아르곤을 선택적으로 이온화하는 각 채널내의 1쌍의 전극과, 수소를 역으로 흡수및 방출하는 축적물질보디와로 이루어지고, 수소는 밀봉공간내의 분압이 0.02mB~36mB로 존재하는 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이패널.
  10. 청구항 9에 있어서, 축적물질보디는 채널과 연통하는 내부공간을 가지는 배기튜브내에 수용되는 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이패널.
  11. 청구항 9에 있어서, 축적물질보디는 채널기판에 부착되고, 채널과 연통하는 내부공간을 가지는 배기박스내에 수용되는 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이패널.
  12. (a) 각각의 채널내의 가스를 선택적으로 이온화하는 1쌍의 전극을 각 채널내에 가지는 상호접속된 플라즈마채널의 어레이를 형성하는 채널기판을 준비하고, (b) 채널위에 커버시트를 덮고, 커버시트를 채널기판에 부착하고, 이로써 채널기판과 커버시트에 의하여 체임버를 형성하고, (c) 채널기판어셈블리를 최소한 약200℃의 온도로 가열하고, (d) 가스를 체임버로부터 약torr 이하의 압력으로 배기하고, (e) 이온화가능한 가스를 상기 체임버내에 주입하고, (f) 상기 체임버를 밀봉하는 단계로 이루어지는 플라즈마어드레스 액정디스플레이패널의 제조방법에 있어서, (g) 단계(a)와 단계(c)사이에, 선택된 가스의 분압에 따라서 상기 선택된 가스를 역으로 흡수 및 방출하는 물질보디를 준비하여, 상기 물질보디를 상기 체임버와 유체연통하도록 위치시키고, (h) 단계(c)와 단계(f)사이에, 상기 선택된 가스를 상기 체임버내에 주입하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이패널의 제조방법.
  13. 청구항 12에 있어서, 이온화가능한 가스는 불활성가스이고, 상기 선택된 가스는 수소인 것을 특징으로 하는 프라즈마어드레스 액정디스플레이패널의 제조방법.
  14. 청구항 12에 있어서, 이온화가능한 가스는 헬륨이고, 상기 선택된 가스는 수소인 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이패널의 제조방법.
  15. 청구항 12에 있어서, 이온화가능한 가스는 아르곤이고, 상기 선택된 가스는 수소인 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이패널의 제조방법.
  16. 청구항 12에 있어서, 단계(h)는 상기 선택된 가스를 체임버내에 소정의 분압으로 주입하여 이루어지고, 단계(h)후에 단계(d)를 행하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마어드레스 액정디스플레이패널의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970026406A 1996-06-28 1997-06-23 반응가스의 집적원을 가진 플라즈마어드레스 액정디스플레이장치 KR980003693A (ko)

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